DE2509268A1

DE2509268A1 - Spruehaetzvorrichtung

Info

Publication number: DE2509268A1
Application number: DE19752509268
Authority: DE
Inventors: Maurice Parramore
Original assignee: Lucas Industries Ltd
Current assignee: ZF International UK Ltd
Priority date: 1974-03-14
Filing date: 1975-03-04
Publication date: 1975-09-18
Also published as: GB1492042A; FR2264104B1; US3933163A; IT1032285B; JPS50127573A; FR2264104A1

Description

COHAUSZ & FLORACK

PATENTANWALT8 BÜRO D-4 DÜSSELDORF · SCHUMANNSTR. 97

PATENTANWÄLTE:
Dipl.-Ing. W. COHAUSZ · Dipl.-Ing. W. FLORACK ■ Dipl.-Ing. R. KNAUF · Dr.-Ing., Dipl.-Wirtsch.-Ing. A. GERBER · Dipl.-Ing. H. B. COHAUSZ

Lucas Industries Limited Well Street GB-Birmingham 3. März 1975 Sprühätzvorriohtung

Die Erfindung betrifft eine Sprühätzvorrichtung, und insbesondere betrifft sie eine solche Vorrichtung für die Verwendung in der Produktion vonÄtzfilm-S tromkreisen.

Sei der Produktion von Ätzfilm-Stromkreisen ist es erwünscht, daß die Zeit, während der die leitenden Filme einer Ätzmittelbesprühung ausgesetzt werden, genau kontrolliert wird. Die Zeit wzwisohen kdea Abssohalten der Ätzmittelbesprühung und der Zuleitung eines Spülmittels auf die Metallfilme - während dieser Zeit bleibt das Ätzmittel auf dem Film - wird vorzugsweise auf ein Minimum reduziert. Venn das Spülmittel ferner im wesentlichen unmittelbar nach Abschalten der Zuleitung von Ätzmittel zugeleitet werden soll, muß das Spülmittel daran gehindert werden, in den Ätzmitteltank abzufließen.

Erfindungsgeaäß ist eine Sprühätzvorrichtung gekennzeichnet durch ein Gehäuse, das eine Kammer bildet, welche eine Fläche hat, an der zu ätzende Werkstücke anbringbar sind, ein innerhalb des Gehäuses bewegbares Tentilelement mit einem ersten und zweiten Zuflußkanal für ein Ätzmittel bzw. ein Spülmittel, eine erste und eine zweite Sprühdüse an dem Tentilelement, die jeweils mit dem ersten bzw. zweiten Zuflußkanal in Verbindung stehen, einen ersten und einen zweiten Abflußkamunpf in dem Gehäuse und Mittel zum Bewegen des Ventilelements zwischen einer ersten Position, in der die erste Düse zu der Fläche hin gerichtet ist, die Kammer mit dem ersten Abflußsumpf in Veerbindung steht und von dem zweiten Abflußsumpf getrennt ist and die zweite Düse

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mit dem zweiten Abflußsumpf in Verbindung steht, und einer zweiten Position, in der die zweite Düse zu der Fläche hin gerichtet ist, die Kammer mit dem zweiten Abflußsumpf in Verbindung steht und von dem ersten Abflußsumpf getrennt ist und die erste Düse mit dem ersten Aflußsumpf in Verbindung steht.

Die Erfindung ist nachstehend an Hand eines Ausftihrungsbeispiels unter Bezugnahme auf die Zeichnungen näher erläutert. In den Zeichnungen sind:

Pig. 1 ein Schnitt durch eine Ätzsprühvorrichtung, Fig. 2 ein Schnitt an der Linie 2-2 der Pig. 1 und Pig. 3 ein Schnitt an der Linie 3-3 der Pig. 1.

Die Vorrichtung hat eine allgemein keilförmige Sprühkammer 10 mit einem abnehmbaren Deckel 11» der dichtend in die vorgesehene Lage geklammert werden kann. Auf dem Deckel 11 sitzt ein drehbarer Träger 12, dessen Innseite 13 so ausgespart ist, daß Werkstücke aufgenommen werden können, die geätzt werden sollen.

Die Kammer 10 kann über eine Ventilanordnung 14 mit einem von zwei Abfluß sumpfen 15» 26 in Verbindung treten. In der Draufsicht hat das AbflußteO.15 im wesentlichen T-Form, und der Abflußsumpf 16 hat allgemein U-Form. Der Abflußsumpf 15 hat einen einzigen Abflußauslaß 17, und der Abflußsumpf 16 hat zwei Abflußauslässe 18.

Die Ventilanordnung 14 weist ein im wesentlichen zylindrisches Ventilelement 19 auf, das eioh dichtend durch ein Gehäuse 20 erstreckt. Das Gehäuse 20 hat eine Öffnung 21, die mit der Kammer 10 in Verbindung steht, Öffnungen 22, 23, die mit dem Äbflußsumpf 15 in Verbindung stehen, und öffnungen 35t 36, die mit dem Abflußsumpf 16 in Verbindung stehen. Das Ventilelement 19 hat drei Ausnehmungen 24, 25, 26 und ist mittels eines Griffs 27 um 180 drehbar, so daß in einer Endlage die Kammer 10 mit dem Äbflußsumpf 15 über die Ausnehmung 24 in Verbindung steht und der Abfluß sumpf 16 von der Kammer 10 getrennt ist. In der anderen Endlage steht die Kammer 10 mit dem Abflußsumpf 16 über die Aeusnehmun-

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gen 25, 26 in Verbindung und ist vom Abfluß sumpf I5 getrennt.

