DE2608176A1 - Einrichtung zur kohaerenten beleuchtung von objekten - Google Patents

Einrichtung zur kohaerenten beleuchtung von objekten

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DE2608176A1
DE2608176A1 DE19762608176 DE2608176A DE2608176A1 DE 2608176 A1 DE2608176 A1 DE 2608176A1 DE 19762608176 DE19762608176 DE 19762608176 DE 2608176 A DE2608176 A DE 2608176A DE 2608176 A1 DE2608176 A1 DE 2608176A1
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Walentin Josifowitsc Naliwajko
Sergej Nikolajewit Natarowskij
Wladimir Lwowisch Woronzow
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INST ZEMNOGO MAGNETIZMA IONOSF
LE I TOTSCHNOJ MEKH I OPTIKI L
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INST ZEMNOGO MAGNETIZMA IONOSF
LE I TOTSCHNOJ MEKH I OPTIKI L
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    • G02B27/143Beam splitting or combining systems operating by reflection only using macroscopically faceted or segmented reflective surfaces

Description

  • Leningradskij istitut Tetschnej Mechaniki i Optiki Istitut @@@@@@@@@@@@@@@@, @@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@rijr @@@@@@@@@@ Akademii auß SSSR Einrichtung zur kohärenten Beleuchtung von Objekten 1<: vorliegende Erfindung bezieht sich auf optische Beleuch-Inrichtungen insbesondere auf eine Einrichtung zur kohärenten Beleuchtung von Objekten, die in optischen werden zur Unter@@@hung nich/selbstleuchtender Objekte im kohärenten Licht, in der Mikroskopie in Apparaten, die nach den bildtelegrafischen Ve@@hren arbeiten, in der Holografie sowie in Projektions systemen vervendet wird.
  • Der durch ein beliebiges optisches System gebildete Abbildungskonstrast eines Objekts wird bekanntlich sowohl durch die Eigenschaften dieses optischen Systems, zu denen seine Aberrrationseigenschaften gehören, als auch durch den Kohärenzgrad der Beleuchtung @@@ Objekts bestimmt (cf.Introduction to Furier Optics.
  • von Josef Goodman. McGraw Hill Book Co.St. Francisco, erz iorJ4 Et. Luis, Toronto, Sidney 1968).
  • Sein Kontrastvergleich eines Objekts mit dessen Bildkontrast wird der Begriff der sogenannten Übertragungsfunktion benutzt. Im Falle einer kohärenten Beleuchtung für optische Systeme mit einer guten Aberrationskorrektur ist die Übertragungsfunktion für sämtliche Raumfrequenzen praktisch konstant. Infolgedessen ist im Falle einer kohärenten Beleuchtung der Bildkrontrast analog de. Kontrast des Objekts. Bei einer nichtkohärenten Beleuchtung ist der Wert der Übertragungsfunktion sogar bei vollständiger Aberrations Korrrektur des optischen Systems für sämtliche Frequenzen de constant. Dabei ist der Bildkontrast immer kleiner als :rr Kontrast des Objekts. Für einzelne Objektteile, die einen usserst geringen Kontrast aufweisen, verursacht eine beliebige Kontrastverringerung den Verlust dieser Teile in der Abbildung.
  • Durch Verwendung einer allseitigen kohärenten Beleuchtung sämtlicher --n:te des Objekts lässt sich der Kontrastverlust in der Abbildung dieses Objekts vermeiden.
  • Eien Einrichtung, welche eine allseitige kohärente Beleuchtung samtlicher Punkte eines Objekts gewährleistet, ist gegenwärtig noch nicht bekannt.
  • In den zur Zeit bekannten Beleuchtungseinrichtungen, die eine kohärente Beleuchtung erzeugen, wird entweder eine nichtkohärente Lichtquelle mit einer Punktblende bzw. ein optischer Quantengenerator verwendet. Die Beleuchtungseinrichtungen zum L'rzeugen einer kohärenten Beleuchtung mit Hilfe einer nichtkohärenten Lichtquelle, müssen unbedingt eine Blende mit überaus kleinen Öffnungen enthalten, die den Kohärenzgrad der Beleuchtung bestimmen. Dabei ist der Kohärenzgrad der Beleuchtung umsohöher, je kleiner diese Öffnungen sind.
  • im zelle einer Beleuchtungseinrichtung mit einer nicht kohärenten Lichtquelle/Glühlampe, elektrischer Lichtbogen,Gasentladungslampe u.a./ und einer Blende mit einer kleinen Öffnung stellt diese Blendenöffnung eine kohärente Punkt licht quelle dar. Weren der geringen Abmessungen der Blendenöffnung wird nur ein verschwindend geringer Teil des durch die nichtkohärente Lichtquelle ausgestrahlten Lichtstroms verwertet, was energetisch äusserst unvorteilhaft ist.
  • Beleuchtungseinrichtungen mit einem optischen Quantengenerator werden gewöhnlich in wei Varianten ausgeführt.
  • in der ersten Ausführungsvariante dient als kohärente Lichtquelle ein optischer Quantengenerator, und ausserdem enthält die Beleuchtungseinrichtung ein zentriertes fokussierendes optiscr.es System. Dieses optische System ermöglicht eine Breitenänderung des Strahlenbündels des kohärenten Lichts, welches vom optischen Quantengenerator ausgestrahlt wird, wodurch die Grösse des beleuchteten Gebiets des betreffenden Objekts entsprechend geändert erden kann.
  • In der zweiten Ausführungsvariante enthält die Einrichtung zur kohärenten Beleuchtung von Objekten nur einen optischen Quantengenerator. Dabei wird das Objekt. unmittelbar durch das kohärente Lichtbündel beleuchtet, welches von diesem optischen Quantengenerator ausgestrahlt wird.
  • Der Kohärenz grad der Beleuchtung, welche durch Beleuchtungseinrichtungen erzeugt wird, die einen optischen Quantengenerator enthalten, wird durch die Eigenschaften dieses optischen Quantengenerators selbst sowie durch seine Betriebsart bestimmt. So ist beispielsweise im Falle eines Mehrmodenbetriebs der Kohärenzgrad geringer als im Einmodenbetrieb.
  • Eine gemeinsame Eigenschaft aller obenbeschriebenen optischen Einrichtungen beim Erzeugen einer Beleuchtung mit maximalem Kohärenzgrad ist, dass die Beleuchtung des Objekts praktisch dessen Beleuchtung durch eine Punktlichtquelle analog ist. Iiit anderen Worten - das Objekt wird dann durch eine einzige Lichtquelle beleuchtet.
  • Im Falle einer Beleuchtungseinrichtung, die'nur einen optischen Quantengenerator enthält, der im Einmodenbetrieb arbeitet, stellt das von ihm ausgestrahlte kohärente Lichtbündel ein Bündel paralleler Lichtstrahlen dar. Demnach wird das Objekt durch eine flache Lichtwelle beleuchtet, was dcr Seleuchtung des Objekts durch eine unendlich weitenfernte punktförmige Lichtquelle entspricht. Beim Einführen eines Fokussierenden optischen Systems in die-Beleuchtungseinrichtung wird die flache Lichtwelle in eine sphärische verwandelt. Dabei wird das Objekt durch diese einzige sphärische Welle beleuchtet, die aus dem bildseitigen Brennpunkt des fokussierenden optischen Systems ausgeht.
  • Der Kohnrenzgrad einer Beleuchtung wird letzten Endes.
  • durch den Annäherungsgrad der Licht wirkung der betreffenden Beleuchtungseinrichtung an die Lichtwirkung einer idealen Punktlichtquelle, d.h. einer Quelle bestimmt, die nur eine einzige Lichtwelle ausnutzt. Keine von den genannten Einrichtungen kann eine allseitige Beleuchtung jedes Punktes des Objekts gewährleisten, da eine allseitige Beleuchtung jedes Punktes eines Objekts nur in dem Falle stattfindet, wenn aus jedem Punkt der Austrittspupille der Beleuchtungseinrichtung ap jeden Punkt, des Objekts eine bestimmte Lichtenergie gelangt.
  • 9enn die diese Energie übertragenden Lichtwellen die gleiche Lange und eine konstante Phasendifferenz haben, so findet eihe allseitige kohärente Beleuchtung jedes Punktes des Objekts statt; Folglich gelangt an jeden Punkt des zu beleuchtenden Objekts eine Lichtwelle und, da ein reales Objekt eine un,-endliche Zahl von Punkten darstellt, muss. es auch unendlich viele.solche Wellen geben. Jede solche Vielle stellt eine Uberlagerung einer unendlichen Zahl von Lichtwellen dar, die von jedem Punkt der Austrittspupille der Beleuchtungseinrichtung, ausgehen, welche die Lichtenergie an jeden Punkt des Objekts übertragen. Diese physikalische Darstellung folgt aus dem @elmholz-Kirchhoffschen Integralsatz bei den Grenzbedingungen von KIrchhoff und Rayleigh-Sommerfeld (c. Principles of Optics.
  • @@@@@@magnetic Theory of propagation, Interference and Diffraction o@@@@@@ by Max Born and Emil Wolf, Pergamon Press, Oxford, London, @@@@@gh, New York, Paris, Frankfurt 1964).
  • enn bei einer Punktlichtquelle aus der Beleuchtungseinrichtung eine einzige Lichtwelle aus.
  • tritt,so gelangt an jeden Punkt des Objekts die Lichtenergie nur von einem Punkt der Wellenfront der einfallenden Lichtwelle.
  • Demnach ist in diesem Falle eine allseitige Beleuchtung jedes Punktes des Objekts unmöglich.
  • Folglich muss man zur Schaffung einer allseitigen Beleuchtung eine Lichtquelle von endlichen Abmessungen und einer bestimrrr ten Ausdehnung haben. Die Forderung, eine allseitige Beleuchtung sastlicher Punkte eines Objekts mit kohärente Licht zu gawahrleisten , lasst sich mit den vorhandenen kohärenten Lichtquellen nicht verwirklichen, da sie älle entweder Punktlichtquellen, oder den Punktlichtquellen äquivalent sind, d.h. da sie keine Ausdehnung haben.
  • Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde,eine Einrichtung zur kohärentenBeleuchtung von Objekten zu schaffen, in welcher die Verwendung eines zweiteiligen dezentrierten optischen Systems eine Ausdehnung der kohärenten Lichtquelle gewährleistet, eine allseitige kohärente Beleuchtung jedes Punktes des/beleuchteten Objekts sowie einen erhöhten Ausnutzungsgrad der Lichtstrahlung der kohärenten Lichtquelle ermöglicht.
  • Die restellte Aufgabe wird dadurch gelöst, dass in der nrichtung zur kohärenten Beleuchtung von Objekten, welche einen optischen Quantengenerator enthält, der ein kohärentes Lichtbündel paralleler Strahlen emittiert, erfindungsgemäss eine Vorrichtung zum Verwandeln des kohärenten Lichtbündels der parallelen Strahlen des optischen Quantengenerators in eine unendliche Menge von Lichtbündeln paralleler Strahlen vorlanden ist, die sich unter einem Winkel zueinander fortpflanzen, obei diese Vorrichtung im Strahlengang des Lichtbündels vom genannten Quantengenerator angeordnet ist.
  • Es ist zweckmässig, wenn die Vorrichtung zum Verwandeln des kohärenten Lichtbündels der parallelen Strahlen des optiscnen Quantengenerators in eine unendliche Menge von Lichtbündeln paralleler Strahlen, die sich unter einem Winkel zueinander fortpflanzen, in Form von mindestens zwei linsen ausgeführt wird, die einen Linsenraster darstellen, wobei der Winkel zwischen deren optischen Achsen im Bereich von 00 bis 30° liegt.
  • Vorteilhaft ist, in der Einrichtung einen Kondensor vorzusehen, der im Strahlengang der Lichtbündel hinter der Vorrichtung zum Verwandeln des kohärenten Lichtbündels der parallelen Strahlen des optischen Quantengenerators in eine unendliche Menge von Lichtbündeln paralleler Strahlen, die sich unter einem Winkel zueinander fortpflanzen, angeordnet wird.
  • Es ist effektiv, wenn die Einrichtung zwei koaxiale Kegel init reflektierenden Kegelflächen enthält, die im Strhlengang des Lichtbündels zwischen dem optischen Quantengenerator und der Vorrichtung zum Verwandeln des kohärenten Lichtbündels der parallelen Strahlen des optischen Quantengenerators .in eine unendliche ic-.^e von LLichtbündeln paralleler Strahlen, die sich unter.einem Winkel zueinander fortpflanzen, anordnet werden.
  • Zweckmässig Ist es, die Einrichtung mit einem zu versehen, derim Strahlengang der Lichtbündel zwischen der Vorrichtunr zum Verwandeln des kohärenten Lichtbündels der parallelen Strahlen des optischen Quantengenerators in eine unendliche enge von Lichtbündeln paralleler Strahlen, die sich unter einem Winkel zueinander fortpflanzen, und dem Kondensor angeordnet wird.
  • Die erfindungsgemässe Einrichtung zur kohärenten Beleuchtung von Objekten mit endlichen Abmessungen ermöglicht eine Erhöhung der Bildgüte kontrastarmer Objekte, eine Verbesserung der fotometrischen Kennwerte der optischen Analysiersysteme, eine Erhöhung des Beleuchtungsniveaus des Objekts ohne Aperturvergrösserung des Beleuchters im Vergleich zu Beleuchtern, die nichtkohärente Lichtquellen benutzen.
  • Die erfindungsgemässe Einrichtung kann man in beliebigen vorhandenen odellen von Mikroskopen, bilatelegrafischen Apparaten, optischen automatischen und halbautomatischen Ablesegeräten, optischen kohärenten Rechenmschinen sowie in allen anderen Geräten.
  • und komplexen Apparaturen benutzen,bei denen eine allseitige kohärente Beleuchtung erforderlich ist. Dabei erreicht man eine Erhöhungder qualitativen und metrologischen Kennwerte der vorhandenen Geräte und Apparate, ohne deren konstruktiven Hauptparameter zu ändern.
  • Im folgenden wird die Erfindung anhand der in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispiele näher erläutert. Es zeigen: Fig. I die schematische Darstellung einer Ausftihrungsform der erfindungsgemäßen Einrichtung sur kohärenten Beleuchtung von Objekten; Fig. 2 die Ansicht A des Linsenrasters der erfindungsgemäßen Einrichtung der Fig. t; Fig, 9 eine zweite AusfUhrungsform der erfindungsgemäßen Einrichtung zur koharenten Beleuchtung von Objekten(Quer schnitt des Linsenrasters und der fokussierenden Linse); Fig. 4 eine dritte AusfUhrungsform der erfindungsgemäßen Einrichtung (Querschnitt der koaxialen Kegel, des Linsenrasters und des Kardioidkondensors); Fig. 5 die schematische Darstellung der reflektierenden Oberflächen der koaxialen Kegel der erfindungsgemäßen Einrichtung mit einem Strahlengang in der Meridionalebene; Fig. 6 eine vierte Ausfuhrungsform der erfindungsgemäßen Einrichtung (Querschnitt der koaxialen Kegel, des Linsenrasters, des Köllektivs und des Kardioidkondensors); und Fig. 7 einen Teil der in Fig. 6 dargestellten Teile, nämlich des Linsenrasters und des mit dem Strahlengang in der Meridionalebene in vergrößertem Maßstab.
  • Die Einrichtung zur kohärenten Beleuchtung von Objekten enthält einen optischen Quantengenerator i (Fig. 1), in dessen kohärentem Strahlenblindel 2 paralleler Lichtstrahlen eine Vorrichtung zum Verwandeln des kohärenten LichtbUndels 2 der parallelen Strahlen des optischen Quantengenerators 1 in eine unendliche Menge von Licht bonden 3 paralleler Strahlen, die sich unter einem Winkel zueinander fortpflanzen, angeordnet ist. Eine derartige Vorrichtung erzeugt eine Lichtwirkung, die der Lichtwirkung einer ausgedehnten Quelle Ro:«renten Licht aquivalent ist.
  • Die obenrenannte Vorrichtung wird aus mindestens zwei Linsen ausgeführt, die einen Linsenraster darstellen, wobei der Winkel zwischen ihren optischen Achsen im Bereich von 0° bis 900 liegt. Die gegenseitige räumliche Anordnung der Linsen, ihre Form und Anzahl kann man willkürlich wählen. In der beschriebenen Ausführungsform der erfindungsgemässen Einrichtun. zur kohärent Beleuchtung von Objekten ist diese Vorrichtung aus einer Gruppe gleicher dezentrierter Plankonvexlinsen 4 ausgeführt, die dicht zueinander so angeordnet sind, das die Scheitel ihrer konvexen Brechungsflächen in einer Ebene liegen, ihre Krümmungmittelpunkte sich zu einer Seite dieser Ebene befinden, und der Winkel zwischen den optischen Achsen 0° beträgt. Um die Darlegung des Inhalts zu vereinfachen, wurden49 quadratische Linsen 4 (Fig. 2) gewählt, wobei die Scheitel ihrer konvexen Brechungsflächen in den Knotenpunkten eines Zleichseitigen gleichförmigen Orthogonalgitters liegen.
  • Als optischer Quantengenerator wurde ein kontinuierlicher Helium-Neon-Gaslaser verwendet.
  • Zum Erzeugen einer kohärenten allseitigen Beleuchtung jedes Punktes des Objekts 5 (Fig. 3) wird in der Einrichtung ein Kondensor verwendet, welcher hinter dem aus den Linsen 4 bestehenden Raster in Strahlengang der Lichtbündel 3 angeordnet ist. In der beschriebenen Ausführungsform wird als Kondensor eine fokussierende Linse 6 verwendet.
  • In Fig. 4 ist eine Ausführungsform der erfindungsgemässen Einrichtung zur kohärenten Beleuchtung von Objekten dargestellt, bei der als Kondensor ein Kardioidkondensor 7 mit einer ringförmigen Eintrittspupille verwendet wird. Darum sind zur einer vollständigeren Verwertung der durch den optischen Quantengenerator 1 ausgestrahlten Lichtenergie in der Einrichtung zwischen dem Quantengenerator 1 und dem Linsenraster il:. Strahlenrang des Lichtbündels 2 zwei koaxiale Kegel 8 und 9 ist reflektierenden Kegelflächen 10, 11 (Fig. 5) angeordnet.
  • Im halle einer ringförmigen Eintrittspupille ist es zvzeckmässig, die Vorrichtung zum Verwandeln des kohärenten Lichtbündels aus parallelen Strahlen des optischen Quantengenerators in eine unendliche Menge von Lichtbündeln paralleler Strahlen, die sich unter einem Winkel zueinander fortpflanzen, analog der obenbeschriebenen, jedoch mit einer Öffnung 12 (Fig. 4) auszufahren, deren Durchmesser durch den Innendurchmesser des in diese Öffnung einfallenden hohlen Lichtbündels bastimmt wird.
  • Der Quantengenerator 1, die Kegel 8 und 9, die Öffnung 12 sowie der Kardioidkondensor 7 stellen ein zentriertes optisches System dar.
  • Darait die ringförmige Eintrittspupille des Kardioidkondensors 7 durch sämtliche Lichtbündel 3 aus parallelen Strahlen vollständig ausgefüllt wird, ohne dass ein Teil dieser Strahlen durch die ringförmige Eintrittspupille abgeschnitten wird, ist in der Einrichtung zwischen dem Linsenraster und dem Kardioidkondensor 7 im Strahlengang der Lichtbündel 3 ein
    6r//cb ?
    Sammler ange-
    ordnet, der als Plankonvexlinse 13 (Fig. 6), ausgeführt ist, deren konvexe Oberfläche eine toroidale Form hat, Die Form des Kollektivs wird entsprechend der ringförmigen Eintrittspupille des Kardioidkondensors 7 und dem in Fig. 7 dargestellten Strahlengang hinter dem Linsenraster gewählt.
  • Die erfindungsgemässe Einrichtung zur kohärenten Beleuchtung von Objekten arbeitet folgendermaßen: Das kohärente Lichtbündel 2 (Fig. 1) aus parallelen Strahlen, welches durch den optischen Quantenrenerator 1 ausgestrahlt wird, fallt auf den aus einer Linsengruppe 4 bestehenden Raster. Die Wirkung des Linsenrasters wird durch eine komplexe Funktion T (x, y) ausgedrückt: wo: D(x,y) die Pupillenfunktion des Linsenrasters bezeichnet.
  • in allen übrigen Punkten worin X und Y - die Linsenrasterteilung entsprechend der Achsen ox und oy (s. Fig. 2); Tp(x, y) - die komplexe Funktion, welche die Wirkung einer einzelnen Linse 4 des Linsenrasters beschreibt.
  • und - die Wellenzahl, die Wellenlänge der monochromatischen Strahlung des optischen Quantengenerators 1, die - die Brennweite einer einzelnen Linse 4 des Linsen rasters bezeichnen.
  • Bekanntlich hängt die Amplitudenverteilungsfunktion g0(x, y) er einfallenden Strahlung des Lichtbündels 2 (Fig. 1) mit der Amplitudenverteilungsfunktion gf(xf, yf) der Strahlung hinter dem Linsenraster über die Fourier-Transformation in der Fresnel-Diffraktions@@@rung zusammen. Mit einer Genauigkeit bis zum konstantes @asenfaktor kann man schreiben: worin xf, yf - die kartesischen Koordinaten in der Koordinatenebene xfofyf - die mit der hinteren Fokalebene des Linsenrasters zusammenfällt; fx,fy - die Raumfrequenzen entsprechend längs der ox- und oy- Achsen in der Koordinatenebene xoy, die mit der ersten Cberfläche des Linsenrästers in Strahlengang des Lichtbündels 2 zusammenfällt; Die Applikatenachsen sämtlicher Koordinatensysteme fallen miteinander zusammen und sind gleichsinnig gerichtet.
  • Die Gleichung einer flachen Welle B (x,y,z) mit den Richtungskosi@ α, ß und γ sieht bekanntlich, wie folgt aus: Folglich kann man in der ebene z=o die Exponentialfunktion als eine flache Welle mit den Richtungskosini betrachten. @ven ausgehend, kann man die Veränderlichen ersetzen. Dann ergibt sich: Die Funktion gf( , -) kann'man in diesem Falle als @inkelspektrum einer durch eine Pupille begrenzten eihfallenden Strahlung bezeichnen (cf. Introduction to Furier Optics bz Josef W.G@@dman, Graw Nill Book Co. St. Francisco, New York, St.Luis, Toronto, Sidney 1968).
  • Dieses Winkelspektrum ist im Frequenzraum durch die folgen-
    den Grenzfrequenzen beschränkt. X V
    g ,,,xd ° M°: X° -2f '
    Aus der Formel für folgt, dass hinter dem Durchgang einer einzigen flachen Welle durch den Linsenraster sich weiter unendlich viele energietragende flache ellen fortr pflanzen, deren Fortpflanzungsrichtung im Raurn durch die Richtungskosini oC und ß bestimmt wird. Die Werte der Richtungskosini sind durch die rrössen und begrenzt. Das bedeutet soviel, dass es unendlich viele Lichtbündel paralleler Strahlen gibt, die einen Raumwinkel ausfüllen, dessen Grenzen in einem rechtwinkligen Koordinatensystem die Winkel in einer Richtung. und in der anderen Richtung darstellen.
  • Nun leuchtet es.ein, dass die Licht-irkung einer Einrichtun-, welche einen optischen Quantengenerator 1 (Fig, 1 ), der ein Lichtbündel 2 paralleler Strahlen emittiert, sowie einen Linsenraster enthält, der Lichtwirkung einer unendlich weit entfernten ausgedehnten Lichtquelle entspricht. Da die erhaltene Üenge -'cr -ichtwellen aus einer einzigen Welle gebildet wurde, ist die zeitliche Phasendifferenz eine konstante Grösse.
  • Auf diese Weise wird in der erfindungsgamässen Einrichtung ein äquivalent einer ausgedehnten kohärenten Lichtquelle geschaffen.
  • Die erfindungsgemässe Einrichtung zur kohärenten Beleuchtung; von Objekten, die einen optischen Quantengenerator 1 (Fig. 1), einen Linsenraster, eine fokussierende Linse 6 und einen Kondensor enthält, arbeitet analog der obenbeschriebenen Konstruktion.
  • Ihr Unterschied wird dadurch bestimmt, dass die unendliche Menge der kohärenten Lichtbündel 3 der parallelen Strahlen, die hinter sich dem Linsenraster fortpflanzen, eine allseitige Beleuchtung jedes Punktes deines Objekts ermöglicht, welches sich nur in einer unendlich weit entfernter Ebene befindet, während die fokussierende Linse 6 die Abbildung dieser Ebene in ihrer hinteren Fokalebene gestaltet. Jeder Punkt des in der hinteren Fokalebene der fokussier enden Linse 6 angeordneten Objekts 5 wird Von einem kohärenten Licht allseitig beleuchtet.
  • Die erfindungsgemässe Einrichtung zur allseitigen kohärenten Beleuchtung von Objekten, die einen optischen Quantengenerator l . 4), einen Linsenraster, einen Kardioidkondensor 7 und znei Koaxialkegel 8 und 9 mit reflektierenden Kegelflächen 10 bzw. 11 (Fig. 5) enthält, arbeitet analog der obenbeschriebenen Ausfährungsform.
  • Ihr Unterschied wird dadurch bestimmt, dars hierbei die ringförmige Pupille des Kardioidkondensors 7 von sämtlichen Lichtbündeln aus parallelen Strahlen, die sich hinter dem Linsenrast er fortpflanzen, ausgefüllt werden muss. Die Wirkung der Koaxialkegel 8, 9 Fig 4) mit den reflektierenden Kegelflächen 10,11 (Fig. 5) besteht darin, dass das auf den Kegel 8 (Fig. 4) einfallende dichte zylindrische Lichtbündel 2 aus parallelen Strahlen sich nach der Reflexion am Kegel 9 in ein hohles aus zylIndrisches Lichtbündel prallelen Strahlen verwandeln /s. Applied Ontics ( Bd. 12, N@8) Aug. 1973, W.R.£dmonds, The Reflaxicon, a New Reflective Optical Element, and some Applications/.
  • Lässtman die elementaren Rechenoperationen weg und vernachlässigt die Reflexionsverluste, dann wird die Wirkung der reflektierenden Kegelfläche durch die Funktion T1c (x, y) bestimmt wo mit einer Genauigkeit bis zum konstanten Phasenfaktor die -reziehung
    gilt:
    W AX, yS = e>FJk Q
    wobei ck und ak - konstante Grössen sind, die die geometrischen Kennwerte der Kegelfläche bestimmen.
  • Es möge wiederum g0(x, y) die Amplitudenverteilungsfunktion des Feldes der einfallenden Strahlung darstellen, welche durch den optischen Quantengenerator 1 in einer zur Achse des Kegels 8 senkrechten Ebene xoy, die durch die Kegel spitze verläuft, emittiert wird. Offensichtlich wird dann die Amplitudenverstellung des Strahlungsfeldes nach zweifacher Reflexion von den Kegelflächen LO, 11 (Fig. 5) der Segel 8, 9 (Fig. 4) in der zu hrer gemeinsamen Achse senkrechten Ebene mit einer Genauigkeit bis zum konstanten Phasenfaktor durch die folgende Funktion beschrieben: worin Dk(x1,y1) die Pupillenfunktion des Systems der beiden koaxialen Kegel 8 und 9 ist.
    6,,0in allen übrigen Punkten
    Dt, D2 - der innere und äussere Durchmesser der Pupille des Kegels 9, Das sind die Funktionen, welche die Wirkung der Reflexionsflächen 10, L1 (Fig. 5) der Kegel 8 bzw. 9 (Fig. 4) kennzeic@ nen.
  • Im Falle kreisförmiger Kegel ist: daraus ergibt sich Folglich ist: Des bedeutet, dass auf den Linsenraster eine Strahlung einfällt, deren Feld die gleiche Amplitudenverteilung hat, wie ohne Einsatz der Kegel 8, 9o Darum ist die Wirkung eines Linsenrasters, wenn auf ihn ein hohles Lichtbündel einfällt, analog der Wirkung des Lichtbündelst 2.
  • Die Einrichtung zur allseitige kohärente Beleuchtung von Objekten, die einen optischen Quantengenerator 1 (Fig. 6), einen Linsenraster, einen Kardioidkondensator 7, zwei Koaxialkegel 8 und 9 mit reflektierenden Kegeloberflächen 10, 11 (Fig. 5), und eine Plankonvexlinse 13 (Fig. 6) mit einer toroidalen Konvexoberfläche, welche ein Kollektiv ist enthält, arbeitet analog den obenbeschriebenen Einrichtungen.
  • Ihr Unterschied wird dadurch bestimmt, dass zur vollstandigen Ausfüllung der Eintrittspupille des Kardioidkondensors 7 durch samtliche Lichtbündel 3aus parallelen Strahlen, ohne sie abzuschneiden, eine Übereinstimmung der Aperturen'des Linsenrasters und des Kardioidkondensors 7 herbeigeführt werden muss.
  • Die hintere Fokalebene des Linsenrasters fällt mit der vorderen Hauptebene des zusammen, deren hintere Fokalebene mit der Eintrittspupille des Kardioidkondensors zusammenfällt. In Fig. 7 ist der Strahlengang durch den Linsenraster und die Bildfeldlinse bei gänzlicher Ausfüllung der ringförmigen Eintrittspupille des Kardioidkondensors 7 gezeigt.
  • Die erfindungsgemässe Einrichtung zur kohärenten Beleuchtung von Objekten ermöglicht die Gewährleistung einer allseitigen kohärenten Beleuchtung aller Punkte des zu untersuchender Cbj ekts.
  • Die Vjerwendung einer derartigen Einrichtung in optischen Geräten, die das Bild eines Objekts gestalten, bietet die Möglicit, eine hochwertige Abbildung ohne Kontrastverluse zu erhalten, weshalb man nicht nur mit Rontrastreichen, sondern auch mit äusserst kontrastarmen Objekten arbeiten kann.
  • In einem Versachsmaster der Einrichtung wurde ein Kontrastvert von 0,5, des Objektbildes erhalten, dessen Kontrast bei nichtkohärenter Beleuchtung nur 0,2 betrug.
  • Die @ erfindungsgemässe Einrichtung läaot sich sowohl als selbständige Baueihneit, mit welcher man viele optische Geräte, z.B. Mikroskope, bildtelegrafische Apparate, holografische Anlagen, Projektionsapparate vervollständigen kann, als auch in Garnituren neuentwickelter Apparate einführen sowie in bereits im getrieb befindlichen Geräten weitgehend verwenden.
  • L e e r s e i t e

Claims (5)

  1. PATENTANSPRÜCHE 1. Einrichtung zur kohärenten Beleuchtung von Objekten, mit einem optischen suantengenera-tor, der ein kohärentes Lichtbündel paralleler SC5hlen emittiert, d a d u r c h g ek e n n = e i c h n e t, dass eine Vorrichtung zum Verwandeln des kohärenten Lichtbündels ( 2 ) paralleler Strahlen des optischen Quantengenerators (1) in eine unendliche I:'.enge von Lichtbündeln ( 3 ) paralleler Strahlen, die sich unter einem Winkel zueinander fortpflanzen, vorhanden ist, die im Strahlen dann des Lichtbündels ( 2 ) von diesem optischen Quantengenerator (1) angeordnet ist.
  2. 2. Einrichtung nach anspruch 1, d a d u r c h g k e n-n z e i c h n e t, dass die Vorrichtung zum Verwandeln des kohärenten Lichtbündels ( 2 ) paralleler Strahlen des optischen Quantengenerators ( 1 h in eine unendliche Menge von Lichtbündeln ( n ) paralleler Strahlen, die sich unter einem Winkel zueinander fortpflanzen, aus mindestens zwei Linsen ( 4) die einen Linsenraster bilden, ausgeführt ist, wobei der Winkel zwischen deren optischen Achsen im Bereich von 0° bis 900 liegt.
  3. 3. Einrichtung nach Anspruch 1 und 2, d a d u r c h r e e n n z e i c h n e t, dass ein kondensor vorhanden ist, der im Strahlengang der Lichtbündel ( 3 ) hinter der Vorrichtung zum Verwandeln des kohärenten Lichtbündels ( 2 ) paralleler Strahlen des optischen Quantengenerators ( 1 ) in eine unendliche ttenge von Lichtbündeln ( 3 ) paralleler Strahlen angeordnet ist, die sich unter einem Winkel zueinander fortpflanzem
  4. 4. Einrichtung nach Anspruch 3, d a d u r c h g ek e n n z e i c h ne t, dass zwei Koaxialkegel ( 8, 9 9 ) mit reflektierenden Flächen (10, 11) vorhanden sind, die M Str@hlengang des Lichtbündele ( 2 ) zwischen dem optischen Quantengenerator (1 ) und der Vorrichtung zum Verwandeln des kolärenten Lichtbündels ( 2 ) paralleler Strahlen des optizc:cn Quantengenerators ( 1 ) in cine unendliche Menge von Licht bündeln ( 3) paralleler Strahlen angeordnet sind, die sich unter einem Winkel zueinander fortpflanzen.
  5. 5. Einrichtung nach Anspruch 4, d a d u r c h g e k e n z e i c h n e t, dass ein vorhanuen ist, der im Strahlengang er Lichtbündel zwischen der Vorrichtung zum Verwandeln des kohärenten Lichtbündels ( 2 ) paralleler Strahlen des optischen Quantengenerators ( 6 ) in eine unendliche enge von Lichtbändeln ( 3 ) paralleler Strahlen, die sich unter einen Winkel zueinander fortpflanzen, und dem Kondensor angeordnet ist.
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