DE2638830A1 - Vorrichtung zur durchfuehrung eines innenbeschichtungsverfahrens - Google Patents
Vorrichtung zur durchfuehrung eines innenbeschichtungsverfahrensInfo
- Publication number
- DE2638830A1 DE2638830A1 DE19762638830 DE2638830A DE2638830A1 DE 2638830 A1 DE2638830 A1 DE 2638830A1 DE 19762638830 DE19762638830 DE 19762638830 DE 2638830 A DE2638830 A DE 2638830A DE 2638830 A1 DE2638830 A1 DE 2638830A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- tubes
- coating
- heating element
- heating device
- graphite
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/018—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD] by glass deposition on a glass substrate, e.g. by inside-, modified-, plasma-, or plasma modified- chemical vapour deposition [ICVD, MCVD, PCVD, PMCVD], i.e. by thin layer coating on the inside or outside of a glass tube or on a glass rod
- C03B37/01807—Reactant delivery systems, e.g. reactant deposition burners
- C03B37/01815—Reactant deposition burners or deposition heating means
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/018—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD] by glass deposition on a glass substrate, e.g. by inside-, modified-, plasma-, or plasma modified- chemical vapour deposition [ICVD, MCVD, PCVD, PMCVD], i.e. by thin layer coating on the inside or outside of a glass tube or on a glass rod
- C03B37/01884—Means for supporting, rotating and translating tubes or rods being formed, e.g. lathes
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/04—Coating on selected surface areas, e.g. using masks
- C23C16/045—Coating cavities or hollow spaces, e.g. interior of tubes; Infiltration of porous substrates
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Furnace Details (AREA)
Description
- "Vorrichtung zur Durchführung eines Innenbeschichtungsverfahrens" Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zur DurchrEhrung eines Innenbeschichtungsverfahrens bei Hohlkörpern, bei dem diese von reaktiven gasförmigen Beschichtungskomponenten durchströmt und an ihrer Innenwandung zur Herbeiführung einer Reaktion zwischen den Beschichtungskomponenten auf eine hohe Temperatur aufgeheizt werden.
- Unter Hohlkörpern sollen insbesondeisaus Glas oder Quarzglas geformte Rohre verstanden werden, aus denen durch Aufbringung einer Innenbeschichtung ein Zwischenprodukt für die Herstellung von Lichtleitfasern entsteht. Der mit einer Innenbeschichtung versehene Hohlkörper wird auf Faserziehmaschinen erhitzt und zu einer Lichtleitfaser mit testes Querschnitt ausgezogen.
- Lichtleitfasern mit hervorragenden optischen Eigenschaften werden bereits in naher Zukunft als Übertragungsmedium für Lichtsignale in optischen Nachrichtenübertragungssystemen eingesetzt werden, die sehr große Informationsmengen zu übertragen gestatten, Bei Lichtleitiasern, die extren geringe Übertragungsverluste zeigen sollen, werden sehr hohe Anforderungen an das Heritellungsverfahren gestellt. Insbesondere bei einer Massenfertigung von Lichtleitfasern, die Voraussetzung für eine zuverlässige und preisgunstige Belieferung des Marktes ist, sind erhebliche Anstrengungen zu unternehmen, um Lichtleitfasern mit reproduzierbar guten Eigenchaften herzustellen.
- Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung anzugeben, die die preisgünstige Herstellung qualitativ hochwertiger innenbeschichteter Hohlkörper, einer Zwischen stufe der Lichtleiterfertigung, ermoglicht. Dieses Proben wird bei einer Vorrichtung der eingangs näher bezeichneten Art durch die im Patentanspruch 1 angegebene Erfindung gelöst.
- Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung gehen aus den Merkmalen der weiteren Unteransprüche hervor.
- Die frfndung wird nachfolgend unter Bezug auf die Zeichnung nä-' her erläutert. Fig, 1 zeigt in einer schematischen Schnittdarstellung lediglich die wichtigsten Merkmale der erfindungsgemäßen Vorrichtung zur Durchführung eines Innenbeschichtungsverfahrens. In einer eine erste 10 und zweite 11 Abschlußplatte mit fluchtend angeordnet Durchbrüchen enthaltenden Aufnahmevorrichtung sind mehrere mit einer Innenbeschichtung zu versehende Hohlkörper 12 senkrecht stehend in Reihe angeordnet, Die Bohikörper sind rohrförmig und bestehen aus Glas oder Quarzglas. Zwischen den die Hohlkörper 12 halternden Abschlußplatten 10, 11, ist eine mit 13 bezeichnete Heizvorrichtung angeordnet, die zwischen den Abschlußplatten 10,11 aut- und stbewegbar ist und die Jeden der Hohlkörper 12 in gleicher Höhe lediglich in eines Teil seiner Längsausdehnung koaxial umfaßt, Die Erzeugung der Innenbeschichtung auf der Innenwandung der Hohlkörper 12 erfolgt auf an sich bekannte Weise durch Kiederschlag des Beschichtungsmaterials aus der Gas- oder Dampfphase, Dabei werden reaktive Beschichtungskomponenten vorzugsweise mittels eines geeigneten Trägergases durch die Hohlkörper hindurchgeleitet während deren Innenwandung auf eine zur Herbeinführung einer Reaktion zwischen den Beschichtungskomponen ten ausreichend hohe Temperatur aufgeheizt wird.
