DE2657119A1 - Drucksensor fuer faseroptik - Google Patents

Drucksensor fuer faseroptik

Info

Publication number
DE2657119A1
DE2657119A1 DE19762657119 DE2657119A DE2657119A1 DE 2657119 A1 DE2657119 A1 DE 2657119A1 DE 19762657119 DE19762657119 DE 19762657119 DE 2657119 A DE2657119 A DE 2657119A DE 2657119 A1 DE2657119 A1 DE 2657119A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
pressure sensor
pressure
sensor according
optical fibers
fibers
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE19762657119
Other languages
English (en)
Other versions
DE2657119C2 (de
Inventor
William James Stewart
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Plessey Overseas Ltd
Original Assignee
Plessey Handel und Investments AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Plessey Handel und Investments AG filed Critical Plessey Handel und Investments AG
Publication of DE2657119A1 publication Critical patent/DE2657119A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE2657119C2 publication Critical patent/DE2657119C2/de
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0041Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
    • G01L9/0076Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using photoelectric means
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0001Transmitting or indicating the displacement of elastically deformable gauges by electric, electro-mechanical, magnetic or electro-magnetic means
    • G01L9/0007Transmitting or indicating the displacement of elastically deformable gauges by electric, electro-mechanical, magnetic or electro-magnetic means using photoelectric means

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Description

PATENTANWALT
DR.-ING. HANS LEYH 2657119
D-8 München 80,
Lucile-Grahn-Straße 38
Unser Zeichen: A 13 329
Lh/fi
PLESSEY HANDEL UND INVESTMENTS A.G. Gartenstrasse 2
CH-6300 Zug /Schweiz
Drucksensor für Faseroptik
Die Erfindung betrifft einen Drucksensor für Faseroptik und insbesondere Druckmeßsysteme für die Faseroptik.
Der erfindungsgemäße Drucksensor umfaßt hierzu wenigstens
zwei Abschnitte einer optischen Faser, von denen jeder an
einer Fläche eines einer Anzahl von im Abstand angeordneten Gliedern befestigt ist, von denen wenigstens eines elastisch ist, wobei die optischen Fasern in dem Raum zwischen diesen Gliedern angeordnet sind und zur Flucht gebracht werden
können, wenn wenigstens eines der Glieder durch Anlegen
eines äußeren Druckes an den Sensor abgelenkt bzw. abgebogen wird.
Beispielsweise Ausführungsformen der Erfindung werden nachfolgend anhand der Zeichnung erläutert, in der
709825/0337
Fig. 1a schematisch in Rückansicht einen Faseroptik-Drucksensor nach der Erfindung zeigt.
Fig. 1b zeigt schematisch im Schnitt längs der Linie X-X von Fig. 1 den erfindungsgemäßen Drucksensor.
Fig. 2 zeigt schematisch im Schnitt ein Faseroptik-Druckmeßsystem unter Einschluß des Sensors nach den Figuren 1a und 1b nach dem Anlegen einer äußeren Kraft.
Fig. 3 und 4 zeigen Arbeitscharakteristiken des Drucksensors.
Fig. 5 zeigt einen Faseroptik-Drucksensor zum Messen von Druckunterschieden.
Der Drucksensor nach den Figuren 1a und 1b umfaßt zwei Abschnitte optischer Fasern 1 und 2, von denen jede mit einem Metall überzogen sein kann. Die optischen Fasern 1 und 2 sind geeignet befestigt, beispielsweise durch ein Klebmittel oder durch Punktschweißen im Falle metallüberzogener Fasern, an separaten Flächen 3a und 4a eines Paares von elastischen Gliedern 3 und 4, die vorzugsweise scheibenförmig ausgebildet sind.
Die optische Faser 1 ist an der Fläche 3a des elastischen Gliedes 3 radial angebracht, so daß eine Stirnfläche 1a der Faser in der Mitte der Fläche 3a liegt. Qer andere nicht befestigte Teil der Faser 1 tritt praktisch rechtwinkelig am Umfang 3b des elastischen Gliedes 3 aus.
Die optische Faser 2 ist an der Fläche 4a des elastischen Gliedes 4 radial befestigt , so daß ihre Stirnfläche 2a in der Mitte der Fläche 4a liegt. Der übrige nicht befestigte
709825/0337
Teil der optischen Faser 2 tritt praktisch rechtwinkelig zum Umfang 4b des elastischen Gliedes 4 aus.
Die beiden elastischen Glieder 3 und 4 sind parallel im Abstand gehalten durch zwei feste stabile Abstandsstücke 5 und 6, so daß die Flächen 3a und 4a einander gegenüberliegen. Der Raum bzw. Abstand zwischen den Flächen 3a und 4a ist größer als die kombinierten Durchmesser der optischen Fasern 1 und 2.
Die Distanzstücke 5 und 6 sind übereinander an den Rändern oder Kanten der Flächen 3a und 4a angeordnet. Jedes Distanzstück hat die Form eines Ringes, der von einem Schlitz durchsetzt ist, welcher den Eintritt einer optischen Faser ins Innere des Sensors erlaubt. Das Distanzstück 5 hat somit einen Schlitz 5a, das den Eintritt der optischen Faser 1 ins Innere des Sensors ermöglicht und das Distanzstück 6 hat einen Schlitz 6a, das den Eintritt der optischen Faser 2 ins Innere des Sensors ermöglicht. Die Tiefe jedes Schlitzes 5a und 6a ist größer als der Durchmesser der optischen Fasern 1 und 2, weshalb sich diese frei in den Schlitzen 5a und 6a bewegen können. Die Schlitze 5a und 6a der Distanzstücke 5 und 6 sind so ausgerichtet, daß sie sich diametral gegenüberliegen, so daß die optischen Fasern 1 und 2 in derselben Ebene liegen und ihre Stirnflächen 1a und 2a im Abstand voneinander liegen und nicht miteinander fluchten.
Wenn, wie Fig. 2 zeigt, entsprechende Drücke P1 und P2 in den durch die Pfeile X und Y angezeigten Richtungen an die Flächen 3c und 4c der elastischen Glieder 3 und 4 gelegt werden bzw. auf diese Flächen einwirken, so werden die Flächen 3a und 4c konkav gebogen. Damit wird der Abstand zwischen den elastischen Gliedern 3 und 4 reduziert und wenn die Drücke P1 und P2 ausreichen, werden die Stirnflächen 1a und 2a der
709825/0337
optischen Fasern 1 und 2 ausgerichtet bzw. zum Fluchten gebracht .
Wenn nun gemäß Fig. 2 ein Lichtstrahl von einer Lichtquelle in die optische Faser 1 in Richtung des Pfeiles Z eingegeben wird, so breitet sich das Licht in Längsrichtung der optischen Faser aus, um an der Stirnfläche 1a auszutreten. Im Falle des Vorliegens eines äußeren Druckes, wie in Fig. 2 gezeigt ist, tritt das aus der Stirnfläche 1a austretende Licht infolge der Fluchtung der optischen Fasern 1 und 2 in die Stirnfläche 2a der optischen Faser 2 und damit in diese ein und es breitet sich in dieser in Richtung des Pfeiles Z' in Längsrichtung der Faser 2 aus, um an deren anderen Ende auszutreten. In Abwesenheit eines äußeren Druckes jedoch, wie die Figuren 1a und 1b zeigen, tritt das aus der Stirnfläche 1a austretende Licht nicht in die Faser 2 ein und breitet sich nicht in deren Längsrichtung aus, weil die beiden Fasern nicht in Flucht liegen. Jedes Licht, das in die Faser 2 eintritt wird durch einen Detektor 8 festgestellt und in einer bevorzugten Ausführungsform wird der Ausgang des Detektors 8 in einem Verstärker 9 verstärkt und der Ausgang des Verstärkers 9 wird zur Steuerung einer Anzeigeeinrichtung 10 benutzt.
Außer den in den Figuren 1b und 2 dargestellten Positionen bzw. Zuständen des Sensors sind auch weitere Zustände bzw. Positionen möglich, die Mittelwerte des Druckes darstellen bzw. entsprechen. Das Anlegen von äußeren Drücken P1 und P2 mit einem Zwischenwert an die elastischen Glieder 3 und 4 führt zu einer teilweisen Ausrichtung und Fluchtung der optischen Fasern 1 und 2. Die Menge an Licht, die in die optische Faser 2 eintritt und sich in ihrer Längsrichtung ausbreitet, wird dadurch reduziert. Die Lichtmenge, die
709825/0337
"f
aus der optischen Faser 2 in Richtung des Pfeiles Z' austritt ist somit in diesem Beispiel eine Funktion des Grades an Überlappung zwischen den optischen Fasern und damit eine Funktion der Größe der äußeren Drücke, die auf die elastischen Glieder 3 und 4 einwirken. Der Ausgang des Detektors 7 ist damit proportional zum Grad der Überlappung der Fasern und dies wird als Druck durch die Anzeigeeinrichtung 10 angezeigt.
Obgleich in der vorstehenden Beschreibung einer bevorzugten Ausfuhrungsform der Erfindung die optischen Fasern 1 und durch das Anlegen eines äußeren Druckes an beide elastische Glieder 3 und 4 in Flucht gebracht werden, können sie auch durch Anlegen eines äußeren Druckes an nur eines der elastischen Glieder ausgerichtet bzw. in Flucht gebracht werden.
Im Drucksensor nach den Figuren 1 und 2 können die beiden Distanzstücke 5 und 6 durch ein einziges Distanzstück ersetzt werden, das geeignete diametral gegenüberliegende Schlitze aufweist. Der Drucksensor nach den Figuren 1 und kann als Differenzdruckmesser verwendet werden, wenn z.B. ein Gas mit einem Druck P3 in den Raum zwischen den elastischen Gliedern 3 und 4 eingeführt wird. Wenn der Druck P1 gleich dem Druck P2 ist, mißt der Sensor den Differenzdruck (P1 - P3). Alternativ kann der Raum zwischen den elastischen Gliedern 3 und 4 unter einen bekannten Druck P4 gesetzt und verschlossen werden. Der Sensor mißt dann den Differenzdruck (P1 - P4).
Im Falle einer kreisförmigen metallischen Membran ist die Verschiebung (x) der Mitte der kreisförmigen Membran gegeben durch die Formel
- O,O12(1-O2) D4P 3
709825/0337
V7orin D der Durchmesser der Scheibe mit der Dicke t ist, die unter einem Druck P gebogen wird, während Y der Young-Modul und 0 das Paisons-Verhältnis bzw. die Paisons-Zahl für das verwendete Metall sind.
Eine.metallische Membran wird insbesondere dann gewählt wenn schwierige Bedingungen oder hohe Temperaturen vorliegen, beispielsweise bei der Messung von Drücken in modernen Turbo-Düsenmotoren.
Es ist möglich einen Schalter herzustellen mit einem Stufenfunktions-Ausgang, wie in Fig. 3 gezeigt oder mit einem Rampenfunktions-Ausgang, wie Fig. 4 zeigt. In Fig. stellt der Drucksensor keinen Lichtausgang fest bis ein Differenzdruck PA erreicht ist, worauf innerhalb einer relativ kleinen Änderung des Druckes der Lichtausgang bis zu einem Maximum zunimmt, womit eine vollständige Ausrichtung bzw. Flucht der Fasern angezeigt wird. Bei einer schnellen Druckänderung ist jedoch der Detektorausgang eine Stufenfunktion. Diese Funktion kann erhalten werden beispielsweise in Falle metallischer Membranen durch Wahl eines Materials mit relativ niedrigem Young-Modul oder Verwendung einer relativ dünnen Membran. Der Druck PA kann gewählt werden durch geeignete Wahl des Drucks innerhalb des Drucksensors bei Verwendung eines geschlossenen Sensors oder er kann bestimmt werden durch den Druck des Gases in dem Sensor in dem Fall, in welchem weiteres Gas in den Raum innerhalb des Drucksensors eingeführt wird.
Um eine Rampenfunktion in einem Drucksensor bei metallischen elastischen Gliedern zu erhalten, kann ein Material mit höherem Young-Modul oder mit größerer Dicke verwendet werden Durch geeignete Wahl des Abstandes zwischen den elastischen
709825/0337
Gliedern kann der Druck PA, bei dem der Sensor zu arbeiten beginnt, gewählt werden.
In einer alternativen Ausführungsform, wenn die Bedingungen weniger schwierig sind, können die Membranen aus einem flexiblen Material, z.B. einer Gummi-Verbindung hergestellt sein. Wiederum kann durch Wahl der Dicke der Membran eine effektive Stufenfunktion oder eine Rampenfunktion erzielt werden.
Wenn der Drucksensor zum Messen eines Differenzdruckes zwischen zwei Gasen verwendet werden soll, z.B. Abgasen die verschmutzt sind, ist ns erwünscht, einen direkten Kontakt zwischen den Gasen und den Enden der optischen Fasern zu verhindern. Jeder längere Kontakt würde dazu führen, daß die Faserenden verschmutzen und im Falle eines Rampertfunktions-Ausganges wäre die Druckanzeige ungenau. Im Falle einer Sprungfunktion kann der Ausgang zu niedrig werden, um gemessen zu werden.
Der Drucksensor nach Fig. 5 überwindet dieses Problem durch Isolierung der optischen Fasern gegenüber den Gasen. Wie Fig. 5 zeigt, enthält der Drucksensor 4 flexible und/öder elastische kreisförmige Membranen 11, 12, 13, 14, wobei optische Fasern 15, 16 an den Innenflächen der Membranen 12 und 13 in ähnlicher oder gleicher Weise befestigt sind, wie die Fasern 1 und 2 der Figuren 1 und 2. Die Membranen 11, 12, 13 und 14 werden durch ringförmige Distanzstücke 17, 18 und 19 im Abstand gehalten. Die Membranen sind an den ringförmigen Distanzstücken durch Klebstoff oder andere geeignete Mittel dicht angebracht. Vorzugsweise sind die Membranen 12 und 13 beträchtlich kleiner im Durchmesser als die Membranen 11 und 14, was durch ringförmige Distanzstücke 17 und 19 mit entsprechenden einwärts gerichteten Bunden
709825/0337
und 21 erreicht wird. Die Membranen 12 und 13 sind auf den inneren Rändern der Bunde 20 und 21 entsprechend dicht angebracht.
Es sind Einlasse 22 und 23 für Gas mit einem Druck P1 in den entsprechenden ringförmigen Distanzstücken 17, 18 vorgesehen. Es wird angenommen, daß ein Gas mit einem Druck P2 außerhalb des Drucksensors vorhanden ist, wie durch die Pfeile angezeigt. Der Innenraum 24 in dem Sensor kann mit einem inerten Gas unter einem Druck P3 gefüllt sein oder er kann evakuiert sein. Die Membranen 11 und 12 sowie 13 und 14 sind durch feste Bolzen 25, 26 entsprechend verbunden.
Wenn der Raum 24 evakuiert ist, so mißt der Sensor die Druckdifferenz (P1 - P2), da beide Drücke an gegenüberliegenden Seiten der Membranen 11 und 14 anliegen.
Wenn der Raum 24 unter einem niedrigen Druck P3 steht, kann der Sensor trotzdem wirksam benutzt werden, um den Differenzdruck (P1 - P2)zu messen, vorausgesetzt, daß das Verhältnis der Flächen der äußeren Membranen 11 und 14 zu dem der inneren Membranen 12 und 13 hoch ist. Dies ist relativ leicht erreichbar, da die Flächen proportional zum Quadrat der Durchmesser sind und die Bolzen 25, 26 einen Teil der Fläche aufnehmen.
Durch Veränderung des Druckes P3 und des Verhältnisses der Flächen der Membranen is·1: es möglich, den Druck PA (Fig. 3, 4) zu ändern, bei welchem der Differenzdruck-Sensor zu arbeiten beginnt.
In einer bevorzugten Ausführungsform sind die Membranen 11, 12, 13 und 14 metallisch, um schwierigen Bedingungen hinsichtlich Temperatur und Verschmutzung der Gase im Drucksensor nach Fig.
709825/0337
widerstehen. Ein geeignetes Metall ist rostfreier Stahl und bei Verwendung bei höheren Temperaturen haben die Fasern vorzugsweise einen metallischen überzug oder einen anderen überzug, der hohe Temperaturen aushält, im Gegensatz zu normalen Kunststoff-Überzügen, die Temperaturen von 400°C, wie sie z.B. in Abgasen von Motoren auftreten, nicht aushalten.
709825/0337

Claims (8)

  1. Patentansprüche
    Drucksensor für Faseroptik, gekennzeichnet durch wenigstens zwei Abschnitte optischer Fasern, von denen jeder an einer Fläche eines einer Anzahl von im Abstand angeordneten Gliedern befestigt ist, von denen wenigstens eines elastisch ist, ferner dadurch, daß die optischen Fasern in dem Raum zwischen diesen Gliedern angeordnet sind und in Flucht bringbar sind,wenn wenigstens eines der Glieder durch Anlegen eines äußeren Druckes gebogen wird.
  2. 2. Drucksensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die optischen Fasern mit einem metallischen Überzug versehen sine1.
  3. 3. Drucksensor nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet , daß die Glieder durch wenigstens ein Distanzstück im Abstand gehalten sind.
  4. 4. Drucksensor nach Anspruch 3, dadurch g e k e η η -
    ζ e i ch η et ,daß das Distanzstück mit wechselseitig gegenüberliegenden Öffnungen versehen ist, durch deren Tiefe der Abstand der optischen Fasern bestimmt ist.
  5. 5. Drucksensor nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch zwei im Abstand angeordnete elastische Glieder, die in Form metallischer Membranen ausgebildet sind.
  6. 6. Drucksensor nach Anspruch 1 , gekennzeichnet durch eine Lichtquelle, die mit einer ersten der Fasern verbindbar ist, einem Detektor, der mit einer
    - 11 -
    709825/0337
    ORIGINAL INSPECTED
    zweiten der Fasern verbindbar ist, um das von der ersten Faser bei Fluchtung der ersten und der zweiten Faser übertragene Licht zu messen, einen Verstärker zum Verstärken des Ausgangs des Detektors und einer Anzeigeeinrichtung zum Anzeigen des Ausgangs des Verstärkers.
  7. 7. Drucksensor nach Anspruch 6, dadurch gekennzeich net, daß die Anzeigeeinrichtung geeicht ist, um den Differenzdruck von Gasen, die auf den Sensor einwirken, zu messen.
  8. 8. Drucksensor nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch vier im Abstand angeordnete elastische Glieder, drei Distanzstücke, an denen die vier Glieder dicht angebracht sind, die zusammen mit den Distanzstücken erste, zweite und dritte Kammern bilden, in denen die optischen Fasern an den Innenflächen der zwei inneren Glieder angebracht und mit einem ersten dieser Distanzstücke dicht verbunden sind, wobei die erste Kammer dicht gegen die zweite und die dritte Kammer verschlossen ist und die zweite und die dritte Kammer mit Anschlüssen für den Einlaß von Druckgasen versehen sind.
    709825/0337
DE19762657119 1975-12-18 1976-12-16 Drucksensor fuer faseroptik Granted DE2657119A1 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
GB51756/75A GB1546080A (en) 1975-12-18 1975-12-18 Fibre optic pressure sensor

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE2657119A1 true DE2657119A1 (de) 1977-06-23
DE2657119C2 DE2657119C2 (de) 1987-08-06

Family

ID=10461258

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19762657119 Granted DE2657119A1 (de) 1975-12-18 1976-12-16 Drucksensor fuer faseroptik

Country Status (4)

Country Link
US (1) US4078432A (de)
DE (1) DE2657119A1 (de)
FR (1) FR2335836A1 (de)
GB (1) GB1546080A (de)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2466058A1 (fr) * 1979-08-15 1981-03-27 Perren Benno Installation d'alarme auto-surveillante
EP0092505A1 (de) * 1982-04-21 1983-10-26 Asea Ab Faseroptischer Geber

Families Citing this family (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SE414549B (sv) * 1978-07-19 1980-08-04 Claesson Per Goran Anordning for att alstra en elektrisk utsignal i beroende av ett mekaniskt organs instellningslege
US4297684A (en) * 1979-03-26 1981-10-27 Honeywell Inc. Fiber optic intruder alarm system
CH639217A5 (de) * 1979-04-20 1983-10-31 Benno Perren Fuehler fuer eine ueberwachungseinrichtung.
US4300813A (en) * 1979-09-04 1981-11-17 Sperry Corporation Fiber optic transducer and method of manufacture therefor
US4294513A (en) * 1979-09-11 1981-10-13 Hydroacoustics Inc. Optical sensor system
JPS56116055U (de) * 1980-02-04 1981-09-05
US4413880A (en) * 1981-01-02 1983-11-08 Bowmar/Ali, Inc. Adaptable connector for a fiber optic testing device
US4360247A (en) * 1981-01-19 1982-11-23 Gould Inc. Evanescent fiber optic pressure sensor apparatus
DE3234900A1 (de) * 1982-09-21 1984-03-22 Siemens Ag Faseroptischer sensor
DE3236435C2 (de) * 1982-10-01 1984-08-02 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., 8000 München Faseroptischer Sensor
US4495819A (en) * 1982-12-23 1985-01-29 Gould Inc. Optical pressure sensor
US4547668A (en) * 1983-09-14 1985-10-15 Siemens Corporate Research & Support, Inc. Two-dimensional pressure sensor using retro-reflective tape and semi-transparent medium
HU196259B (en) * 1984-09-06 1988-10-28 Almasine Barsi Erzsebet Optoelktromechanical measuring transducer
FR2572514B1 (fr) * 1984-10-30 1991-05-24 Serat Detecteur d'impact opto-electronique pour missiles, roquettes et similaires
US4727730A (en) * 1986-07-10 1988-03-01 Medex, Inc. Integrated optic system for monitoring blood pressure
US4770492A (en) * 1986-10-28 1988-09-13 Spectran Corporation Pressure or strain sensitive optical fiber
CA1308937C (en) * 1988-01-11 1992-10-20 Francois Bilodeau Fabrication technique for low-loss fused taper directional couplers and pressure sensor produced thereby
JPH0719115B2 (ja) * 1988-05-20 1995-03-06 シャープ株式会社 電子写真装置
US4915473A (en) * 1989-02-23 1990-04-10 The Dow Chemical Company Pressure sensor utilizing a polyurethane optical fiber
US4920261A (en) * 1989-05-24 1990-04-24 Universite Du Quebec A Hull Birefringent optical fiber device for measuring of ambient pressure in a stabilized temperature environment
US5594819A (en) * 1995-07-26 1997-01-14 Electric Power Research Institute Field-mountable fiber optic sensors for long term strain monitoring in hostile environments
US5832157A (en) 1996-07-12 1998-11-03 Mcdermott Technology, Inc. Fiber optic acoustic emission sensor
US6097478A (en) * 1998-04-02 2000-08-01 Mcdermott Technology, Inc. Fiber optic acoustic emission sensor
DE19860410A1 (de) * 1998-12-28 2000-06-29 Abb Research Ltd Faserlaser-Sensor zur Messung von differentiellen Drücken und von Strömungsgeschwindigkeiten
AU2002327293A1 (en) * 2002-07-23 2004-02-09 Halliburton Energy Services, Inc. Subterranean well pressure and temperature measurement
US7159468B2 (en) * 2004-06-15 2007-01-09 Halliburton Energy Services, Inc. Fiber optic differential pressure sensor
US8559770B2 (en) * 2005-03-02 2013-10-15 Fiso Technologies Inc. Fabry-perot optical sensor and method of manufacturing the same
EP1744135A1 (de) 2005-07-11 2007-01-17 IEE INTERNATIONAL ELECTRONICS & ENGINEERING S.A. Folienartiger Drucksensor
WO2007019676A1 (en) 2005-08-12 2007-02-22 Fiso Technologies Inc. Single piece fabry-perot optical sensor and method of manufacturing the same
DE102020212863A1 (de) 2020-10-12 2022-04-14 Siemens Healthcare Gmbh System und Verfahren zur Bestimmung der Positionierung eines Patienten
DE202022101740U1 (de) 2022-03-31 2022-04-22 Siemens Healthcare GmbH Faseroptischer Drucksensor und Messvorrichtung damit

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2034344A1 (de) * 1970-07-10 1972-01-13 Ulrich H Einrichtung zur Messung physikalischer Großen durch Messung der Intensität eines Lichtstrahlenbundels
US3789667A (en) * 1972-02-14 1974-02-05 Ladd Res Ind Inc Fiber optic pressure detector

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2034344A1 (de) * 1970-07-10 1972-01-13 Ulrich H Einrichtung zur Messung physikalischer Großen durch Messung der Intensität eines Lichtstrahlenbundels
US3789667A (en) * 1972-02-14 1974-02-05 Ladd Res Ind Inc Fiber optic pressure detector

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2466058A1 (fr) * 1979-08-15 1981-03-27 Perren Benno Installation d'alarme auto-surveillante
EP0092505A1 (de) * 1982-04-21 1983-10-26 Asea Ab Faseroptischer Geber

Also Published As

Publication number Publication date
FR2335836A1 (fr) 1977-07-15
GB1546080A (en) 1979-05-16
DE2657119C2 (de) 1987-08-06
FR2335836B3 (de) 1979-08-24
US4078432A (en) 1978-03-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE2657119A1 (de) Drucksensor fuer faseroptik
DE69527339T2 (de) Sensor und Verfahren zum Messen von Abständen zu einem Medium und/oder dessen physischen Eigenschaften
DE3210614C2 (de)
DE9211419U1 (de) Lichtleitfaser-Spleißvorrichtung
DE3206720C2 (de)
EP0276889B1 (de) Druckaufnehmer für statische Druckbelastungen mit einem Siliziumkörper
DE3441641A1 (de) Fuehler mit optischen fasern zum erfassen von betriebszustaenden und verfahren zu dessen herstellung
DE19939583A1 (de) Bragg-Gitter-Vorrichtung zum Messen einer mechanischen Kraft sowie Anwendung und Verfahren zum Betrieb der Vorrichtung
DE3418247A1 (de) Durchbiegungsmesser
EP0152149A2 (de) Optischer Drucksensor
WO2009059754A1 (de) Kraft-momenten-sensor
DE3621669A1 (de) Optischer drucksensor
DE102009038028B4 (de) Detektoranordnung mit erhöhter Empfindlichkeit durch Lichtablenkelemente mit einer ebenen Lichteintrittsfläche
WO1994002810A1 (de) Faseroptischer sensor nach dem fabry-perot-prinzip
DE4211816A1 (de) Drucksensor und Verfahren zu seiner Herstellung
DE2429124C3 (de) Differenzdruck-Meßgerät
DE102010012701A1 (de) Mikrokraftsensor
DE102004014919B4 (de) Drucksensor, der eine Metallmembran mit einer Konvexität besitzt
DE3929453C1 (en) Fibre-Fabry-Perot interferometer - has slot in substrate enabling opposite regions to be moved w.r.t. V=shaped groove for optical fibres
DE60312021T2 (de) Drucksensor mit bragg gittern
EP0483912A1 (de) Scheibenförmiger Scherkraft-Messwertaufnehmer für eine Wägezelle
DE2148292C3 (de) Vorgespannte Membraneinrichtung und Verfahren zum Vorspannen der Membrane einer solchen Einrichtung
EP3232174A1 (de) Drucksensor
EP0253946A2 (de) Mechanisch-elektrischer Wandler
DE3118519A1 (de) Anordnung zur messung physikalischer groessen mit einem modenanalysator und/oder einem modenfilter

Legal Events

Date Code Title Description
8127 New person/name/address of the applicant

Owner name: PLESSEY OVERSEAS LTD., ILFORD, ESSEX, GB

8128 New person/name/address of the agent

Representative=s name: BERENDT, T., DIPL.-CHEM. DR. LEYH, H., DIPL.-ING.

8110 Request for examination paragraph 44
8125 Change of the main classification

Ipc: G01L 11/00

D2 Grant after examination
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee