DE2526454A1 - Spektrometer und verfahren zur untersuchung der spektralen lichtzusammensetzung - Google Patents
Spektrometer und verfahren zur untersuchung der spektralen lichtzusammensetzungInfo
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Description
Die vorliegende Erfindung betrifft optische Geräte, insbesondere Spektrometer und Verfahren zur Untersuchung
der spektralen Lichtzusammensetzung, die durch dieses Spektrometer bei der qualitativen und quantitativen Analyse
durchgeführt werden.
Der Haupttyp von Spektralgeräten,· die gegenwärtig in der Spektroskopie verwendet werden, ist das Spaltspektrometer.
Jedes Spektrometer besteht im Prinzip aus einem Eintrittsspalt, der sich in der Fokalebene eines Kollimators,
der einen parallelen Lichtstrahl formiert, befindet, einem
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dispergierenden Element (Prisma oder Diffraktionsgitter),
einem Austrittsobjektiv und einem Austrittsspalt, der in der IPokalebene des letzteren liegt und die Selektion des
austretenden lichtsstromes nach den Wellenlängen gewährleistet
(siehe,z.B. A.IT. ßaidel, G.V, Cstrovsky, Ju. I.
Ostrowski "Technik und Praxis der Spektroskopie", Verlag "Nauka", Moskau, 1972).
Ostrowski "Technik und Praxis der Spektroskopie", Verlag "Nauka", Moskau, 1972).
Das Auflösungsvermögen und die Lichtstärke eines solchen
Spektrometers hängöareziprok von der Bpaltbreite ab:
bei Verringerung der Spaltbreite vergrößert sich das
Auflösungsvermögen, während die Lichtstärke abnimmt, und umgekehrt. Da außerdem die Spaltbreite v/egen der Diffraktioneerscheinung nicht beliebig klein gemacht werden kann, entsteht die Notwendigkeit der Anwendung von Kollimatoren großer Brennweiten zur Ausnutzung des Auflösungsvermögens des dispergierenden Elementes. Deswegen liegen die Ausmaße der Spektrometer mittlerer Klasse zwischen 1,5 ♦ 2 m, und die Geräte höherer Klassen erreichen eine Länge von 6 und mehr Metern.
bei Verringerung der Spaltbreite vergrößert sich das
Auflösungsvermögen, während die Lichtstärke abnimmt, und umgekehrt. Da außerdem die Spaltbreite v/egen der Diffraktioneerscheinung nicht beliebig klein gemacht werden kann, entsteht die Notwendigkeit der Anwendung von Kollimatoren großer Brennweiten zur Ausnutzung des Auflösungsvermögens des dispergierenden Elementes. Deswegen liegen die Ausmaße der Spektrometer mittlerer Klasse zwischen 1,5 ♦ 2 m, und die Geräte höherer Klassen erreichen eine Länge von 6 und mehr Metern.
Vor relativ kurzer Zeit sind zwei Typen grundsätzlich neuer spaltloser Spektrometer, die die Interferenzerscheinung
ausnutzen, vorgeschlagen worden: das Pourier — Spektrometer und das Spektrometer mit selektiver Interferenz
- Amplituden - Modulation (weiterhin SISAM). Die
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Anwendung dieser zwei Spektrometertypen bringt für die Spektroskopie wesentliche Vorteile: erstens kann
man die Lichtstärke der Spektrometer und demzufolge auch
ihre Empfindlichkeit um 2-3 Größenordnungen erhöhen; zweitens kann man um ebensoviel die Geschwindigkeit der
Informationsentnahme, d.h. das Expreßvermögen der Spektralanalyse, erhöhen; und drittens kann man das theoretische
Auflösungsvermögen des dispergierenden Elementes praktisch
bei beliebigen Brennweiten des Eingangskollimators und des Austrittsobjektivs ausnutzen , was es im Prinzip gestattet,
die Ausmaße und das Gewicht der Spektrometer um das zehn- und hundertfache zu verringern.
Das !Fourier - Spektrometer (s. z.B. J. Connes; J. Fhys. Rad. 2Ji , 645 (1960) ) stellt ein Maikelson - Interferometer
mit einem verstimmbaren Spiegel dar, der sich längs der Achse des Interferometers in der Nähe der liulllage
des Gangunterschiedes der interferierenden Lichtstrahlen bewegen kann. Der Hauptmangel der Fourier - Spektrometer
liegt in der Notwendigkeit der maschinellen Entschlüsselung des zu registrierenden Signals. Außerdem ist er
empfindlich gegenüber der Änderung der Intensität des zu
registrierenden Lichtes in der Registrier ze it, das mechanische System der Verschiebung des beweglichen
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Spiegels ist recht kompliziert und empfindlich gegenüber
mechanischen Störungen, und das Arbeits-Spektrel-intervall
ist durch den Transparenzbereich der unterlege des halbtransparenten Spiegels begrenzt,
SISAM ist ein Zweistrahlinterferometer, dessen beide
Arme dispergierende Elemente enthalten, die so angeordnet sind, daß die Interferenz nur in der Hähe einer Wellenlänge
beobachtet wird.