- Als Trägergas wird zweckmäßig Sauerstoffgas verwendet, das mit einstellbarer Durchflußrate durch Beschichtungssubstanzen in flüssiger Form enthaltende Waschflaschen 14 hindurchperlt.
- 15 Über eine Mischvorrichtung/ und eine Verteilungsvorrichtung 16 werden die Beschichtungssubstanzen in das Innere der zu beschichtenden Rohre 12 geleitet.
- lis Heizvorrihtung 13 wird zweckmäßig ein elektrischer Widerstandsofen verwendet. Durch die erfindungsgemäß ausgebildete Form des Widerstandsheizelements, die aus Fig. 2 und Fig. 3 ersichtlich ist, wird eine besonders gleichmäßige Aufheizung der jeweils von der Heizvorrichtung umfaßten Rohrabschitte erreicht.
- Fig. 2 zeigt die Heizvorrichtung 13 im Schnitt senkrecht zu einer die Rohre 12 verbindenden Linie. Eine Ofenwandung 20 umschließt bis auf die Durchführungsöffnungen für die zu beschichtende Rohre das in Fig. 3 noch einmal getrennt dargestellte Widerstandsheizelement 21. Vorzugsweise wird die Ofenwandung mit Wasser gekühlt und ist zu diesem Zweck doppelwandig ausgebildet oder zumindest mit Eühlmittelkanälen versehen.
- Das Heizelement 21 selbst (Fig, 2, 3) ist symmetrisch ausgebildet. In einem relativ dickwandigen zentralen Teil 25 sind gleichmäßig beabstandet die Durchführungsöffnungen 26 für die zu beschichtenden Rohre angeordnet. Beidseitig an diesen zentralen Teil des Heizelements schließen sich im Vergleich zum zentralen Teil relativ dünnwandige Bereiche 27 an, die wiederum von Bereichen 28 mit der dem Zentralteil entsprechenden Dicke abgeschlossen sind. Diese äußeren Bereiche des Heizelementes tragen auch die Elektroden 23 bzw. 24 zur Zuführung des für die Aufheizung erforderlichen Betriebsstroms.
- Das Heizel,ement 21 selbst besteht zweckmäßig aus Graphit; Jedoch sind auch andere Substanzen wie beispielsweise Wolfram, Tantal, Molybdän, Platin oder Iridium für diesen Zweck geeignet. Bei Stromdurchgang durch das Heizelement werden vornehmlich die Bereiche 27 relativ geringer Wandstärke, die an den zentralen Teil 25 des Heizelements angrenzen, erhitzt, weil diese dem Stromdurchgang einen größeren Widerstand bieten als die dickwandigeren Bereiche des Heizelements. In dem relativ dickwandigen zentralen Teil des Heizelements wird die durch Stromdurchgang erzeugte Wärme sehr gleichmäßig auf die in den Durch-26 führungsöffnungen/angeordneten,zu beschichtenden Rohre 12 (Fig. 1) übertragen.
- Unter Umständen ist es zweckmäßig, auch die Kontakte für den Betriebsstrom ebenfalls wie die Ofenwandung mit einem flüssigen Kühlmittel zu kühlen.
- Um den bei Anwesenheit von Sauerstoff stattfindenden Abbrand des Heizelements 81 zu verhindern, wird das Heizelement zweckmäßig in einer Schutzgasatmosphäre, beispielsweise Argongas, angeordnet. Wie aus Fig. 2 ersichtlich ist, wird das Heizelement 21 durch ein hitzebeständiges Isoliermaterial 22 gegen die Ofenwandung 20 abgestützt. Die Durchbruchsöffnungen und die Zuführungsleitungen für Kühlmittel, Schutzgas und dem Betriebsstrom sind in dieser Figur nicht dargestellt.
- L e e r s e i t e
Claims (1)
- P a t e n t a n s p r ti c h e 1. Vorrichtung zur Durchführung eines Innenbeschichtungsverahrens bei Hohlkörpern, bei dem diese von reaktiven gasförmigen Beschichtungskomponenten durchströmt und an ihrer Innenwandung zur Herbeiführung einer Reaktion zwischen den Beschichtungskomponenten auf eine hohe Temperatur aufgeheizt werden gekennzeichnet durch eine erste und zweite Abschlußplatte (10, 11) mit fluchtend angeordneten Durchbrüchen, zwischen denen mehrere mit einer Innenbeschichtung zu versehende Hohlkörper (12) senkrecht stehend angeordnet sind, und gekennzeichnet durch eine zwischen den die Hohlkörper (12) halternden Abschlußplatten (10, 11) auf- und abbewegbare, werden der Hohlkörper (12) in gleicher Höhe lediglich in einem Teil seiner Längsausdehnung koaxial umfassende5 Heizvorrichtung (13).2, Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Hohlkörper (12) in Reihe angeordnet sind, 3. Vorrichtung nach den Ansprüchen 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß als Heizvorrichtung ein elektrisch heizbarer Ofen vorgesehen ist, der aus einem allseitig von einer Ofenwandung (20) umgebenen Heizelement (21) besteht, 4, Vorrichtung nach den Ansprüchen 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Ofenwandung (20) doppelwandig ausgebildet oder mit Kühlmittelkanälen versehen ist, 5. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Heizelement (21) aus Graphit besteht.6, Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens das Heizelement (21) in einer Schutzgasatmosphäre angeordnet ist,
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19762638830 DE2638830A1 (de) | 1976-08-28 | 1976-08-28 | Vorrichtung zur durchfuehrung eines innenbeschichtungsverfahrens |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19762638830 DE2638830A1 (de) | 1976-08-28 | 1976-08-28 | Vorrichtung zur durchfuehrung eines innenbeschichtungsverfahrens |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2638830A1 true DE2638830A1 (de) | 1978-03-02 |
Family
ID=5986596
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19762638830 Withdrawn DE2638830A1 (de) | 1976-08-28 | 1976-08-28 | Vorrichtung zur durchfuehrung eines innenbeschichtungsverfahrens |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE2638830A1 (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
NL1012616C2 (nl) * | 1999-07-16 | 2001-01-17 | Plasma Optical Fibre Bv | Werkwijze ter vervaardiging van een voorvorm, alsmede vezel verkregen uit een dergelijke voorvorm. |
-
1976
- 1976-08-28 DE DE19762638830 patent/DE2638830A1/de not_active Withdrawn
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
NL1012616C2 (nl) * | 1999-07-16 | 2001-01-17 | Plasma Optical Fibre Bv | Werkwijze ter vervaardiging van een voorvorm, alsmede vezel verkregen uit een dergelijke voorvorm. |
WO2001005721A1 (en) * | 1999-07-16 | 2001-01-25 | Draka Fibre Technology B.V. | Method for making a glass preform and an optical fibre obtained from the preform |
US6718801B1 (en) | 1999-07-16 | 2004-04-13 | Plasma Optical Fibre B.V. | MCVD/PCVD method for making a preform with movement of a furnace |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE2647121C2 (de) | Verfahren zur Herstellung einer Vorform für optische Fasern | |
EP1054841B1 (de) | Verfahren zur herstellung eines rohres aus glasigem werkstoff, insbesondere aus quarzglas | |
DE3539981C1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Behandlung von Halbleitermaterialien | |
DE3022259C2 (de) | ||
DE3601711A1 (de) | Reaktor zum erzeugen von aus daempfen erzeugten niederschlaegen auf einem substrat | |
DE2908092C3 (de) | Verfahren zur Herstellung einer optischen Faservorform | |
EP0261742A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Innenbeschichten von Rohren | |
DE3235465A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zum herstellen einer lichtleitervorform | |
DE2739680A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zum beschichten einer rohrinnenwandung mit glas | |
EP0171103B1 (de) | Verfahren zum Herstellen massiver gläserner Vorformen aus hohlen Vorformen | |
DE3118351A1 (de) | "vorrichtung zum niederschlagen einer schicht aus glas auf einer inneren oberflaeche eines glas-fangrohres" | |
DE69215415T2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Heizen von langen Glassubstraten | |
DE2850493B2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur stetigen Herstellung von optischen Glasfasern | |
DE2638830A1 (de) | Vorrichtung zur durchfuehrung eines innenbeschichtungsverfahrens | |
DE3149167C2 (de) | Brenner für die Herstellung von Vorformen für Lichtleitfasern aus Glas | |
EP1184345A2 (de) | Verfahren zur Unterdrückung der Sauerstoffblasenbildung in Glasschmelzen, eine Vorrichtung hierzu sowie die Verwendung des so erhaltenen Glases | |
CH642336A5 (de) | Verfahren und vorrichtung zur herstellung von optischen glasgegenstaenden. | |
DE2605483A1 (de) | Verfahren zur herstellung eines lichtleiters | |
DE2160670B2 (de) | Verfahren zur Herstellung von zylindrischen Körpern aus Halbleitermaterial | |
DE3427323A1 (de) | Verfahren zur herstellung eines aerosolstromes | |
DE3903466A1 (de) | Heizofen fuer die innenbeschichtung von vorformen fuer lichtwellenleiter | |
DE69208568T2 (de) | Verfahren zur Herstellung einer optischen Faser | |
DE2123197B2 (de) | ||
DE3731345A1 (de) | Verfahren zur herstellung einer vorform fuer einen lichtwellenleiter | |
DE2758024A1 (de) | Einrichtung zur schutzgaserzeugung im ofenraum |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8141 | Disposal/no request for examination |