DE2554613C3

DE2554613C3 - Ladungsspeicherplatte für eine Einröhren-Farbbildkameraröhre

Info

Publication number: DE2554613C3
Application number: DE2554613A
Authority: DE
Inventors: Haruo Matsumaru; Toshio Nakano; Takeo Tokio Nishimura; Akira Kodaira Sasano; Ken Tachikawa Tsutsui
Original assignee: Hitachi Electronics Ltd; Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Electronics Ltd; Hitachi Ltd
Priority date: 1974-12-04
Filing date: 1975-12-04
Publication date: 1979-02-22
Also published as: DE2554613B2; US3997810A; GB1472369A; JPS5165529A; DE2554613A1

Description

Eine Ladungsspeicherplatte der im Oberbegriff des Patentanspruchs 1 angegebenen Gattung ist aus der deutschen Offenlegungsschrift 2046026 bekannt. Bei derartigen Ladungsspeicherplatten besteht dann, wenn die streifenförmigen Farbfilter als Interferenzfilter ausgebildet werden, infolge des dabei angewandten Herstellungsverfahrens die Schwierigkeit, daß die Kanten der Filterstreifen ungerade werden. An diesen ungeraden Kanten wird ein beträchtlicher Teil des auftreffenden Lichts reflektiert oder gestreut, was die Bildqualität beeinträchtigt.

Werden die streifenförmigen Farbfilter als Gelatinefilter ausgebildet, so lassen sich zwar die Filterstreifen sehr genau und ohne großen Aufwand mit geraden Kanten ausbilden. In diesem Fall besteht jedoch die Schwierigkeit, daß das die Grenzbereiche zwischen jeweils benachbarten Filterstreifen durchsetzende Licht zwei unterschiedliche Farbkomponeiiten enthält. Dieser Farbmischungseffekt, der bei schrägem

ί Lichteinfall besonders stark ist, führt wiederum zu einer Beeinträchtigung des Farbbildes.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die durch die Effekte an den Kanten der Filterstreifen bedingten Farbverzeichnungen zu vermeiden.

ι» Die erfindungsgemäße Lösung dieser Aufgabe erfolgt nach dem Kennzeichen des Patentanspruchs 1. Die danach erfolgende Abschattung der Kantenbereiche bewirkt, daß störende Reflexionen, Streuungen und Mischeffekte vermieden und daher Farbbilder mit

r> verbesserter Farbreinheit erzeugt werden.

Bevorzugte Ausführungsbeispiele der Erfindung werden in der nachstehenden Beschreibung anhand der Zeichnungen naher erläutert. Es zeigt

Fig. 1 einen Querschnitt durch eine Ladungsspei-

2u cherplatte, und

Fig. 2abis 2h aufeinanderfolgende Stadien bei der Herstellung einer Ladungsspeicherplatte.

Gemäß Fig. 1 sind direkt auf der Oberfläche einer Glasunterlage 1 Abschattungsschichten 21 aufgebracht. Diese Abschattungsschichten 21 sind streifenförmig und lichtundurchlässig und bestehen aus Al, Cr, Ni, Cu, Ti, Mo, Co und/oder SiO. Sie haben eine Breite von etwa 3 μιη und eine Dicke von etwa 100 nm Wird für die Abschattungsschichten Metall

in verwendet, so müssen sie eine Dicke von mindestens 50 nm haben. Bei geringerer Dicke wird von metallischen Abschattungsschichten ein zu großer Teil des Lichts hindurchgelassen. Bei einer Dicke von 50 η m beträgt der Anteil des hindurchgelassenen Lichts nur

i) etwa 1 bis 2% des auftreffenden Lichts. Die Abschattungsschichten 21 sind in Abständen von 1 7 um auf der lichtdurchlässigen Glasunterlage 1 aufgebracht. Auf der Glasunterlage 1 sind ferner in periodischer Reihenfolge ein roter Filierstreifen 22, ein grüner FiI-