Das Interferenzverfahren der Selektion nach Wellenlängen wird durch periodische Änderungen des Ganguntersehiedes
der interferierenden Lichtstrahlen gewährleistet, Dabei wird eine Amplitudenmodulation des austretenden Lichtstrahls
nur auf der interferierenden Wellenlänge beobachtet. Die Wechselkoatponente des austretenden Lichtstrahls,
die durch eine Empfangs-Keßschaltung registriert wird,
ist der Lichtintensität auf der interferierenden Wellenlänge proportional.
Der Hauptnachteil aller früher bekannten ßlSAH-Schemen
ist, daß zur Eichung und Benutzung des Gerätes eine Abstimmung von 7 bis 12 Freiheitsgraden verschiedener
Elemente der Scheuen ait Interferenzgenauigkeit gewährleistet
werden isuß, d.h., die Winkel müssen mit einer Genauigkeit
hoher als 1" und die Verschiebungen bis auf
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Bruchteile der Wellenlänge eingehalten werden.
Daraus folgt, daß sogar Präzisionsmuster der Geräte nur eine geringe statische und kinematische Stabilität gegen
mechanische Störungen aufweisen} daß die Eichung der Geräte eine sehr komplizierte Operation darstellt; daß das
Durchstiromsystem so kompliziert ist, daß die Grenzen der
Durchstimmung zur Zeit einige Hundert Auflösungsintervalle übersteigen kann (für den sichtbaren Spektralbereich
10 S).
Außerdem ist der Spektralbereich der meisten SISAIi durch den Transparenzbereich der Lichtteilerspiegel begrenzt;
in allen bekannten SISAM - Systemen ändern sich die Frequenz und die Phase des modulierten Signals beim
Durchstimmen durch das Spektrum, d.h. sie gestatten nicht die Synchrondetektierung des Signals j die Modulationsfrequenz
überschreitet nicht 100 Hz j was die Geschwindigkeit der Analyse stark begrenzt; auf Grund der Kompliziertheit
der mechanischen Durchstimmsysteme besitzen die Geräte Maße und Gewichte wie Spaltspektrometer; der Preis der bekennten
SISAM liegt weit höher als der Preis der Spaltgeräte.
Eines der SISAM-Systeme (s. z.B. P; Oonnes, Rev.d*
Opt. J4 , 1 (1956) benutzt die Eigenschaft der Diffraktionsgitter
mit symmetrischen Strichprofil, um rechte und
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linke Diffraktionsordnungen und gleicher Intensität zu geben. Diese symmetrischen Diffraktionsoronungen werden zur
Erzeugung der Interferometerarme benutzt, die das SISAM-
-System bilden.
Dazu wird ein System von zwei oder drei Spiegeln benutzt, die die Strahlen der symmetrischen Ordnungen so auf
das Gitter zurückwerfen, daß sie nach einer zweiten Diffraktion auf dem Gitter selektiv interferieren können. Dieses
Spektrometer hat alle oben genannten Mangel.
Es ist weiterhin ein SLSALi - System bekannt (zum Beispiel
aus dem sowjetischen Urheberschein Nr. 127 054), welches ein Diffraktionsgitter mit symmetrischem Strichprofil,
einen zusätzlichen Spiegel, dessen reflektierende Oberfläche rechtwinklig zur Oberfläche des Diffraktionsgitters gelegen ist, und zwei skanierbare Spiegel, die auf
einer gemeinsamen Unterlage befestigt sind, welche sich um eine Achse drehen läßt, die durch die Kitte der Geraden
geht, die die Zentren der skanierbaren Spiegel verbindet, enthält. In diesem Spektrometer fällt der zu untersuchende
Lichtstrahl rechtwinklig auf das Diffr-aktionsgitter und
zerlegt sich in zwei Lichtstrahlen (rechte und linke Diffraktionsordnung)
mit vorgegebener Wellenlänge. Der eine kehrt zum Diffraktionsgitter zurück, indem er autokollimativ
von einem der durchstimmbar en Spiegel reflektiert wird, der
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andere kehrt zum Gitter zurück, indem er erst vom zusätzlichen
Spiegel, dann autokollimativ vom zweiten durchstiambaren
Spiegel und wieder vom zusätzlichen Spiegel reflektiert wird. Mach der Rückkehr werden beide Strahlen
la eine Richtung gebrochen und interferieren. Zur Modulation
des Austrittslichtstrahles wird die Vor- und Rückwärtsbewegung des Zusatzspiegels ausgenutzt. Die skanierbaren
Spiegel sind so angeordnet, daß die Strahlen, die' durch das Gitterzentrum verlaufen, einen Null-Gangunterschied
besitzen.
Dieses Spektrometer hat alle oben genannten Mängel. Außerdem wird die Qualität der beschriebenen Konstruktion
durch eine erhebliche Geschwind; "keit der Änderung der Interferenzordnung
beim Durchstiminen durch das Spektrum und
Vignettieren der Lichtstrahlen verringert.
Ee wurde auch ein Verfahren zur Untersuchung der spektralen
LichtzusajBBensetzung vorgeschlagen, welches durch
das oben beschriebene Spektrometer durchgeführt wird und in der Interferenz zweier doppelter Diffraktion ausgesetzter
licht strahlen besteht, die an reflektierenden Oberflachen gespiegelt werden, wobei sich die Anzahl der Reflexionen
im ersten und zweiten Strahl um zwei unterscheidet, d.h. einer der Strahlen kehrt zum Diffraktionsgitter
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·· Θ —
nach einer Reflexion zurück, der andere nach drei (SU-PS
127 054).
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Spektrometer (SISAM) anzugeben, welches ein skanierendes
Mittel besitzt, das ein einfaches Durchstimmen durch das Spektrum, eine stabile Modulation, eine hohe Störunanfälligkeit,
kleine Maße und Gewicht, die Möglichkeit der Änderung des Auflösungsvermögens, eine für das verwendete
Dispersionselement maximale Lichtstärke gewährleistet, und welches die Ausarbeitung eines Verfahrens
zur Untersuchung der Spektralzusammensetzung des Lichtes, das durch das oben genannte Spektrometer durchgeführt wird
und eine Verringerung der Quermaße des Spektrometers gestattet .
Dies wird dadurch erreicht, daß in dem Spektrometer (SISAM), in dem der zu untersuchende kollimierte Lichtstrahl
auf ein Diffraktionsgitter mit symmetrischem Strichprofil fällt, in zwei Strahlen mit vorgegebener Wellenlänge,
die den rechten und linken DiffraktionsOrdnungen
entsprechen, zerlegt wird, wobei einer der Strahlen zum Diffraktionsgitter zurückkehrt, nachdem er vom ersten
skanierbaren Spiegel reflektiert wurde, und der andere Strahl zum selben Diffraktionsgitter zurückkehrt, nachdem
er der Reihe nach vom zusätzlichen Spiegel, vom zweiten skanierbaren Spiegel und wieder
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zum zusätzlichen Spiegel reflektiert wurde, und beide
Strahlen nach der Rückkehr in einer Richtung diffragieren, interferieren und mit einem Registriermittel registriert
werden, nach dessen Angaben man auf die Spektralzusammensetzung des zu untersuchenden Lichtstrahls schließt.
Gemäß der Erfindung ist der zusätzliche Spiegel gegenüber
dem Diffraktionsgitter so angeordnet, daß seine reflektierende Oberfläche parallel zu den Strichen des Diffraktionsgitters
liegt, und der erste und der zweite skanierbare Spiegel sind als einheitlicher skanierbarer Spiegel ausgeführt
und ihre reflektierenden .Oberflächen liegen so in
einer Ebene , daß beide Lichtstrahlen völlig von der reflektierenden Oberfläche des einheitlichen skanierbaren
Spiegels reflektiert werden.
IJm eine Änderung des Auflösungsvermögens des SISAM zu ermöglichen , ist es zweckmäßig, einen zusätzlichen
Spiegel mit der Möglichkeit einer geradlinigen Bewegung relativ des Diffraktionsgitters aufzustellen.
Zur Realisierung der maximalen (für das zu benutzende dispergierende Element) Lichtstärke ist es angebracht, den
zusätzlichen Spiegel in direkter Nähe des Diffraktionsgitters aufzustellen·
Zur Verringerung des Vignettierens der Lichtstrahlen
kann man die Drehachse des einheitlichen verstimmbaren
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Spiegels parallel zu den Strichen des Gitters anordnen.
Zur Verringerung des Vignettierens der Lichtstrahlen ist es außerdem wünschenswert, die Drehachse des einheitlichen
verstimmbaren Spiegels in der Schnittlinie der Ebene, in der die reflektierende Oberfläche des zusätzlichen Spiegels
liegt, mit der Ebene, in welcher die Arbeitsfläche des
Diffraktionsgitters liegt, anzuordnen.
Die vorliegende Erfindung schlägt weiterhin ein Verfahren
zur Untersuchung der Spektralzusammensetzung des Lichtes vor, welches mit dem oben genannten Spektrometer
durchgeführt werden kann und in der Interferenz zweier doppelt diffragierter Lichtstrahl en besteht, die Spiegelungen
von zwei reflektierenden Flächen erfahren, wobei die Zahl der der Reflexionen des ersten und des zweiten Strahles
um zwei verschieden ist, und wobei, entsprechend der Erfindung, die Interferenz von Lichtstrahlen angewendet wird,
die (2n + 1) und (2n + 3) Reflexionen erfahren haben, wobei η Zahlen der natürlichen Reihe sind.
Das SISÄM-System, das das erfindungsgemäße
Prinzip verwirklicht, hat eine hohe Standfestigkeit gegenüber mechanischen Störungen, ein einfaches Durchstimmittel
und als Polge davon kleine Maße und ein geringes Gewicht.
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Anhand der in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispiele
wird die Erfindung näher erläutert. Ss zeigen
Fig. 1 das gesamte Schema eines erfindungsgemäßen Spektrometers (SISAM), welches das bekannte
Verfahren und das Verfahren der erfindungsgemäßen Untersuchung der Spektralzusammensetzung
des Lichtes darstellt;
Fig. 2 das optische Schema des Spektrometers der Fig. 1;
Fig. 3 die Darstellung einiger optischer Elemente des Spektrometers (Fig. 1) und den Strahlengang
des Lichtes für das bekannte Verfahren und für das Verfahren der Untersuchung der Spektralzusammensetzung des Lichtes,
welches durch das erfindungsgemäße Spektrometer durchgeführt wird;
Fig. 4 den Strahlengang im Spektrometer (Fig. 1)
in der parallel zu den Strichen des Diffraktionsgitters gelegenen Ebene;
Fig. 5 eine der Ausführungsvarianten des Zusatzspiegels (Längsschnitt) und teilweise das '
Diffraktionsgitter; und
Fig. 6· das optische Schema einer anderen Ausführungsvariante des erfindungsgemäßen Spektrometers
.
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Das Spektrometer mit selektiver Interferenz-Amplituden-Modulation
(SISAM), mit dem das bekannte Verfahren und das erfindungsgemäße Verfahren zur Untersuchung der
Spektralzusammensetzung des Lichtes durchgeführt wird, enthält eine Eintrittsapertur 1 (Fig. 1), die sich im
Gehäuse 2 befindet und in der Fokalebene und auf der optischen Achse eines kollimierenden Mittels in Form einer
Linse 3 liegt, die in einer Fassung 4 befestigt ist.
Zwischen der Linse 3 und der Eintrittsapertur 1 befindet sich ein halbtransparenter Spiegel 5, der in
einer Fassung 6 befestigt und unter einem Winkel von 45° zur optischen Achse der Linse 3 angeordnet ist. Ein im
Gehäuse 2 angebrachtes flaches Diffraktionsgitter 7 mit einem symmetrischen Strichprofil 8, welches die Arbeitsfläche
des Gitters bildet, ist unbeweglich auf der Basis befestigt.
Auf derselben Basis 9 ist in unmittelbarer Nähe vom Diffraktionsgitter 7 ein zusätzlicher Spiegel 10 unbeweglich
angebracht, welcher einen piezokeramischen Kondensator
mit Beschichtungen 11 und 12 darstellt, wobei die Beschichtung 11 die reflektierende Oberfläche (weiterhin
die reflektierende Fläche 11) des zusätzlichen Spiegels 10 ist. Beide Beschichtungen 11 und 12 sind mittels
elektrischer Leiter, die durch das Gehäuse 2 mittels Isolatoren 14 gelegt sind, an einen Generator 13
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angeschlossen, was in dem Buch "Spravotschnik Radioljubitelja
Konstruktora" unter der Redaktion yon R.M. Malinin,
Verlag "Energie", Moskau 1973, beschrieben ist.
Der Zusatzspiegel 10 ist bezüglich des Diffraktionsgitters 7 so angeordnet, daß seine Reflexionsfläche
parallel zu den Strichen 8 des Diffraktionsgitters 7, und im Winkel von 90° zur Arbeitsfläche des Diffraktionsgitters
7 liegt, wobei die optische Achse der Linse 3 durch das Zentrum des Gitters 7 verläuft.
Ein ebenso im Gehäuse 2 untergebrachter einheitlicher (gemeinsamer) ganzer skanierbarer Speigel 15 mit
einer Reflexionsfläche 16 ist unbeweglich auf einer Basis 17 befestigt, die mittels einer in einer Mutter 20
geführten Schraube 19 um eine Achse 18 drehbar ist. Die Basis 17 wird mit Hilfe einer Feder 21 fixiert.
Die Drehachse 18 (Fig. 2) des einheitlichen skanierbaren Spiegels 15 ist parallel zu den Strichen 8 des
Diffraktionsgitters 7 angeordnet.
Die Austrittsapertur 22 (Fig. 1) ist im Gehäuse bezüglich des Spiegels 5 symmetrisch zur Eintrittsapertur
1 angeordnet. Hinter der Austrittsapertur 22, in der Fokalebene der Linse 3, befindet sich eine Registriereinrichtung
23, welche einen in Reihe geschalteten Strahlungsempfänger 24 (z.B. Fotovervielfacher, der im Buch
von A.N. Saude1, G.V. Ostrowskaja, Ju. I Ostrowski
"Technika und Praktika Spektroskopie, Verlag "Nauka",
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Moskau, 1972, beschrieben ist), einen selektiven Verstärker und ein Registriergerät 26, z.B. einen Oszillographen,
enthält.
Als Modulationseinrichtung dient in der zu beschreibenden Ausführungsvariante des Spektrographen der Zusatzspiegel
10, und der halbtransparente Spiegel 5 (Fig. 2) dient als Einrichtung zur Trennung des zu untersuchenden
eintretenden und austretenden Lichtstrahles 27 bzw. 28.
Mit der oben beschriebenen SISAM-Konstruktion kann man sowohl das bekannte Verfahren zur Untersuchung der
Spektralzusammensetzung des Lichtes (a) gemäß der SU-PS 127 O54, als auch das erfindungsgemäße Verfahren zur
Untersuchung der Spektralzusammensetzung des Lichtes (b) durchführen, das im folgenden beschrieben wird.
Zur Durchführung des Verfahrens (a) mittels des Spektrometers fällt erfindungsgemäß der zu untersuchende
Eintritts lichtstrahl 27, indem er die Eintrittsapertur 1,
den halbtransparenten Spiegel 5 und die Linse 3 passiert, auf das Diffraktionsgitter 7 und diffragiert in der rechten
und linken Diffraktionsordnung zu zwei Lichtstrahlen 29 und 30 mit einer gegebenen Wellenlänge.
Die Lichtstrahlen 29 und 30 gelangen auf das. Diffraktionsgitter 7 zurück; der Strahl 29 nach Spiegelung an der
Reflexionsfläche 16 des für beide Strahlen gemeinsamen einheitlichen skanierbaren Spiegels 15, und der Licht-
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strahl 30 nach einer aufeinanderfolgenden Spiegelung an der Reflexionsfläche 11 des zusätzlichen Spiegels 10, an
der Reflexionsfläche 16 des skanierbaren Spiegels 15 und wieder an der Fläche 11.
Nach der Rückkehr diffragieren beide Strahlen in einer Richtung in Form des zu untersuchenden Austrittslichtbündels
28, sie interferieren miteinander, passieren die Linse 3» werden vom Spiegel 5 reflektiert, passieren
die Austrittsapertur 22 und werden mit der Registriereinrichtung 23 registriert (Fig. 1), nach deren
Angaben auf die Spektralzusammensetzung des zu untersuchenden Lichtes geschlossen wird.
Der zusätzliche Spiegel 10, der auch als Modulationseinrichtung dient, ändert periodisch den Gangunterschied
der interferierenden Lichtstrahlen 29 und 30 (Fig. 2).
Zur Durchführung des Verfahrens (b) mit dem Spektrometer fällt erfindungsgemäß der zu untersuchende Eintrittslichtstrahl 27, indem er die Eintrittsapertur 1 (Fig. 1),
den halbtransparenten Spiegel 5 und die Linse 3 passiert, auf das Diffraktionsgitter und diffregiert in der rechten
und linken Diffraktionsordnung zu zwei Lichtstrahlen 31 und 32 (Fig. 3) mit einer gegebenen Wellenlänge (in der
Zeichnung sind die Lichtstrahlen nach Verfahren (a) als Linie, die Lichtstrahlen nach Verfahren (b) gestrichelt
eingezeichnet).
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Die zwei diffregierten Lichtstrahlen 31 und 32
kehren zum Diffraktionsgitter 7 zurück (Fig. 1), wobei sie eine Reflexion von den zwei Reflexionsflächen 11 und
16 (Fig. 3) erfahren, wobei die Zahl der Spiegelungen des ersten und des zweiten Lichtstrahles 31 und 32 sich
um zwei unterscheidet.
Beim erfindungsgemäßen Verfahren wird die Interferenz der Lichtstrahlen 31 und 32 ausgenutzt, die
(2n +1) und (2n + 3) Reflexionen erfahren, wobei η eine Zahl der natürlichen Zahlenreihe, und im gegebenen konkreten
Beispiel η = 1 ist; die Zahl der Reflexionen ist entsprechend für den Lichtstrahl 31 gleich 3 und für den
Lichtstrahl 32 gleich 5. So kehrt der Strahl 31 zum Diffraktionsgitter 7 zurück, indem er der Reihe nach von
der Reflexionsfläche 16 des für beide Lichtstrahlen gemeinsamen
einheitlichen skanierbaren Spiegels 15, von der Reflexionsfläche 11 des Zusatzspiegels 10 und wiederum
von der Reflexionsfläche 16 des skanierbaren Spiegels 15 reflektiert wird, und der Strahl 32 kehrt auf dasselbe
Diffraktionsgitter 7 zurück, indem er der Reihe nach von der Reflexionsfläche 11 des Zusatzspiegels 10, von der
Reflexionsfläche 16 des skanierbaren Spiegels 15, von der Reflexionsfläche 11, von der Reflexionsfläche 16 und
wiederum von der Reflexionsfläche 16 und wiederum von der Reflexionsfläche 11 gespiegelt wird. Nach der Rückkehr
diffragieren beide Lichtstrahlen 31 und 32 in einer Rich-
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tung in Form des zu untersuchenden Austrittslichtstrahles 28, interferieren untereinander, passieren die Linse
3 (Fig. 1), werden von Spiegel 5 reflektiert, passieren die Ausgangsapertur 22 und werden von der Registriereinrichtung
23 registriert, nach deren Angaben auf die Spektralzusammensetzung des zu untersuchenden Lichtes geschlossen
wird.
Durch die Begrenzung der Maße des einheitlichen skanierbaren Spiegels 15 kann man entweder die bekannte
Methode (a) zur Untersuchung der Spektralzusammensetzung des Lichtes verwirklichen, oder die erfindungsgemäße Methode
(b). Die Durchführung des Verfahrens, nämlich die erfindungsgemäße Untersuchung der Spektralzusammensetzung
des Lichts erlaubt es, den Abstand zwischen dem Zusatzspiegel 10 und dem einheitlichen skanierbaren Spiegel
und damit auch die Querabmessungen des Spektrometers zu verringern.
Bei der oben beschriebenen erfindungsgemäßen Ausftihrungsform
des Spektrometers (SISAM) ist die Reflexionsfläche 11 des Zusatzspiegels 10 (Fig. 1) unter einem
Winkel von 90° zur Arbeitsfläche des Diffraktionsgitters angebracht. Die Erfindung erlaubt jedoch mit Erfolg jeden
beliebigen, von 90° verschiedenen anderen Winkel.
Im Spektrometer ist erfindungsgemäß das Diffraktionsgitter 7 (Fig. 4) so angebracht, daß der Lichtstrahl
33 der nullten Diffraktionsordnung nicht in die
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Austrittsapertur 22 fällt.
In der anderen erfindungsgemäßen Ausführungsform des SISAM ist ein Zusatzspiegel 34 (Fig. 5) auf einer
Basis 35 so befestigt, daß eine Möglichkeit der geradlinigen Bewegung in einer Halterung 36 mit Hilfe der
Schraube 37 relativ zu einem Diffraktionsgitter 38 besteht
.
Die Halterung 36 ist an einer gemeinsamen Basis 39 die Schraube 37 an einem Anschlag 40 der Basis 39 befestigt
.
Die Reflexionsfläche 41 des Zusatzspiegels 34 ist parallel zu Strichen 42 des Diffraktionsgitters 38 angebracht,
das auf einer Basis 43 angebracht ist, die ihrer seits auf der gemeinsamen Basis 39 befestigt ist.
In allen oben beschriebenen Ausführungsvarianten des Spektrometers ist erfindungsgemäß die Drehachse des
einheitlichen skanierbaren Spiegels parallel zu den Stri chen des Diffraktionsgitters angeordnet. Es ist jedoch
eine Ausführungsvariante des Spektrometers möglich, bei der sich die Drehachse 44 (Fig. 6) des einheitlichen
skanierbaren Spiegels 45 auf der Schnittlinie 46 der Ebene 47, in der die Reflexionsfläche 48 des Zusatzspiegels
49 liegt, mit der Ebene 50, in welcher die Arbeitsfläche des Diffraktionsgitters 51 liegt, die durch die
Striche 52 dieses Gitters 51 gebildet wird, befindet.
809815/0810
In dieser Figur ist durch das Bezugszeichen 53 die
Reflexionsfläche des einheitlichen skanierbaren Spiegels 45, land durch das Bezugszeichen 54 die Beschichtung des Zusatzspiegels
49 bezeichnet; die anderen Bezugszeichen entsprechen Figur 2.
Das Arbeitsprinzip des erfindungsgemäßen Spektrometers (SISAM), mit dem ein bekanntes Verfahren und das erfindungsgemäße
Verfahren zur Untersuchung der Spektralzusammensetzung des Lichtes durchgeführt werden kann, besteht
in folgendem:
Der zu untersuchende Lichtstrahl 27 (Fig. 2 und 3) breitet sich nach wiederholter Diffraktion in Richtungen
aus, die durch den Strichabstand 8 des Diffraktionsgitters bestimmt werden. Dabei diffregieren die Lichtstrahlen 29
und 30, aber auch die Lichtstrahlen 31 und 32 (Fig. 3)
mit einer gegebenen Wellenlänge in einer Richtung. Das bedeutet, daß die Abbildungen aller Punkte der Eintritts ar-^-
tur 1 (Fig. 1), die durch die Strahlen 29 und 30, und auch durch die Starahlen 31 und 32 (Fig. 3) mit einer gegebenen
Wellenlänge gebildet werden, in der Austrittsapertur 22 (Fig. 1) zusammenfallen.
Für Licht anderer Wellenlängen fallen die entsprechenden Punkte der Apertur 1 nicht zusammen. Das bedeutet,
daß die Interferenz in der Austrittsapertur 22 selektiv auf der angegebenen Wellenlänge vor sich geht. Bei der periodischen
Änderung des Gangunterschiedes der interferie-
809815/0810
2626454
renden Lichtstrahlen, welche mittels einer Vor-Rückwärtsbewegung der Reflexionsfläche 11 des Zusatzspiegels 10
beim Anlegen einer Spannung vom Generator 13 an denselben erzeugt wird, ändert sich die Intensität des austretenden
Lichtstrahls 28 (Fig. 2 und 3) auf der gegebenen Wellenlänge periodisch. Die Strahlen des zu untersuchenden Lichts
mit Wellenlängen, die nahe der gegebenen sind, passieren auch die Austrittsapertur 22 (Fig. 1), aber ihre Intensität ist
nicht moduliert. Der zu untersuchende Lichtstrom, der vom Empfänger 24 der Registriereinrichtung 23 registriert wird,
enthält eine Wechselkomponente, die vom Licht der gegebenen Wellenlänge gebildet wird, und eine konstante Komponente,
die vom Licht anderer Wellenlänge, die ebenfalls die Austrittsapertur 22 passieren, gebildet wird. Die Wechselkomponente,
die abgetrennt, durch den selektiven Verstärker 25 verstärkt und durch das Registriergerät 26 registriert
wird, ist der Intensität des Lichtes nur auf der gegebenen Wellenlänge proportional; nach ihr wird auch auf
die Spektralzusammensetzung des zu untersuchenden Lichtes geschlossen.
Bei der Drehung des einheitlichen skanierbaren Spiegels
15 um die Achse 18 kommt es zur Durchstimmung durch das Spektrum. Weil die Lichtstrahlen 29 und 30 (Fig. 2)
und 31 und 32 (Fig. 3) parallel zueinander sind, und von einem gemeinsamen skanierbaren Spiegel 15 (Fig. 1) gleichermaßen
reflektiert werden, ändert sich die Interferenz-
6098 15/0810
Ordnung der angeführten Lichtstrahlen bei einer geradlinigen Bewegung des skanierbaren Spiegels 13 nicht, und eine
beliebige Drehung des einheitlichen Spiegels 15 ruft nur ein Durdistimmen durch das Spektrum oder eine Verschiebung
des zu untersuchenden Austrittsstrahles 28 (Fig. 2 und 3) in der Ebene der Austrittsapertur 22 (Fig. 1) hervor. Das
bedeutet, daß die Drehachse des einheitlichen skanierbaren Spiegels 15 grundsätzlich beliebig im Raum angeordnet sein
kann, und die Interferenzordnung wird nur durch das mechanisch feste System Diffraktionsgitter 7 - Zusatzspiegel 10
bestimmt.
Die Frequenz und die Modulationsphase hängen bei der zu beschreibenden erfindungsgemäßen SISAM-Konstruktion
nicht von der Wellenlänge der interferierenden Strahlen 29 und 30 (Fig. 2) und auch 31 und 32 (Fig. 3) ab, da eine
Verschiebung der Reflexionsfläche 11 (Fig. 1) des Zusatzspiegels 10 auf eine Entfernung von einem Viertel des Abstandes
zwischen den Strichen zu einer Veränderung des Gangunterschiedes der interferierenden Strahlen um eine
halbe Wellenlänge in jedem Punkt des durchstimmbaren Spektralbereichs führt. Das gestattet es, Methoden der
Synchrondetektierung des zu registrierenden Signals anzuwenden.
Das Auflösungsvermögen des erfindungsgemäßen SISAM ist nicht geringer als das Vierfache des theoretischen
Auflösungsvermögens des verwendeten Diffraktionsgitters 7,
609815/0810
da zum Diffraktionsgangunterschied der Lichtstrahlen 29 und 30, 31 und 32 (Fig. 3) der geometrische Gangunterschied,
der sich aus dem Abstand zwischen dem Diffraktionsgitter 7 und dem Zusatzspiegel 10 bestimmt, kommt,
wobei die Vergrößerung des Abstandes das Auflösungsvermögen erhöht und die Lichtstärke verringert wird. Deswegen
ist es zum Erreichen einer maximalen Lichtstärke vorteilhaft, den Zusatzspiegel 10 (Fig. 1) in unmittelbarer
Nähe vom Diffraktionsgitter 7 anzubringen, d.h. mit minimalem Abstand.
Außerdem gestattet das, bei Anbringung eines zusätzlichen geradlinig beweglichen Spiegels 34 (Fig. 5) , ein
erfindungsgemäßes Spektrometer mit regulierbarem Auflösungsvermögen zu erhalten. Wenn die Drehachse des einheitlichen
skanierbaren Spiegels beliebig angeordnet ist, dann bewegen sich beim Durchstimmen die Lichtstrahlen, die vom
Spiegel reflektiert werden, auf seiner Reflexionsfläche.
Weil die Drehachse 18 (Fig. 2), wie oben beschrieben, parallel zu den Strichen 8 des Diffraktionsgitters
gelagert ist, verringert sich die Verschiebung der Lichtstrahlen 29 und 30 und der Lichtstrahlen 31 und 32 (Fig. 3)
auf der Reflexionsfläche des einheitlichen skanierbaren Spiegels 15 (Fig. 2) parallel zu den Strichen 8 des
Diffraktionsgitters 7.
Bei dem erfindungsgemäßen SISAM-System der Fig. 5
ist die Verschiebung der Lichtstrahlen 29 und 30 auf der Reflexionsfläche 53 des gemeinsamen skanierbaren Spiegels mini-
60981 5/08 1 D
~23~
Das erfindungsgemäße SISAM-System, mit dem ein bekanntes
Verfahren und das erfindungsgemäße Verfahren zur Untersuchung der Spektralzusammensetzung des Lichtes durchgeführt
werden können, hat eine hohe mechanische Störunanfälligkeit, da die Qualität der Interferenz durch das mechanisch
feste System aus Diffraktionsgitter und Zusatzspiegel bestimmt wird, in welchem nur die Parallelität der
Reflexionsfläche des Zusatzspiegels zu den Strichen des
Diffraktionsgitters mit Interferenzgenauigkeit erforderlich
ist, und das Durchstimmsystem in Form eines einheitlichen skanierbaren Spiegels, der um eine beliebige Achse
drehbar aufgestellt werden kann, ist in seiner Einfachheit einmalig unter allen bekannten SISAM-Systemen.
Die Einfachheit des Durchstimmsystems und die Störunanfälligkeit
gestatten es, Geräte mit bedeutend geringeren Maßen, Gewichten und Preisen zu konstruieren, als die
bekannten SISAM-Systeme oder Spaltspektrometer.
Die Unabhängigkeit der Frequenz und der Modulationsphase von der Wellenlänge des Lichts gestattet bei der Registrierung
die Anwendung von Methoden der Synchronerfas-
4 sung, welche das Signal-Rausch-Verhältnis um mehr als 10
anheben, und außerdem gestattet sie die Vergrößerung der Modulationsfrequenz bis auf Hunderte Kilohertz.
Außerdem kann das erfindungsgemäße SISAM-System aus das Licht nur reflektierenden Elementen hergestellt werden,
welche in jedem Spektralbereich anwendbar sind. 609815/0810
Claims (6)
1.!Spektrometer mit selektiver Interferenz-Amplituden-Modulation,
in welchem ein zu untersuchender Lichtstrahl auf ein Diffraktionsgitter mit symmetrischem
Strichprofil fällt, in der rechten und linken Ordnung in zwei Lichtstrahlen mit gegebener Wellenlänge diffragiert,
wobei einer von ihnen auf das Diffraktionsgitter zurückkehrt;
nachdem er vom ersten skanierbaren Spiegel reflektiert wurde, und der andere auf dasselbe Diffraktionsgitter zurückkehrt, nachdem er der Reihe nach vom Zusatzspiegel,
vom zweiten skanierbaren Spiegel und wieder vom Zusatzspiegel reflektiert wurde, und beide Strahlen nach
ihrer Rückkehr in einer Richtung diffragieren, untereinander interferieren und mittels einer Registriereinrichtung
registriert werden, nach deren Angaben auf die Spektralzusammensetzling des zu untersuchenden Lichtstrahls
geschlossen wird, dadurch gekennzeich net, daß ein zusätzlicher Spiegel (10) so angebracht
ist, daß seine Reflexionsfläche (11) parallel zu den Strichen (8) des Diffraktionsgitters (7) gelegen ist und der
erste und der zweite skanierbare Spiegel als ein ganzer skanierbarer Spiegel (15) ausgeführt ist, und ihre Reflexionsflächen
so in einer Ebene liegen, daß die Strah-
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-2S- 252^454
len (29 und 30) ganz von der Reflexionsfläche (16) des
einheitlichen skanierbaren Spiegels (15) reflektiert werden.
2. Spektrometer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet , daß der Zusatzspiegel (34)
bezüglich des Diffraktionsgitters (38) geradlinig verschiebbar ist.
3. Spektrometer nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet , daß der Zusatzspiegel (10) in unmittelbarer Nahe des Diffraktionsgitters (7) angeordnet
ist.
4. Spektrometer nach Ansprüchen 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Drehachse
(18) des einheitlichen skanierbaren Spiegels (15) parallel zu den Strichen (8) des Diffraktionsgitters (7)
gelegen ist.
5. Spektrometer nach Anspruch 4, dadurch gekennze i chnet, daß sich die Drehachse (44)
des einheitlichen skanierbaren Spiegels (45) auf der Schnittlinie (46) der Ebene (47), in welcher die Reflexionsfläche
(48) des Zusatzspiegels (49) liegt, mit der Ebene (50), in welcher die Arbeitsfläche des Diffraktionsgitters (51) liegt, befindet.
6. Verfahren zur Untersuchung der Spektralzusammensetzung
des Lichtes, welches mit dem Spektrometer nach Anspruch 1 durchführbar ist, und bei dem die Interferenz
609815/0810
zweier doppelt diffregierter Lichtstrahlen gebildet wird,
die von reflektierenden Flächen gespiegelt werden, wobei sich die Zahl der Reflexionen des ersten und zweiten
Strahles um zwei unterscheidet, dadurch gekennzeichnet , daß die Interferenz der Lichtstrahlen
(31 und 32) genutzt wird, welche (2n +1) und (2n + 3) Reflexionen erfahren, wobei η eine Zahl der natürlichen
Zahlenreihe ist.
609815/0810
2*
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-
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