DE2725996C2 - Elektronische Fühlereinheit für Meßmaschinen - Google Patents

Elektronische Fühlereinheit für Meßmaschinen

Info

Publication number
DE2725996C2
DE2725996C2 DE2725996A DE2725996A DE2725996C2 DE 2725996 C2 DE2725996 C2 DE 2725996C2 DE 2725996 A DE2725996 A DE 2725996A DE 2725996 A DE2725996 A DE 2725996A DE 2725996 C2 DE2725996 C2 DE 2725996C2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
sensor unit
unit according
signal
switch
tools
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
DE2725996A
Other languages
English (en)
Other versions
DE2725996A1 (de
Inventor
Ugo Borgano Torinese Cavicchioli
Francesco Turin/Torino Germano
Gianfranco Migliardi
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Dea Digital Electronic Automation SpA Moncalieri Turin/torino It
Original Assignee
Dea Digital Electronic Automation SpA Moncalieri Turin/torino It
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from IT6840076A external-priority patent/IT1063114B/it
Priority claimed from IT6799877A external-priority patent/IT1083101B/it
Application filed by Dea Digital Electronic Automation SpA Moncalieri Turin/torino It filed Critical Dea Digital Electronic Automation SpA Moncalieri Turin/torino It
Publication of DE2725996A1 publication Critical patent/DE2725996A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE2725996C2 publication Critical patent/DE2725996C2/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/004Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring coordinates of points
    • G01B7/008Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring coordinates of points using coordinate measuring machines
    • G01B7/012Contact-making feeler heads therefor

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)

Description

Die Erfindung betrifft eine Fühlereinheit für Meßmaschinen.
Aus der DE-AS 23 65984 ist eine Fühlereinheit bekannt, welche ein einziges Fühlerwerkzeug enthält, das einen Stab zur Berührung mit einer abzutastenden Oberfläche, einen mit dem Stab verbundenen beweglichen Körper und einen feststehenden Körper aufweist, wobei ein elektrisches Signal erzeugt wird, wenn der bewegliche Körper mit dem Stab die Gleichgewichtslage bezüglich des feststehenden Körpers verläßt.
Eine vergleichbar aufgebaute Fühlereinheit mit einem einzigen Fühlerwerkzeug ist auch aus der DE-AS 1184972 bekannt.
Bei der Vornahme von Messungen an Außenflächen oder in Innenbereichen, in die die Säule der Meßmaschine längs ihrer Achse (Z-Achse) eindringen kann, oder auch wenn eindimensionale oder zweidimensionale Fühlerwerkzeuge zur Anwendung gelangen, ist es bei Verwendung von Fühlereinheiten mit nur einem Fühlerwerkzeug oftmals notwendig, dieses nacheinander in verschiedenen Richtungen anzuordnen. Es ist dann erforderlich, das einzige Fühlerwerkzeug vom Kopf der Meßmaschine abzunehmen und es zu ersetzen oder in einer anderen Lage anzuordnen.
Aufgabe der Erfindung ist es daher, eine Fühlereinheit zu schaffen, die ein schnelles und einfaches Ausführen von Messungen an Außenflächen und in der Fühlereinheit zugänglichen Innenbereichen gestattet, ohne daß ein Ersetzen und Anordnen eines Fühlerwerkzeugs in verschiedenen Stellungen notwendig ist.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch eine Fühlereinheit, wie sie in Anspruch 1 gekennzeichnet ist.
Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind Gegenstand der Unteransprüche.
Im folgenden werden einige bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung in Verbindung mit der beigefügten Zeichnung beschrieben. Auf dieser ist bzw. sind
Fig. 1 eine Seitenansicht einer Fühlereinheit gemäß <,;er Erfindung,
Fig. 2 eine Draufsicht der in Fig. 1 gezeigten Fühlereinheit mit Schnitt längs Linie II-II,
Fig. 3 eine teilweise geschnittene Seitenansicht der Fühlereinheit der Fig. 1 mit einem Kabel für den Anschluß an eine Meßmaschine,
Fi g. 4 eine Draufsicht, mit Schnitt längs Linie IV-IV aus Fig. 3, des Außenkörpers der in Fig. 3 gezeigten Fühlereinheit,
Fig. 5 eine Seitenteilansicht, teilweise geschnitten längs Linie V-V aus F i g. 2, der in F i g. 2 gezeigten Fühlereinheit,
Fig. 6, 7 bzw. 8 eine Draufsicht des feststehenden Körpers, eine Ansicht von unten und eine Draufsicht des beweglichen Körpers der Schaltvorrichtung jedes der einzelnen in der in Fig. 1 gezeigten Einheit enthaltenen Fühlerwerkzeuge,
Fig. 9 bzw. 10 ein Schaltbild der erfindungsgemäßen Fühlereinheit und ein Schaltbild der Schaltvorrichtung jedes der einzelnen in der in Fig. 1 gezeigten Einheit enthaltenen Fühlerwerkzeuge,
Fig. 11 und 12 teilgeschnittene Seitenansichten von Teilen zweier weiterer Ausführungsformen der erfindungsgemäßen Fühlereinheit, und
Fig. 13 ein Blockschaltbild eines Teils der elektrischen Schaltung der in den Fig. 11 und 12 gezeigten Einheiten enthaltenen einzelnen Fühler.
Wie in den Fig. 1 bis 5 gezeigt, weist die Fühlereinheit nach der Erfindung einen Gehäusekörper 1 mit einer daran mit Hilfe von vier Schrauben 8(Fig.2 bis 5) befestigten oberen Abdeckung 2 auf. Der Gehäusekörper 1 weist an seinem unteren Ende eine ebene Fläche 4 und an seinem oberen Ende vier abgefaßte ebene Abschnitte 6 auf, die im gleichen Winkelabstand von 90° voneinander liegen. In der Mitte der Abdeckung 2 und nach oben ragend ist ein zylindrischer, mit einer geschliffenen Außenfläche und mit einem Innengewinde versehener Griff 11 ausgebildet, welcher in bekannter Weise an einen Kopf einer Meßmaschine (nicht gezeigt) angeschlossen ist. Die ebene Fläche 4 an der Unterseite und die vier abgefaßten ebenen Abschnitte 6 des Gehäusekörpers 1 weisen jeweils eine durchgehende Bohrung 12(Fig. 4) auf, wobei diese fünf Bohrungen 12 mit fünf im Inneren des Gehäusekörpers 1 ausgebildeten Ausnehmungen 13 koaxial sind. In einem Mittelbereich des Gehäusekörpers 1 ist mit Hilfe von vier Schrauben 15 (Fig. 4 und 5) ein im wesentlichen kubischer Block 14 befestigt. Auf fünf Seiten des Blocks 14 sind drei in der jeweiligen Ausnehmung 13 so angeordnete und im gleichen Winkelabstand von 120° angeordnete Stützen 17 eingeklebt. Mit dem unteren Ende der Stützen 17 ist mit Hilfe von Schrauben 18 ein feststehender Block 21 (Fig. 3 und 6) in Form eines ringförmigen Kranzes mit einer kegelstumpfförmigen zentralen durchgehenden Bohrung 22 verbunden. Auf dem oberen Teil des Blocks 21, dessen Oberfläche isolierend gemacht ist, ist ein Isolationseinsatz 23 befestigt, welcher mit drei Bohrungen 24 für den Durchtritt der Stützen 17 versehen ist und aus welchem ein Metallklotz 207 mit einer ebenen Oberfläche, zwei Metallkugeln 208 und drei Metallkugeln 209, entsprechend dem in der italienischen Patentanmeldung Nr. 69574-A/75 beschriebenen Aufbau, hervorragen. Der Isolationseinsatz 23 trägt außerdem eine gedruckte Schaltung mit einer Eingangsverbindung 212, die zwischen dem Außenrand des Isolationseinsatzes 23 und einer der Kugeln 208 angeordnet ist, einer Verbindung 213 zwischen der anderen Kugel 208 und dem Klotz 207 und drei Ausgangsverbindungen 214, von denen jede zwischen einer der Kugeln 209 und dem Außenrand des Isolationseinsatzes 23 verläuft. Auf dem feststehenden Block 21 ist ein beweglicher Block 27 angeordnet, der mit drei im Winkelabstand von 120° angeordneten schrägen äußeren Nuten 28 versehen ist, die den Durchtritt der Stützen 17 gestatten. Auf der unteren Fläche des beweglichen Blocks 27, welche isolierend ausgebildet ist, ist ein Isolationseinsatz 221 befestigt, aus welchem ein Stift 218 und zwei Kugeln 219 und 220, entsprechend dem in der italienischen Patentanmeldung Nr. 69574-A/75 beschriebenen Aufbau, hervorragen. Auch dieser Isolationseinsatz 221 trägt eine gedruckte Schaltung, welche eine Verbindung 222 zwischen den Kugeln 219 und 220 enthält.