Hi terstreifen 23 und ein blauer Filterstreifen 24 derart angeordnet, daß die Grenzbereiche benachbarter Filterstreifen auf den Abschattungsschichten 21 liegen. Die Filterstreifen 22, 23 und 24 sind Gelatine-Filterstreifen mit einer Dicke von etwa 20 μιτι. Das auf die

4-, Grenzbereiche benachbarter Filterstreifen auftreffende Licht wird durch die Abschattungsschichten 21 abgedeckt. Da die Abschattungsschichten 21 direkt auf der Glasunterlage 1 aufgebracht sind, wird sowohl das senkrecht als auch das schräg auf die Grenzbe-

■50 reiche auftreffende Licht abgeschattet. Daher kann nur das die Mittelbereiche der Filterstreifen 22, 23 und 24 durchsetzende Licht auf die über den Filterstreifen angeordnete Glasschicht 25 und die darauf befindlichen lichtdurchlässigen Elektroden 26 gelan-

T, gen. Bei Abtastung der auf den Elektroden 26 angeordneten photoleitenden Schicht 27 mit einem Elektronenstrahl werden daher die den reinen drei Farben entsprechenden elektrischen Signale abgegriffen. Daher wird ein Bild mit hoher Farbqualität ge-

_bü wonnen.

In der obigen Beschreibung wurde angenommen, daß es sich bei den Farbfilterstreifen 22, 23 und 24 um Gelatine-Filter handelt. Statt dessen können auch Interferenzfilter verwendet werden. In diesem Fall

_b5 sind die Kanten der Filterstreifen herstellungsbedingt ungleichmäßig und ungerade. Wegen der vorhandenen Abschattungsschichten 21 haben jedoch derartige ungleichmäßige und ungerade Kanten keinerlei nach-

ti-iligen Einfluß auf die Qualität des erzeugten Farbbildes. Im übrigen unterscheidet sich der Aufbau einer Ladungsspeicherplatte mit Interferenzfiltern nicht von dem in Fig. 1 gezeigten Aufbau.

Zur Herstellung der oben beschriebenen Ladungsspeicherplatte werden gemäß Fig. ?i zunächst die streifenförmigen Abschattungsschichten 31, die beispielsweise aus Chrom bestehen, in einer Dicke von mindestens 50 nm an den gewünschten Siellen i!sr Oberflache der lichtdurchlässigen ülasiinterlage 1 aufgebracht.

Sodann werden gemäß Fig. 2b streiienförmige, leicht lösliche Schichten 32. beispielsweise aus Silber, aufgetragen, die als erste Umkehrschichten bezeichnet werden sollen. Danach wird eine erste, beispielsweise rot-durchlässige, Interferenzfilter-Schicht 33 auf die gesamte Oberfläche der ersten Umkehrschicht 32, der Chrom-Abschattungsschichten 31 und der freiliegenden Bereiche der Glasunterlage ' aufgetragen. Die Interferenzfilter-Schicht 33 wird dabei so erzeugt, daß dünne anorganische Schichten übereinander aufgetragen werden. Zur Eizeugung einer rot-durchlässigen Interferenzfilter-Schicht werden beispielsweise Titanoxid- und Siiiciumoxid-Filme abwechselnd in insgesamt dreizehn Lagen übereinander aufgetragen.

Sodann werden die ersten Umkehrschichten 32 durch Auflösen mit verdünnter Salpetersäure entfernt, wobei gleichzeitig die auf diesen ersten Umkehrschichten 32 liegenden Teile der rot-durchlässigen Interferenzfilter-Schicht 33 entfernt werden. Dabei bleiben die in Fig. 2c gezeigten Streifen der rot-durchlässigen Filterschicht 33 auf der Oberfläche der Glasunterlage 1 bestehen.

Sodann werden lösliche Schichten 32'. die nachfolgend als/weile Umkehrschichten bezeichnet werden sollen, in einem zu den zu bildenden grün-durchlassi-" > gen Filterstreifen komplementären Muster aufgebracht. Wie in Fig. 2d gezeigt, wird daraufhin auf die gesamte Fläche der rot-durchlässigen Filterschichicn 33, der Abschattungsschichten 31 und der freiliegenden Teile der darunterläge 1 eine grün-durchlassigc '' Filterschicht 34 aufgetragen.

Die zweiten Umkehrschichten 32' werden in gleicher Weise entfernt, wie dies oben für die ersten Umkehrschichten 32 beschrieben worden ist. wobei die auf den zweiten L mkehrschichten 32 liegenden Teile

i". der grün-durchlässigen Filterschicht 34 mn entfernt werd'.-n. Gemäß Fig. 2e bleiben nach diesem Schritt neben den rot-durchlässigen Filtern 33 auf der Oberfläche der Glasunterlage 1 die grün-durchlässigen Filterstreifen 34 stehen.

jo Sodann werden wiederum in gleicher Weise wie oben beschrieben jeweils zwischen den rot- und den grün-durchlässigen Filterstreifen 33, 34 blau-durchlässige Filterstreifen 35 angeordnet. In dem so gebildeten, in Fig. 2f gezeigten Aufbau befinden sich

ji jeweils die Greifbereiche zwischen den rot-, grün- und blau-durchlässigen Filterstreifen auf den Abschattungsschichten 31.

Gemäß Fig. 2g wird auf die gesamte Oberfläche der Filterstreifen 33, 34, 35 eine lichtdurchlässige

;u Glasschicht 36 aufgetragen.

Schließlich werden lichtdurchlässige Elektroden 37 und eine photoleitende Schicht 38 aufgebracht. Der somit vervollständigte Aufbau ist in Fig. 2h gezeigt.

Hierzu 2 lilait /eicliiuinneii

Claims

Patentansprüche:

1. Ladungsspeicherplatte für eine Einröhrenfarbbildkameraröhre mit einem auf der transparenten Frontplatteninnenseite vorgesehenen streifenförmigen Farbfilter aus periodisch angeordneten, abwechselnd rot-durchlässigen, grün-durchlässigen und blau-durchlässigen Filterstreifen, die durch eine dünne lichtdurchlässige Glasschicht von den ihnen zugeordneten, streifenförmigen, transparenten Elektroden getiennt sind, wobei auf der freien Oberfläche der Elektroden und auf den von den Elektroden nicht bedeckten freien Oberflächenbereichen der Glasschicht eine zusammenhängende photoleitende Schicht aufgebracht ist, dadurch ge kennzeichnet, daß die aneinander grenzenden Bereiche benachbarter Filterstreifen (22, 23, 24; 33, 34, 35) auf ihrer Lichteinfallseite durch streifenförmige Abschattungsschichten (21; 31) abgedeckt sind, die zwischen der Frontplatteninnenseite und den Filterstreifen angeordnet sind.

2. Ladungsspeicherplatte nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Farbfilter (22, 23, 24; 33, 34, 35) ein Interferenzfilter ist.

3. Ladungsspeicherplatte nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Farbfilter (22, 23, 24; 33, 34, 35) ein Gelatine-Filter ist.

4. Ladungsspeicherplatte nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Abschattungsschichten (21; 31) Metallschichten sind.

5. Ladungsspeicherplatte nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Metallschichten aus wenigstens einem der Metalle Al, Cr, Cu, Ni, Mo, Ti und Co bestehen.

6. Ladungsspeicherplatte nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Metallschichten eine Dicke von wenigstens 50nm aufweisen.

7. Ladungsspeicherplatte nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Abschattungsschichten (21; 31) lichtundurchlässige, anorganische Schichten sind.

8. Ladungsspeicherplatte nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß das anorganische Material Siliciummonoxid ist.