DE2708662A1 - Barren-greifvorrichtung - Google Patents
Barren-greifvorrichtungInfo
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- C23C14/24—Vacuum evaporation
- C23C14/246—Replenishment of source material
Description
ΡΑΤ.2ΜΤΛ M VVA LTE
SCHIFF v. FÜNER STREHL SCHÜBEL-HOPF EB
MARIAHILFPLATZ 2 Λ 3. MÖNCHEN SO
POSTADRESSE: POSTFACH 95Ο16Ο. Ο-8000 MÖNCHEN SS
DIPL. CHCM. DR. URSULA (CHOML-MOW
DIPL. INS. DICTCR CBWNOHAUS
28. Februar 1977
Die Erfindung bezieht sich auf eine Barren-Greifvorrichtung. In der US-Patentanmeldung 574 300, eingereicht am 5. Mai 1975,
ist eine Dampfabscheidungsvorrichtung beschrieben. Aus der US-PS 3 619 840 ist eine Verdampfungsquelle zur Verwendung bei
Dampfabscheidungsvorrlchtungen bekannt. In der.Verdampfungsquelle ist eine Barren-Greifvorrichtung vorgesehen, die verhindern soll, daß ein Barren aus der Verdampfungsquelle herausfällt, wenn diese mit einem neuen Barren beschickt wird. Bei
der in der älteren US-Patentanmeldung beschriebenen Dampfabscheidungsvorrichtung ist es höchst wünschenswert, sie zur
Erhöhung ihrer Kapazität so kontinuierlich wie möglich zu betreiben. Beim kontinuierlichen Betrieb einer solchen Vorrichtung werden die bisher verwendeten Barrengreifer mit dem verwendeten Beachichtungsmaterial versetzt oder verstopft, was
zu einer erhöhten Abnutzung der Greifvorrichtung führt, so daß diese nach kurzer Zeit nicht mehr zufriedenstellend arbeiten kann. Es wurde eine Anzahl unterschiedlicher Arten von
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Greifvorrichtungen verwendet, sie haben jedoch sämtlich den Nachteil einer zu starken Abnutzung und fallen demzufolge frühzeitig aus. Dies ist äußerst nachteilig, weil
bei einem solchen Ausfall die gesamte automatische Dampfabscheidungsvorrichtung stillgesetzt werden muß, um die
Barren-Greif vorrichtung instand zu setzen. Außerdem fällt bei den bisher verwendeten Barren-Greifvorrichtungen von
den Barren abblätterndes oder abgeschlagenes Material in die Barren-Greifvorrichtung und verhindert deren ordnungs-s
gemäßen Betrieb. Es besteht daher ein Bedarf an einer Barren-Greifvorrichtung, mit der diese und andere Nachteile bekannter Barren-Greifvorrichtungen vermieden wer-
Die erfindungsgemäße Barren-Greifvorrichtung zum Greifen eines Haterialbarrens bat eine im wesentlichen zylindrische Form und enthält eine Basis mit einer oberen, nach
jTW|on und unten geneigten Oberfläche und einer durch die
geneigte Oberfläche verlaufenden zylindrischen öffnung, die durch eine zylindrische Oberfläche begrenzt wird.
Die Basis trägt erste und zweite, in Abständen voneinander angeordnete Paare in Abständen voneinander angeordneter Stifte, die von der geneigten Oberfläche nach oben
ragen· Zwischen den ersten und zweiten Stiftpaaren ist eine Kugel angeordnet, die von der geneigten Oberfläche
nach oben und zwischen den ersten und zweiten Stiftpaaren nach innen und außen beweglich ist. Die ersten und
zweiten Stiftpaare sind zueinander weisend derart angeordnet, daß das erste Paar weiter von der zylindrischen
Oberfläche entfernt; ist als das zweite Stiftpaar. Das erste Stiftpaar 1st seitwärts und nach oben gerichtet.
