DE2610032B2 - Einrichtung zum Reinigen der Oberfläche von kupferkaschierten Lagen von Leiterplatten - Google Patents
Einrichtung zum Reinigen der Oberfläche von kupferkaschierten Lagen von LeiterplattenInfo
- Publication number
- DE2610032B2 DE2610032B2 DE19762610032 DE2610032A DE2610032B2 DE 2610032 B2 DE2610032 B2 DE 2610032B2 DE 19762610032 DE19762610032 DE 19762610032 DE 2610032 A DE2610032 A DE 2610032A DE 2610032 B2 DE2610032 B2 DE 2610032B2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- etching
- rollers
- transport
- copper
- etchant
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/02—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which the conductive material is applied to the surface of the insulating support and is thereafter removed from such areas of the surface which are not intended for current conducting or shielding
- H05K3/06—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which the conductive material is applied to the surface of the insulating support and is thereafter removed from such areas of the surface which are not intended for current conducting or shielding the conductive material being removed chemically or electrolytically, e.g. by photo-etch process
- H05K3/068—Apparatus for etching printed circuits
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23F—NON-MECHANICAL REMOVAL OF METALLIC MATERIAL FROM SURFACE; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL; MULTI-STEP PROCESSES FOR SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INVOLVING AT LEAST ONE PROCESS PROVIDED FOR IN CLASS C23 AND AT LEAST ONE PROCESS COVERED BY SUBCLASS C21D OR C22F OR CLASS C25
- C23F1/00—Etching metallic material by chemical means
- C23F1/08—Apparatus, e.g. for photomechanical printing surfaces
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)
- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
Description
Die Erfindung bezieht sich auf eine Einrichtung zum Reinigen der Oberflächen von kupferkaschierten Lagen
von Leiterplatten durch Anätzen und anschließendes Dekapieren gemäß dem Oberbegriff des Hauptanspruchs.
Im galvanotechnischen Bereich tritt besonders häufig
das Problem auf, vor einem Beschichtungsvorgang die Oberfläche der zu beschichtenden Werkstücke so
vorzubereiten, daß diese einen sicheren Haftgrund für das aufzubringende Material bietet. Dabei wird die
Oberfläche gereinigt, d. h. von anhaftenden Schmutzteilchen befreit und entfettet, darüber hinaus muß man aber
auch vielfach eine an der Oberfläche anhaftende Oxydhaut ablösen.
Ein spezieller Anwendungsfall, in dem auch dieses Problem eine große Rolle spielt, ist die Leiterplattenherstellung.
Hier werden große Anstrengungen unternommen, die bei den elektronischen Bauelementen
erreichte hohe Packungsdichte auch im Bereich der Aufbautechnik, d. h. im Aufbau der Schaltungsplatte
nachzuvollziehen. Das hat neben einer sehr dichten Belegung der Leiterplatten mit dünnen Leiterbahnen
und einem engen Raster für die Kontaktierungsbohrungen dazu geführt, Leiterplatten auch mehrlagig mit
dünnen Innenlagen auszuführen. Diese Randbedingungen erfordern eine präzise Fertigungstechnik, um die
mechanischen und elektrischen Toleranzen einhalten zu können. Das Halbzeug, aus dem eine Leiterplaltenlage
gefertigt wird, ist ein Isolierstoffträger aus Epoxydharz, der ein- oder doppelseitig eine Kupferkaschierung trägt.
Auf diese Oberfläche muß die Leiterbahnenkonfiguration übertragen werden. Das kann beispielsweise in
einem Fotodruckverfahren geschehen, bei dem die Oberfläche des Halbzeugs mit einer Fotopolymermasse
beschichtet wird. Bei einem Belichtungsvorgang wird die gewünschte Leiterbahnenkonfiguration von einer
ι« Maske auf diese Fotopolymerschicht übertragen, diese dabei im Bereich der Leiterbahnen ausgehärtet.
Anschließend werden die nicht ausgehärteten Teile der Oberfläche abgelöst. So wird ein Teil der Kupferkaschierung
freigelegt, der abgeätzt werden kann.