In eine axiale Gewindebohrung 33 des beweglichen Blocks 27 ist das Ende eines Meßstabes 35 eingeschraubt, der aus dem Gehäusekörper 1 herausragt. Gegen den oberen Bereich des beweglichen Körpers 27 wirkt eine zylindrische Feder 37, deren anderes Ende gegen eine Justierschraube 38 wirkt, die in einem im mittleren Block 14 ausgebildeten, mit einem Gewinde versehenen Sitz 41 angeordnet ist.
Zwischen dem mittleren Block 14 und dem jeweiligen feststehenden Block 21 in den einzelnen der fünf Ausnehmungen 13 ist ein ringförmiges zylindrisches Element 42 angeordnet, welches eine gedruckte Schaltung trägt, deren Anschlüsse mit der Eingangsverbindung 212 und den drei Ausgangsverbindungen 214 des Isolationseinsatzes 23 verbunden sind. Der Isolationseinsatz 23 und der Isolationseinsatz 221 schaffen elektrische Verbindungen zwischen den verschiedenen Elementen (Kugeln, Klötze und Stift) der Blöcke 21 und 27, so daß sechs in Serie und parallel verbundene Schalter definiert werden, die sich mit einer Schalteinheit vergleichen lassen, die beim Öffnen irgendeines der sechs Schalter ein Signal abgibt. Gemäß Fig. 10 wird die Schalteinheit, die insgesamt mit 150 bezeichnet ist, durch die Eingangsverbindung 212 gebildet, welche bei der Reihenschaltung von zwei Schaltern 160 und 161 ankommt, die mittels der zwei mit dem Stift 218 zusammenwirkenden Kugeln 208 vorgesehen sind. Der Schalter 161 ist über die Verbindung 213 an einen Schalter 162 angeschlossen, der durch den Block 207 und die Kugel 219 gebildet wird. Der Schalter 162 ist seinerseits wiederum über die Verbindung 222 an drei Schalter 163 angeschlossen, die durch die Kugel 220 und jeweils eine der drei Kugeln 209 gebildet sind. Die drei Schalter 163 sind mit Hilfe von Verbindungen 43 an ein logisches ODER-Glied 165 angeschlossen, welches mit einer im Gehäusekörper 1 liegenden gedruckten Schaltung 44 verbunden ist (Fig. 4). Mit der gedruckten Schaltung 44, die ein Zwischen-Anschlußelement bildet, sind die Verbindungen 43 verbunden, die zu den in den fünf Ausnehmungen 13 sitzenden fünf Fühlerwerkzeugen gehören, sowie die Anschlußdrähte für vier Signallampen 45, die in den vier abgefaßten ebenen Abschnitten 6 angeordnet sind. Die gedruckte Schaltung 44 ist über fünf Anschlußdrähte 46, welche durch eine zentrale Öffnung 47 der Abdeckung 2 verlaufen mit den fünf unteren Kontakten eines doppelten elektrischen Steckers 48 verbunden. Der Stecker 48 ist mit Hilfe zweier Stifte 51 (Fig. 2) an einem Block53 befestigt, welcher innerhalb des Griffs 11 angeordnet ist und mit Hilfe eines mit einem Gewinde versehenen Klemmrings 53 in Stellung gehalten wird, der in die mit einem Gewinde versehene innere Öffnung des Griffs 11 geschraubt ist. In den
Block 52 sind senkrecht zwei Zentrierstifte 54 geschraubt, welche mit zwei Abschnitten hervorragen, von denen der eine einen größeren Querschnitt und der andere einen verminderten Querschnitt hat. In das innere des Griffs 11 ist ein Anschlußblock 55 einsetzbar (Fig. 3), welcher mittels eines Kabels 56 mit einem Kupplungsstecker 57 verbunden ist, der die elektrische Verbindung zur Meßmaschine herstellt. Im unteren Teil des Anschlußblocks 55 sind ein elektrischer Stecker 63 für den Anschluß an den doppelten Stecker 48 und zwei Sitze 64 zur Aufnahme der zwei Zentrierstifte 54 darin angeordnet.
Die elektrischen Schaltungen der beschriebenen Fühlereinheit sind in Fig. 9 gezeigt, in der für jedes der fünf Fühlerwerkzeuge, die diese Fühlereinheii bilden, der Schalter 150, der durch die Anordnung der sechs durch die Kugeln 208, 209, 219 und 220, den Stift 218 und den Klotz 207 gebildet ist, schematisch, als einheitliche Schaltvorrichtung, gezeigt ist. Mit 70 ist ein Versorgungskabel mit negativer Spannung, beispielsweise -12 Volt, bezeichnet, welches zu einem Anschluß eines Schalters 71 verläuft, der zu dem Fühlerwerkzeug gehört, dessen Meßstab 35 aus der unteren ebenen Fläche 4 ragt. Der andere Anschluß des Schalters 71 ist mit den Eingangsanschlüssen von zwei Schaltern 72 und 73 verbunden, die zu zwei Fühlerwerkzeugen gehören, deren Meßstäbe 35 aus zwei orthogonalen Abschnitten 6 hervorragen. Die Ausgänge der Schalter 72 und 73 gehen zu Eingängen von zwei anderen Schaltern 74 bzw. 75, die zu Fühlerwerkzeugen gehören, deren Meßstäbe 35 aus Abschnitten 6 hervorragen, welche zu den Abschnitten 6 der Stäbe 35 der entsprechenden in Serie liegenden Schalters 72 und 73 parallel sind, Die Ausgangsanschlüsse der Schalter 74 und 75 sind durch Verbindungen 76 über in Serie liegende Widerstände 78 mit Impedanzadapterblöcken 80 und 81 und mit zu einer Spannungsquelle mit einer Spannung + V, üblicherweise + 5 Volt, abzweigenden Widerständen 69 verbunden. Die Ausgänge der zwei Blöcke 80 und 81, die ein Ausgangssignal auf einem logischen Pegel ausgeben können, gehen auf eine logische Addierschaltung 82 des Typs ODER, deren Ausgang auf die zueinander komplementären Eingänge zweier Speicherschaitungen 83 und 84 und eine Ausgangsleiiung 86 gelangt. Die Schaltungen 83 und 84, die üblicherweise monostabile Multivibratoren umfassen, sind so eingerichtet, daß sie auf wechselseitig entgegengesetzten Wellenfronten aktiviert werden, für einen vorgegebenen Zeitraum aufeinanderfolgende Signale desgleichen Typs nicht annehmen und jeweils mit einer Ausgangsleitung 87 versehen sind, die so eingerichtet ist, daß sie für eine vorgegebene Zeit die andere Schaltung sperrt. Der Ausgang der Schaltung 83 überträgt über eine Verbindung 88 ein Meßsignal auf die Meßmaschine.
Die Anschlüsse der Schalter 72, 74 bzw. 73, 75 sind mit den Anoden zweier Dioden 90 und 91 verbunden, deren Kathoden über einen Widerstand 92 mit der Leitung 70 und direkt mit einem Impedanzadapterblock 93 verbunden sind. Die Ausgänge der Adapterblöcke 80, 81 und 93 gehen auf den Eingang einer Speicherschaltung 94, aufweiche außerdem, als Zustimmungssignal, das Ausgangssignal der Schaltung 83 gelangt; die Schaltung 94 liefert die Ausgangssignale zur Meßmaschine. Die Ausgänge der Blöcke 80, 81 und 93 gelangen auch auf die Eingänge einer Decodierschaltung 95, die außerdem das Ausgangsssignal der ODER-Schaltung 82 empfängt; die Schaltung 95 liefert Steuersignale für eine Siebensegmentanzeige 96, die innerhalb des Kupplungssteckers 57 (Fig. 3) angeordnet ist. Der Ausgang der logischen ODER-Schaltung 82 gelangt auch, als Zustimmungssignal, auf eine Gatterschaltung 99, an welcher ein Signal eines Generators 100 ankommt, welcher Rechteckwellen niedriger Frequenz, beispielsweise von 4 Hz, erzeugt. Von der Gatterschaltung 99 geht eine Ausgangsverbindung 101 weg, welche die vier Signallampen, die an die Leitung 70 angeschlossen sind, speist. Die Schaltung der Fig. 9 ist in zwei gestrichelt gekennzeichneten Abschnitten 103 bzw. 104 enthalten, von denen der erste innerhalb des Gehäusekörpers 1 und auf der gedruckten Schaltung 44 angeordnet ist, während der zweite innerhalb des Kupplungssteckers 57 sitzt. Die Verbindung zuwischen den Abschnitten 103 und 104 geschieht durch fünf durch die Drähte 46 gebildete Verbindungsdrähte, die fünf Kontakte der Stecker 48 und 63 und das Kabel 56 (Fig. 3).
Die Wirkungsweise der oben beschriebenen Fühlereinheit ist folgende.
Wenn das Ende keines der fünf Meßstäbe 35 mit der abzutastenden Oberfläche in Berührung steht, dann liegen diese in der Gleichgewichtslage, die dadurch bestimmt wird, daß unter der Wirkung der Feder 37 der bewegliche Block 27 gegen den feststehenden Block 21 gepreßt wird; d. h., die Kugel 220 liegt gegen die drei Kugeln 209, der Stift 218 liegt gegen die zwei Kugeln 208 und die Kugel 219 liegt gegen den ebenen Klotz 207. Wenn das Ende eines der Meßstäbe 35 auf die abzutastende Oberfläche trifft, neigt und/oder hebt dieser den beweglichen Block 27 an, wodurch wenigstens einer der in Fig. 10 gezeigten Schalter 160,161,162 und 163 geöffnet wird, so daß die Schalteranordnung 150 des Fühlerwerkzeugs in ihrer Gesamtheit offen ist und ein geändertes Signal, beispielsweise ein Signal des Typs »1«, am Ausgang des ODER-Glieds 165 erhalten wird. Welches Fühlerwerkzeug auch immer gerade im Meßstadium ist und dementsprechend, welcher Schalter 71, 72, 73,74 und 75 öffnet, das Potential einer der Verbindungen 76 und 77 oder von beiden ändert sich, und es ergibt sich ein anderes Signal, beispielsweise ein Signal vom Typ »1«, am Ausgang von Block 80 oder 81 oder von beiden von ihnen. Dementsprechend erhält man am Ausgang der ODER-Schaltung 82 ein Signal des Typs »1«, wodurch die Schaltung 83 aktiviert wird, die über die Verbindung 88 ein Meßsignal an die Meßmaschine sendet und die Schaltung 84 für eine zweckmäßige Zeit, beispielsweise 0,1 Sekunden, über die Leitung 87 sperrt. Über die Leitung 86 erhält man außerdem die Übertragung eines Signals an die Maschine, welches über den offenen Zustand irgendeines zu einem der Fühlerwerkzeuge gerhörigen Schalters informiert. Das Ausgangssignal der Schaltung 82 ermöglicht ferner die Übertragung des Signals des Generators 100 auf die vier Signallampen 45, die periodisch blinken, so daß sie durch eine Bedienungskraft an der Fühlereinheit wahrgenommen werden können und den offenen Zustand des bestimmten Werzeugs signalisieren.
Es ist jedoch auch nötig, der Meßmaschine eine Information darüber zu vermitteln, welcher der fünf zu den fünf Fühlerwerkzeugen gehörigen Schalter 7172,73,74, 75 offen ist. Diese Information wird über die Ausgänge der Blöcke 80, 81 und 93 übertragen, deren Kombination der Ausgangslogikpegel sich als Funktion des gerade geöffneten Schalters ändert. Tatsächlich bewirkt das Öffnen des Schalters 71 eine Änderung des Pegels am Ausgang der Blöcke 80 und 81. Die Öffnung des Schalters 72 oder 74 bewirkt eine Änderung des Pegels am Ausgang des Blocks 80, während das Öffnen des
Schalters 73 oder 75 eine Änderung des Pegels am Ausgang des Blocks 81 bewirkt. Die Identifikation des Öffnens des Schalters 72 oder 74, ebenso wie die Identifikation des Öffnens des Schalters 73 oder 75, findet auf der Basis der Änderung des Logikpegels des Signals am s Ausgang des Blocks 93 statt. Daher wird die Kombination der Signale am Ausgang der Blöcke 80, 81 und 93, welche als Zahl das Werkzeug identifiziert, das sich aus der Gleichgewichtslage bewegt hat, mit Hilfe der Zustimmung des am Ausgang der Schaltung 83 verfügbaren Signals in der Speicherschaltung 94 gespeichert, deren Ausgabegrößen durch die Maschine im geeigneten Augenblick verwendet werden. Mit Hilfe der Decodiererschaltung 95 verursachen die drei Signale am Ausgang der Schaltungen 80,81 und 93 auf der Anzeigeeinheit 96 die digitale Anzeige des Fühlerwerkzeugs, welches sich aus der Gleichgewichtslage bewegt hat, wobei diese Anzeige für die Bedienungskraft auf dem Kupplungsstecker 57 sichtbar ist.
Nachfolgend, wenn das Fühlerwerkzeug unter der Wirkung der Feder 37 in die Gleichgewichtslage zurückkehrt, schließt die Schalteranordnung und es ergibt sich folglich am Ausgang der Schaltung 82 ein Signal vom Typ »0«. Auf diese Weise wird die Schaltung 84 aktiviert und sperrt die Schaltung 83 für eine gewisse Zeitdauer, beispielsweise 0,1 Sekunden. In einem solchen Zustand stabilen Gleichgewichts geschieht auch, über die Ausgangsleistung 86, die Übertragung des Signals, das über den geschlossenen Zustand der Schalter informiert, und ein solches Signal vom Typ »0« am Ausgang der Schaltung 82 unterbricht durch Steuerung des Gatterblocks 99 die Spannungszufuhr zu den Signallampen 45, wodurch diese wieder gelöscht werden. Auf diese Weise liefert, während in der Speicherschaltung 94 die zu dem vorher geöffnetem Schalter gehörigen Signalpegel gespeichert bleiben, die neue Kombination von Signalen am Decodiererblock 95, solange kein neuer Öffnungszustand für die Schalter erneut entsteht, die Anzeige geschlossener Schalter an die Anzeigevorrichtung 96. .
