DE2647397A1 - Lichtstrahl-abtastvorrichtung - Google Patents

Lichtstrahl-abtastvorrichtung

Info

Publication number
DE2647397A1
DE2647397A1 DE19762647397 DE2647397A DE2647397A1 DE 2647397 A1 DE2647397 A1 DE 2647397A1 DE 19762647397 DE19762647397 DE 19762647397 DE 2647397 A DE2647397 A DE 2647397A DE 2647397 A1 DE2647397 A1 DE 2647397A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
prism
light beam
prism system
afocal
prisms
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE19762647397
Other languages
English (en)
Inventor
Takeshi Goshima
Yoichi Hirabayashi
Setsuo Minami
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from JP50126612A external-priority patent/JPS599883B2/ja
Priority claimed from JP12173576A external-priority patent/JPS5346746A/ja
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Publication of DE2647397A1 publication Critical patent/DE2647397A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/10Scanning systems
    • G02B26/12Scanning systems using multifaceted mirrors
    • G02B26/125Details of the optical system between the polygonal mirror and the image plane
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B13/00Optical objectives specially designed for the purposes specified below
    • G02B13/08Anamorphotic objectives
    • G02B13/10Anamorphotic objectives involving prisms

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Facsimile Scanning Arrangements (AREA)

Description

  • Lichtstrahl-Abtastvorrichtung
  • Dis Erfindung bezieht sich auf eine Lichtstrahl-Abtastvorrichtung.
  • Eine Lichtstrahl-Abtastvorrichtung, bei der ein Lichtstrahl auf einen Ablenkspiegel wie beispielsweise einen drehbaren Polygonspiegel oder einen Galvanometer-Spiegel auftrifft und somit einen abgelenkten Strahl erzeugt, ist bei einem Gerät wie beispielsweise einem Originalbild-Leser oder einem Laserstrahl-Drucker verwendet worden Bei der in einem solchen Gerät verwendeten Lichtstrahl-Abtastvorrichtung ist es wünschenswert, daß die vom abgelenkten Strahl auf eine Abtastfläche aufgezeichnete Abtastlinie mit einer vorbestimmten Abtastlinie auf der Abtastfläche übereinstimmt. Insbesondere ist eine Lichtstrahl-Abtastvorrichtung erwünscht, bei der sich der abgelenkte Strahl nicht auf einer Linie bewegt, die von der vorbestimmten Linie auf der Abtastfläche abweicht. Eine solche Erscheinung, daß sich der abgelenkte Strahl außer Flucht mit der vorbestimmten Linie auf der Abtastfläche bewegt, tritt in solchen Fällen auf, in denen beispielsweise der drehbare Polygonspiegel mit seinen Ablenkspiegel-Oberflächen nicht parallel zu der drehbaren Welle angeordnet ist, oder in denen die drehbare Welle nicht mit genügender Genauigkeit montiert ist. Deshalb sollte zur Vermeidung des Auftretens einer solchen Erscheinung der-drehbare Polygonspiegel oder der Galvanometer-Spiegel mit äußerster Genauigkeit hergestellt sein; es ist aber im Hinblick auf die Kosten oder andere Probleme schwierig, den drehbaren Polygonspiegel oder den Galvanometer-Spiegel mit. genügender Genauigkeit herzustellen; auch wenn ein solcher Spiegel mit genügender Genauigkeit hergestellt werden könnte, würde es sehr schwierig sein, die Genauigkeit über einen langen Zeitraum aufrecht zu erhalten.
  • Aus diesem Grund sind bisher unterschiedliche Abtastvorrichtungen vorgeschlagen worden, die das Auftreten der vorstehend genannten Erscheinung erfolgreich verhindern oder verringern.
  • Beispielsweise zeigt die US-Patentschrift 3 750 189 ein optisches Abtastsystem, das durch geschickte Verwendung einer zylindrischen Linse das Auftreten einer solchen Erscheinung verhindert. Auch die US-Patentanmeldung Nr. 567 608 (DT-Patentanmeldung P 25 17 821.6> beschreibt ein optisches Abtastsystem mit einem im Weg des abgelenkten Strahls angeordneten anamorphotischen System, das nur in einer Richtung wirksam ist, die zu der Ablenkrichtung des abgelenkten Strahls senkrecht ist, wodurch das Auftreten der vorstehend genannten Erscheinung verringert wird.
  • Die Erfindung bezieht sich auf eine Verbesserung des optischen Abtastsystems der genannten US-Patentanmeldung.
  • Die Verbesserung liegt darin, daß das Auftreten der nichtlinearen Abtastlinie, die andererseits aus der Verwendung eines anamorphotischen Prismensystems als das anamorphotische System herrühren würde, nämlich eine Verzerrung oder Ablenkung der Abtastlinie, verhindert oder verringert werden kann. Die vorstehend genannte Erscheinung, daß sich der abgelenkte Strahl auf einer Linie bewegt, die zu einer vor bestimmten Linie unterschiedlich ist (diese Erscheinung wird nachstehend als 11Neigung"und das Verhindern oder das Verringern einer solchen Erscheinung wird als "Korrektur der Neigung" bezeichnet), kann durch die Verwendung eines anamorphotischen Prismensystems in seinem möglichen Auftreten verringert werden; der abgelenkte Lichtstrahl wird aber infolge der optischen Charakteristik des Prismas, das das anamorphotische Prismensystem bildete in einer zu der Ablenkrichtung senkrechten Richtung um unterschiedliche Beträge versetzt die von der Stellung abhängen wo der Ablenkwinkel liegt, so daß eine Verzerrung oder Ablenkung für die Abtastlinie auftritt.
  • Der Erfindung liegt deshalb die Aufgabe zugrund eine Lichtstrahl-Abtastvorrichtung zu schaffen das ein anamorphotisches Prismensystem verwendet , das eine gerade Abtastlinie hervorrufen kann.
  • Diese Aufgabe wird dadurch gelöst, daß das anamorphotische Prismensystem aus mindestens zwei Prismen gebildet wird und daß das zweite Prisma und de nachfolgenden Prismen dazu verwendet werden die Versetzung des abgelenkten Strahls in der zur Ablenkrichtung senkrechten Richtung und unter jedem Ablenkwinkel zu korrigieren, die durch das von der Einfallsseite aus gesehen erste der Prismen verursacht wird.
  • Erfindungsgemäß besitzt die Lichtstrahl-Abtastvorrichtung eine Lichtquelle, einen Ablenkspiegel, der den Lichtstrahl von der Lichtquelle um eine Achse ablenkt gegen die der Lichtstrahl gerichtet ist, ein afokales anamorphotisches Prismensystem für die Korrektur der Neigung, das im Weg des vom Ablenkspiegel abgelenkten Lichtstrahls angeordnet ist, wobei das afokale anamorphotische Prismensystem eine Mehrzahl von Prismen aufweist, so daß unterschiedliche Versetzungen des abgelenkten Strahles bei jedem Ablenkwinkel und in einer zur Ablenkrichtung senkrechten Richtung, die durch däs erste der Prismen verursacht werden, durch das zweite und die nachfolgenden Prismen korrigiert werden, und ein zwischen dem afokalen anamorphotischen Prismensystem und einer Abtastfläche angeordnetes optisches Kondensorsystem, das den abgelenkten Lichtstrahl vom afokalen anamorphotischen Prismensystem auf die Abtastfläche konzentriert.
  • Das afokale anamorphotische Prismensystem kann so sein, daß der Winkel zwischen der Standardablenkebene des aus dem afokalen anamorphotischen Prismensystem austretenden abgelenkten Lichtstrahls und dem tatsächlich abgelenkten Lichtstrahl 0,00997 oder weniger beträgt. Eine andere Möglichkeit besteht darin, daß das afokale anamorphotische Prismensystem so ist, daß der Winkel zwischen dem Hauptstrahl in dem hRelenkten;Strahl, der auf das afokale anamorphotis he Prismensystem auftrifft, und dem Hauptstrahl in dem aus dem afokalen anamorphotischen Prismensystem -austretenden abgelenkten Strahl 0,051 oder weniger beträgt.
  • Die Erfindung wird im folgenden anhand der Zeichnung an Ausführungsbeispielen näher erläutert.
  • Fig. 1 zeigt eine schematische Darstellung eines anamorphotischen Systems; Fig. 2, 3 und 4 zeigen die Art, in der der auf ein aus einem einzigen Prisma bestehendes anamorphotisches Prismensystem einfallende abgelenkte Parallelstrahl an jedem Ablenkwinkel und in einer zur Ablenkrichtung senkrechten Richtung versetzt wird; Fig. 5 zeigt schematisch ein Ausführungsbeispiel; Fig. 6 zeigt das in der Vorrichtung verwendete anamorphotische Prismensystem; Fig. 7 zeigt die Beziehung zwischen dem abgelenkten Lichtstrahl, der auf das n-te Prisma des eine Mehrzahl von Prismen aufweisenden anamorphotischen Prismensysteits einfällt und dem aus diesem Prisma austretenden abgelenkten Strahl; Fig. 8 bis 16 zeigen die Austritts-Charakteristik unterschiedlicher Beispiele des afokalen anamorphotischen Prismensystems, das zwei Prismen enthält; Fig. 7 zeigt ein afokales anamorphotisches Prismensystem, das drei Prismen enthält; und Fig. 18 bis 27 zeigen die Austritts-Charakteristik unterschiedlicher Beispiel-des afokalen anamorphotischen Prismensystems, das drei Prismen enthält.
  • In Fig. 1 ist ein afokales anamorphotisches System schematisch dargestellt , das eine konkave Linse 1 und eine konvexe Linse 2 aufweist. Der Durchmesser eines in das afokale System einfallenden Strahls sei 1 und der Durchmesser des aus dem afokalen System austretenden Strahls sei ( 2) Wie bekannt ist, gilt für den Winkel W2, der durch den Austrittsstrahl mit der optischen Achse OOi gebildet ist, wenn der Eintrittsstrahl in bezug zu der optischen Achse unter einem Winkel W1 geneigt ist, die folgende Beziehung.
  • W2 #1 ### = ## W1 #2 ......(1) Wie aus Gleichung (1) ersichtlich ist, ist die physikalische Größe, die das Produkt aus dem Strahldurchmesser 0 und dem Neigungswinkel W ist, vor und nach dem afokalen optischen System konstant, so daß eine Zunahme im Strahldurchmesser eine Abnahme im Neigungswinkel bedingt Deshalb kann die Korrektur der "Neigung" dadurch erreicht werden, daß ein solches zylindrisches anamorphotisches System zwischen einem Ablenkspiegel und einer Abtastfläche angeordnet wird, so daß die Richtung des Hauptstrahls gleich der Ablenkrichtung ist und der Eintritts strahl unter gleichzeitiger Aufweitung austreten kann.
  • Ähnlich einem solchen zylindrischen anamorphotischen System ist das afokale anamorphotische Prismensystem behannt, das ein einziges Prisma verwendet. Dieses anamorphotische Prismensystem ist deshalb wirtschaftlich vorteilhaft, da es ein Prisma als Komponente verwendet.
  • Wenn dieses anamorphotische Prismensystem für die Korrektur der "Neigung" verwendet worden ist, hat der aus dem Prisma austretende abgelenkte Strahl jedoch bei jedem Ablenkwinkel unterschiedliche Beträge der Versetzung in der zur Ablenkrichtung senkrechten Richtung hervorgerufen, die, wie bereits erwähnt, auf die Charakteristik des Prismas zurückzuführen sind; dies hat manchmal eine verzerrte Abtastlinie auf der Abtastfläche hervorgerufen, und demgemäß keine gerade Abtastlinie möglich gemacht.
  • Anhand der Fig. 2 bis 4 wird die Planarität beschrieben, mit der ein abgelenkter Strahl, der in ein anamorphotisches Prismensystem einfällt, das ein einziges Prisma aufweist, aus diesem System in seine Ablenkebene austritt. In der folgenden Beschreibung soll verstanden werden, daß anstelle eines einzelnen abgelenkten Strahls ein blattförmiges Lichtbündel verwendet wird, das eine Anzahl abgelenkter Strahlen umfaßt.
  • Fig. 2 ist eine perspektivische Ansicht, die die Lagebeziehung zwischen dem Prisma und dem Lichtbündel darstellt, das auf das Prisma fällt; Fig. 3 stellt eine Darstellung des in Fig. 2 gezeigten Prismas von der positiven Richtung der z-Achse aus gesehen dar. Das Prisma 3 besitzt zwei geneigte ebene Flächen S1 uns S2, wobei die erste Fläche S1 die Einfallsfläche und die zweite Fläche S2 die Ausfallsfläche ist.
  • Diese beiden ebenen Flächen S1 1 und 2 sind in der xy-Ebene geneigt, wobei zweckmäßigerweise der Ursprung des Koordinatensystems auf der Fläche S1 angenommen wird. Somit ist die erste Fläsche S1 eine Ebene, die die Z-Achse enthält.
  • Der zwischen der Normalen l1 deer ersten Fläche S1 und der x-Achse gebildete Winkel sei 8 1 und.~der Einheitsvektor dieser Normalen sei #1 = Bx' #1y' £z). Dann gilt: #1x=cos gly = sin 0i #1z= Ferner sei angenommen, daß 92 der zwischen der Normalen der zweiten Fläche S2 und der x-Achse gebildete Winkel und daß £ 2 = ( 62x' E2y' ?.z ) der Einheitsvek.tor der Normalen der zweiten Fläche ist. Dann gilt: #2x = COS 62 #2y=sin#2 #2z=0 de # ist der Scheitelwinkel des Prismas und kann ausgedrückt werden als ##=#2-#1, wobei #1 und #2 so definiert sind, daß ein von der x-Achse im Gegenuhrzeigersinn gemessener Wert ein positives Vorzeichen und ein von der x-Achse im Uhrzeigersinn gemessener Wert ein negatives Vorzeichen erhält. Somit bezieht sich das positive Vorzeichen von # @ auf den Fall, in dem das Prisma mit seinem Scheitelwinkel in Richtung der positiven y-Achse angeordnet ist; ein negatives Vorzeichen von ate bezieht sich auf den umgekehrten Fall.
  • Für die Brechungsindices für die Medien gilt: N1 für den Luftraum auf der Einfallsseite, N1, für das Innere des Prismas und N2' für den Luftraum auf der Außenseite. In der Praxis ist das Prisma in einem gleichförmigen Medium angeordnet, so daß N1 gleich N2' betrachtet werden kann;'für eine allgemeine Betrachtung wird jedoch angedaß das Medium auf der Einfallsseite und das Medium auf der Austrittsseite voneinander abweichen.