'5 Bei der obenerwähnten dichten Belegung der
Leiterplatte mit Leiterbahnen erfordert diese Herstellungsmethode eine sehr gute Leitung zwischen der
Fotopolymermasse und der Kupferkaschierung, damit Leiterbahnenabschnitte beim Ätzvorgang nicht angegriffen
oder sogar unterbrochen werden. Dies gilt insbesondere dann, wenn die Isolierstoffplatte, wie bei
einer Innenlage einer mehrlagigen Leiterplatte, sehr dünn ist und damit bei ihrer Verarbeitung mechanisch
stark beansprucht wird.
Um einen ausreichend sicheren Haftgrund auf der Kupferkaschierung für die Fotopolymermasse zu
erzeugen, werden Halbzeuge bisher vielfach entweder maschinell gebürstet oder naßsandgestrahlt und anschließend
chemisch gereinigt. Naßsandstrahlen liefert
ίο bessere Ergebnisse als maschinelles Bürsten, ist jedoch
sehr aufwendig und kann wegen der mechanischen Beanspruchung bei dünnen Halbzeugen nicht angewendet
werden.
Solche dünnen Innenlagen von Leiterplatten werden
Solche dünnen Innenlagen von Leiterplatten werden
**> daher rein chemisch gereinigt. Dabei werden die dünnen
Halbzeuge bisher von Hand einer Tauchbehandlung unterzogen, die in folgender Reihenfolge abläuft: In
einem Bad mit kaltem Neutralreiniger werden die Halbzeuge entfettet und nach gründlichem Spülen
■to wenige Sekunden in eine Kupferchloridätze getaucht.
Zwischen mehreren nachfolgenden Spülvorgängen wird das Halbzeug in einem Salzsäurebad dekapiert und
anschließend getrocknet. Solche so vorbehandelten Halbzeuge weisen eine Oberfläche auf, die gegenüber
■»■> maschinengebürsteten Halbzeugen einen wesentlich
besseren Haftgrund bietet.
Die beschriebene Tauchbehandlung liefest nun zwar gute Resultate, ist aber wegen ihrer manuellen
Durchführung kostenintensiv. Die bisherigen Versuche,
die Tauchbehandlung mit Kupferchloridätze zu mechanisieren, scheiterten daran, daß von der Kupferkaschierung
zuviel Kupfer, insbesondere auch von den Lochwänden in Kontaktierungsbohrungen abgetragen
wurde. So haben z. B. Versuche in einer herkömmlichen
r>5 Ätzmaschine, in der eine horizontal mit konstanter
Geschwindigkeit geführte Leiterplatte von beiden Seiten mit dem Ätzmittel besprüht wird, ergeben, daß
auch bei reduziertem Sprühdruck und maximaler Durchlaufgeschwindigkeit noch 7— ΙΟμπι von der
bo Kupferoberfläche abgetragen werden. Bei der dünnen
Kupferkaschierung ist dieser Wert für den Reinigungsprozeß entschieden zu hoch.
Nun ist auf dem Gebiet der Drucktechnik eine Vorrichtung zur Behandlung einer Druckplatte für eine
i'r>
Druckmaschine bekannt, die zum Fertigstellen der Druckplatte vor dem eigentlichen Druckvorgang dient.
Beim Offsetdruck werden die Druckplatten mit einer desensibilisierenden, d. h. die Druckfarbe in Detailberei-
chen abstoßenden Ätzlösung behandelt, so dalj nur auf
die verbleibenden Bildbereiche der Druckplatte Druckfarbe aufgebracht werden kann. Da/u wird die in einem
elektrofotografischen Kopiergerät vorbereitete Druckplatte mit einer Ätzlösung behandelt, die Ätzlösung
getrocknet und erst wieder Wasser auf die Druckplatte aufgebracht, wenn der Druckvorgang durchgeführt
wird. Die Ätzlösung wird dabei wieder reaktionsfähig.
