DE2532223A1

DE2532223A1 - Diskriminator-schaltung

Info

Publication number: DE2532223A1
Application number: DE19752532223
Authority: DE
Inventors: Graham Morley Clarke
Original assignee: Ferranti PLC
Current assignee: Ferranti International PLC
Priority date: 1974-07-20
Filing date: 1975-07-18
Publication date: 1976-03-04
Also published as: GB1466288A; NL7508642A; US4004239A; JPS5135270A; JPS5752732B2

Description

PA Γ£Ν Γ ANWÄLTE ? S 3 2 2

DIPL.-ING. LEO FLEUCHAUS DR.-ING. HANSLEYH

DIPL.-ING. ERNST RATHMANN

München 71, Melchiorstr. 42

Unser Zeichen: A 13

Ferranti Limited Hollinwood, Lancashire England

Diskriminator-Schaltung

Die Erfindung betrifft eine Diskriminatorschaltung und insbesondere eine Schaltung zum Unterscheiden von Gleichspannungsgrundsignalen und überlagerten Starsignalen in Form von Spannungsänderungen.

Solche Schaltungen eignen sich besonders für Detektoren, die Oberflächen auf Fehler abtasten, wobei ein Strahl einer optischen Strahlung wiederholt über die Oberfläche einer bewegten Bahn quer zu deren Bewegungsrichtung geführt wird, worauf die von der Oberfläche reflektierte Strahlung aufgefangen und an einen Photodetektor gegeben wird, wobei aufgrund irgendeiner Änderung der Strahlungsstärke aufgrund eines Fehlers in der Oberfläche eine Störung in dem durch den Photodetektor erzeugten Ausgangssignal erzeugt wird. Wenn die Breite der bewegten Bahn kleiner ist als die Ab-

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tastlänge können die Ränder der Bahn Unstetigkeiten im Ausgangssignal des Photodetektors erzeugen, derart, daß dieses als eine Reihe von Gleichspannungs-Grundsignalen erscheint, denen Fehlersignale in der Form von Spannungsstörungen überlagert sind. Um die Fehlersignale auswerten zu können, ist es erforderlich, zwischen den Fehlersignalen und den Grundsignalen unterscheiden zu können.

Bisher vorgeschlagene Methoden bestehen darin, entweder die Gleichspannungskomponente des Grundsignales durch ein Hochpaßfilter herauszunehmen oder ein störungsfreies Grundsignal zu erzeugen und dieses vom Eingangssignal abzuziehen.

Bei der ersten Methode führt die Filterung der Randsignale jedes Grundsignales zu einem remanenten Gleichspannungssignal in Form eines abklingenden Impulses angrenzend an die Flanken, worauf die Störungen abgedeckt werden können. Bei der zweiten Methode (Britische Patente Nr. 1 303 041 und 1 303 042) wird das Eingangssignal durch ein Filter geführt, das eine Hochpaß-Charakteristik einnimmt, um die Randsignale durchzulassen und das dann eine Tiefpaß-Charakteristik annimmt, um die Störsignale zu beseitigen, was zu einem störungsfreien Grundsignal führt. Jede Störung jedoch, die unmittelbar auf die Ränder folgt, wird vom Filter in seinem ersten Zustand durchgelassen und vollständig mit dem Grundsignal durch die nachfolgende Subtraktion eliminiert.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine verbesserte Diskriminatorschaltung mit einfachem Aufbau zu schaffen, um Grundsignale und überlagerte Störsignale, insbesondere solche, die unmittelbar auf die Vorderflanken der Grundsignale folgen, zu unterscheiden.

Gemäß der Erfindung wird dies erreicht durch eine Diskriminatorschaltung mit einer Eingangsklemme zum Empfang eines Eingangs-

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signäles in Form eines Gleichspannungs-Grundsignales (pedestal signal), dem Störsignale überlagert sein können, einem Filter für das Eingangssignal zur Entfernung der Gleichspannungskomponenten jedes Grundsignales außer unmittelbar nach dessen Vorderflanke, einer auf die Vorderflanke jedes Grundsignales ansprechende Einrichtung zur Erzeugung eines Nachbildungsoder Replika-Signales, das die Amplitude und Form der restlichen Gleichspannungskomponenten des gefilterten Grundsignales hat, sowie durch Steuereinrichtungen, die auf das Replika-Signal ansprechen, um die restlichen Gleichspannungskomponenten jedes Grundsignales zu eliminieren.

Nach einer weiteren Ausführungsform der Erfindung ist ein Fehlerdetektor zum Abtasten von Oberflächen vorgesehen, der eine Schaltung der vorgenannten Art besitzt.

Eine beispielsweise Ausführungsform der Erfindung wird in Verbindung mit einem Fehlerdetektor der vorgenannten Art anhand der Zeichnung beschrieben.

Es zeigen:

Fig. 1a, 1b und 1c Wellenformen von Signalen, die bei bekannten Schaltungen leim Unterscheiden von Störungen von einem diskontinuierlichen Hintergrundsignal auftreten.

Fig. 2 zeigt eine Schaltung nach der Erfindung.

Fig. 3a und 3b zeigen Wellenformen von Signalen, die bei der erfindungsgemäßen Schaltung nach Fig. 2 entstehen.

Fig. 4 zeigt eine alternative Form der Schaltung nach Fig. Fig. 5 und 6 zeigen weitere alternative Schaltungen.

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Fig. 1 zeigt die Wellenform eines typischen elektrischen Ausgangssignales für eine Abtastung einer Oberfläche durch einen Detektor. Dieses Signal besteht aus einem Grundsignal 10, das erzeugt wird, wenn der Abtaststrahl nicht auf die abzutastende Fläche fällt, und dieses Signal steigt an, wie bei 11 gezeigt wird, durch eine Diskontinuität 12, wenn der Strahl die Vorderkante bzw. den vorderen Rand der betreffenden Fläche überkreuzt. Das Signal 11 mit höherem Grundwert wird erzeugt, wenn der Strahl die Oberfläche überkreuzt und es kehrt zu dem niedrigeren Grundwert 10 über eine Diskontinuität 13 am hinteren Rand der Fläche zurück. Der positiv gehende Spannungssockel (voltage pedestal) des Grundsignales zeigt eine normal reflektierende Fläche an und irgendwelche lichtabsorbierende Fehler in der Fläche erscheinen als negativ gehende Störungen 14 und 15. Wie Fig. 1a zeigt, variiert die Lichtstärke, die in Abwesenheit von Fehlern reflektiert wird, während der Abtastung und sie fällt zum Ende zu, so daß das Grundsignal eine niederfrequente Veränderung während der Abtastung, Diskontinuitäten am vorderen und hinteren Rand der Fläche und Störungen infolge von Fehlern in der Fläche unterworfen ist.

In bekannten Schaltungen zum Diskriminieren bzw. Unterscheiden der Störungen 14 und 15 wird das Signal in einem einfachen Widerstands-Kondensator-Hochpaßfilter verarbeitet. Die Wellenformv des Signals nach der Filterung ist in Fig. 1b gezeigt mitjderselben Zeit-Skala wie in Fig. 1a und die Diskontinuitäten 12 und 13 sind entsprechend durch die Impulse 16 und 17 ersetzt. Diese Impulse klingen expotentiell zum Grundsignal 10 ab und die hochfrequenten Störungen 14 und 15 sind in dem modifizierten Signal enthalten. Da das Grundsignal einen konstanten Wert hat (abgesehen von den ausklingenden Impulsen) wird die Signalspannung mit einer Schwillenspannung verglichen, die in Fig. 1c durch die gestrichelte Linie 18 dargestellt ist unter Verwendung eines DifferenzVerstärkers. Störungen, die entfernt von den Impulsen entstehen, z.B. die Störung 15, überkreuzen

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den Schwellwert und erzeugen eine Veränderung des Ausgangszustandes des Verstärkers, was durch die Wellenform des Ausgangssignales in Fig. 1c dargestellt ist. Die Störung 14, die im abklingenden Teil des Impulses 16 auftritt, überkreuzt den Schwellwert nicht und erzeugt keine Änderung des Ausgangssignales des Verstärkers. Der negativ gehende Impuls 17 markiert das Ende der Abtastung für die eine Feststellung von Fehlern erforderlich ist, so daß der Impuls 17 benutzt werden kann, die Anordnung abzuschalten und um zu verhindern, daß der Impuls und irgendwelche nachfolgenden Störungen sich auswirken.

