DE2705092A1 - Manipuliereinrichtung - Google Patents

Manipuliereinrichtung

Info

Publication number
DE2705092A1
DE2705092A1 DE19772705092 DE2705092A DE2705092A1 DE 2705092 A1 DE2705092 A1 DE 2705092A1 DE 19772705092 DE19772705092 DE 19772705092 DE 2705092 A DE2705092 A DE 2705092A DE 2705092 A1 DE2705092 A1 DE 2705092A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
image support
actuator
plane
microscope
image carrier
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE19772705092
Other languages
German (de)
English (en)
Inventor
Karl-Werner Dr Gommel
Uwe Michl
@@ Radtke Hans
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Jenoptik AG
Original Assignee
Jenoptik Jena GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Jenoptik Jena GmbH filed Critical Jenoptik Jena GmbH
Publication of DE2705092A1 publication Critical patent/DE2705092A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00—Microscopes
    • G02B21/24—Base structure
    • G02B21/26—Stages; Adjusting means therefor
    • G—PHYSICS
    • G12—INSTRUMENT DETAILS
    • G12B—CONSTRUCTIONAL DETAILS OF INSTRUMENTS, OR COMPARABLE DETAILS OF OTHER APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G12B5/00—Adjusting position or attitude, e.g. level, of instruments or other apparatus, or of parts thereof; Compensating for the effects of tilting or acceleration, e.g. for optical apparatus

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
  • Microscoopes, Condenser (AREA)
  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
DE19772705092 1976-04-12 1977-02-08 Manipuliereinrichtung Withdrawn DE2705092A1 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DD19231076A DD125892A1 (enExample) 1976-04-12 1976-04-12

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE2705092A1 true DE2705092A1 (de) 1977-11-10

Family

ID=5504209

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19772705092 Withdrawn DE2705092A1 (de) 1976-04-12 1977-02-08 Manipuliereinrichtung

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JPS5737127Y2 (enExample)
DD (1) DD125892A1 (enExample)
DE (1) DE2705092A1 (enExample)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0004036A3 (en) * 1978-03-10 1979-10-31 Siemens Aktiengesellschaft Berlin Und Munchen Planeness measuring device
EP0025122A1 (en) * 1979-08-13 1981-03-18 Alan C. Elgart A microscope stage
DE19910148A1 (de) * 1999-02-26 2000-09-14 Siemens Ag Vakuumschaltkammer mit ringförmigem Isolator

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0004036A3 (en) * 1978-03-10 1979-10-31 Siemens Aktiengesellschaft Berlin Und Munchen Planeness measuring device
EP0025122A1 (en) * 1979-08-13 1981-03-18 Alan C. Elgart A microscope stage
DE19910148A1 (de) * 1999-02-26 2000-09-14 Siemens Ag Vakuumschaltkammer mit ringförmigem Isolator
DE19910148C2 (de) * 1999-02-26 2001-03-22 Siemens Ag Vakuumschaltkammer mit ringförmigem Isolator

Also Published As

Publication number Publication date
DD125892A1 (enExample) 1977-06-01
JPS5737127Y2 (enExample) 1982-08-16
JPS52135834U (enExample) 1977-10-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69735016T2 (de) Lithographisches Gerät mit zwei Objekthaltern
DE102018109512A1 (de) Vorrichtung und Verfahren zum Montieren von Bauelementen auf einem Substrat
DE2817364A1 (de) Positioniervorrichtung und damit ausgeruestetes optisches projektionssystem
DE3640616A1 (de) Justiervorrichtung
DE2055360A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Ausnch ten und Loten mikrominiaturisierter Schal tungsplattchen
DE102019111580A1 (de) Verfahren zur Kalibrierung einer Vorrichtung für die Montage von Bauelementen
DE2817401A1 (de) Optische vorrichtung zum projizieren von motiven
DE102017106741A1 (de) Oberflächenmessgerät
DE1261120B (de) Verfahren und Vorrichtung zum gegenseitigen Justieren von Halbleiterscheiben gegen Masken
DE10233653A1 (de) Verfahren für die Kalibrierung und Ausrichtung von mehreren Mehrachsenbewegungsstufen für eine optische Ausrichtung auf eine Planar-Wellenleiter-Vorrichtung und ein Planar-Wellenleiter-System
DE2000503B2 (de) Vorrichtung zum feinausrichten von kleinen werkstuecken
DE3239829C2 (de) Einrichtung zum Projektionskopieren von Masken auf ein Werkstück
DE3586501T2 (de) Herstellung und evaluation einer ausrichtung mittels ausrichtzeichen.
DE2705092A1 (de) Manipuliereinrichtung
DE3142794A1 (de) Siebdruckverfahren und -vorrichtung
DE2113980C2 (de) Vorrichtung zum Ausrichten eines Werkstücks
DE3904863A1 (de) Flachbett-siebdruckmaschine zum bedrucken von elektrischen leiterplatten
DE2635356C2 (de) Rasterelektronenmikroskop zur Messung von Abständen zwischen Objektstrukturen
DD125892B1 (de) Hochgenaue Manipuliereinrichtung
EP1606981A2 (de) Verfahren und vorrichtung zum ausrichten von substrat und druckschablone beim lotpastendruck
EP1700169A1 (de) Direkte justierung in maskalignern
DE202016001967U1 (de) Computerprogrammgesteuerte Belichtungseinheit mit mehreren Belichtungsköpfen
DD147974B1 (de) Vorrichtung zur lagepositionierung eines objektes auf einen traeger
DD200820A1 (de) Photogrammetrisches entzerrungsgeraet und verfahren zur ermittlung der einstellwerte
DE1902782A1 (de) Fotorepetierkamera

Legal Events

Date Code Title Description
8139 Disposal/non-payment of the annual fee