Die Größe der Kugel und der Abstand zwischen den Stiften des zweiten Stiftpaares sind so bemessen, daß,
wenn die Kugel auf der geneigten Oberfläche ruht, die innerste umfangsoberfläche der Kugel in den Bereich
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ragt, der durch eine imaginäre Zylinderfläche begrenzt wird, die in die erste Zylinderfläche fällt und über
diese hinausragt. Der Abstand zwischen dem ersten Stiftpaar ist so benessen, daß, wenn sich ein Barren in der
öffnung befindet, die Kugel auf dem Barren aufliegt und das erste Stiftpaar berührt bzw. mit diesem in Eingriff
steht. Ein in der öffnung befindlicher Barren ist durch die öffnung frei nach oben beweglich, wird jedoch an
einer Abwärtsbewegung durch die öffnung hindurch gehindert, und zwar durch die am Barren unter Reibung anliegende Kugel. Hierdurch wird eine merkliche Abwärtsbewegung des Barrens verhindert.
Die erfindungsgemäße Barren-Greifvorrichtung gestattet
es, den Barren durch die Öffnung nach oben vorzuschieben, verhindert jedoch eine Abwärtsbewegung desselben, so daß
die Greifvorrichtung und damit die Dampfabscheidungsvorrichtung für lange Zeit ohne Schwierigkeiten betrieben
werden können, und zwar unter schwierigen Bedingungen. Weiter kann die erfindungsgemäße Barren-Greifvorrichtung
einfach und leicht gewartet und repariert werden. Sie ist dartiberhinaus einfach aufgebaut und enthält wenig
Teile. Sie eignet sich besonders zur Verwendung bei Beschichtungs- oder Auftragmaschinen.
Anhand der in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispiele wird die Erfindung näher erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 den Querschnitt einer erfindungsgemäßen Barren-Greifvorrichtung, die in einer Spindelanordnung
zur Verwendung in einer Vakuumabscheidungsvorrichtung befestigt ist,
Fig. 2 eine vergrößerte Vorderansicht der Barren-Greif
vorrichtung der Fig. 1, -
Fig. 3 die Draufsicht auf die Barren-Greif vorrichtung der Fig. 2,
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Flg. 4 die Draufsicht einer zweiten Ausführungsform
der erfindungsgemäßen Barren-Greifvorrichtung und
Fig. 5 den Querschnitt 5-5 der Fig. 4.
Die erfindungsgemäße Barren-Greifvorrichtung 10 (Fig. 1)
ist in einer Spindelanordnung 11 der in der US-PS
3 619 840 beschriebenen Art befestigt. Wie dort be
schrieben, 1st die Spindelanordnung Teil einer Verdampfungsquelle,
die in einer Dampfabseheidungsvor-
richtung der in der älteren US-Patentanmeldung 574 beschriebenen Art verwendet wird. Gemäß der US-PS
3 619 840 ist eine Einrichtung zum kontinuierlichen Vorschieben eines Barrens durch die Barren-Greifvor-
richtung und durch die Spindelanordnung vorgesehen, um die Verdampfungsquelle mit Material zu versorgen. Soll
ein neuer Barren in die Verdampfungsquelle eingeführt werden, so wird die Barren-Greif vorrichtung dazu ver
wendet, den bereits in der Spindelanordnung befindlichen Barren am Herausfallen aus derselben zu hindern.
Gemäß der TJS-PS 3 6iS .040 enthält die Spindelanordnung
11 eine von einer Nabe 16 gelagerte Spindel 14. Die
Nabe 16 ist mittels eines Lagers 20 in einem unteren Ring 17 gelagert. Das Lager 20 ist an einem auf einem
Gehäuse 19 befestigten Ring' 18 befestigt. Das Gehäuse enthält nicht gezeigte Einrichtungen zum Vorschieben
des Barrens 13 nach oben durch die Spindelanordnung 11,
wie in der US-PS 3 619 840 beschrieben.
Wie auch in den Fig. 2 und 3 gezeigt, besteht die Barren-
Greifvorrichtung 10 aus einer Basis 26 mit insgesamt zylindrischer Form, die mit einer zentralen Bohrung
versehen ist. Die Bohrung 27 ist durch eine zylindrische Oberfläche 28 begrenzt. Die obere und die untere Ober-
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fläche 29 bzw. 31 der Basis 26 verlaufen unter rechten
Winkeln zur zylindrischen Oberfläche 28. Zusätzlich ist die Basis 26 mit einer oberen und einer unteren
geneigten Oberfläche 32 bzw. 33 versehen. Die obere geneigte Oberfläche 32 ist nach innen und unten geneigt,
während die untere Oberfläche 33 nach innen und oben geneigt ist.
