DE2548302A1 - Verfahren und vorrichtung zum betrieb einer titanverdampferpumpe - Google Patents

Verfahren und vorrichtung zum betrieb einer titanverdampferpumpe

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DE2548302A1 DE19752548302 DE2548302A DE2548302A1 DE 2548302 A1 DE2548302 A1 DE 2548302A1 DE 19752548302 DE19752548302 DE 19752548302 DE 2548302 A DE2548302 A DE 2548302A DE 2548302 A1 DE2548302 A1 DE 2548302A1
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evaporation
titanium
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pauses
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Withdrawn
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DE19752548302
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German (de)
English (en)
Inventor
Rudolf Flosbach
Mathias Honrath
Hans-Peter Dr Kabelitz
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Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
Original Assignee
Leybold Heraeus GmbH
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B37/00—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
    • F04B37/02—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by absorption or adsorption
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B37/00—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
    • F04B37/06—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means

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GB3808876A GB1522048A (en) 1975-10-29 1976-09-14 Method and apparatus for operating an evaporable getter pump
IT2892376A IT1075879B (it) 1975-10-29 1976-10-29 Procedimento e dispositivo per l'esercizio di una pompa ad evaporazione di titanio
FR7632832A FR2330141A1 (fr) 1975-10-29 1976-10-29 Procede et dispositif pour l'exploitation d'une pompe a vide du type a evaporation de titane

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