Kanäle -28, 29 erstrecken sich in Längsrichtung durch das Element 19 und haben Außenverbindungen 30, 31, durch die ein Ätzmittel bzw. Spülwasser zugeleitet werden können. In der Ausnehmung 24 sitzt eine Sprüht düse 32, die mit demK anal 28 in Verbindung steht und so eingerichtet ist, daß sie Ätzmittel durch die Öffnung 21 auf die Fläche I3 richtet, wenn das Ventilelement 19 sich in seiner ersten Badlage befindet. In den Ausnehmungen 25, 26 sitzen Sprühdüsen 33» 34* die beide mit dem Kanal 29 in Verbindung stehen und so eingerichtet sind, daß dann, wenn sich das Element 19 in seiner zweiten Endlage befindet, Spülwasser durch die Öffnung 21 auf die Fläche I3 gerichtet wird.

Wenn sich das Ventilelement 19 in seiner ersten Endlage (die dargestellt ist) befindet, richten die Düsen 33, 34 Wasser durch die Öffnungen 35, 36 in das Gehäuse 20 direkt in den Abflußsumpf 16. Wenn sich das Ventilelement 19 in seiner zweiten Endlage befindet, richtet die Düse 32 Ätzmittel durch die Öffnung 23 direkt in den Abflußsumpf I5.

Im Betrieb werden sowohl daß ätzmittel als auch das Spülmittel ständig den Kanälen 28, 29 zugeleitet. Während des Ätzens befindet sich das Ventilelement 19 in seiner ersten Endlage. Nach einer bestimmten Ätzzeit wird das Ventilelement 19 in seine andere Endlage bewegt« so daß Spülwasser im wesentlichen sofort auf die Werkstücke gesprüht wird. Eine geringe Menge Ätzmittel, gemischt mit Spülwasser, gelangt in den Abflußsumpf 16, es gelangt jedoch kein Wasser in den Sumpf I5. Der Sumpf I5 ist zweckmäßigerweise mit einem Ätzmitteltank verbunden, von dem Ätzmittel durch eine Pumpe/dem Kanal 28 zurückgeleitet wird. /zu

Der Träger 12 wird vorzugsweise im Betrieb gedreht, um eine im wesentlichen gleichmäßige Verteilung von Ätzmittel und Spülwasser über die Werkstücke zu gewährleisten. Es versteht sich, daß sowohl das Element 19 als auch der Träger 12 automatisch in Erwiderung auf eine Zeitgebervorrichtung angetrieben werden können.

Vorzugsweise ist die Vorrichtung aus einem Kunststoff gefertigt, und in

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einer axialen Hut 37 in Gehäuse 20 "befindet sich eine elastomere Dichtung 38, die einen Leckfluß zwischen den Abflußsümpfen 15» 16 um den Umfang des Elements 19 herum verhindert.

Ansprüche

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Claims

Ansprüche

1. Sprühätz vorrichtung, gekennzeichnet durch ein Gehäuse, das eine Kammer "bildet, welche eine Fläche hat, an der zu ätzende Werkstücke anbringbar sind, ein innerhalb des Gehäuses bewegbares Yentilelement mit einem ersten und zweiten Zuflußkanal für ein Ätzmittel bzw« ein Spülnmittel, eine erste und eine zweite Sprühdüse an dem Yentilelement, die jeweils mit dem ersten bzw. zweiten Zuflußkanal in Verbindung stehen, einen ersten und einen zweiten Abflußsumpf in dem Gehäuse und Mittel zur Bewegung des Ventilelements zwischen einer ersten Position, in der die ersete Düse zu der Fläche hin gerichtet ist, die Kammer mit dem ersten Abflußsumpf in Verbindung steht und von dem zweiten Abflußsumpf getrennt ist und die zweite Düse mit dem zweiten Abflußsumpf in Verbindung steht, und einer zweiten Position, in der die zweite Düse an der Fläche hin gerichtet ist, die Kammer mit dem zweiten Abflußsumpf in Verbindung steht und von dem ersten Abflußsumpf getränt iet und die erste Düse mit dem ersten Abflußsumpf in Verbindung steht.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Ventilelement im wesentlichen zylindrisch ist.

3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die erste und die zweite Düse axial im Abstand an dem Ventilelement angeordnet sind.

4* Vorrichtung nach Anspruch 3» daduroh gekennzeichnet, daß dftsie erste und die zweite Düse verschiedene radiale Richtungen in bezug auf die Achse des Ventilelements haben.

5« Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4» gekennzeichnet durch eine dritte Sprühdüse, die mit dem zweiten Zuflußkanal in Verbindung steht und mit dem zweiten Abfluß sumpf in der ersten Position des Ventilelements in Verbindung steht und zu der Fläche hin in der zweiten Position des Ventilelements gerichtet ist.

6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5» dadurch gekennzeichnet, daß das Ventilelement mit einer ersten Aus-

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nehmung versehen ist, mittels der in der ersten Position die Kammer mit dem ersten Abflußsumpf und in der zweiten Position mit dem zweiten Abfluß sumpf in Verbindung steht.

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