Die Basis 26 trägt mehrere erste Paare 36 in Abständen
voneinander angeordneter Stifte 37 und 38. Zusätzlich trägt die Basis 26 mehrere zweite Paare 39 in
Abständen angeordneter Stifte 41 und 42. Die ersten und zweiten Stiftpaare 36 bzw. 39 sind so angeordnet,
daß sie Gruppen 43 von Stiften bilden, wobei ein erstes und ein zweites Paar eine Stiftgruppe 43 darstellt.
Die ersten und zweiten Paare jeder Gruppe sind in einem Abstand voneinander angeordnet, wobei
das erste Paar jeder Gruppe in einem größeren Abstand von der zylindrischen Oberfläche 28 angeordnet ist
als das zweite Paar jeder Gruppe.
Die Stifte 37, 38 und 41, 42 sind auf der Bas_i in
geeigneter Weise befestigt. Beispielsweise können die Stifte mittels eines Reibungssitzes in in der Basis
vorgesehenen, nicht gezeigten Löchern befestigt sein. Wie aus der Zeichnung ersichtlich, erstrecken sich
die Stifte 37 und 38 der ersten Stiftpaare 36 von der oberen ebenen Oberfläche 29 nach oben und zur Seite;
sie bilden zwischen sich eine insgesamt V-förmige Ausnehmung 44. Die oberen Enden der Stifte 37 und 38
sind von einem Haltering 46 gehalten, der in einer zur oberen Oberfläche 29 parallelen Ebene liegt. Die
Stifte 41 und 42 ragen von der oberen geneigten Oberfläche 32 nach oben; sie erstrecken sich insgesamt
in vertikaler Richtung. Die Stifte 41 und 42 ragen
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um einen Abstand nach oben, der nur etwa die Hälfte der
Strecke beträgt, um die die Stifte 37 und 38 nach oben ragen.
Zwischen jeder Gruppe von Stiften ist eine Kugel 47 angeordnet. Die Kugel 47 und der Abstand zwischen der
zweiten Gruppe von Stiften 41 und 42 sind so bemessen, daß, wenn die Kugel auf der nach oben geneigten Oberfläche
ruht, die innere Umfangsoberflache der Kugel 47 in einen Bereich ragt, der durch eine imaginäre Zylinderflache
begrenzt wird, die mit der ersten Zylinderfläche koinzident ist und von derselben wegragt. Wie
ersichtlich, ist der Abstand zwischen den oberen Enden der Stifte 41 und 42 und der Oberseite des Ringes 46
so bemessen, daß die Kugeln 47 zwischen den ersten und zweiten Gruppen von Stiften jeder Gruppe nach unten
eingeführt werden können. In der Basis 26 sind mehrere, insgesamt in vertikaler Richtung verlaufende Kerben
oder Schlitze 48 ausgeführt, die in der zylindrischen Oberfläche 28 münden. Wie ersichtlich, ist die Breite
der Schlitze 48 etwas kleiner als der Abstand zwischen den zweiten Paaren 39 von Stiften 41 und 42; die sind
zwischen den Stiften 41 und 42 so angeordnet, daß der Schlitz 48 insgesamt unterhalb der mit diesen Stiften
versehenen Kugeln liegt, aber eine Größe hat, die es nicht gestattet, daß die Kugel durch denselben hindurchfällt.
In der Basis 26 sind mehrere Inbusschrauben 49 vorgesehen,
die durch die Basis hindurch in die Schlitze 48 verlaufen, und zwar unter rechten Winkeln zur zylindrischen
Oberfläche 28. Die Inbusschrauben sind durch die Schlitze 48 zugänglich und können durch die Basis
26 so vorgeschoben werden, daß sie in einer ringförmigen Ausnehmung 51 im inneren unteren Ende der Spindel
14 sitzen.
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Y/ie ersichtlich, kann die Barren-Greif vorrichtung 10 leicht in das untere Ende der Spindelanordnung eingeführt
v/erden, indem sie, wie gezeigt, lediglich in die Spindelanordnung eingeführt wird und darauf die Schrauben
49 in die in der Spindel vorgesehene ringförmige Ausnehmung 51 vorgeschraubt werden.