Um dies zu erreichen, ist die bekannte Vorrichtung derart ausgebildet, daß eine vorbereitete und entwickelte
Druckplaae, die auf einem Zuführtisch liegt, zwischen diesen und einem Aufnahmetisch in einer Schleife
zweimal eine Heizstation durchläuft. Beim erstmaligen Erwärmen der Druckplatte in der Heizstation wird auf
eine trockene oder flüssige Fixierlösung eingewirkt und die Druckplatte anschließend einer Ätzstalion zugeführt,
in der mit Hilfe einer Auftragwalze die desensibilisierende Ätzlösung auf die Oberfläche der
Druckplatte aufgebracht wird. Um die Ätzlösung mit hohem Wirkungsgrad auf die Druckplatte aufzubringen,
hat die Auftragwalze einen eigenen Antrieb, der ihr eine gegenüber der Transportgeschwindigkeit höhere Umfangsgeschwindigkeit
erteilt. Überschüssige Ätzlösung wird anschließend durch ein nachgeordnetes Paar von
Quetschwalzen wieder von der Oberfläche der Druckplatte entfernt. Danach wird die Druckplatte ein zweites
Mal durch die Heizstation geführt, um die Ätzlösung vor der Ausgabe der Druckplatte auf einem Aufnahmetisch
zu trocknen.
Der Erfindung liegt daher, ausgehend von diesem Stand der Technik, die Aufgabe zugrunde, eine
Einrichtung der eingangs genannten Art zu schaffen, die durch Aufwalzen der aggressiven Kupferchloridätze auf
die Oberfläche der Kupferkaschierung einer Leiterplattenlage eine definierte Menge Ätze aufzubringen
gestattet, die wiederum nur eine genau definierte Zeitspanne einwirken kann. Damit soll eine automatische,
vollständig= Reinigung der Halbzeuge durch Anätzen, der gewünschte sichere Haftgrund jedoch
bereits bei wesentlich geringeren Schichtdicken der abgetragenen metallischen Oberfläche als mit den
bisher in der Galvanotechnik bekannten Ätzmaschinen erreicht werden.
Bei einer Einrichtung der eingangs genannten Art wird diese Aufgabe erfindungsgemäß mit den im
Kennzeichen des Hauptanspruches beschriebenen Merkmalen gelöst. Diese Einrichtung mit einer horizontal
angeordneten Transportbahn läßt sich ohne weiteres in eine Anlage einbauen, in der nach dem Fließbandschema
der beschriebene Reinigungsprozeß automasisch abläuft. In einer derartigen Anlage wird nur eine
geringe, jedoch definierte Schichtdicke an Kupfer von etwa 2 μηι abgetragen. Dieser Wert gilt insbesondere
für die Lochwände in den Kontaktierungsbohrungen, in denen die anhaftende Kupferhülse nur wenige um stark
ist. Dieses günstige Ergebnis ist darauf zurückzuführen, daß in diese Bohrungen nur geringe Mengen der
frischen Ätze gelangen, während andererseits die zu reinigende plane Oberfläche der Werkstücke ausreichend
benetzt wird. Dies ist möglich, weil mit der erfindungsgemäß ausgebildeten Einrichtung jeweils
eine definierte Menge des Ätzmittels während einer exakt festzulegenden Zeitspanne auf die plane Oberfläche
der Leiterplattenlage einwirkt. Im Gegensatz zu der bekannten Vorrichtung wird hier also nicht eine
beliebige Menge von Ätzflüssigkeit auf die Oberfläche des Werkstücks aufgebracht und überschüssige Ätze
wieder durch ein weiteres WalzenDaar entfernt.
Vielmehr wird durch eine einsprechende Beschichtung
der Ät/walzen in Verbindung mit der gewählten Transportgeschwindigkeit der Werkstücke der Einfluß
der Parameter Einwirkmenge und Einwirk/eit definiert r>
gesteuert.
Weiterbildungen der Erfindung sind in Unieranspni ehen gekennzeichnet und in der nachfolgenden
Beschreibung eines Ausführiingsbeispieles näher erliiiiiert.
lu Das für die nähere Erläuterung der Erfindung
nachfolgend beschriebene Ausführungsbeispiel bezieht sich auf einen speziellen Anwendungsfall, bei dem die
Einrichtung zum Reinigen der Oberfläche von kupferkaschierten Lagen von Leiterplatten verwendet wird, um
auf der Kupferkaschieriing eines Isolierstoffträgers einen sicheren llaftgriind für eine anschließend
aufzubringende l'otopolymennasse zu schaffen. Dieses
Ausführungsbeispiel wird anhand der Zeichnung beschrieben. Dabei zeigt
zu Fig. 1 die schematische Ski/./e einer erfindungsgemäß
ausgebildeten Einrichtung zum Anätzen der Kupferkaschierung eines horizontal geführten Halbzeugs
und
Fig. 2 ein Fließschema des Fertigungsablaufs beim
21S chemischen Reinigen der metallischen Oberfläche des
zu behandelnden Werkstückes durch Anätzen und anschließendes Dekapieren.
In der in F i g. I schematisch dargestellten Einrichtung
zum automatischen Ätzen wird ein plattenförmig
»ο ausgebildetes Halbzeug 1, bestehend aus einem
Isolierstoffträger mit beidseitiger Kupferkaschierung auf einer Transportbahn, die durch Transportrollen 2
schematisch angedeutet ist, mit konstanter Transportgeschwindigkeit ν horizontal geführt. Ober- und
!■> unterhalb dieser Transporlbahn sind zwei Paare von
Ätzwalzen drehbeweglich gelagert. Durch Pfeile 4 ist dabei schematisch angedeutet, daß das oberhalb der
Transportbahn angeordnete Paar von Ätzwalzen 32 senkrecht zur Transportbahn verschiebbar angeordnet
«ι ist. So ist der gegenseitige Abstand der beiden an der
gleichen Stelle der Transportbahn angeordneten Ätzwalzen 31 bzw. 32 jeweils auf verschiedene Dicken zu
behandelnder Halbzeuge 1 einzurichten. Alle Ätzwalzen 31 bzw. 32 sind an ihrem Umfang mit einem weichen,
i'j porösen Material 33, ζ. Β. Moosgummi, beschichtet.
Die beiden unterhalb der Transportbahn angeordneten Ätzwalzen 31 tauchen in eine Bodenwanne 5 ein, die
mit Kupferchloridätze CuCb gefüllt ist. Mit einem in die Bodenwanne 5 eingesetzten Überlaufrohr 6 ist ein
definierter Fiillungsstand festgelegt.
Überlaufende Kupferchloridätze CuCb wird durch eine Pumpe 7 über ein schematisch angedeutetes
Rohrleitungssystem 8 sowohl wieder in die Bodenwanne 5 zurückgepumpt, als auch an die oberhalb der
Transportbahn angeordneten Ätzwalzen 32 herangeführt. Zum Benetzen ihrer Oberfläche ist hier eine
Abstreifrinne vorgesehen, die aus einer im wesentlichen radial zu der Ätzwalze ausgerichteten Platte 9 besteht
und — wie durch einen Pfeil 10 angedeutet ist — in
ο ihrem Abstand gegenüber der Ätzwalze 32 einstellbar ist. Oberhalb dieser Abstreifrinne endet das schematisch
angedeutete Rohrleitungssystem 8 in Rohrbögen 81, die
den Zulauf für die Kupferchloridätze bilden.
Mit den beschriebenen Auffangvorrichtungt:n der
■ ■> Kupferchloridätze kann die Oberfläche der Ätzwalzen
31 bzw. 32 bei einer bestimmten Umfangsgeschwindigkeit
eine genau definierte Menge der Ätze aufnehmen. Bei den beiden unterhalb der TransDortbahn anseord-
Helen Ätzwalzcn 31 wird dies durch den vom
IJberlaufi'olir 6 festgelegten Hilliingsgriid der Bodenwanne
5 erreicht. Bei den beiden anderen, oberhalb der Transportbahr! angeordneten Ät/wal/en 32 hängt dies
einmal von der durch die Pumpe 7 geförderten Menge an Kupferchloridäl/e, vor allem aber von dem Absland
ab, auf den die Platte 9 gegenüber der Oberfläche der zugeordneten Älzvval/e 32 eingestellt ist.
So lassen sich für jeden Anwendungsfall definierte Randbedingungen schaffen, so dall auch die Oberfläche
des durchlaufenden Werkstückes jeweils eine bestimmte Menge des Ätzmittels aufgerollt wird, die beim
Ätzvorgang reproduzierbare Hrgcbnissc liefert.
Anhand von F" i g. 2 soll nun noch der gesamte Verfahrensablauf erläutert werden, bei dem bekannte
(einrichtungen in Verbindung mit der beschriebenen Hinrichtung benutzt werden. Kin zu reinigendes
Halbzeug wird manuell in einen Kinlauf 20 einer
Hntfettungsanlage eingeschoben, durchläuft dabei ein Bad 21 mit einem kalten Netitralrcinigcr und wird in
mehreren Spiilvorgängen 22 gespült. Damit ist das Halbzeug entfettet und wird dann in der anhand von
Fig. t beschriebenen, liier mit 23 bezeichneten Hinrichtung
geätzt.
Danach durchläuft es eine Spülkammer 24 mit einem geschlossenen .Spülwasserumlauf, der sehematiscli
durch einen kreisförmigen Pfeil angedeutet ist. Dieser geschlossene Umlauf des Spülwassers verhindert, daß
unzulässige Kupferverunreinigungen des Spülwassers in
in das Abwasser gelangen, Das Halbzeug durchläuft dann
zum Dekapieren ein ,Salzsäurebad 25 und wird anschliel.iend wiederum in einer Spülkammer 26 mit
geschlossenem Spülwasscrumlauf gespült. Trotzdem noch verbliebene Rückstände an Salzsäure werden mit
weiteren Spiilvorgängen in Spülkammern mit Frischwasscrz.Lilauf
27 beseitigt.
Über einen Auslauf 28 der Badreihe gelangt das gereinigte Halbzeug in den Hinlauf eines Trockenautomaten
29 und verläßt diesen dann in trockenem Zustand durch seinen Auslauf.
Hierzu 2 Blatt Zeichnungen
Claims (2)
- Palentansprüche:I. Einrichtung zum Reinigen der Oberfläche von kupferkaschierten Lagen von Leiterplatten durch Anätzen und anschließendes Dekapieren, bei der in einer Äl/kainmer mit einer horizontal ausgerichteten Transportbahn für den kontinuierlichen Transport der Leiterplaltenlagen mindestens eine in Transportrichtung umlaufende und auf deren Oberfläche abrollende Ätzwalzc angeordnet ist, die mit einem porösen Material beschichtet und mit einem Ätzmittel getränkt ist, dadurch gekennzeichnet, daß neben Transportrollen (2) mit Transportgeschwindigkeit umlaufende Ätzwalzen (32, 3t) paarweise oberhalb bzw. unterhalb der Trunsportbahn angeordnet sind, wobei erstere in vertikaler Richtung verschiebbar gelagert sind, und daß den Ät2walzen je eine Auffangvorrichtung (5,9) für das Ätzmittel zugeordnet ist, die für die unterhalb der Transportbahn gelagerten Ätzwalzen (31) als Bodenwanne (5) mit einem Überlaufrohr (6) ausgebildet, in die die Ätzwalzen (31) eintauchen, und die für die oberhalb der Transportbahn gelagerten Ätzwalzen (32) jeweils als eine Abstreifrinne ausgebildet ist, bei der eine gegen die Oberfläche der zugeordneten Ätzwalze (32) gerichtete Platte (9) im wesentlichen radial zur Achse dieser Ätzwalze verschiebbar angeordnet ist.
- 2. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Oberfläche der Ätzwalzen (31, 32) mit Moosgummi (33) beschichtet ist.J. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 oder 2, gekennzeichnet durch einen geschlossenen Umlauf des Ätzmittels, in dem mittels einer Pumpe (7) ablaufendes Ätzmittel über ein Rohrleitungssystem (8) wieder an die Oberfläche der Ätzwalzen (31,32) zurückgeführt wird.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19762610032 DE2610032C3 (de) | 1976-03-10 | 1976-03-10 | Einrichtung zum Reinigen der Oberfläche von kupferkaschierten Lagen von Leiterplatten |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19762610032 DE2610032C3 (de) | 1976-03-10 | 1976-03-10 | Einrichtung zum Reinigen der Oberfläche von kupferkaschierten Lagen von Leiterplatten |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2610032A1 DE2610032A1 (de) | 1977-09-15 |
DE2610032B2 true DE2610032B2 (de) | 1978-03-02 |
DE2610032C3 DE2610032C3 (de) | 1978-10-26 |
Family
ID=5972058
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19762610032 Expired DE2610032C3 (de) | 1976-03-10 | 1976-03-10 | Einrichtung zum Reinigen der Oberfläche von kupferkaschierten Lagen von Leiterplatten |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE2610032C3 (de) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS56139676A (en) * | 1980-04-02 | 1981-10-31 | Toshiba Corp | Method and apparatus for etching metal sheet |
AT11005U1 (de) * | 2008-09-24 | 2010-02-15 | Austria Tech & System Tech | Verfahren zum verbessern der korrosionsbeständigkeit einer elektronischen komponente, insbesondere von leiterbahnen einer leiterplatte |
CN102586779A (zh) * | 2011-11-30 | 2012-07-18 | 常州亿晶光电科技有限公司 | 一种离液式硅片湿法刻蚀装置 |
-
1976
- 1976-03-10 DE DE19762610032 patent/DE2610032C3/de not_active Expired
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE2610032A1 (de) | 1977-09-15 |
DE2610032C3 (de) | 1978-10-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE2461121C3 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum automatischen Aufsprühen einer Flüssigkeit auf die Oberfläche eines flachen oder bandförmigen Gegenstands, insbesondere einer Druckplatte | |
DE2320199C3 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Reinigen gedruckter Leiterplatten | |
DE3543286A1 (de) | Verfahren zur metallisierung von oberflaechen flacher gegenstaende | |
DE2640932C2 (de) | ||
EP0301157A1 (de) | Druckplattenverarbeitungsgerät mit einer Einrichtung für die Spülwasserrückgewinnung | |
DE3141250A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur fortlaufenden bearbeitung von gedruckten leiterplatten | |
DE3011061A1 (de) | Verfahren zur intensivierung von spuel- und reinigungsprozessen fuer perforationen in formstuecken in spuel- und reinigungsautomaten | |
DE69408490T2 (de) | Vorrichtung zur Behandlung von Gegenständen mit Flüssigkeiten | |
CH688282A5 (de) | Galvanische Metallabscheidungsvorrichtung. | |
DE3924263C2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur elektrolytischen Entfernung von Schutzschichten von Metalllagen | |
DE2610032C3 (de) | Einrichtung zum Reinigen der Oberfläche von kupferkaschierten Lagen von Leiterplatten | |
EP0838134B1 (de) | Verfahren und vorrichtung zum chemischen und elektrolytischen behandeln von leiterplatten und leiterfolien | |
EP1409772B1 (de) | Verfahren zur selektiven galvanisierung eines bandartigen, metallischen trägermaterials | |
DE3039303C2 (de) | Vorrichtung zum kontinuierlichen Beizen eines Stahlbandes durch Säureangriff | |
DE4123985C2 (de) | Vorrichtung zur elektrolytischen Behandlung von Leiterplatten, insbesondere zur elektrolytischen Beschichtung mit Kupfer | |
DE3201880A1 (de) | Verfahren zum rueckstandsfreien entschichten von leiterplatten und vorrichtung zur durchfuehrung des verfahrens | |
EP0801883B1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur behandlung von mit feinsten löchern versehenen plattenförmigen werkstücken | |
DE2548414A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur elektrophoretischen beschichtung von gegenstaenden | |
DE19857157A1 (de) | Verfahren zur Herstellung einer selbsttragenden Metallfolie | |
EP0519262A1 (de) | Einrichtung zum elektrophoretischen Auftrag eines Lackes auf plattenförmige Werkstoffe | |
DE2529576C3 (de) | Vorrichtung zum einseitigen Entschichten eines Bandes | |
DE1954973C (de) | Verfahren zur Herstellung von mit einem Metallkern versehenen gedruck ten Schaltungen | |
DE2446368C3 (de) | Verfahren zur Herstellung von Mikroverdrahtungen zur Kontaktierung von Halbleiterschaltkreisen | |
DE2016969A1 (en) | Pickling process for obtaining perforations - in metallic sheet | |
DE4218101A1 (de) | Verfahren zum FCKW-losen Reinigen und/oder Entfetten von Teilen aus Aluminium oder Aluminiumlegierungen sowie Vorrichtung zum Durchführen des Verfahrens |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C3 | Grant after two publication steps (3rd publication) | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |