DE2521733A1

DE2521733A1 - Verfahren und vorrichtung bei einrichtungen fuer codierte messungen

Info

Publication number: DE2521733A1
Application number: DE19752521733
Authority: DE
Inventors: Auf Nichtnennung Antrag
Original assignee: Societe dOptique Precision Electronique et Mecanique SOPELEM SA
Current assignee: Societe dOptique Precision Electronique et Mecanique SOPELEM SA
Priority date: 1974-05-15
Filing date: 1975-05-15
Publication date: 1975-11-20
Also published as: GB1492261A; CH606996A5; IT1055596B; BE829129A; FR2271709B1; NL7505580A; FR2271709A1

Description

SOCIETE D OPTIQUE, PRECISION ELECTRONIQUE ET MECANIQUE - SOPELEM Paris (Frankreich)

Verfahren und Vorrichtung bei Einrichtungen für codierte Messungen

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung bei Einrichtungen für codierte Messungen, das bzw. die eine Verdopplung des Auflösungsvermögens der verwendeten Meßeinrichtung ermöglicht.

Bei herkömmlichen Einrichtungen für codierte Messungen, z. B. zum Feststellen der Verschiebung eines beweglichen Teils gegenüber einem anderen, wird im allgemeinen ein geteilter oder kalibrierter Maßstab, der an einem dieser Teile angebracht ist, sowie eine Leseeinheit verwendet, die am anderen Teil angeordnet ist und sich vor dem kalibrierten Maßstab verschiebt. Der Maßstab setzt sich aus mehreren logischen Spuren zusammen, und die Leseeinheit weist Detektoren auf, die jeweils vor einer Spur

310-(74/44)-Me-r (7)

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angeordnet sind und deren Verschiebung eine bestimmte Zahl von Signalen hervorruft, deren Signalform wiederhergestellt oder regeneriert wird, um Rechtecksignale zu bilden, die aus einer Folge von durch im wesentlichen vertikale Übergänge verbundenen hohen und tiefen Pegeln gebildet sind. Auf diese Weise wird ein codierter Maßstab erhalten, der ein periodisches Feinschritt-Signal geringster oder niedrigster Wertigkeit, das dem Lesen der Feinstspur entspricht, und mindestens ein höherwertiges Signal enthält, das Signalpegel besitzt, deren Länge gleich dem Schritt des Signals mit niedrigster Wertigkeit ist. Um Mehrdeutigkeiten beim Lesen zu vermeiden, werden die gegenüber dem niedrigstwertigen höherwertigen Informationen üblicherweise durch zwei identische Rechtecksignale gegeben, die gegenüber dem niedrigstwertigen Signal verschoben oder versetzt sind. Jedes Signal, das gegenüber dem niedrigstwertigen höherwertig ist, wird auf diese Weise durch zwei Signale gebildet, die identisch, jedoch gegeneinander verschoben sind, so daß die Signalübergänge der beiden Signale jedes Paares beiderseits des Signalübergangs des niedrigstwertigen Signals angeordnet sind. Die verwendete Signalzahl hängt von der zu unterscheidenden Anzahl von Ihkrementen ab, wobei das Lese-Inkrement im allgemeinen der Halbperiode des Schritts der am feinsten geteilten Spur entspricht, denn üblicherweise wird während einer Periode ein Zustand 0 und ein Zustand 1 erzeugt, abhängig davon, ob das Signal kleiner oder größer als sein Mittelwert ist. In gleicher Weise wird in einem binär codierten System ein Signal der Wertigkeit 2 und ein Signal der Wertigkeit 2 verwendet, um vier Inkremente zu bestim-

2 men, wobei die Zufügung eines Signals der Wertigkeit 2 das Bestimmen von acht Inkrementen usw. ermöglicht. Wie gezeigt, besteht jedes Signal mit einer größeren Wertigkeit als 2 aus zwei verschobenen Signalen. Bei einer binär codierten Dezimal-Leseeinrichtung werden ein Feinschrittsignal der Wertigkeit 2 , zwei Signalpaare mit der doppelten bzw.

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»2-

1 2

vierfachen Wertigkeit des Feinschritts und der Wertigkeit 2 bzw. 2 , weshalb die Gesamtheit das Unterscheiden von acht Inkrementen ermög-

3 licht, und ein Signalpaar der Wertigkeit 2 mit einer acht Inkrementen entsprechenden Pegellänge verwendet, wobei die Gesamtanordnung auf diese Weise das Unterscheiden von insgesamt zehn Inkrementen ermöglicht.