Die Fühlereinheit nach der Erfindung kann anstatt mit dreidimensionalen Fühlerwerkzeugen mit eindimensionalen Fühlerwerkzeugen, wie sie in Fig. 11 gezeigt sind, oder mit zweidimensionalen Fühlerwerkzeugen, wie sie in Fig. 12 gezeigt sind, ausgerüstet sein. Tatsächlich hat die in Fig. 11 gezeigte Fühlereinheit fünf eindimensionale Fühlerwerkzeuge 300, von denen jedes in der entsprechenden Ausnehmung 13 im Inneren des Gehäusekörpers 1 sitzt. Jedes dieser Fühlerwerkzeuge 300 ist mit einem zylindrischen Stab 301 versehen, welcher mit einer Meßspitze 314 verbunden ist und aufweichen ein zylindrischer Kern 302 aus magnetischem Material, beispielsweise Weicheisen, eingesetzt ist. Der Stab 301 gleitet in zwei Buchsen 303 und 304, von welchen die erste zu einem hohlzylindrischen Körper 305 gehört, während die zweite zu einem hohlzylindrischen Körper 306 gehört. Der obere Abschnitt des Körpers 306 ist mit einem Gewinde versehen und mit dem mittleren Block 314 verbunden, während der Körper 305, welcher koaxial mit dem Körper 306 und außerhalb desselben angeordnet ist, mit einem oberen Abschnitt 307 um das untere Ende des Körpers 306 herum liegt und an letzterem befestigt ist. Am oberen Ende des Stabes 301 ist eine Kappe 308 befestigt, die gegen die innere Basisfläche des Körpers 306 anschlägt und den äußeren Bewegungsbereich des Stabs 301 beschränkt sowie als Auflage für eine zylindrische Feder 309 dient, die innerhalb des Körpers 306 angeordnet ist und auf der anderen Seite gegen eine am Körper 306 befestigte. Kappe 310 anliegt. Im Inneren des Körpers 305 ist koaxial mit dem Stab 301 ein zylindrischer Träger 311 für eine Reihe von Wicklungen eines Differentialübertragers (nicht gezeigt) angeordnet, wobei diese Windungen über Drähte 312 an die gedruckte Schaltung 44 angeschlossen sind. Der Differentialübertrager und die entsprechende elektrische Schaltung des Fühlerwerkzeugs der Fig. 11 sind in Fig. 13 dargestellt, gemäß welcher ein Oszillator 320 mit einer Hochfrequenz von beispielsweise 50 kHz eine Primärwicklung 121 des Differentialübertragers 322, die innerhalb des zylindrischen Trägers 311 angeordnet ist, speist. Der Differentialübertrager 322 hat zwei Sekundärwicklungen 323, die an einem Ende miteinander verbunden und mit den anderen Enden an ein Potentiometer 324 angeschlossen sind. Das gemeinsame Ende der Sekundärwicklungen 323 und ein Ende der Primärwicklung 321 sind geerdet. Der Schieber des Potentiometers 324 ist an den invertierenden Eingang eines Differenzverstärkers 325 angeschlossen, der einen Schwellwertkomparator mit Hysterese bildet, dessen Ausgang auf einen Eingang 326 eines Demodulators 327 gelangt, der zweckmäßigerweise ein bistabiler Multivibrator sein kann. Der Oszillator 320 versorgt außerdem einen Generator 328, der Taktsignale erzeugt und dessen Ausgang mit einem weiteren Eingang 329 des Demodulators 327 verbunden ist. Der Ausgang des Demodulators 327 ist an einen Steuereingang 330 eines Blocks 331 angeschlossen, der mit zwei äußeren Klemmen 332 und 333 versehen ist, und dessen Wirkungsweise mit derjenigen eines Schalters verglichen werden kann. Dieser Block kann beispielsweise einen Feldeffekttransistor enthalten.
Die Wirkungsweise der Fühlereinheit der F i g. 11 ist, bezugnehmend auf das Schaltbild der F i g. 13, folgende. Im Ruhezustand, wenn die Enden der fünf Meßspitzen 314 mit der abzutastenden Oberfläche nicht in Berührung stehen, befindet sich wegen der Wirkung der Feder 309 der Stab 301 in der in der Figur gezeigten Stellung und hat eine größere äußere Erstreckung. Dabei gibt der Kern 302 in der Sekundärwicklung 323 des Differentialüberträgers 322 zu solchen Wellenformen Anlaß, daß man bei Abnahme vom Potentiometer 324 und bei Zufuhr über den Differenzverstärker 325 an den Eingang 326 des Demodulators 327, wo sie mit am Eingang 329 vorhanden und vom Generator 328 kommenden Signalen verglichen werden, am Ausgang des Demodulators 327 ein konstantes Signal erhält, welches an den Eingang 330 des Blocks 331 gelangt und den Äquivalentschalter zwischen den Anschlüssen 332 und 333 in einer konstanten Anordnung (beispielsweise geschlossen) hält. Wenn das Ende einer der Spitzen 314 auf die abzutastende Oberfläche trifft, tritt der Stab 301 wieder in die Körper 305 und 306 ein und der Kern 302 verursacht durch Durchlaufen einer Lage elektrischen Gleichgewichts bezüglich der Lage der zwei Sekundärwicklungen 323 des Differentialübertragers 322 in den Sekundärwicklungen 323 Wellenformen, mit einer geänderten Amplitude, die so geartet sind, daß sich das vom Schieber des Potentiometers 324 abgenommene Signal mit einer invertierten Phase ergibt, und mit Hilfe des Demodulators 327, der das geänderte Signal des Differenzverstärkers 325 mit dem stets identischen Signal, bei einer Frequenz von 50 MHz, des Generators 328 vergleicht, erhält man am Ausgang des Demodulators 327 ein Signal mit einem anderen konstanten Wert, welches auf den Eingang 330 des Blocks 331 gelangt und den Äquivalentschalter zwischen den Anschlüssen 332
und 333 in einer komplementär konstanten Anordnung (beispielsweise offen) hält. Da sich das Verhalten des Blocks 331 mit demjenigen eines Schalters vergleichen läßt, kann jeder der zu den fünf Fühlerwerkzeugen der Fühlereinheit gehörigen Blöcke 331 mit einem der fünf Schalter 71, 72, 73, 74 und 75 des Schaltbilds der Fig. 9 verglichen werden und hat somit eine Wirkungsweise, die mit der früher beschriebenen identisch ist, so daß man eine identische Anzeige darüber erhält, welches der fünf Fühlerwerkzeuge das Abtasten durchgeführt hat.
All die verschiedenen Elemente der Fig. 13 können mit Ausnahme des Differentialübertragers 323 zweckmäßigerweise auf der gedruckten Schaltung 44 angeordnet sein.
Die Fühlereinheit der Fig. 12 hat fünf zweidimensionale Fühlerwerkzeuge 400, von denen j edes in einer entsprechenden Ausnehmung 13 im Inneren des Gehäusekörpers 1 sitzt. Jedes Fühlerwerkzeug 400 hat einen Abtaststab 401, der mit einer Meßspitze 406 versehen und mit Hilfe eines Stiftes 402 mit einem Trägeraufbau 403 verbunden ist, der durch zwei mit Teilen 405 verbundene Seitenwände 404 gebildet ist. Mit dem hinteren Ende des Stabes 401 ist ein Kern 407 aus magnetischem Material, beispielsweise Ferrit, verbunden, dessen Stirnfläche einen längs eines Kreisbogens verlaufenden Umriß hat. Dem Kern 407 entgegenblickend ist ein E-förmiger Kern 408 aus magnetischem Material, wie etwa Ferrit, angeordnet, wobei die drei Arme im wesentlichen entsprechend dem Umriß eines Kreisbogens enden, der mit demjenigen des Kerns 407 konzentrisch ist. Auf den mittleren Arm des Kerns 408 ist eine Primärwicklung eines Differentialübertragers gewickelt, während auf die beiden seitlichen Arme des Kerns 408 die Sekundärwicklungen des Differentialübertragers gewickelt sind. Diese Wicklungen sind nicht gezeigt, sie entsprechen jedoch den Wicklungen 321 und 323 des in F i g. 13 gezeigten Differentialübertragers 322. Der Kern 408 ist an einem Körper 410 befestigt, an dem auch der obere Teil des Trägeraufbaus 403 befestigt ist, und hat außerdem einen Abschnitt 411 mit keisförmigem Querschnitt, an dem eine Schraube 412 und ein zylindrischer Abschnitt 413, der in ein Doppelkäfigkugellager 414 eingesetzt ist, befestigt sind. Am oberen Ende des zylindrischen Abschnitts 413 ist mit Hilfe einer Schraube 416 ein Körper 417 befestigt, an welchem ein Stift 418 befestigt ist, mit dem das Ende einer Feder 419 verbunden ist, deren anderes Ende mit einem Stift 421 verbunden ist, der an einem Behälter 422 in Form eines Hohlzylinders befestigt ist, der den zylindrisehen Abschnitt 413 einschließt und einen mit einem Außengewinde versehenen oberen Abschnitt 423 aufweist, der in den mittleren Block 14 geschraubt ist. Der Behälter 422 hat in seinem unteren Teil einen Ausschnitt, der sich über einen Sektor von 90° erstreckt und auf einen solchen Wert die Winkelbewegung der Schraube 412 beschränkt.
Die Wirkungsweise der in Fig. 12 gezeigten Fühlereinheit, die die gleiche, in Fig. 13 gezeigte elektrische Schaltung benützt, ist wie folgt Im Ruhezustand, in dem die Enden der fünf Meßspitzen 406 mit der abzutastenden Oberfläche nicht in Berührung stehen, ist der Stab 401 geneigt und der Kern 407, der sich bezüglich des Kerns 408 nicht in der Gleichgewichtslage befindet, verursacht im Differentialübertrager 322 solche Wellenformen, daß der Äquivalentschalter zwischen den Anschlüssen 332 und 333 des Blocks 331 in einem konstanten Zustand (beispielsweise geschlossen) bleibt. Wenn das Ende eines der Spitzen 406 auf die abzutastende Oberfläche trifft, dreht sich der Stab 401 um den Stift 402 als Angel und der Kern 407 verursacht durch Durchlaufen einer Stellung elektrischen Gleichgewichts bezüglich des Kerns 408 im Differentialübertrager 322 Wellenformen, die so geartet sind, daß der Äquivalentschalter zwischen den Anschlüssen 332 und 333 des Blocks 331 den Komplementärzustand (beispielsweise offen) annimmt. Die Wirkungsweise der Schaltung der Fig. 9 für die Fühlereinheit der Fig. 12 ist mit derjenigen identisch, die bereits für die Fühlereinheiten der Fig. 11 und 3 beschrieben wurde. Das Fühlerwerkzeug 400 kann Abtastungen in zwei senkrecht zueinander liegenden Richtungen ausführen; tatsächlich kann, wenn der Trägeraufbau 403 um 90° gedreht wird, wobei diese Drehung durch den Kopf der Schraube 412 begrenzt wird, der gegen die Ränder des entfernten Ausschnitts am unteren Ende des Körpers 422 anschlägt, der Stab 401 in einer zur vorherigen Richtung senkrechten Richtung drehen. Die Feder 419, die in den zwei zueinander senkrechten Lagen des Trägeraufbaus 403 gestreckt wird, dient zur Aufrechterhaltung der Stabilität der zwei Lagen.
Die hier beschriebene Fühlereinheit hat viele Vorteile, insofern als sie herkömmlich und verläßlich betreibbar ist und einen verhältnismäßig einfachen Aufbau hat. Vor allem gestattet sie die Durchführung von Abtastungen in verschiedenen Richtungen auf sehr einfache Weise, ohne daß das Fühlerwerkzeug ausgetauscht oder seine Lage geändert werden müßte, indem einfach immer wieder ein anderer der fünf Meßstäbe verwendet wird.
Die gegenständliche Fühlereinheit bietet daher zweckmäßige Kombinationen von Fühlerwerkzeugen des eindimensionalen oder zweidimensionalen Typs zur Erzielung von Leistungen, die sonst mit Hilfe von Fühlerwerkzeugen des dreidimensionalen Typs erzielbar wären. Die Angabe welches der fünf Fühlerwerkzeuge das Abtasten ausgeführt und sich deshalb aus der Gleichgewichtslage bewegt hat oder durch die Gleichgewichtslage gegangen ist, findet auf Logikpegeln statt, und man erhält ein gespeichertes Signal, welches, wenn benötigt, auf die Meßmaschine gelangt und ein Signal, welches auf eine Anzeigevorrichtung für die Bedienungskraft gelangt. Der besondere wechselseitige Anschluß der zu den fünf Fühlerwerkzeugen gehörigen Schaltanordnungen ermöglicht eine elektrische Verbindung zwischen der Fühlereinheit und dem Kupplungsstecker zur Maschine mit Hilfe von nur fünf Verbindungsdrähten, was einen einfachen Aufbau der Fühlereinheit gestattet.
Es ist schließlich offensichtlich, daß Abwandlungen der hier beschriebenen Ausführungsformen sowohl hinsichtlich der Form als auch der Anordnung der verschiedenen Komponenten möglich sind, ohne den Rahmen der Erfindung zu verlassen. Beispielsweise können in einer einzelnen Fühlereinheit auch einzelne Fühlerwerkzeuge verschiedenen Typs, d. h. dreidimensionale und/oder zweidimensionale und/oder eindimensionale Fühlerwerkzeuge enthalten sein.
Die Fühlereinheit kann auch Fühlerwerkzeuge mit untereinander verschiedenem Aufbau enthalten; sie kann daher auch Fühlerwerkzeuge des in der US-PS 37 27119 beschriebenen Typs oder des in der GB-PS 8 55 676 beschriebenen Typs enthalten. Ebenso kann sie Fühlerwerkzeuge eines bekannten Typs, der von den oben erwähnten verschieden ist, enthalten, beispielsweise Fühlerwerkzeuge, bei welchen der Nach-
11 12
weis der Berührung durch eine Kapazitätsänderung erreicht wird, oder mit Hilfe eines Strahlers und eines entsprechenden Empfängers beispielsweise des photoelektrischen oder des Laser-Typs, oder auf irgendeine andere Weise.
Hierzu 4 Blatt Zeichnungen
20
25
30
35
40
45
50
55
60
65

