DE2704015B2 - Verfahren zur Herstellung von dünnen Bändern oder Bandabschnitten aus Quarzglas - Google Patents

Verfahren zur Herstellung von dünnen Bändern oder Bandabschnitten aus Quarzglas

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DE2704015B2
DE2704015B2 DE19772704015 DE2704015A DE2704015B2 DE 2704015 B2 DE2704015 B2 DE 2704015B2 DE 19772704015 DE19772704015 DE 19772704015 DE 2704015 A DE2704015 A DE 2704015A DE 2704015 B2 DE2704015 B2 DE 2704015B2
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Richard 6369 Nidderau Meiss
Hans 6451 Neuberg Zahn
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Heraeus Quarzschmelze GmbH
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Heraeus Quarzschmelze GmbH
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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B23/00Re-forming shaped glass
    • C03B23/04Re-forming tubes or rods
    • C03B23/047Re-forming tubes or rods by drawing

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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
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  • Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)

Description

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Herstellung von dünnen Bändern der Bandabschnitten aus Quarzglas, bei denen des Verhältnis von Breite zu Dicke groß ist Bänder oder D ndabschnitte aus Quarzglas der vorstehend charakteristischen Art hat man bisher in der Weise hergestellt, daß man einen Quarzstab mit vorgegebenem Verhältnis von Breite zu Dicke nach dem in der Quarzglastechnik bekannten bei der Herstellung von Rohren aus Hohlzylindern zur Anwendung gelangenden Verhältnisziehverfahren fertigt. Es hat sich herausgestellt, daß nach dem Verhältnisziehverfahren Bänder oder Bandabschnittt gut herstellbar sind, bei denen das Verhältnis von Breite zu Dicke 5 :1 beträgt. Sobald aber dieses Verhältnis etwa 8 :1 erreicht, ergeben sich erhebliche Herstellungsschwierigkeiten, die unter anderem auf Querkontraktionen zurückzuführen sind, so daß sich am Band oder Bandabschnitt nicht mehr das am Stab vorgegebene, sondern ein kleineres Verhältnis einstellt. Eine entsprechende Vergrößerung des Verhältnisses von Breite zu Dicke am zu ziehenden Ausgangsstab stößt an wirtschaftliche Grenzen, weil ein solches Ausgangsmaterial nur mit erheblichem Aufwand herzustellen ist und damit hohe Kosten erfordert. Außerdem nehmen die nach, dem Verhältnisziehverfahren hergestellten Bänder oder Bandabschnitte bei so hohen Verhältniswerten eine gebogene Form an, so daß sie in den meisten Fällen ohne Nachbearbeitung überhaupt nicht verwendbar sind.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zu schaffen, das es ermöglicht, ebene Bänder
5 oder Bandabschnitte mit einem Verhältnis von Breite zu Dicke von mindestens 10:1 unter Vermeidung der vorgeschilderten Schwierigkeiten herzustellen.
Gelöst wird diese Aufgabe für ein Verfahren der eingangs charakterisierten Art erfindungsgemäß da-
durch, daß zur Herstellung der Bänder oder Bandabschnitte mit einem Verhältnis von Breite zu Dicke von mindestens 10:1 ein Quarzglasrohr, dessen Wandstärke gleich der halben Dicke und dessen halber Umfang gleich der Breite des Bandes oder Bandabschnitte sind,
is in solch plastischem Zustand kontinuierlich durch ein federnd belastetes Formwerkzeug gezogen und dabei zusammengequetscht wird, wobei die zum Aneinanderliegen gebrachten Rohrinnenflächen miteinander nach Art einer Schweißverbindung verbunden werden, und daß von dem so erzeugten Halbzeug diskontinuierlich Bänder oder Bandabschnitte vorgegebener Länge abgetrennt werden. Dabei hat es sich als vorteilhaft erwiesen, die erfindungsgemäße Herstellung von dünnen Bändern oder Bandabschnitten unmittelbar an die Herstellung des Quarzglasrohres anzuschließen, das heißt, daß das Rohr sofort nach seiner Bildung im Rohrofen, solange es noch genügend plastisch ist, zusammengequetscht und die noch vorhandene Viskosität des Quarzglases zum Verschweißen der Rohrinnenflächen miteinander ausgenutzt wird. Hierdurch wird erreicht, daß die Herstellkosten der Bänder oder Bandabschnitte gering gehalten werden können. Die Bänder oder Bandabschnitte werden in einem weiteren Arbeitsgang zu Scheibchen zerschnitten, die beispielsweise als Objektträger oder auch als Abdeckscheiben verwendet werden. Nach dem erfindungsgemäßen Verfahren ist es gelungen, ebene Bänder und Bandabschnitte mit einer Breite von 12,7 mm, einer Dicke von 0,8 mm, einer Breite von 30 min und einer Dicke von
♦o 1,5 mm herzustellen, was nach dem eingangs geschilderten, bisher angewendeten Verhältnisziehverfahren nicht möglich war.
Anhand der schematischen Darstellung in der Figur wird eine vorteilhafte Ausführungsweise des erfin-
*5 dungsgemäßen Verfahrens nachstehend beschrieben.
In einen Rohrzugofen 1 wird kontinuierlich ein Quarzglashohlzylinder 2 in Pfeilrichtung 3 vorgeschoben. Dieser Hohlzylinder wird in dem Ofen 1 zu einem Rohr 4 mit Abmessungen, die dem zu formenden entsprechen, gezogen, das noch in plastischem Zustand kontinuierlich durch das unter Druck der Feder 5 stehende Formwerkzeug 6 gezogen und dabei zusammengequetscht wird. Die zum Aneinanderliegen gebrachten Innenflächen des Rohres 4 werden dabei nach Art einer Schweißverbindung miteinander verbunden.
Zum Schneiden des das Formwerkzeug 6 verlassenden Bandes 7 in Bandabschnitte vorgegebener Länge dient die Schneidvorrichtung 8 mit Schneidscheibe 9.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims (3)

Patentansprüche:
1. Verfahren zur Herstellung von dünnen Bändern oder Bandabschnitten aus Quarzglas, bei denen das Verhältnis von Breite zu Dicke groß ist, dadurch gekennzeichnet, daß zur Herstellung der Bäder oder Bandabschnitte mit einem Verhältnis von Breite zu Dicke von mindestens 10:1 ein Quarzglasrohr, dessen Wandstärke gieich der halben Dicke und dessen halber Umfang gleich der Breite des Bandes oder der Bandabschnitte sind, in solch plastischem Zustand kontinuierlich durch ein federnd belastetes Formwerkzeug gezogen und dabei zusammengequetscht wird, wobei die zum Aneinanderliegen gebrachten Rohrinnenflächen miteinander nach Art einer Schweißverbindung verbunden werden, und daß von dem so erzeugten Halbzeug diskontinuierlich Bänder oder Bandabschnitte vorgegebener Länge abgetrennt werden.
2. Verfabrsn nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Rohr sofort nach seiner Bildung im Rohrzugofen, solange es noch genügend plastisch ist, zusammengequetscht wird.
3. Verfahren nach den Ansprüchen 1 und/oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Bänder oder Bandabschnitte zu Scheibchen verschnitten werden.
DE19772704015 1977-02-01 1977-02-01 Verfahren zur Herstellung von dünnen Bändern oder Bandabschnitten aus Quarzglas Expired DE2704015C3 (de)

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DE2704015A1 DE2704015A1 (de) 1978-08-03
DE2704015B2 true DE2704015B2 (de) 1979-01-04
DE2704015C3 DE2704015C3 (de) 1979-08-30

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US6682859B2 (en) 1999-02-12 2004-01-27 Corning Incorporated Vacuum ultraviolet trasmitting silicon oxyfluoride lithography glass
US6783898B2 (en) 1999-02-12 2004-08-31 Corning Incorporated Projection lithography photomask blanks, preforms and method of making
US6782716B2 (en) 1999-02-12 2004-08-31 Corning Incorporated Vacuum ultraviolet transmitting silicon oxyfluoride lithography glass
US6319634B1 (en) 1999-03-12 2001-11-20 Corning Incorporated Projection lithography photomasks and methods of making
US6242136B1 (en) 1999-02-12 2001-06-05 Corning Incorporated Vacuum ultraviolet transmitting silicon oxyfluoride lithography glass
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DE2704015A1 (de) 1978-08-03
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