  • Ein dreieckiges ebenes Strahlenbündel D, das zu der xy-Ebene senkrecht ist und die z-Achse mit einschließt, fällt auf das Prisma 3. Dabei liegt der Hauptstrahl P in der xy-Ebene und bildet mit der x-Achse einen Winkel # , der positiv dargestellt ist. Zwischen dem Hauptstrahl P und einem beliebigen Einfallsstrahl F ist ein Winkel oC (der positiv dargestellt ist) gebildet; aus der vorstehenden Beschreibung ist ersichtlich, daß der beliebige Einfallstrahl F in einer Ebene liegt, die den Hauptstrahl P und die z-AChse enthält.
  • Der Richtungskosinus der Hauptstrahls P sei #p=(xp,yp,zp).
  • Dann gilt: xp=cos# yp=sin# zp=0 Der Richtungskosinus des beliebigen Einfallstrahls F sei # X (X, Y, Z). Dann gilt: x=cos# cosα y=sin# cosα z=sinα Ferner sei der Richtungskosinus des Hauptstrahl R p nach dem Durchgang das Prisma 3: #'n=(x'n,y' p und der Richtungskosinus eines beliebigen Strahls R nach dem Durchgang durch das Prisma sei #'=(x',y',z') Aus dem Snellius'schen Gesetz ergibt sich t' aus den folgenden Gleichungen, in denen unter Verwendung der Einfall-Parameter (#,α) für die Zweckmäßigkeit der nachfolgenden Analyse Ausdrücke direks gebildet sind, obwohl dies erschwert wird.
  • N'1 X'=- 2sin# 2#2+#'2cos#2 N'2 N'1 Y'= 2#2cos#2+#'2sin#2 N'2 N1 Z'= sinα N'2 mit = = cos( d cosc' N1 #2= cosαsin(#-#1)sin##+#'1cos## N'1 N1 #2= cosαsin(#-#1)cos##-#'1sin## N'1 Im folgenden wird die Änderung der Planarität des dreieckigen flachen Lichtbündels, das auf das Prisma 3 fällt, betrachtet, nachdem es aus dem Prisma tritt. Als Grundlage für die Untersuchung der Planarität des dreieckigen flachen Lichtbündels nach dem Austritt aus dem Prisma wird zuerst die Größe des Winkels u zwischen dem Sagittalschnitt im Luftraum an der Austrittsseite, d.h. dem Schnitt, der den austretenden Hauptstrahl Rp enthält und der senkrecht zu der xy-Ebene ist, und dem Richtungskosinus # ' des beliebigen Strahls an der Austrittsseite betrachtet, wie er in Fig. 4 dargestellt ist.
  • Wenn der Einheitsvektor der Normalen des Sagittalschnitts, nämlich # = (-Y'p, p' O), verwendet wird, kann der Winkel u durch die. folgende Gleichung angegeben werden: sin u =(#'*#)=(###){#2#'2p-##2p#'} (2) mit Um die Bedingungen abzuleiten, die für einen aus dem Prisma austretenden beliebigen Strahl erforderlich sind, damit er im Sagittalschnitt an der Außenseite enthalten ist, nämlich die Bedingungen, damit das Strahlenbündel auf der Austrittsseite seine Planarität beibehält, ist es nur nötig,di.e Bedingungen zu untersuchen, die die Gleichung sin u=O erfüllen. Aus Gleichung (2) folgt, daß dies durch die Lösung der folgenden Gleichung erreicht wird.
  • 2p-#2p#'2=0......(3) Diese Gleichung kann nach dem Quadrieren und einem Substituieren der gestrichenen Größen folgendermaßen geschrieben werden: N'1 #22-#22p=( )2,[(#22p#22-#22#2p) N'2 + (7)22 . zu . (4) Für eine allgemeine Lösung ist die Gleichung (4) kompliziert; deswegen müssen praktische Bedingungen für die Brechungsindices in Betracht gezogen werden, nämlich der Fall, wo ein Prisma mit einem Brechungsindex N' in einem Luftraum mit einem Brechungsindex N angeordnet ist.
  • Somit kann unter den Bedingungen N2' = N1 = N und N1' = N' die Gleichung (4) umgeformt werden: .
  • mit Wenn die Gleichung (5) quadriert, umgeformt und wieder quadriert wird, um die Wurzelzeichen zu eliminieren, ergibt sich folgende Gleichung: cos2αcos2(#-#1)]sin2##cos2##=0........(6) Aus der Gleichung (6) ergeben sich die folgenden Lösungen (I) bis (V).
  • (I) 1-(##)2=0 d.h., N#=N (II) sinα=0 d.h., α=0 (#α##90°) (III) sin##=0 d.h., ##=0 (#####90°) Aus dem Nullsetzen des Klammerausdrucks ergibt sich ferner: Die Lösung der Gleichung (7) ergibt: (IV) cos ##=0, daraus folgt ##=#90° Der Grund, warum in der Gleichung (6) nur der Fall mit a ungleich 0 betrachtet wird, ist, daß bei a =0 die Gleichung in die beiden Lösungen (I) und (II) zerfällt.
  • Zur Prüfung, ob die Lösungen (I) bis (V) die Bedingung sin u=O erfüllen, ist es notwendig, jede der Lösungen in die rechte Seite der Gleichung 5 einzusetzen und das Ergebnis zu überprüfen. Dies deshalb, weil aus dem im Verlaufe der Rechnung durchgeführten Quadrieren einige irrelevante Lösungen entstehen können. Somit müssen diese Lösungen (I) bis (V) durch Einsetzen in die Gleichung (5) überpriift und ihre physikalische Bedeutung untersucht werden.
  • Die Lösung (I), d.h., N = N' erfüllt die Bedingung sin U=O; die physikalische Bedeutung dieser Lösung ist jedoch eine Ausbreitung des Lichtbündels durch einen einfachen Luftraum, in dem sich kein Prisma befindet. Deshalb ist diese Lösung bedeutungslos.
  • Die Lösung (II), d.h. ob = 0, erfüllt die Bedingung sin u=O; die physikalische Bedeutung dieser Lösung ist jedoch die Ausbreitung des Hauptstrahls. Somit ist diese Lösung ebenso bedeutungslos.
  • Die Lösung (III), d.h. to ist 0, erfüllt die Bedingung sin u=O. Die physikalische Bedeutung dieser Lösung ist die, daß der Scheitelwinkel des Prismas O ist. Dies bedeutet anstelle eines Prismas eine flache Glasplatte mit Parallelseiten, weshalb diese Lösung ebenso ausgeschlossen wird.
  • Es ist leich zu sehn, daßdie Lösung (IV), d.h.
  • b 90°, eine irrelevante Lösung ist. Der Grund liegt darin; was die Bedingung sin u=O erfüllen sollte, sollte ebenso die Gleichung (V) erfüllen, die vom Quadrieren dieser Gleichung herrührt, wogegen das Einsetzen von ß = '90° in die Gleichung (V) B=O ergibt; da andererseits die Bedingung gilt: sin### 0,gilt die Gleichung (5) nur für A=O; ein solcher Fall bedingt die Lösungen (I) und (II).
  • Man ersieht somit, daß die Lösung (IV) mit N #N' und α =0 keine allgemeine Lösung ist.
  • Die Lösung (V) ist die Form, die eine Lösung für ## darstellt; ob diese vier Möglichkeiten der Lösung (V) die Bedingung sin u=O erfüllen oder nicht, kann nicht einfach gesehen werden. Um diese Lösung zu überprüfen, wird nachstehend ein Beispiel mit numerischen Daten untersucht. Wenn sich dadurch die Gleichung sin u#0 ergibt, folgt daraus, daß die Lösung (V) eine irrelevante Lösung ist. Dies deshalb, weil jedes Beispiel von numerischen Daten die Bedingung sin u=O erfüllen sollte, wenn die Lösung (V) eine allgemeine mathematische Lösung wäre.
  • Durch Einsetzen von N=1,N'=1,7,#=0°, α= 170 und 0, =-30° in die Gleichung (8) ergibt sich für den Scheitewinkel ## des PRISMAS: ##=#16,843°, ##=86,939° Wenn somit die vorstehenden numerischen Werte und die Werte von ## in die Gleichung (II) eingesetzt werden, erhält man folgendes:
    sin U / N1
    16.843° 0.01355
    -16.843° 0.00893
    86.939° 0.00896
    -86.9390 ~o.ou737
    Es gilt jedoch: sin u=O, woraus man ersieht, daß die Lösung (V) ebenso eine irrelevante Lösung ist.
  • Aus diesen Analysen folgt, daß bei einem dreieckigen Lichtbündel D, das auf ein einziges Prisma auftrifft, das austretende Lichtbündel nicht die Form eines ebenen Lichtbündels aufweisen kann, welche Form das Prisma auch immer annimmt.
  • Man hat somit bei dem anamorphotischen Prismensystem mit einem einzigen Prisma gefunden, daß sogar dann, wenn das auf das Prisma auftreffende abgelenkte Lichtbündel eben ist, das aus dem Prisma austretende abgelenkte Lichtbündel keine Planarität besitzt. Um eine solche im anamorphotischen Prismensystem erzeugte Nicht-Planarität zu kompensieren, um die Planarität des abtastenden Lichtbündels beizubehalten, ist es notwendig, daß das anamorphotische Prismensystem aus einer Anzahl von Prismen gebildet wird, die eine Größe der Nicht-Planarität aufweisen, daß die N.icht-Planarität, die von dem dem ersten Prisma folgenden Prismensystem erzeugt wird, das entgegengesetzte Vorzeichen als die N.icht-Planarität des ersten Prismas aufweist. Nachstehend wird deshalb ein afokales anamorphotisches System mit einer Mehrzahl von Prismen analysiert.
  • Fig. 7 zeigt den Verlauf des abtastenden Lichtbündels im n-ten Prisma in einem afokalen anamorphotischen System mit R Prismen (Zählweise in Einfallsrichtung des abtastenden ;Eitchtbündels), Das in Fig. 7 dargestellte Prisma ist ähnlich dem in Fig. 3 dargestellten Prisma so angeordnet, daß die Prismenflächen, durch die der abtastende Strahl gelangt, nur in der xy-Ebene geneigt sind und daß der Ursprung des Koordinatsystems in der Einfallsfläche des Prismas vorgesehen ist. Ferner sind die Vorzeichen in der gleichen Weise wie in Fig. 3 festgelegt.
  • Die Beziehung zwischen dem Richtungskosinus x n (X'n, Y'm, Z1n) eines auf das n-te Prisma einfallenden beliebing Strahls und dem Richtungskosinus #'n=(x'n,y'n,z'n) dieses Strahls beim Austritt aus dem Prisma kann bei konsequenter Verwendung der vorstehend beschriebenen Beziehung im einzigen Prisma als folgende Gleichung erhalten werden.
  • mit Dabei ist «> n der Winkel, der zwischen dem Projektionsstrahl des auf die xy-Ebene projizierten Einfallsstrahls und der #Achse gebildet ist und α n der Winkel, der zwischen dem Einfallsstrahls und dem Projektionsstrahl des auf die xy-Ebene projizierten Einfallstrahls gebildet ist.
  • Somit ergeben sich für #n und αn und dem Richtungskosinus 6n des Einfallsstrahls die folgenden Beziehungen: xn=cos#ncosα Yn = sind cos d n Zn=sinαn .....(103) und αn hängen mit xn,yn,zn wie folgt zusammen: #n=arctan(###) αn=arctan .....(104) Dies kann unter Verwendung der in den vorstehenden Gleichugen (102) und (103) direkt verwendeten Ausdrücke wie folgt geschrieben werden: xn sin#2n-1) Somit kann der in Gleichung(101) dargelete Richtungskosinus inbus n ' = (X'n, Y'n, Z'n) des Einfallsstrahls unter Verwnndung der Gleichungen (102), (103) und (105) in Abhängigkeit van Richtungskosinus » n(X'n,Y'n, Z'n) des Einfallsstrahls, von den Neigungswinkeln #2n-1 und e2n der Prismenflächen, von den Brechungsindices N2n-1, N'2n-1 und N'2n des Prismas und des benachbarten Mediums und von den vorstehenden Parametern #n n und in des Einfallsstrahls ausgedrückt werden.
  • Die Planarität des aus dem n-ten Prismen austretenden Lichtbündels wird nachstehend betrachtet. Was die Planarität betrifft, so ist der im Zusammenhang mit dem vorstehend genannten einzelnen Prisma definierte Winkel u genau auf den aus dem n-ten Prisma austretenden Strahl anwendbar.
  • Somit wird die Größe sin un, die die Planarität des aus dem n-ten Prisma austretenden Strahls repräsentiert, wie folgt dargestellt: sinUn=(####){#2n*#'2n,p-'2n,p#'2n}...(106) Der Index p bezieht sich wie bereits erwähnt auf den Hauptstrahl:
    #'2n,p=(#'2n)α1=0
    # ...(107)
    #2n,p=(#2n)α1=0
    Da die Bedingung für die Planarität sin u=O ist, ist die Bedingung für die Planarität des aus dem n-ten Prisma austretenden Strahls gleich: #2n#2n,p-#2n,p#2n=0 ....(108) Da herausgefunden worden ist, daßein einzelnes Prisma nicht für die Beibehaltung der Planarität genügt, wird nachstehend die Planarität untersucht, die sich aus der Verwendung von zwei Prismen ergibt. Wenn die Baugrößen ##1, N1' des ersten Prismas gegeben sind, kann der Richtungskosinus #'1 des aus dem ersten Prisma austretenden Strahls d.h., der Richtungskosinus 2 des auf das zweite Prisma fallenden Strahls, errechnet werden. Mit anderen Worten: die Parameter M 2 und α2 des auf das zweite Prisma einfallenden Strahls können berechnet werden. Die Bedingung für die Planarität des aus dem zweiten Prisma austretenden Lichtbündels ist: ,p -#4,p#'4=0 ....(109) Aus der Gleichung (102) ergeben sich 24 und wie folgt: mit #4=N3/N'3cosα2sin(#2-#3)sin##2+#'3cos##2 #3=cos(#2-#3)cosα2 Die Größe #4,p und #'4,p beziehen sich auf den Strahl, der dem Strahl mit α1=0 des auf das erste Prisma fallenden Strahls entspricht (Hauptstrahl); wenn die Parameter, die sich auf den Richtungskosinus des Hauptstrahls beim Auftreffen auf das zweite Prisma beziehen,#2p und sind, dann werden #4p der Einfallsfläche und den Scheitelwinkel Durch Einsetzen der Gleichungen (110) und (112) in die Gleichung (109) unter Verwendung der Gleichungen (111) und (113) ist es möglich, eine Lösung zu finden, die den Neigungswinkel #3 der Einfallsfläche und den Scheitelwinkel ##2 festlegt, die die unbekannten Baugrößen des zweiten Prismas sind. i ist jedoch zu verstehen, daß der Brechungsindex N3' des zweiten Prismas und die Brechungsindices N3 und N'4 der benachbarten Medien vorbestimmt sind.
  • Nichts destoweniger ist es sehr mühsam, die unbekannten Größen durch das vorstehend beschriebene Verfahren zu finden. Deshalb kann anstelle eines direkten Auflösens der Gleichung (109) auf ein Konstruktionsverfahren zurückgegriffen werden, in dem man willkürliche Werte von 9 3 und aO2 als Parameter verwendet und in die Gleichung (109) einsetzt und sie so nach dem Gesetz von Versuch und Irrtum findet. Dieses Verfahren würde unter Verwendung eines Rechners jedem Fachmann leicht möglich sein. Wenn sich die erhaltenen Lösungen in der Praxis für ungeeignet erweisen, können die Baugrößen des ersten Prismas geeignet variiert und das vorstehend erwähnte Verfahren wiederholt werden, wodurch Optimalwerte erreicht werden.
  • Es ist bereits erwähnt worden, daß die vorstehend beschriebene Planarität in dem für das optische Abtastsystem verwendeten anamorphotischen Prismensystem wichtig ist. Bei dem optischen Abtastverfahren ist es ferner erwünscht, daß der Richtungskosinus des Ilauptstrahls des auf das anamorphotische Prismensystem einfallenden abtastenden Lichtbündels und der Richtungskosinus des aus dem optischen System austretenden Hauptstrahls in gleicher Richtung liegen, um ein Ausrichten des optischen Systems zu bewirken. Darauf wird nachstehend als die Parallelität des Prismensystems bezug genommen. Die Parallelität des anamorphotischen Prismensystems wird nachstehend in der gleichen Weise wie vorher bei der Planarität analysiert.
  • Gegeben sei ein afokales anamorphotisches Prismensystem mit Prismen. 5 l p sei der Richtungskosinus des Hauptstrahls des abtastenden Lichtbündels beim Auftreffen auf das erste Prisma und #'R,p sei der Richtungkosinus des Hauptstrahls beim Austritt aus dem R-ten Prismen. Die Bedingung für die Parallelität lautet dann: #1,pX#'R,p = A (114) Die Komponenten eines jeden Richtungskosinus lauten: #1,p#(X1,p,Y1,p,0) #'R,p#(X'R,p,Y'R,p,0) . . . . (115) Die Bedingungsgleichung (114) kann somit wie folgt dargestellt werden: -Y'R,p-Y1,p#X'R,p=0 .........(116) Wenn die Gleichungen X1,p=cos# und Y1,p=sin# in Betracht gezogen werden, ergibt sich als Bedingung für die Parallelität folgende Gleichung: R,pcos#-X'R,psin#=0 .......(117) Wenn die Bedingung (117) erfüllt ist, ist die Parallelität verwirklicht. Somit kann ein abgelenktes Lichtbündel, das sowohl die Planarität als auch die Parallelität erfüllt, durch ein afokales anamorphotisches Prismensystem erhalten werden, das sowohl die Bedingung (108) für die Planarität als auch die Bedingung (117) für die Parallelität erfüllt.
  • Jedoch ist es theoretisch schwierig, eine Lösung zu erhalten, die sowohl die Bedingung (108) als auch die Bedingung (117) erfüllt. Mit dem Gesetz von Versuch und Irrtum ähnlich dem im vorstehend genannten Konstruktionsverfahren für die Planarität, qelang die Bildung eines afokalen anamorphotischen Prismensystems, mit dem ein abgelenktes Lichtbündel erhalten werden kann, das sowohl die Planarität als auch die Parallelität erfüllt.
  • Bei diesem Konstruktionsverfahren war es sehr schwierig, ein afokales anamorphotisches Prismensystem mit zwei Prismen zu erreichen, das sowohl die Panarität als auch die Parallelität erfüllt. Es war jedoch relativ einfach, ein derartiges afokales anamorphotisches Prismensystem mit drei Prismen zu erhalten.
  • Fig. 5 zeigt in perspektivischer Ansicht ein Ausführungsbeispiel, bei dem die Lichtstrahl-Abtastvorrichtung für ein optisches Schreibsystem, beispielsweise einem Laserstrahl-Drucker oder ähnlichem, verwendet wird. In Fig. 5 ist eine Lichtquelle 4 wie ein Laser oder ähnliches, einModulator 5 für dieModulation des Laserstrahls mit einem Schreibsignal und ein Strahlaufweiter 6 dargestellt, der den Durchmesser des Lichtbündels vom Modulator aufweitet.
  • Ein ;drehbarer Polygonspiegel 7 ist sicher an einer drehbaren Welle 8 montiert, die von einer nicht-dargestellten Einrichtung gedreht werden kann. Ein afokales anamorphotisches System 9 mit drei Prismen ist für die Ausdehnung der Komponenten des Lichtbündels in eine Richtung für die Korrektur der "Neigung" des drehbaren Spiegels 7 vorgesehen. Mit 13 ist eine Kondensorlinse bezeichnet, die das Lichtbündel auf eine Abtastfläche 14 konzentriert. Somit kann das Lichtbündel von der Lichtquelle 4 durch den Modulator 5 moduliert werden, wonach es durch den Strahlaufweiter 6 gelangt und ein paralleles oder im wesentlichen paralleles Lichtbündel bildet, das auf eine Oberfläche des drehbaren Spiegels 7 auftrifft, der eine Abtasteinrichtung darstellt.
  • Das parallele oder im wesentlichen parallele Lichtbündel vom drehbaren Spiegel kann durch das optische Kondensorsystem 9 und 13 auf die Abtastfläche als Lichtfleck 15 fokussiert werden. Deshalb bedingt eine Drehung der drehbaren Welle 8 in der Richtung des Pfeils A1 eine Bewegung des abtastenden Lichtflecks 15 auf der Abtastfläche 14 in Richtung des Pfeils A2.
  • Fig. 6 zeigt einen Längsschnitt eines anamorphotischen Prismensystems, das eine Kombination von zwei Prismen 16 und 17 aufweist. Die Oberflächen 20, 21, 22 und 23 der Prismen, durch die das Lichtbündel gelangt, liegen in Ebenen, die zu der xy-Ebene senkrecht sind; das Lichtbündel wird entlang der z-Achse abgetastet. Die Winkel zwischen dem Strahl und den jeweiligen Oberflächen der Prismen sind #2, #3 und #4 Die Beziehung zwischen # und dem vorstehend erwähnten 0 ist t--90 9.
  • Ausführungsbeispiele des Prismensystems werden nachstehend dargestellt. Die dargestellten Beispiele weisen zwei bzw. drei Prismen auf. Dies deshalb, weil es bei Verwendung eines Prismensystems üblicherweise wünschenswert ist, daß das optische System so konstruiert ist, daß es zusätzlich zu der Planarität des ausfallenden Lichtbündels, was die Aufgabe der Erfindung ist, eine Parallelität zwischen dem Einfallso nd dem Ausfallsstrahl liefert. Ublicherweise ist es bei einem optischen System mit zwei Prismen in der Praxis schwierig, sowohl die Planarität des austretenden Lichtbündels als auch die Parallelität des Ausfallsstrahls mit dem Einfallstrahl zu erfüllen. Aus diesem Grund kann ein Prisma hinzugefügt werden, so daß durch die Verwendung der drei Prismen sowohl die Planarität als auch die Parallelität erfüllt werden können. Von den folgenden Ausführungsbeispielen ist bei den Ausführungsbeispielen, die zwei Prismen verwenden, Wert auf die Planarität gelegt, während die Ausführungsbeispiele, die drei Prismen verwenden, so konstruiert sind, daß sowohl die Planarität als auch die Parallelität erfüllt werden.
  • Bei den folgenden Beispielen 1 bis 9 sind zwei Prismen verwendet; die Bezeichungen #1,#2,#3,#4,n1,n2,#1 und #2 sind in der gleichen Weise verwendet, wie sie in Fig. 6 dargestellt sind. Die vom optischen System der Beispiele 1 bis 9 gelieferte Austrittscharakteristik ist in den betreffenden Figuren 8 bis 16 dargestellt. In diesen Figurenbezieht sich auf den Strahl -, der auf die erste Oberfläche des Prismensystems fällt, wie es in Fig. 2 dargestellt ist, d.h. in Fig. 6 ist r der Winkel zwischen dem auf die Oberfläche 20 des Prismas 16 rechtwinkelig zur z-Achse einfallenden Strahl und einem beliebigen Einfalls-Strahl. U'k ist der Winkel zwischen dem Strahl 18, der auf das Prismensystem fällt, und dem Strahl 19, der aus dem Prismensystem austritt, d.h., der Winkel zwischen dem Hauptstrahl im Lichtbündel beim Einfall auf das Prismensystem und dem Hauptstrahl im Lichtbündel beim Austritt aus dem Prismensystem. Hier bedeutet U'k = O, daß der einfallende und der ausfallende Strahl zueinander parallel sind.
  • Ebenso ist 4 U'k der Winkel zwischen einer Ebene, die vom Hauptstrahl des austretenden Lic>cbündels und der z-Achse gebildet ist (diese Ebene ist eine Standardablenkebene), und dem tatsächlich austretenden Strahl; dieser Winkel entspricht also dem in Fig. 4 dargestellten Winkel u.
  • Somit repräsentiert der Winkel U'k die Patallelität der Lichtstrahlen, während # U'k die Planarität des austretenden Lichtbündels bezeichnet. Diese Bedeutungen der Winkel α , U'k und 4 U'k werden in den nachfolgenden Ausführungsbeispielen beibehalten. Der Aufweitungsfaktor des aufgeweiteten Lichtbündels ist mit ß bezeichnet.
    Beispiel 1 Beispiel 2 Beispiel 3 Beispiel 4 Beipspiel 5
    (Fig. 8) (Fig. 9) (Fig. 10) (Fig. 11) (fig. 12)
    #1 3.7392 3.7391 3.7391 3.8296 3.8274
    #2 4.6804 4.8145 5.1137 4.8144 4.8144
    #3 126.7561 126.7666 126.7898 126.7665 126.7665
    #4 123.7889 123.7889 123.7889 123.2359 122.0020
    #1 0.9412 1.0754 1.3746 0.9848 0.987
    #2 -2.9672 -2.9777 -3.0009 -3.5306 -4.7645
    n1 1.91411 1.74967 1.51462 1.91411 1.91411
    n2 1.91411 1.91411 1.91411 1.74967 1.51462
    (n1-1)#1 0.86 0.81 0.71 0.90 0.90
    (n2-1)#2 -2.71 -2.72 -2.74 -2.65 -2.45
    Beispiel 6 Beispiel 7 Beispiel 8 Beispiel 9
    (Fig. 13) (Fig. 14) (Fig. 15) (Fig. 16)
    #1 3.7404 3.5612 3.7360 3.5640
    #2 4.8144 4.8144 4.8144 4.8144
    #3 127.2291 127.1319 126.7665 128.1828
    #4 123.7889 123.7889 122.0733 123.7889
    #1 1.074 1.2532 1.0784 1.2504
    #2 -3.4402 -3.343 -4.6932 -4.3939
    n1 1.74967 1.74967 1.51462 1.51462
    (n1-1)#1 0.81 0.64 0.81 0.64
    (n2-1)#2 -2.58 -2.51 -2.42 -2.26
    Die Brechungsindices nl und n2 der Prismen gelten für eine Wellenlänge von 632,8 nm; der Ausdruck (n-l) /i bezeichnet das "Brechungsvermögen" des jeweiligen Prismas.
  • Die Scheitelwinkel # l und 2 der Prismen sind aus den Beziehungen #1=#2-#2 bzw. #2=#4-#3 berechnet, weshalb in diesem Fall ein Prisma, dessen Scheitelwinkel nach unten zeigt, ein negatives Brechungsvermögen aufweist.
  • Fig. 17 zeigt ein optisches Prismensystem mit drei Prismen, wobei die Oberflächen eines jeden Prismas und die betreffenden Parameter in der gleichen Weise wie in Fig. 6 bezeichnet sind. Der einzige Unterschied gegenüber dem Ausführungsbeispiel der Fig. 6 liegt darin, daß ein Prisma 26 hinzugefügt ist, daß also die Gesamtzahl der Prismen drei ist. Die Daten in den Beispielen 10 bis 19, bei denen drei Prismen verwendet werden, sind nachstehend dargestellt.
  • Die Brechungsindices nl, n2 und n3 der entsprechenden Prismen sind für eine Wellenlänge von 632,8 nm angegeben. Die Austrittscharakteristik für die Beispiele 10 bis 19 ist in den Fig. 18 bis 27 dargestellt.
    Beispiel Beispiel Beispiel Beispiel Beispiel
    10 11 12 13 14
    (Fig. 18) (Fig. 19) (Fig. 20) (Fig. 21) (Fig. 22)
    #1 42.1720 43.4858 41.2085 45.0961 42.6629
    #2 75.0241 78.1044 80.7010 83.6376 77.8454
    #3 137.0759 137.0730 136.5875 143.0296 140.8414
    #4 104.2346 105.6315 107.6315 117.3176 113.2971
    #5 67.0758 66.9652 66.7529 70.0085 70.1007
    #6 97.8326 96.6674 95.1253 97.2433 97.2433
    #1 32.8521 34.6186 39.4925 38.5415 35.1825
    #2 -32.8413 -31.4415 -28.9835 -25.7120 -27.5443
    #3 30.7568 29.7022 28.3724 27.2348 27.1426
    n1 1.601102 1.60102 1.51462 1.46920 1.51462
    n2 1.83958 1.83958 1.91411 1.74967 1.79883
    n3 1.51462 1.51462 1.51462 1.46920 1.51462
    (n1-1)#1 19.74 20.81 20.32 18.08 18.11
    (n2-1)#2 -32.00 -30.60 -28.07 -24.96 -26.75
    (n3-1)#3 15.83 15.29 14.60 12.78 13.97
    Beispiel Beispiel Beispiel Beispiel Beispiel
    15 16 17 18 19
    (Fig. 23) (Fig. 24) (Fig. 25) (Fig. 26) (Fig. 27)
    #1 41.3656 45.3990 51.9933 41.7235 55.3909
    #2 76.5332 82.2743 87.5356 79.2651 84.9739
    #3 140.0217 141.1690 144.9374 141.4557 146.5360
    #4 113.2971 110.6284 140.6284 113.4157 114.5877
    #5 70.1643 69.0062 69.0489 68.8639 72.5476
    #6 97.2433 97.2433 97.2433 97.2433 97.2433
    #1 35.1676 36.8753 35.5423 37.5416 29.583
    #2 -26.7246 -30.5406 -34.309 -28.04 -31.9483
    #3 27.079 28.2371 28.1944 28.3794 24.6957
    n1 1.51462 1.51462 1.51462 1.46920 1.60017
    n2 1.83958 1.74967 1.60017 1.74967 1.60017
    n3 1.51462 1.51462 1.51462 1.46920 1.6001
    (n1-1)#1 18.10 18.98 18.29 17.61 17.75
    (n2-1)#2 -25.89 -29.79 -33.71 -27.29 -19.17
    (n3-1)#3 13.94 14.53 14.51 13.32 14.82
    In den vorstehenden Beispielen sind afokale anamorphotische Prismensysteme mit zwei bzw. drei Prismen angegeben, es ist aber selbstverständlich möglich, vier oder mehr Prismen zu verwenden. Eine größere Anzahl von Prismen bedeutet jedoch eine größere Zahl von Faktoren, die die Planarität der Lichtbündel zwischen den Prismen beeinflussen, so daß die Konstruktion schwieriger wird und die Kosten erhöht werden.
  • Um den Lagefehler des abtastenden Lichtbündels, der von der "Neigung" der Lichtstrahl-Abtasteinrichtung (drehbarer Spiegel oder Schwingspiegel) herrührt, zu korrigieren, fällt gemäß vorstehender Beschreibung ein paralleles oder ein im wesentlichen paralleles Lichtbündel auf die Lichtstrahl-Abtasteinrichtung und wird von dort reflektiert; als ein afokales anamorphotisches System ist ein optisches Prismensystem mit einer Mehrzahl von prismen, von denen jedes mindestens einen Scheitelwinkel aufweist, der von den anderen Scheitelwinkeln unterschiedlich ist, in dPm optischen Kondensorsystem angeordnet, das zwischen der Lichtstrahl-Abtasteinrichtung und der Abtastfläche vorgesehen ist, wodurch das parallele oder im wesentlichen parallele Lichtbündel von der Lichtstrahl-Abtasteinrtchtung in seinem Durchmesser in die Richtung aufgeweitet sein kann, um die "Neigung" zu korrigieren. Die Erfindung kann somit die "Neigung' der Lichtstrahl-Abtasteinrichtung durch eine einfache Einrichtung, die eine Kombination von Prismen aufweist, mit einer sehr hohen Genauigkeit korrigieren.

Claims (3)

  1. Patentansprüche Lichtstrahl-Abtastvorr htung, gekennzeichnet durch eine Lichtquelle (4), durch einen Ablenkspiegel (7), der ein Lichtbündel von der Lichtquelle um eine Achse ablenkt, gegen die das Lichtbündel gerichtet wird, durch ein optisches afokales anamorphotisches Prismensystem (9) für die Korrektur der Neigung, das im Weg des abgelenkten Lichtbündels nach dem Ablenkspiegel angeordnet ist, wobei das afokale, anamorphotische Prismensystem eine Mehrzahl von Prismen (10,11,12) aufweist, so daß durch das erste der Prismen verursachte unterschiedliche Versetzungen des abgelenkten Lichtbündels bei jedem Ablenkwinkel und in einer zur Ablenkrichtung senkrechten Richtung durch das zweite und die nachfolgenden Prismen korrigiert werden, wobei die Zählweise der Prismen in Lichtstrahlricntung erfolgt, und durch ein optisches Kondensorsystem (13), das zwischen dem afokalen anamorphotischen Prismensystem und einer Abtastfläche (14) angeordnet ist, wodurch das abodenkte Lichtbündel vom afokalen anamorphotischen Prismensystem auf die Abtastfläche (14) konzentriert wird.
  2. 2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzichnet, daß das afokale anamorphotische Prismensystem so konstruiert ist, daß der Winkel zwischen der Standardablenkebene des abgelenkten Lichtbündels beim Austritt aus dem afokalen anamorphotischen Prismensystem und dem tatsächlich abgelenkten Lichtbündel gleich oder kleiner als 0,00997 ist.
  3. 3. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das afokale anamorphotische Prismensystem so konstruiert ist, daß der Winkel zwischen dem Hauptstrahl in dem abgelenkten Lichtbündel beim Auftreffen auf das afokale anamorphotische Prismensystem und dem Hauptstrahl in dem abgelenkten Lichtbündel beim Austritt aus dem afokalen anamorphotischen Prismensystem gleich oder kleiner als 0,051 ist.
DE19762647397 1975-10-21 1976-10-20 Lichtstrahl-abtastvorrichtung Withdrawn DE2647397A1 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP50126612A JPS599883B2 (ja) 1975-10-21 1975-10-21 光ビ−ム走査装置
JP12173576A JPS5346746A (en) 1976-10-08 1976-10-08 Optical beam scanner

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE2647397A1 true DE2647397A1 (de) 1977-05-05

Family

ID=26459023

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19762647397 Withdrawn DE2647397A1 (de) 1975-10-21 1976-10-20 Lichtstrahl-abtastvorrichtung

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE2647397A1 (de)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2852798A1 (de) * 1977-12-07 1979-07-05 Canon Kk Optische abtastvorrichtung
FR2459513A1 (fr) * 1979-06-15 1981-01-09 Hitachi Ltd Unite optique de traitement d'informations
EP0499421A1 (de) * 1991-02-15 1992-08-19 Gec-Marconi (Holdings) Limited Wärmebildsystem

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2852798A1 (de) * 1977-12-07 1979-07-05 Canon Kk Optische abtastvorrichtung
FR2459513A1 (fr) * 1979-06-15 1981-01-09 Hitachi Ltd Unite optique de traitement d'informations
EP0499421A1 (de) * 1991-02-15 1992-08-19 Gec-Marconi (Holdings) Limited Wärmebildsystem
US5274489A (en) * 1991-02-15 1993-12-28 Gec-Marconi Limited Thermal imager systems

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3033207C2 (de)
DE3207441C2 (de)
DE3207468C2 (de)
DE2802417A1 (de) Abtastvorrichtung
EP0484276A1 (de) Verfahren, bei dem mehrere, in einer oder mehreren Reihen angeordnete Strahlungsquellen abgebildet werden und Vorrichtung hierzu
DE102009045096A1 (de) Beleuchtungssystem mit einer Spiegelanordnung aus zwei Spiegeln
DE2917221A1 (de) Optisches bilderzeugungssystem fuer halbleiterlaser
DE102017205889B4 (de) Optische Anordnung und Verfahren zur Laserinterferenzstrukturierung einer Probe
DE2855689C2 (de)
DE2713890C2 (de)
DE102007057868A1 (de) Vorrichtung zur Strahlformung
DE2333281C3 (de) Verfahren zur Ermittlung der Fokussierung eines auf ein Objekt ausgesandten kohärenten Lichtstrahls
DE2834085C2 (de)
DE102009009366A1 (de) Vorrichtung zur Homogenisierung von Laserstrahlung
DE3609657C2 (de)
DE102020114077A1 (de) Vorrichtung zur Homogenisierung von Laserlicht und Anordnung einer Mehrzahl derartiger Vorrichtungen
DE69011160T2 (de) Optisches Abtastsystem.
DE2348025A1 (de) Verfahren und vorrichtung zur behandlung von werkstuecken mittels laserstrahlung
DE3935239A1 (de) Abtastgeraet
DE69107384T2 (de) Optisches Abtastsystem.
DE1447252A1 (de) Optisches System mit Zylinderbrechkraft
DE102017123462A1 (de) Optische Vorrichtung für eine Abstandsmessvorrichtung nach dem LIDAR-Prinzip
DE2647397A1 (de) Lichtstrahl-abtastvorrichtung
DE2517821C3 (de) Lichtstrahlabtasteinrichtung
DE4221067C2 (de) Optisches Abtastsystem

Legal Events

Date Code Title Description
8141 Disposal/no request for examination