Claims (13)

Patentansprüche:
1. Fühlereinheit für Meßmaschinen, dadurch gekennzeichnet, daß sie mehrere Fühlerwerkzeuge, von denen jedes einen Stab (37; 300; 400) zur Berührung mit einer abzutastenden Oberfläche, einen mit dem Stab verbundenen beweglichen Körper (z. B. 27) und einen feststehenden Körper (z. B. 21) aufweist, eine erste Einrichtung zur Lieferung eines ersten Signals, wenn ein beweglicher Körper die Gleichgewichtslage bezüglich des ihm zugeordneten feststehenden Körpers verläßt oder durch eine bestimmte Lage bezüglich des ihm zugeordneten feststehenden Körpers geht, und eine zweite Einrichtung, die angibt, welches der Fühlerwerkzeuge das erste Signal verursacht, umfaßt.
2. Fühlereinheit nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Fühlerwerkzeuge vom dreidimensionalen und/oder zweidimensionalen und/ oder eindimensionalen Typ sind.
3. Fühlereinheit nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der bewegliche Körper (27) und der feststehende Körper (21) elektrische Kontaktelemente (208,209,219,220,218,207) umfassen, die in Kombination einen Schalter (150; 71, 72, 73, 74,75) bilden, wobei das erste Signal der ersten Einrichtung beim Öffnen oder Schließen des Schalters verursacht wird.
4. Fühlereinheit nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der bewegliche Körper und der feststehende Körper Elemente umfassen, die in Kombination einen zur ersten Einrichtung gehörigen Differentialüberträger (322) bilden.
5. Fühlereinheit nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Differentialüberträger (322) ein Signal zur Steuerung des Zustandes eines als Schalter wirkenden Elements (331) liefert, wobei das erste Signal der ersten Einrichtung beim Öffnen oder beim Schließen des Schalters verursacht wird.
6. Fühlereinheit nach Anspruch 3 oder 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Schalter (150; 71,72,73,74, 75) in Reihe und/oder parallel miteinander verbunden sind, wobei das erste Signal der ersten Einrichtung beim Öffnen irgendeines der Schalter erhalten wird.
7. Fühlereinheit nach einem der Ansprüche 3, 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß die zweite Einrichtung mit den Schaltern (150; 71, 72, 73, 74, 75) verbundene Schaltungen umfaßt, die Ausgangssignale auf Logikpegeln liefern, wobei die Signale der zweiten Einrichtung eine Kombination von Signalen auf Logikpegeln ergeben, die den offenen Schalter und damit das entsprechende Fühlerwerkzeug eindeutig identifizieren.
8. Fühlereinheit nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß eine Speicherschaltung (94) zur Speicherung der Kombination von Signalen auf Logikpegeln zur nachfolgenden Verwendung durch die Meßmaschine vorgesehen ist.
9. Fühlereinheit nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Kombination von Signalen auf Logikpegeln auf eine Digitalanzeige (96) übertragen wird.
10. Fühlereinheit nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das erste Signal der ersten Einrichtung die Spannungsversorgung einer Anzahl von Lampen (45) steuert, die den geschlossenen oder den geöffneten Zustand der Schalter (71, 72, 73, 74, 75) signalisieren.
11. Fühlereinheit nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß sie einen einzigen Gehäusekörper (1) zur Aufnahme der Fühlerwerkzeuge umfaßt, daß mit dem Gehäusekörper eine mit einem Griff (11) versehene Abdeckung (2) zur mechanischen Verbindung mit einem Kopf einer Meßmaschine verbindbar ist, und daß in dem Griff ein elektrischer Verbindungsstecker (48) und wenigstens ein Zentrierstift (54) für die elektrische und mechanische Verbindung mit einem Anschlußblock (55) eines Verbindungskabels (56) zu einer Meßmaschine angeordnet ist.
12. Fühlereinheit nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Anzeige (96) in einem Verbindungsstecker (57) des Verbindungskabels (56) zur Meßmaschine aufgenommen ist.
13. Fühlereinheit nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die erste und zweite Einrichtung als miniaturisierte elektrische und elektronische Schaltungen vorgesehen sind und innerhalb des Gehäusekörpers (1) und des Verbindungssteckers (57) aufgenommen sind.
DE2725996A 1976-06-09 1977-06-08 Elektronische Fühlereinheit für Meßmaschinen Expired DE2725996C2 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
IT6840076A IT1063114B (it) 1976-06-09 1976-06-09 Gruppo palpatore elettronico per macchine di misura
IT6799877A IT1083101B (it) 1977-05-04 1977-05-04 Gruppo palpatore elettronico per macchine di misura

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE2725996A1 DE2725996A1 (de) 1977-12-22
DE2725996C2 true DE2725996C2 (de) 1986-07-31

Family

ID=26329863

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE2725996A Expired DE2725996C2 (de) 1976-06-09 1977-06-08 Elektronische Fühlereinheit für Meßmaschinen

Country Status (5)

Country Link
US (1) US4159429A (de)
JP (1) JPS5313451A (de)
CH (1) CH617113A5 (de)
DE (1) DE2725996C2 (de)
GB (1) GB1580232A (de)

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS56139860A (en) * 1980-04-04 1981-10-31 Fanuc Ltd Numerating system of profile motion
SE422291B (sv) * 1980-07-03 1982-03-01 Esab Ab Sensor
US4469091A (en) * 1980-08-28 1984-09-04 Slanetz Jr Charles A Tactile control device for a remote sensing device
US4553001A (en) * 1983-12-05 1985-11-12 Gte Valeron Corporation Touch probe having nonconductive contact carriers
US4523063A (en) * 1983-12-05 1985-06-11 Gte Valeron Corporation Touch probe having nonconductive contact carriers
JPS60143707A (ja) * 1983-12-29 1985-07-30 Mitsutoyo Mfg Co Ltd タツチ信号プロ−ブ群のセツテイング装置
US4683354A (en) * 1985-06-28 1987-07-28 Litton Systems, Inc. Apparatus for supporting and aligning equipment
JPS6211607A (ja) * 1985-07-09 1987-01-20 株式会社 小松製作所 型枠締緩具および型枠締緩装置
US4734549A (en) * 1985-11-25 1988-03-29 Rin Ei Seiki Kabushiki Kaisha Touch sensor
DE3634689A1 (de) * 1986-10-11 1988-04-14 Zeiss Carl Fa Anordnung fuer den gleichzeitigen anschluss mehrerer tastkoepfe vom schaltenden typ an den messarm eines koordinatenmessgeraetes
CH672370A5 (de) * 1987-09-15 1989-11-15 Tesa Sa
DE3885274T2 (de) * 1988-07-01 1994-05-19 Metrol Co Kontaktfühler.
DE19543763B4 (de) * 1995-11-24 2005-07-21 Leitz Messtechnik Gmbh Verfahren zur automatischen Erkennung von verschiedenen Sensoren bei Koordinatenmeßgeräten sowie Vorrichtungen zur Durchführung des Verfahrens

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1184972B (de) * 1962-07-13 1965-01-07 Hommelwerke Ges Mit Beschraenk Laengenmesstaster
US3628052A (en) * 1970-01-26 1971-12-14 Burroughs Corp Keyboard controlled circuitry with electronic interlock
US3750295A (en) * 1971-07-22 1973-08-07 Werkzeugmasch Veb Measuring machine
GB1445977A (en) * 1972-09-21 1976-08-11 Rolls Royce Probes
US3819047A (en) * 1973-06-05 1974-06-25 Owens Illinois Inc Bottle gauging apparatus and method
DE2551361A1 (de) * 1974-11-18 1976-06-24 Dea Digital Electronic Allseitig wirkender elektronischer tastkopf fuer messmaschinen

Also Published As

Publication number Publication date
DE2725996A1 (de) 1977-12-22
US4159429A (en) 1979-06-26
CH617113A5 (de) 1980-05-14
GB1580232A (en) 1980-11-26
JPS5313451A (en) 1978-02-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE2725996C2 (de) Elektronische Fühlereinheit für Meßmaschinen
DE1932010C3 (de) Vorrichtung zum Prüfen von Werkstücken
EP0470118B1 (de) Prüfvorrichtung zum prüfen von elektrischen oder elektronischen prüflingen
DE3422103C2 (de)
DE3317299C2 (de)
DE69909262T2 (de) Messkopf zum Kontrollieren linearer Dimensionen mit einem flachen Dämpfungselement
DE3229992C2 (de) Mehrkoordinaten-Tastkopf
DE69617148T3 (de) Fühlerprobe
DE2347633A1 (de) Tastkopf
DE102009008722A1 (de) Koordinatenmessgerät zum Bestimmen von Raumkoordinaten an einem Messobjekt sowie ein Tastkopfsystem für ein solches Koordinatenmessgerät
DE3125737A1 (de) Werkstueck-messsonde
DE2754732A1 (de) Automatisches messverfahren fuer eine numerisch gesteuerte werkzeugmaschine und vorrichtung zur durchfuehrung dieses verfahrens
DE3916864A1 (de) Messeinrichtung zur messung eines drehwinkels
EP0163070A2 (de) Zahnmesstaster
DE1439896B2 (de) Magnet zur Erzeugung eines homogenen Magnetfeldes
DE2551361A1 (de) Allseitig wirkender elektronischer tastkopf fuer messmaschinen
WO2020030206A1 (de) Taktiles erkennen einer position von komponenten eines fahrzeugbauteils
DE3621710A1 (de) Vorrichtung zur feststellung des vorhandenseins eines teils in einer aufnahmeaussparung
DE69532259T2 (de) Schaltung für eine Triggersonde
DE1516941A1 (de) Verfahren und Anordnung zum Erfassen der Kenndaten von elektrischen Bauelementen
DE2104289A1 (de) Elektrische Schaltungsanordnung zur Speicherung eines positiven und eines negativen Endwertes von analogen Eingangs Signalen zur Erzeugung eines elektrischen Prazisionsausgangssignals
DE1601363C3 (de) Kraftstoffeinspritzanlage für Brennkraftmaschinen mit magnetisch gesteuerten Funktionsgebern
DE1449627C3 (de) Kontrolleinrichtung für Ausgabevorrichtungen datenverarbeitender Maschinen
DE1438234C (de) Anordnung zur Überwachung des Fheßens von Strömen in Stromkreisen
DE1439896C (de) Magnet zur Erzeugung eines homogenen Magnetfeldes

Legal Events

Date Code Title Description
8110 Request for examination paragraph 44
D2 Grant after examination
8363 Opposition against the patent
8339 Ceased/non-payment of the annual fee