Im folgenden seien Arbeitsweise und Verwendung der erfindungsgemäßen
Barren-GreifVorrichtung erläutert. Es sei angenommen, daß die Barren-Greifvorrichtung 10 in
der Spindelanordnung 11 befestigt wurde. Weiter sei ein Barren 13 durch die Barren-Greifvorrichtung 10 und durch
die Spindelanordnung 11 durch die im Gehäuse 19 vorgesehene Vorschubeinrichtung vorgeschoben. Ferner sei
angenommen, daß ein weiterer Barren in Position gebracht werden soll, so daß er durch die Barren-Greifvorrichtung
10 vorwärts bewegt werden kann. In diesem Falle wird die Einrichtung zum Vorschieben des Barrens
rückgezogen, um den Barren 13 freizugeben. Das bedeutet, daß der Barren 13 durch die Schwerkraft nach unten
gezogen wird und unter Reibung an den Kugeln 47 anliegt, die ihrerseits unter Reibung an dsn Stiften 3? and 38
anliegen, die V-förmig angeordnet sind und den Barren zwischen den Kugeln 47 festklemmen; hierdurch wird verhindert,
daß der Barren 13 nach unten in das Gehäuse rutscht.
Die Vorrichtung ist so aufgebaut, daß der Barren durch die Barren-Greifvorrichtung frei nach oben vorgeschoben
werden kann, weil, während der Barren 13 nach oben bewegt wird, die Kugeln 47 ebenfalls in den von den Stiften
37 und 38 gebildeten V-förmigen Bahnen nach oben bewegt werden, so daß eine freie Bewegung des Barrens
in der Spindelanordnung nach oben möglich ist.
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Λ*
Es hat sich gezeigt, daß die erfindungsgemäße Barren-Greifvorrichtung
sehr leistungsfähig ist. Die Kugeln behindern die Bewegung des Barrens in Richtung nach
oben wenig oder gar nicht. Wird aber die nach oben gerichtete Kraft entfernt, so würde der Barren dazu neigen,
-herabzufallen. Auch die Kugeln folgen dabei dem Barren und fallen in eine Keilstellung zwischen den
hinteren oder ersten, die V-förmigen Aussparungen 44 bildenden Stiften. Hierdurch wird der Barren in einer
Stellung zum Nachfüllen eines weiteren Barrens in die Verdampfungsquelle gehalten.
Durch Verwendung mehrerer Kugeln richtet die Barren-Greifvorrichtung
den Barren selbsttätig aus. Die erfindungsgemäße Barren-Greif vorrichtung ermöglicht es
weiter, Barren unterschiedlicher Größe zu verwenden.
Wie oben erläutert, arbeitet die erfindungsgemäße Barren-Greifvorrichtung
auch in nachteiliger Umgebung zufriedenstellend, beispielsweise unter hohen Temperaturen
und wenn sie den BeSchichtungsdämpfen und dergleichen ausgesetzt ist.
Da die erfindungsgemäße Barren-Greifvorrichtung nur sehr wenige Teile enthält, kann auch das Beschichtungsmaterial
nur auf sehr wenigen Teilen abgelagert werden. Auch wenn Beschichtungsmaterial auf den Teilen abgelagert
wird, beeinflußt die Beschichtung den Betrieb nicht nachteilig; auch wird hierdurch die Lebensdauer
der Barren-Greifvorrichtung nicht vermindert. Zusätzlich wird durch die Schlitze 48 unmittelbar unterhalb der
Kugeln 47 gewährleistet, daß sich diese frei bewegen können. Somit fällt jegliches Material, das sich unterhalb
der Kugeln 47 ansammeln könnte, durch die Einschnitte 48 unmittelbar unter de Kugeln nach unten.
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Die obere geneigte Oberfläche gewährleistet, daß die Kugel sich unter dem Einfluß ihres Gewichtes nach
innen zu den zweiten oder vorderen Stiftpaaren bewegt.
Es ist festgestellt worden, daß die erfindungsgemäße Barren-Greifvorrichtung ohne Wartung und Reparaturen
langzeitig verwendet werden kann. Dies ist besonders vorteilhaft bei kontinuierlich arbeitenden Beschichtungsvorrichtungen
der in der US-Patentanmeldung 574 300 beschriebenen Art, die kontinuierlich arbeiten
sollen.
Das in den Fig. 4 und 5 gezeigte zweite Ausftihrungsbeispiel der erfindungsgemäßen Barren-Greifvorrichtung
ähnelt dem der Fig. 2 und 3 mit der Ausnahme, daß der Haltering 46 weggelassen und statt vier in gleichen
Abständen rings um die Basis angeordneten Stiftgruppen drei Stiftgruppen vorgesehen sind. Gemäß Fig. 4 und 5
ist die Barren-Greifvorrichtung ansonsten im wesentlichen identisch. Es hat sich gezeigt, daß die die ersten
Stiftpaare bildenden Stifte 37 und 38 selbst ohne den Haltering 46 ausreichend steif sind. Zusätzlich wird
durch das Weglassen des Halteringes 46 ein zusätzliches Teil eingespart, das während des Betriebs der Dampf abscheidungsvorrichtung
mit Material beschichtet werden kann.
Die In den Fig. 2, 3 und 4, 5 gezeigten Barren-Greifvorrichtungen
können aus beliebigem geeignetem Material hergestellt werden. Vorzugsweise werden die Basis 26,
die Stifte 37, 38, 41 und 42 und die Kugeln 47 aus einem Material wie Stahl hergestellt.
Die Barren-Greifvorrichtung der Fig. 4 arbeitet im wesentlichen identisch wie die der Fig. 1, 2 und 3.
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Wie erwähnt, sind bei dem Ausführungsbeispiel der Fig.
2 und 3 vier und bei dem Ausführungsbeispiel der Fig. 4 und 5 nur drei Gruppen von Stiften vorgesehen. Gewünsch-
tenfalls kann auch eine kleinere Anzahl von Stiftgruppen
vorgesehen werden; selbst eine einzige Stiftgruppe würde zu den gewünschten Ergebnissen führen.
Wie aus der vorstehenden Beschreibung ersichtlich, ist die erfindungsgemäße Barren-Greif vorrichtung verhältnismäßig
einfach und billig aufgebaut und hat vielerlei Vorteile. Sie bietet keinerlei Schwierigkeiten und ist
praktisch wartungsfrei. Sie ist auch in aggressiver Um gebung langzeitig einsetzbar. Sie kann wirtschaftlich
hergestellt und leicht in neue und bereits vorhandene Spindelanordnungen eingebaut werden.
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Le e rs e i t e
Claims (8)
1. JBftrren-öreifvorrichtung zum (»reifen eines Barrens aus
Material mit im wesentlichen zylindrischer Oberfläche, gekennzeichnet durch eine Basis (26)
nit einer oberen nach innen und unten geneigten Oberfläche (32) und einer durch eine zylindrische Oberfläche (28) begrenzte zylindrische Oberfläche (28),
die durch die geneigte Oberfläche hindurch verläuft, durch erste und zweite in Abständen voneinander angeordnete Paare (36, 39) von in Abständen voneinander
angeordneten Stiften (37, 38 - 41, 42), die von der Basis getragen werden, von dieser nach oben ragen und
eine Gruppe (43) von Stiften bilden, durch eine in der Stiftgruppe zwischen den ersten und zuraten Γ-tiftpaaren angeordnete Kugel (47), die von einer geneigten Oberfläche nach oben und zwischen den ersten und
zweiten Stiftpaaren nach innen und außen beweglich ist, wobei die ersten und zweiten Stiftpaare zueinander weisend angeordnet sind und das erste Paar von
der zylindrischen Oberfläche weiter entfernt ist als das zweite Paar» wobei die Seiten der Kugel und der
Abstand zwischen den Stiften des zweiten Paares so gewählt ist, daß, wenn die Kugel auf der oberen, geneigten Oberfläche aufliegt, die innerste Umfangs-
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ORIGINAL INSPECTED
oberfläche der Kugel in einen Bereich ragt, der durch eine zylindrische Oberfläche begrenzt ist, die mit der
ersten zylindrischen Oberfläche zusammenfällt, und wobei der Abstand zwischen dem ersten Stiftpaar so
bemessen ist, daß, wenn sich ein Barren in der Barren-Greifvorrichtung befindet, die Kugel am Barren und am
ersten Stiftpaar anliegt, so daß der Barren durch die öffnung in der Barren-Greifvorrichtung 2 nach oben
beweglich ist, jedoch an einer Abwärtsbewegung in der Barren-Greifvorrichtung durch die Kugel gehindert wird,
die am Barren anliegt, und so daß das erste Stiftpaar eine wesentliche Abwärtsbewegung des Barrens verhindert,
2. Barren-Greif vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet , daß die Stifte (37» 38)
des ersten Paares zusammen eine im wesentlichen V-förmige Ausnehmung (44) bilden.