Der abklingende Teil des Impulses 16 enthält einen unverwendbaren Teil des Signales und die Dauer dieses Teiles hängt von der Zeitkonstante des Hochpaßfilters ab, das zur Entfernung der Veränderungen der Amplitude des Sockelsignales verwendet wird. Eine richtige Filterung der niederfrequenten Veränderungen erfordert ein Netzwerk mit einer großen Zeitkonstante, während die Diskriminierung von Störungen benachbart zu der ünstetigkeit 12 eine kleine Zeitkonstante erfordert, so daß ein Kompromiß zwischen beiden zu wählen ist.

Dieser Nachteil wird durch die erfindungsgemäße Schaltung, wie sie z.B. in Fig. 2 gezeigt ist, beseitigt. Die Schaltung hat eine Eingangsklemme 19 und eine Ausgangsklemme 20. Die Eingangsklemme 19 ist an ein Eingangssignal-Filter gelegt, bestehend aus einem Verstärker 21, der in Reihe mit einem ersten Widerstands-Kondensator-Hochpaßfilter 22 liegt. Das Filter umfaßt einen Kondensator C1 in Reihe mit dem Signal und einen Widerstand R1, der zwischen dem Kondensator und Erde liegt. Das Filter ist mit einem Eingang einer Steuereinrichtung verbunden, die einen Komparator 23 aufweist, dessen Ausgang den Ausgang 20 der Schaltung bildet.

Die Eingangsklemme 19 ist ferner mit einem Schaltkreis zur Er-

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zeugung von Signalen verbunden, d.h. mit einem ersten Eingang 24 eines Verstärkers 25 und über ein Hochpaßfilter 26 (mit kürzerer Zeitkonstante als das Netzwerk 22) an einen zweiten Eingang 27 des Verstärkers 25. Das am Eingang 27 erscheinende gefilterte Signal enthält ein Triggersignal zum Triggern eines Impulsgenerators 28. Der Generator 28 erzeugt an einer Ausgangsklemme 29 einen Impuls mit einer Amplitude, die durch ein Pegel-Signal (level signal) bestimmt ist, das durch den Verstärker 25 erzeugt wird, und mit einer Dauer, die höher ist als die Zeit zwischen den Diskontinuitäten 12 und 13.

Die Klemme 29 ist über ein weiteres Filter, das aus einem zweiten Hochpaßfilter 30, einem Kondensator C2 und einem Widerstand R2 besteht, an eine zweite Eingangsklemme des Komparators 23 gelegt. Die Anschlußklemme des Widerstandes R2 abseits vom Kondensator C2 ist an eine Quelle einer Schwell-Vorspannung gelegt und zwar über ein Potentiometer 31, durch das die Vorspannung auf einen vorgegebenen Wert eingestellt werden kann. Ein Kondensator 32 verhindert, daß der Widerstand des Potentiometers die Zeitkonstante des Filternetzwerkes modifiziert. Die Zeitkonstante des ersten und des zweiten Filters sind identisch.

Die Wirkungsweise der Schaltung wird anhand der Wellenformen der Figuren 3a und 3b beschrieben.

Das an die Klemme 19 gelegte Eingangssignal hat eine Wellenform, die derjenigen in Fig. la entspricht. Das Signal wird im Verstärker 21 verstärkt, im Netzwerk 22 gefiltert und an einen Eingang des Komparators 23 gelegt. Die Wellenform des gefilterten Signales, das am Eingang des Komparators liegt, ist in ausgezogenen Linien in Fig. 3a gezeigt und sie entspricht derjenigen in Fig. Ib für eine konventionelle Schaltung.

Ein Teil des Eingangssignales wird an den Verstärker 25 gelegt,

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der ein Pegelsignal (level signal) mit einem Gleichspannungspegel erzeugt, der auf die Amplitude der Diskontinuität des Signales bezogen ist, die eine Folge des vorderen Randes der abzutastenden Fläche ist. Das Pegelsignal steuert die Amplitude des vom Impulsgenerator 28 erzeugten Impulses, der durch die Diskontinuität 12 getriggert wird nachdem er durch das Filternetzwerk 26 zu einem Impuls geformt worden ist. Der erzeugte Impuls wird durch das Filternetzwerk 30 erneut umgeformt und liefert ein Replika-Signal der Vorderflahke des Sockelsignales (pedestal signal) in Form eines Impulses mit einer Amplitude und einer Ausschwingzeit gleich denjenigen des Sockelsignales, das durch das Netzwerk 22 gefiltert wurde.

Das an den anderen Eingang des Komparators gelegte Replika-Signal hat somit die gestrichelt gezeigte Wellenform in Fig. 3a und es ist hinsichtlich der Amplitude gegenüber dem gefilterten Eingangssignal um die Höhe des Schwellensignales versetzt, das durch das Potentiometer 31 bestimmt wird. Dieses Vergleichssignal stimmt eng mit dem Ausgangssignal überein, hat jedoch keine Amplitudenstörungen wie z.B. 14 oder 15.

Aus Fig. 3a ergibt sich, daß die Störung 14, vorausgesetzt das sie eine größere Amplitude als der Schwellwert hat, in der Lage ist, das Schwellwertsignal im ausschwingenden Teil des Impulses zu überkreuzen im selben Ausmaß wie die Störung 15, die später innerhalb der Abtastung auftritt, wodurch das Ausgangssignal des Komparators seinen Wert ändert, wie durch die Wellenform in Fig. 3b dargestellt ist. Der Generator 28 erzeugt einen positiv gehenden unipolaren Impuls für das Filter 30 und wie sich aus Fig. 3a ergibt, der hiervon abgeleitete Impuls liefert kein geeignetes Vergleichsniveau (comparison level) für den Impuls 17, der durch die Diskontinuität 13 des hinteren Randes entsteht.

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Bei Verwendung in einem Oberflächenprüfgerät braucht in der Schaltung der hintere Rand nicht weiter berücksichtigt zu werden, weil das Auffinden und Unterscheiden von Störungen oder Fehlern nicht mehr notwendig ist, wenn der hintere Rand erreicht ist. Wie bereits erwähnt, kann die Unstetigkeit, die durch den hinteren Rand erzeugt wird, benutzt werden, um die Schaltung oder die Anlage bis zum Beginn der nächsten Abtastung außer Betrieb zu setzten. Wenn andererseits die Gesamtzahl von Störungen oder Fehlern, die festgestellt worden ist, gezählt wird, so kann die Auswirkung des hinteren Randes beseitigt werden, indem der Wert lEins" von der Anzahl der festgestellten Fehler bei jeder Abtastung subtrahiert wird. Da ferner die Erfindung die Unterscheidung von Störungen oder Fehlern, die unmittelbar nach der Vorderrand-Diskontinuität auftreten, ermöglicht, kann eine zusätzliche Abtasteinrichtung in entgegengesetzter Richtung verwendet werden, wobei keine der Einrichtungen einen hinteren Rand abtastet, sondern beide Ränder als vordere Ränder betrachtet und behandelt werden, nach deren Überkreuzung die Fehler festgestellt und gegebenenfalls gezählt werden.

Eine alternative Ausfuhrungsform der Schaltung nach Fig. 2 ist in Fig. 4 dargestellt. Bei dieser Schaltung erzeugt der Impulsgenerator 28' einen Impuls konstanter Amplitude und das Pegelsignal des Verstärkers 25 wird zur Steuerung der Verstärkung des Verstärkers 21 verwendet, wodurch das Eingangssignal modifiziert wird, so daß die Amplitude jeder Diskontinuität des Signales gleich der Amplitude der erzeugten Impulse gemacht wird. Die Vorderflanke einer Diskontinuität wird nur benutzt, um den Generator 28' zu triggern.

Bei der Anordnung nach Fig. 4 besteht die Wirkung der Steuerung der Verstärkung des Verstärkers 21 mit Hilfe der Niederfrequenzveränderung im Hintergrundsignal darin, daß wenn die Verstärkung

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geändert wird, um einem neuen Wert einer Diskontinuität angepaßt zu werden, die Amplitude der Störungen des Signales geändert wird. Wenn die Verstärkungsänderung größer ist, kann es sein, daß die Störsignale keine ausreichende Amplitude haben, um den Komparator zu triggern, wenn sie dies sonst tun würden.,

Dies kann durch die Schaltung nach Fig. 5 verhindert werden, die ebenfalls eine alternative Form eines Filters für die Eingangssignale verwendet. In dieser Figur haben die Teile, die gleich denjenigen der anderen Figuren sind, dieselben Bezugszeichen und es kann auch die alternative Form des Signalfilters bei den Schaltungen nach den Figuren 2 und 4 verwendet werden. Das Eingangssignal wird über einen Verstärker 21, der einen Teil des Eingangsfilters bildet, an den Komparator 23 gegeben. Das Signal wird ferner an den Verstärker 25 und das Filter 26 gelegt. Das Signal vom Filter 26 wird benutzt, um einen Impuls konstanter Amplitude im Generator 28" über einen Schwellwert-Detektor 33 zu triggern, um sicherzustellen, daß nur die relativ großen Diskontinuitäten zur Erzeugung eines Impulses führen. Der Ausgang des Impulsgenerators wird an einen Verstärker 34 gelegt, dessen Verstärkung durch das Pegelsignal vom Verstärker 25 gesteuert wird. Der Ausgang des Verstärkers 34 ist über das Hochpaßfilter 30 an den Komparator 23 gelegt. Das Eingangssignal geht ferner durch ein Tiefpaßfilter 35, das dieselbe Zeitkonstante wie das Filter 30 hat und einen Teil des Eingangssignal-Filters bildet. Der Ausgang des Filters 35 liegt am Verstärker 21 um dessen Verstärkung zu steuern.

Im Betrieb wird das Signal durch das Filternetzwerk 35 gefiltert, das ein Signal "bereinigt"(cleandd) von den Diskontinuitäten erzeugt und langsame Änderung der Amplitude nach den Diskontinuitäten. Dieses gefilterte Signal steuert die Ver-

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Stärkung des Verstärkers 21, um dessen Ansprechen abzuflachen und zwar überall, außer an"den Diskontinuitäten, so daß das Verstärker-Ausgangssignal eine Wellenform ähnlich derjenigen nach Fig. 1b hat. Das Signal ist wirksam differenziert worden, die Amplituden der Störungen werden jedoch nicht beeinflußt. Das Signal, das von seinen niederfrequenten Komponenten durch die Differenzierung befreit worden ist, wird an den Komparator mit einer Nachbildung 4replica) des abklingenden Impulses der differenzierten Diskontinuität gegeben. Die Replika kann erzeugt werden, wie in Verbindung mit Fig. 2 beschrieben oder wahlweise mit Hilfe eines Komparators 33. Alternativ kann wie in Fig. 6 gezeigt ist, der durch das weitere Filter differenzierte Impuls zusätzlich zum Filter 35 dazu benutzt werden, die Verstärkung des Verstärkers 21 zu steuern. In diesem Fall wird der Komparator 23 mit einem Schwellwertsignal, das eine vorgegebene Höhe hat, durch das Potentiometer 31 gespeist.

Die Werte von C1 und C2 sind gleich, ebenso wie die von R1 und R2. Abgesehen davon, daß identische Zeitkonstanten für die beiden Filternetzwerke vorgesehen sind, bedeutet die Identität der Werte der Kondensatoren und Widerstände, daß sie in gleicher Weise durch Streukapazitäten und Impedanzen beeinflußt werden und somit weiterhin die gleichen Zeitkonstanten haben.

Die Schaltungen nachdden Figuren 2 bis 6 wurden in Verbindung mit einer Einrichtung zur Abtastung von Oberflächen beschrieben, wobei ein Grundsignal eine Anzahl von Diskontinuitäten aufweist, die normalerweise in konstanten festen Intervallen auftreten. Die Art des erhaltenen und an die Schaltung gelegten Signales ist derart, daß kaum oder keine Möglichkeit besteht, daß andere Störungen oder Fehler auftreten als solche, die dem Teil 11 des Signales zwischen den beiden Diskontinuitäten überlagert sind. Die Schaltungen sind in der Lage, solche Fehler und Diskontinuitäten unterschiedlicher Amplituden zu unter-

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scheiden, sie sind jedoch nicht mit*Einrichtungen versehen, um die negativ gehende Diskontinuität 13 in Fig. 1a zu verarbeiten, d.h. die Rückkehr vom Niveau 11 zum Niveau 10. Die Schaltungen können jedoch leicht modifiziert werden, um solche Diskontinuitäten festzustellen, beispielsweise mit Hilfe eines negativ gehenden Impulsgenerators parallel zu dem Impulsgenerator 28 oder 28', der durch einen negativ gehenden Impuls vom Filter 26 getriggert wird oder durch Anpassung des Impulsgenerators 28 bzw. 28', so daß dieser einen Impuls erzeugt wenn er durch einen positiv gehenden Impuls vom Filter 26 getriggert wird, wobei der Impuls durch einen nachfolgenden negativ gehenden Impuls beendet wird. Es kann ferner vorgesehen werden, daß die vom Generator 28 oder 28* erzeugten Impulse aufgrund eines Impulses mit einer vorgegebenen Mindestamplitude erzeugt werden, do daß andere Störungen den Impulsgenerator nicht triggern.

Die beschriebenen Komparatoren verwenden einen Schwellwert, der negativ ist bezüglich dem Grundsignal-Pegel, es kann jedoch auch ein positiver Schwellwert verwendet werden, in dem das Potentiometer 31 an eine positive PotentialguelIe angeschlossen wird. Es können ferner sowohl positive wie negative Schwellwerte vorgesehen werden, so daß positiv gehende und negativ gehende Störungen festgestellt werden können, wobei dies aber auch durch Verdopplung der Diskriminatorschaltung, jedoch mit Schwellwerten unterschiedlicher Polarität, erreicht werden kann, so daß Ausgangssignale von unterschiedlichen Störungen getrennt werden können.

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Claims

Patentansprüche

Diskrixninatorschaltung mit einer Eingangsklemme zum Empfang eines Eingangssignales in Form eines Gleichspannungs-Sockel-Signals, dem Störsignale überlagert sind, gekennzeichnet durch ein Eingangssignal-Filter zur Beseitigung der Gleichspannungskomponenten von jedem Sockel-Signal, außer unmittelbar nach dessen Vorderflanke, eine Signalerzeugungseinrichtung, die auf die Vorderflanke jedes Sockelsignales anspricht, um ein Replika-Signal zu erzeugen, das die Amplitude und Form der restlichen Gleichspannungskomponenten des gefilterten Sockelsignales hat und durch eine Steuereinrichtung, die auf das Replikasignal anspricht, um die restlichen Gleichspannungskomponenten jedes Sockelsignales zu eliminieren.

Schaltung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Eingangssignal-Filter in Reihe einen Verstärker und ein Hochpaßfilter aufweist.

Schaltung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Eingangssignal-Filter einen Verstärker zuqi Empfang eines Eingangssignales von der Eingangsklemme aufweist, sowie ein Tiefpaßfilter zum Empfang des Eingangssignales, und daß durch das Ausgangssignal des Filters die Verstärkung des Verstärkers steuerbar ist.

Schaltung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet , daß die Steuereinrichtung einen Komparator aufweist, der als Eingangssignale das gefilterte Eingang-Sockel-Signal und die diesem überlagerten Störsignale, das Replika-Signal und ein Schwellwert-Signal vorgegebener Höhe empfängt, daß der Komparator ferner ein Aus-

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gangssignal liefert, wenn die Amplitude des gefilterten Eingangssignales wegen den überlagerten Störsignalen von der Amplitude des Replika-Signales um einen Wert differiert, der über dem Pegel des Schwellwert-Signales liegt.

5. Schaltung nach Anspruch 2 oder 3, dadurch g e k e η η zeichnet , daß die Steuereinrichtung den Verstärker des Eingangssignal-Filters umfaßt, daß die Verstärkung dieses Verstärkers durch das Replika-Signal gesteuert wird, um nur Störsignale, die dem Sockelsignal überlagert sind, durchzulassen, und daß durch einen Komparator die Störsignale mit einem Schwellwert-Signal vorgegebener Amplitude verglichen werden, worauf der Komparator ein Ausgangssignal erzeugt, wenn die Amplitude eines Störsignales von der Amplitude des Replika-Signales um einen Wert differiert, der über dem Pegel des Schwellwert-Signales liegt.

6. Schaltung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet , daß die Signalerzeugereinrichtung ein weiteres Hochpaßfilter aufweist, das auf die Vorderflanke des Sockelsignales anspricht, um ein Triggersignal in Form eines ausschwingenden Impulses zu erzeugen, daß Einrichtungen vorgesehen sind, um ein Pegelsignal zu erzeugen mit einer Amplitude, die auf die des Sockelsignales bezogen ist, daß ein Impulsgenerator vorgesehen ist, der auf]jedes Triggersignal anspricht, um einen Rechteckimpuls zu erzeugen, der mit der Vorderflanke des Sockelsignales zusammenfällt, wobei die Amplitude des Impulses durch das Pegelsignal gesteuert wird und daß weitere Filtereinrichtungen vorgesehen sind, die eine Zeitkonstante haben, die gleich derjenigen des Eingangssignal-Filters ist, um die Vorderflanke des Rechteckimpulses zu filtern, um das Replika-Signal zu erzeugen.

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7. Schaltung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß der Impulsgenerator einen Impuls vorgegebener Amplitude erzeugt und daß ein Verstärker für den Impuls vorgesehen ist, dessen Verstärkung durch die Amplitude des Pegelsignales gesteuert wird.

8. Schaltung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet , daß die Signalerzeugereinrichtung ein Hochpaßfilter aufweist, das auf die Vorderflanke des Sockelsignales anspricht, um ein Triggersignal in Form eines ausklingenden Impulses zu erzeugen, daß ein Impulserzeuger vorgesehen 1st, der auf jedes Triggersignal anspricht, um einen Rechteckimpuls vorgegebener Amplitude zu erzeugen, der mit der Vorderflanke des Sockelsignales zusammenfällt, daß ferner Einrichtungen vorgesehen sind, um ein Pegelsignal mit einer Amplitude zu erzeugen, die auf diejenige des Sockelsignales bezogen ist, wobei diese Einrichtungen mit dem Eingangsfilter verbunden sind, um die Amplitude des gefilterten Sockelsignales in Bezug auf die Amplitude des Rechteckimpulses zu steuern, daß ferner Filtereinrichtungen vorgesehen sind, die eine Zeitkonstante haben, die gleich derjenigen des Eingangsfilters ist, um die Vorderflanke des Rechteckimpulses zu filtern, um das Replika-Signal zu erzeugen.

9. Schaltung nach einem der Ansprüche 6 bis 8, dadurch gekennzeichnet , daß die Signalerzeugereinrichtung einen Schwellwert-Detektor aufweist, um den Durchgang von Triggersignalen unter einem vorgegebenen Schwellwert zu sperren, wobei dieser Schwellwert eingestellt ist, um Triggersignale auszuschliessen, die nicht durch die Vorderflanke des Sockelsignales erzeugt worden sind.

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Le e rse i t e