Es ist jedoch schwer und stets kostspielig, Spuren mit genügend feinen Teilungen zu schaffen, um die gewünschte Meßempfindlichkeit zu erreichen. Es sind schon verschiedene Verfahren angegeben worden, durch die das Lesen von mehr als zwei Inkrementen bei einem Schritt der Feinst-Spur möglich ist, insbesondere durch Zurückgreifen einerseits auf eine Analogdiskriminierung oder -Unterscheidung des Signals durch Vergleich bei verschiedenen voreingestellten Pegeln, andererseits auf das Hinzufügen mehrerer Spuren oder Zellen zum Lesen der gleichen, im allgemeinen der am feinsten geteilten Spur.

Bei diesen herkömmlichen Verfahren ist nachteilig, daß die Meßelektronik sehr kompliziert ist.

Es ist Aufgabe der Erfindung, ein Verfahren zu schaffen, das die Verdopplung des Auflösungsvermögens der Einrichtung zur codierten Messung ermöglicht durch Halbieren des Schritts des durch die Meßeinrichtung erhaltenen Signals ohne Analogteilung und ohne notwendigen Hinzufügens von Analysierspuren und Zusatzzellen. Weiter ist es Aufgabe der Erfindung, eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens zu schaffen, ohne wesentliche Änderung des Meßcodierers.

Die Aufgabe wird bei einem Verfahren gemäß dem Oberbegriff des

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Anspruchs 1 erfindungsgemäß durch das Kennzeichen des Anspruchs 1 gelöst.

Die Erfindung wird anhand der in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispiele näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 ein Raster logischer Signale, die einen reinen Binärcode
definieren,

Fig. 2 die gemäß der Erfindung erzeugten Signale zum Verdoppeln des Auflösungsvermögens des Codierers,

Fig. 3 ein elektronisches Blockschaltbild zum Lesen des codierten Maßstabs,

Fig. 4 ein Blockschaltbild zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens,

Fig. 5 teilweise den codierten Maßstab bei Verwendung in einer
BCD-binärcodierten Dezimalmeßeinrichtung,

Fig. 6 gemäß der Erfindung erzeugte Signalverläufe,

Fig. 7 ein Blockschaltbild der erfindungsgemäßen Vorrichtung bei einer BCD-Einrichtung,

Fig. 8 Signale von Detektoren mit schwankenden Signalamplituden. Die Erfindung wird im folgenden durch ihre Anwendung auf die beiden

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-S-

nieistverwendeten Systeme zur codierten Messung erläutert, wobei die Erfindung auf alle Codes anwendbar ist, für die halbierte bzw. verdoppelte Signale und vorwärts und rückwärts gegen die erste Spur verschobene Signale verwendet werden, um das Auftreten von Mehrdeutigkeiten bei den Signalübergängen sicher zu beseitigen.

Üblicherweise geben die die Codierer bildenden Detektoren wellenförmige oder Wellen-Signale ab, bei denen die Neigung der Signalübergänge gering ist und die elektronisch wiederhergestellt oder regeneriert werden müssen, um logische Signale zu erhalten, die sich aus einer Folge von hohen und tiefen Pegeln zusammensetzen, die durch vertikale Signalübergänge getrennt sind, wobei diese Regenerierung der Signalform notwendig ist, um eine ausreichende Meßgenauigkeit zu erhalten. Die in der Zeichnung dargestellten Signale bzw. Signalverläufe sind deshalb Rechtecksignale, d. h. sie wurden nach elektronischer Signalregenerierung erhalten.

Die Fig .1-4 betreffen ein Meßsystem, das reinen Binärcode aufweist. Bei einer Vorrichtung zur binärcodierten Messung müssen herkömmlich die aufeinanderfolgenden Signale erzeugt werden, deren Schritt sich vom vorhergehenden zum folgenden verdoppelt. Das trifft bei den Signalen A und B gemäß Fig. 1 zu. Das Meß-Inkrement entspricht der Mitte des Schritts des Signals A, d. h. der Länge eines hohen oder tiefen Pegels.

Um das Signal B zu erhalten, dessen Schritt doppelt so groß wie der des Signals A ist, wird üblicherweise das Signal durch Erzeugen zweier Signale B und B verdoppelt, deren Signalübergänge gegenüber den Signalübergängen des Signals A nach vorwärts bzw· nach rückwärts ver-

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schoben sind. Diese Ausführung wird gewöhnlich verwendet, um Mehrdeutigkeiten beim Lesen zu vermeiden, wobei Änderungen im Code nur an den Signalübergängen des Signals feinsten Schritts oder Feinstschritt-Signals hervorgerufen werden. Das Verdoppeln der Signale größeren oder gröberen Schritts oder der Grobschritt-Signale kann offensichtlich entweder durch Verwenden zweier gegenüber der Feinstschritt-Spur verschobener Spuren oder durch Verwenden zweier Detektoren zum Lesen jeder Spur erhalten werden mittels der sog. V-Methode. Auf diese Weise wird das Signal B sehr einfach ausgehend von der allgemeinen logischen Gleichung erhalten:

2ⁿ = 2¹¹-¹ 2^nR + 2¹¹-¹ 2^nA (1).

Bei dieser allgemeinen Gleichung, die auf alle Folgespuren anwendbar ist, bedeuten R und A Signale der Wertigkeit 2 , die nach rück-

u Ct

wärts (R) bzw. nach vorwärts (A) verschoben sind.

Bei den Signalen gemäß Fig. 1 wurde auf Signale der Wertigkeit 2 und der Wertigkeit 2 beschränkt, weshalb sich ergibt:

= A-B₊AB (2).

Die Fig. 3 zeigt schematisch eine Elektronik oder elektronische Schaltung zur Erzeugung des Signals B. Die Signale A, B und B wer-

J. Ct

den jeweils an drei Leitungen 1 bzw. 2 bzw. 3 zugeführt. Die Leitungen 2 und 3 sind jeweils an einen Eingang eines ersten bzw. zweiten UND-Glieds 4 bzw. 5 angeschlossen, dessen andere Eingänge einerseits direkt und andererseits über einen Inverter oder Negator bzw. ein Nichtglied 6 an die Leitung 1 angeschlossen sind. Die Ausgänge der

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UND-Glieder 4 und 5 liegen an den Eingängen eines ersten ODER-Glieds 7, das am Ausgang das Signal B abgibt, das der logischen Verknüpfung des Signals A mit den Signalen B und B in der oben erläuterten Weise entspricht.

Selbstverständlich sind die Zustandsänderungen am Ausgang des ODER-Glieds 7 allein durch die Signalübergänge des an die Leitung 1 angelegten Signals A bestimmt.

Um eine große Meßgenauigkeit zu erhalten, genügt es daher, daß im Augenblick jedes Signalübergangs des Feinstschritt-Signals A die Signale B und B ganz einfach auf 0- oder 1-Pegel sind. Zu diesem Zweck werden im allgemeinen die Signale höheren oder gröberen Schrittes oder Grobschritt-Signale um einen Viertelschritt gegenüber den Signalübergängen des Feinstschritt-Signals A verschoben, jedoch wird angenommen, daß die Verschiebung der Signale B und B nicht sehr

χ *£

genau sein muß, da das Inkrement einzig durch die Lage der Übergänge des Signals A bestimmt wird.

Eine der wesentlichen Merkmale der Erfindung besteht dagegen darin, daß die Signale B und B genau verschoben sind, so daß deren Si-

X υ»

gnalübergänge sich genau in der Mitte der hohen bzw. niedrigen Pegel des Signals A befinden. Wenn die Verschiebung genau erreicht ist, ist es nämlich möglich, ein Signal B mit dem Signal A identischen Schritt zu erzeugen, dessen Signalübergänge genau in der Mitte der Pegel des Signals A angeordnet sind. Aus Fig. 1 ergibt sich, daß das in Fig. 2 dargestellte Signal C leicht ausgehend von den Signalen B und B erzeugt

A. £λ

werden kann gemäß der Gleichung oder Verknüpfung:

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Aus Fig. 2, in der das Signal A wiederholt ist, ergibt sich, daß es möglich ist, durch einfache logische Verknüpfung der Signale A und C ein Signal D zu erzeugen, dessen Schritt die Hälfde des Schritts der Signale A und C ist, gemäß der Gleichung;

D = Ä · C + A · C (4).

Die Schaltungen, die eine Erzeugung der Signale C und D ermöglichen, können mittels ODER- und UND-Gliedern in zur Fig. 3 analogen Weise aufgebaut sein. Jedoch können die durch die Gleichungen (3) und (4) dargestellten logischen Verknüpfungen leicht durch Exklusiv-ODER-Glieder dargestellt werden, deren allgemein verwendetes mathematisches Symbol (+) ist. Die Gleichungen (3) und (4) können daher ausgedrückt werden durch

C = B, (+) B_n (3·),

= CC₊)A = (B₁ (+) B₂) (+) A (4·).

Ein Ausführungsbeispiel einer zur Bildung des Signals D verwendeten Schaltung ist in Fig. 4 dargestellt. Die Leitungen 2 und 3, an denen die Signale B und B anliegen, sind an ein erstes Exklusiv-ODER-

J. &

Glied 8 angeschlossen, dessen Ausgang an einem zweiten Exklusiv-ODER-Glied 9 anliegt, das an seinem zweiten Eingang das invertierte oder negierte Signal A über die Leitung 1 erhält, wobei das Signal D am Ausgang des zweiten Exklusiv-ODER-Glieds 9 abgegeben wird.

Die Erfindung ist auch auf Signale anwendbar, die von einem binärcodierten Dezimal-Maßstab (BCD-Maßstab, frz. echelle decimale codee

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binaire) erhalten sind, wie das in den Fig. 5-7 dargestellt ist.

Die Fig. 5 zeigt einen Teil der üblicherweise bei einem BCD-Maßstab verwendeten Signale. Es sind dargestellt das periodische Signal E, das von der Feinstschritt-Spur mit der Wertigkeit 2 abgeleitet ist, die Signale F und F der Wertigkeit 2 , die gegenüber den Signalübergängen des Signals E nach rückwärts bzw. nach vorwärts verschoben sind,

3 und die Signale G und G der Wertigkeit 2 , die ebenfalls gegenüber

dem Signal E verschoben sind, um auf die bereits erläuterte Weise Lese-Mehrdeutigkeiten zu beseitigen. Beim BDC-System haben Signale der Wertigkeit 2 den doppelten Schritt der Signale der Wertigkeit 2

und die Signale der Wertigkeit 2 doppelten Schritt der Signale der Wertigkeit 2 , wodurch acht Inkremente unterscheidbar sind, wobei das Si-

3
gnal der Wertigkeit 2 , das einen niedrigen oder hohen Pegel der Länge von acht Inkrementen hat, dem ein hoher bzw. niedriger Pegel mit dem Schritt der Spur der Wertigkeit 2 gleicher Länge folgt, um insgesamt zehn Inkremente zu unterscheiden.

Wie bereits für den reinen Binärcode erläutert, ist es üblich, die höherwertigen Signale um etwa einen Viertelschritt gegenüber den Signalübergängen des Signals E zu verschieben, damit die Zustandsänderungen ganz einfach bei jedem Signalübergang des Signals E erhalten werden, wobei jedoch diese Verschiebung nicht genau sein muß, weil die

1 3

Zustandsänderungen der Signale der Wertigkeiten 2 und 2 die durch Kombination der jeweiligen verschobenen Signale mit dem Signal der Wertigkeit 2 erhalten werden, lediglich durch die Übergänge des Signals 2 ausgelöst werden.

Wie beim ersten Ausführungsbeispiel ist im Gegensatz dazu eine

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der erfindungswesentlichen Merkmale die genaue Verschiebung der Signale F und F einerseits .und G und G andererseits, derart, daß deren Signalübergänge genau in der Mitte der hohen oder tiefen Pegel des Signals E angeordnet sind. Bei Berücksichtigung der Anordnung der verschobenen Signale zur Verwirklichung des BCD-Codes ist feststellbar, daß die Mitte jedes hohen oder tiefen Pegels des Signals E auf diese Weise genau mindestens einem Signalübergang eines der verschobenen Signale F , F , G , G entspricht. Es ist daher möglich, ein Signal H

X t-Λ X £*

mit gleichem Schritt wie das Signal E und um eine Viertelschrittweite gegenüber letzterem verschoben zu erzeugen durch die logische Verknüpfung der Signale, gemäß der Gleichung

H = (F₁ · F₂ + F₁ · F₂) + (G₁ * G₂ = G₁ - G₃) · (5)

In Fig. 6 sind das so erhaltene Signal H und das Signal E dargestellt. Dabei ist festzustellen, daß durch eine Kombination oder Verknüpfung dieser beiden gegeneinander um einen Viertelschritt verschobenen Signale ein Signal I mit halbem Schritt erzeugt werden kann gemäß der Gleichung

I = H-Eh-HE (6).

Wie zuvor, können diese Verknüpfungen mittels UND- und ODER-Gliedern erreicht werden, jedoch ist es einfacher, Exklusiv-ODER-Glieder zu verwenden, wie sich durch Umschreiben der Gleichungen (5) und (6) ergibt:

H = (F₁ (+) F₂) + (G₁ (+) G₂) (5·),

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In Fig. 7 ist ein Ausführungsbeispiel einer logischen Schaltung dargestellt, das die Erzeugung des Signals I mit halbem Feinstschritt ermöglicht- Die Signale F und F der Wertigkeit 2 und G und G

12 L Δ

der Wertigkeit 2 werden an den Leitungen 10 und 11, die an einem dritten Exklusiv-ODER-Glied 14 anliegen, bzw. den Leitungen 12 und 13, die an einem vierten Exklusiv-ODER-Glied 15 anliegen, zugeführt. Die am Ausgang der Exklusiv-ODER-Glieder 14 bzw. 15 abgegebenen Signale werden über ein zweites ODER-Glied 16 an einen Eingang eines fünften Exklusiv-ODER-Glieds 17 angelegt, das an seinem anderen Eingang das invertierte oder negierte Signal E erhält, das an einer Leitung 18 anliegt. Es ist leicht feststellbar, daß das am Ausgang des fünften Exklusiv-ODER-Glieds 17 abgegebene Signal die oben angeführten Gleichungen (5 ') und (6 ' ) erfüllt und daher den halben Schritt des Signals E besitzt.

Selbstverstäidlich ist es aussichtslos, den Schritt der Feinstschritt-Spur der Einrichtung zur codierten Messung durch zwei zu teilen, wenn die Signalübergänge der diese Teilung ermöglichenden Signale nicht genau in der beschriebenen Weise verschoben sind, da die Genauigkeit der Inkremente dann sehr schlecht ist. Zu diesem Zweck wird die Teilung der Spur mit solchen Herstellungstoleranzen bewirkt, daß die Ränder der Teilstriche der Spuren, die die verschobenen Signale ableiten, gut der Mittenflächen der Feinstschritt-Spur mit ausreichender Genauigkeit entsprechen. Die gleiche Sorgfalt ist auf die Anordnung der Detektoren an den verschiedenen Spuren anzuwenden.

Bekanntlich können Lichtschwankungen oder -änderungen währenddessen die Genauigkeit der Signalübergänge der durch die Spuren abgeleiteten Signale beeinflussen nach Wiederherstellung des Signalverlaufs,

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wodurch die Gefahr besteht, daß sie nicht genau den Rändern der in den Spuren eingeteilten oder gravierten Teilstrichen entsprechen. Deshalb wird anstelle der Wiederherstellung der Signalform der Signale durch Vergleichen mit einem Signal konstanten Pegels vorzugsweise oft ein anderes Verfahren zur Signalform-Wiederherstellung verwendet (vgl. FR-PS 2 082 594 der Anmelderin, angemeldet am 20. 3. 70).

Dabei ist das Bezugssignal, mit dem das periodische, vom Detektor abgegebene Signal verglichen wird, nicht wie üblich ein Signal konstanten Pegels, sondern ein Signal, das von einem anderen Detektor erhalten wird. Das Verfahren kann auf die Signalform-Wiederherstellung eines Signals angepaßt werden, das von einem Detektor stammt. Es genügt nämlich, in der Codiereinrichtung das im Vorzeichen entgegengesetzte oder Umkehr-Signal mittels eines anderen um einen Halbschritt verschobenen Detektors zu erzeugen und jedes Signal mit seinem Umkehr-Signal zu vergleichen, wobei das letztere als Bezugssignal dient. Auf diese Weise werden die in der Signalform wiederhergestellten Signale differentiell am Ausgang eines Vergleichers erhalten, dessen Plus-Eingang das von einem Detektor erhaltene Signal erhält und dessen Minus-Eingang das vom anderen Detektor abgegebene Umkehr-Signal erhält.

Die beiden miteinander verglichenen Signale, die von den beiden Detektoren abgegeben werden, sind dabei selbstverständlich den gleichen Lichtänderungen unterworfen, weshalb sie den gleichen Amplitudenschwankungen unterliegen, wie das in Fig. 8 dargestellt ist. In diesem Fall sind dann die Übergänge sehr kurz, genau und von Lichtschwankungen oder -änderungen unabhängig.

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Dieses Signalform-Wiederherstell- oder Regenerierungs-Verfahren ist auch insbesondere gut bei der genauen Verschiebung der Signale gemäß der Erfindung anwendbar. Jedoch könnte eine ausreichende Genauigkeit auch durch eine wirksame Regelung des Lichts erhalten werden.

Selbstverständlich können auch die erläuterten Schaltungen zur Bildung der Signale durch andere, äquivalente Schaltungen ersetzt werden, durch die das gleiche Ergebnis erhalten wird. Darüber hinaus kann, wenn auch die Beschreibung anhand der geläufigsten Codes, dem reinen Binärcode und dem BCD-Code erfolgte, jedesmal dann angewendet werden, wenn eine Verknüpfung von Signalen erhalten werden soll, derart, daß sich mindestens ein Signalübergang von verschobenen Signalen einer Wertigkeit groß
gnals befindet.

Wertigkeit größer als 2 in der Mitte jedes Pegels des Feinstschritt-Si-

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Claims

-U-

Patentansprüche

Iy Verfahren zur Erzeugung eines Signals mit dem halben Schritt der Spur feinsten Schritts eines codierten Maßstabs, der aus logischen Signalen besteht, die aus einer Folge durch im wesentlichen vertikale Übergänge verbundener hoher und tiefer Pegel gebildet sind,

wobei der Maßstab ein periodisches niederwertiges Feinschritt-Signal sowie mindestens zwei höherwertige Signale aufweist, die jeweils einen dem Feinschritt-Signal gleichlangen Pegel haben und deren Signalübergänge auf der einen bzw. der anderen Seite des Signalübergangs des niederwertigen Signals angeordnet sind,

dadurch gekennzeichnet,

daß die Signale so genau gegeneinander verschoben werden, daß ein Signalübergang eines der höherwertigen Signale sich genau in der Mitte jedes Pegels des nieder wertig en Signals befindet,

daß die höherwertigen Signale logisch verknüpft werden, um ein zweites periodisches Signal mit dem Schritt des niederwertigen Signals und mit einer Verschiebung gegenüber diesem um einen Viertelschritt zu erzeugen, und

daß* die bei den Feinschritt-Signale logisch verknüpft werden, um ein periodisches Signal mit halbem Feinschritt zu erzeugen.
2. Verfahren nach Anspruch 1 mit einem codierten Binär-Maß stab einschließlich eines periodischen Feinschritt-Signals und zweier periodischer Signale doppelten Schritts,

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dadurch gekennzeichnet,

daß die Signalübergänge der Signale doppelten Schritts genau in die Mitte des hohen bzw. niedrigen Pegels des Feinschritt-Signals verschoben werden, und

daß die beiden Si gnale doppelten Schritts zur Erzeugung des zweiten Feinschritt-Signals logisch verknüpft werden.
3. Verfahren nach Anspruch 1 mit einem dezimal codierten Binär-Maßstab einschließlich eines periodischen Feinschritt-Signals der Wertigkeit 2 und dreier verschobener Signal-Paare der Wertigkeit 2 ,

2 3 13

2 bzw. 2 , wobei die Signale der Wertigkeit 2 und 2 vier bzw. einen dem Feinschritt-Signal gleichlangen Pegel haben,

dadurch gekennzeichnet,

1 3

daß die Signale der Wertigkeit 2 und 2 genau in die Mitte jedes Pegels des Feinschritt-Signals verschoben werden, und

daß die Signale der beiden Signalpaare zur Erzeugung des zweiten Feinschritt-Signals logisch verknüpft werden.
4. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 2, gekennzeichnet durch

ein erstes Exklusiv-ODER-Glied (8) zur Verknüpfung zweier Signale der Wertigkeit 2 , und

ein zweites Exklusiv-ODER-Glied (9) zur Verknüpfung des Ausgangssignals des ersten Exklusiv-ODER-Glieds (8) mit dem invertierten Signal der Wertigkeit 2 .

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5. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 3, gekennzeichnet durch

zwei Exklusiv-ODER-Glieder (14, 15), deren eines Signale der Wertig-

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keit 2 und deren anderes Signale der Wertigkeit 2 empfängt, und deren Ausgänge über ein ODER-Glied (16) mit einem Eingang eines weiteren Exklusiv-ODER-Glieds (17) verbunden sind, an dessen anderem Eingang das Signal der Wertigkeit 2 invertiert anliegt.
6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1-3, dadurch gekennzeichnet, daß jedes logische Signal durch Vergleich eines entsprechenden Wellen-Signals mit dessen Umkehr-Signal erhalten wird.
7. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 6, gekennzeichnet durch

einen Analogvergleicher zum Vergleich jedes einem logischen Signal des codierten Maßstabs entsprechenden Wellen-Signals mit dessen Um kehr-Signal und zur Abgabe des entsprechenden Rechteck-Signals an seinem Ausgang.

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