3. Barren-Greif vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet , daß in der Basis (26)
ein nach unten verlaufender Schlitz (48) ausgeführt ist, der von der Kugel (47) zwischen der Gruppe (43)
von Stiften (37, 38-41, 42) nach unten verläuft.
4. Barren-Greif vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die mehreren
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- ιό -
Gruppen (43) von Stiften (37, 38-41, 42) mit einer in jeder der Gruppen angeordneten Kugel (47) versehen
sind.
5. Barren-Greifvorrichtung nach Anspruch 4, dadurch
gekennzeichnet , daß drei Gruppen (43) von Stiften (37, 38 - 41, 42) mit einer Kugel (47) in
jeder Gruppe vorgesehen sind.
6. Barren-Greifvorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet , daß vier Gruppen (43)
von Stiften (37, 38-41, 42) mit einer Kugel (47) in jeder Gruppe vorgesehen sind.
7. Barren-Greifvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet , daß ein Haltering (46)
zum Halten der oberen Enden der ersten Paare (36) von Stiften (37, 38) vorgesehen ist.
8. BarrenAGreifvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet , daß die zweiten Paare
(39) von Stiften (41, 42) in insgesamt vertikaler Richtung angeordnet sind, und daß die Länge der
Stifte der zweiten Stiftpaare wesentlich kleiner ist als die der ersten Stiftpaare.
DE/mo
709837/0700
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US05/662,738 US4027093A (en) | 1976-03-01 | 1976-03-01 | Ingot gripper assembly |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2708662A1 true DE2708662A1 (de) | 1977-09-15 |
DE2708662C2 DE2708662C2 (de) | 1987-02-26 |
Family
ID=24658993
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19772708662 Granted DE2708662A1 (de) | 1976-03-01 | 1977-02-28 | Barren-greifvorrichtung |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4027093A (de) |
CA (1) | CA1090557A (de) |
CH (1) | CH620387A5 (de) |
DE (1) | DE2708662A1 (de) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5905753A (en) * | 1997-06-23 | 1999-05-18 | The Boc Group, Inc. | Free-standing rotational rod-fed source |
CN106868457B (zh) * | 2017-03-22 | 2019-03-12 | 合肥鑫晟光电科技有限公司 | 一种蒸镀组件及蒸镀设备 |
CN108163558A (zh) * | 2017-12-27 | 2018-06-15 | 株洲火炬工业炉有限责任公司 | 一种金属锭夹具 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3619840A (en) * | 1969-07-10 | 1971-11-16 | Optical Coating Laboratory Inc | Electron beam evaporation source |
US3666868A (en) * | 1970-01-09 | 1972-05-30 | Knapsack Ag | Safety device for preventing the return movement of electrodes in electric furnaces or similar apparatuses |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3215974A (en) * | 1963-01-22 | 1965-11-02 | Consarc Corp | Electrode stub clamp |
US3293347A (en) * | 1965-10-24 | 1966-12-20 | Consarc Corp | Electrode stub clamp |
-
1976
- 1976-03-01 US US05/662,738 patent/US4027093A/en not_active Expired - Lifetime
-
1977
- 1977-02-28 CA CA272,788A patent/CA1090557A/en not_active Expired
- 1977-02-28 DE DE19772708662 patent/DE2708662A1/de active Granted
- 1977-03-01 CH CH256177A patent/CH620387A5/de not_active IP Right Cessation
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3619840A (en) * | 1969-07-10 | 1971-11-16 | Optical Coating Laboratory Inc | Electron beam evaporation source |
US3666868A (en) * | 1970-01-09 | 1972-05-30 | Knapsack Ag | Safety device for preventing the return movement of electrodes in electric furnaces or similar apparatuses |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CH620387A5 (de) | 1980-11-28 |
CA1090557A (en) | 1980-12-02 |
US4027093A (en) | 1977-05-31 |
DE2708662C2 (de) | 1987-02-26 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8128 | New person/name/address of the agent |
Representative=s name: VON FUENER, A., DIPL.-CHEM. DR.RER.NAT. EBBINGHAUS |
|
8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |