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Korpuskularstrahlgerät mit einer Fotokammer Die Erfindung bezieht
sich auf ein an einer Vakuumpumpe arbeitendes Korpuskul arstrahlgerät mit einer
Fotokammer, die einen Aufnahmeraum sowie eine davon vakuumdicht abtrennbare Anordnung
aus einem Vorratsbehälter für unbelichtetes und einem Sainrneibehäl-t;er für belichtetes
Fotomaterial aufweist.- Das Korpuskularstrahlgerät kann z. B. ein Korpuskularstrahlspektroskop,
insbesondere jedoch ein Elektronen- oder ein Ionenmikroskop sein. Unter Aufnahmeraum
ist der Raum zu vorstehen, in dem sich das Fotomaterial während der Belichtung befindet;
bei dem Fotomaterial kann es sich um Fotoplatten oder um Planfilme, die in einem
Rahmen eingespannt sind, handeln.
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Ein derartiges Gerät ist in Gestalt eines Elektronenmikroskops aus
der US-ES 3 671 742 bekannt. Bei diesem Mikroskop ist es erforderlich, nach dem
Einlegen unbelichteten Fotomaterials in den Vorratsbehälter und nach der Entnahme
belichteten Fotomaterials aus dem Sammelbehälter innerhalb der aus Vorrats-und Sammelbehälter
bestehenden Anordnung ein Vakuum herzustellen, das dem Vakuum in der Säule des Korpuskularstrahlgerätes
gleich i-st. Während der hierfür erforderlichen Zeit ist es nicht möglich, fotografische
Aufnahmen zu machen.
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Die Erfindung befaßt sich mit der Aufgabe, ein Korpuskularstrahlgerät
der eingangs genannten Art zu schaffen. bei dem die Aufnahme fotografischer Bilder
kontinuierlich möglich ist.
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Die Lösung dieser Aufgabe besteht gemäß der Erfindung darin, daß eine
weitere, vakuumdicht vom Aufnahmeraum abtrennbare Anordnung aus einem Vorrats- und
einem Sammelbehälter für Fotomaterial vorgesehen ist und daß beide Anordnungen abwechselnd
mit der Vakuumpumpe verbindbar sind.
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Fotografische Aufnahmen können in folgender Weise kontinuierlich vorgenommen
werden: Während der Belichtung des Fotomaterials der einen Anordnung ist die zweite
Anordnung vakuumdicht vom Aufnahmeraum getrennt.
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Unbelichtetes Fotomaterial kann damit in den Vorratsbehälter der zweiten
Anordnung eingelegt und belichtetes Fotomaterial aus dem zugehörigen Sammelbehälter
entnommen werden. Anschließend daran kann die zuletzt genannte Anordnung an einen
Exsikkator sowie eine Vakuumpumpe angeschlossen werden. Damit wird in dieser Anordnung
ein Vakuum eingestellt, das dem Vakuum der Röhre des Korpuskularstrahlgerätes gleich
ist; gleichzeitig damit wird das Fotomaterial getrocknet. Sind nun sämtliche Fotoplatten
bzw. Planfilme der ersten Anordnung verbraucht, wird diese Anordnung vom Aufnahmeraum
abgetrennt und die zweite Anordnung, nach Unterbrechen ihrer Verbindung zur Vakuumpumpe
bzw. zum Exsikkator, mit dem Aufnahmeraum verbunden. Die Neubeschickung der ersten
Anordnung geschieht dann während der Belichtung des Fotomaterials der zweiten Anordnung
in der gleichen Weise wie zuvor anhand der zweiten Anordnung beschrieben.
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Bei dem erfindungsgemäßen Korpuskularstrahlgerät ist es möglich, die
beiden Anordnungen nebeneinander an einer Seite der Korpuskularstrahlröhre vorzusehen.
Besonders vorteilhaft ist es jedoch, wenn die beiden Anordnungen einander gegenüber-
und symmetrisch bezüglich der Korpuskularstrahlachse liegen. Damit läßt sich der
mechanische und vakuumtechnische Aufwand gering halten.
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In den Figuren ist ein Ausführungsbeispiel der Erfindung dargestellt.
Es zeigen Fig. 1 den unteren Teil eines Elektronenmikroskops mit Einrichtungen zur
kontinuierlichen Belichtung von Fotoplatten gemäß der Erfindung,
Fig.
2 eine perspektivische Darstellung einer Einrichtung zum Transport der Fotoplatten.
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Das in Fig. 1 mit seinem unteren Teil angedeutete Elektronenmikroskop
1 weist auf Höhe der Bildebene einen Aufnahmeraum 2 zur Belichtung von Fotoplatten
3 sowie zwei vakuumdicht davon abtrennbare und symmetrisch bezüglich der Korpuskularstrahlachse
30 gelegene Anordnungen 4, 4' ausjeweils einem Vorratsbehälter 5, 5' für unbelichtete
Fotoplatten 3 und einem Sammelbehälter 6, 6' für belichtete Fotoplatten 7 auf. Die
Vorratsbehälter 5, 5' bzw. die Sammelbehälter 6, 6' können durch Dichtplatte 2,
24' bzw. 25, 25' vakuumdicht abgeschlossen werden. Ferner können sie über Anschlüsse
26, 26' sowie ein Umschaltventil 27 abwechselnd mit der Vakuumpumpe P des Elektronenmikroskops
1 verbunden und damit evakuiert werden.
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Zur vakuumdichten Trennung der beiden in gleicher Weise gestalteten
Anordnungen 4, 4' vom Aufnahmeraum 2 und damit von der Säule 8 des Mikroskops 1
dienen zwei Vakuumverschlüsse 9, 9'. Diese bestehen aus einer schwenkbaren Platte
10, 10' sowie einer darauf befestigten Dichtung 11, 11'. Die beiden Verschlüsse
9, 9' besitzen die anhand des Verschlusses 9 bzw.
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des Verschlusses 9' gezeigten Endstellungen. In der einen (s. Verschluß
9) ermöglichen sie den Transport unbelichteter Fotoplatten 3 aus dem Vorratsbehälter
(5) der einen Anordnung (in der Figur Anordnung 4) in den Aufnahmeraum 2 des Mikroskops
1 sowie den Transport der dort belichteten Fotoplatten in den Sammelbehälter (6)
derselben Anordnung. In der anderen Stellung (Verschluß 9') schließen sie die zugehörige
Anordnung (4') vakuumdicht vom Aufnahmeraum 2 ab.
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Die kontinuierliche Belichtung der Fotoplatten geschieht in folgender
Weise: Der Vorratsbehälter 5 der einen Anordnung 4 ist zunächst mit unbelichteten
Fotoplatten 3 gefüllt. Der zugehörige Sammelbehälter
6 ist leer.
Die Anordnung 4 ist ferner bei zunächst geschlossenem Verschluß 9 evakuiert - das
bewegliche Teil 28 des Umschaltventils 27 befindet sich dabei in der strichliert
gezeichneten Stellung - sowie mit einem nicht dargestellten Exsikkator verbunden;
dabei werden die Fotoplatten getrocknet. Ferner ist der Sammelbehälter 5' der zweiten
Anordnung 4' mit belichteten Fotoplatten gefüllt. Ausgehend von dieser angenommenen
Situation wird zunächst der Vakuumverschluß 9 der Anordnung 4 geöffnet und der Verschluß
9' der Anordnung 4' geschlossen. Die beiden Verschlüsse 9, 9' befinden sich dann
in der eingezeichneten Stellung; sie sind vorugsweise so ausgebildet, daß sie nach
Art eines Sicherheitsverschlusses wirken, d. h. sie lassen sich nur dann öffnen,
wenn die zugehörige Anordnung ein Vakuum aufweist, das dem der Säule 8 des Mikroskops
1 gleich ist.
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Anschließend wird mit einer in Fig. 2 näher dargestellten Transporteinrichtung
12 jeweils eine unbelichtete Fotoplatte 3 aus dem Vorratsbehälter 5 der Anordnung
4 in den Aufnahmeraum 2 des Mikroskops 1 transportiert, wo sie belichtet und anschließend
durch die Transporteinrichtung in die Anordnung 4 zurückgebracht wird. Dabei wird,
wie im Zusammenhang mit Fig. 2 später erläutert werden soll, zunächst die belichtete
Fotoplatte im Sammelbehälter 6 abgelegt. Nach Erreichen ihrer Endstellung zieht
die Transporteinrichtung 12 bei Bewegung in Richtung des Aufnahmeraumes 2 die im
Stapel der unbelichteten Fotoplatten 3 unten liegende Platte heraus. Die Belichtung
dieser Fotoplatte vollzieht sich dann in der gleichen Weise wie dargestellt.
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Sind sämtliche Fotoplatten der Anordnung 4 belichtet und im zugehörigen
Sammelbehälter 6 abgelegt, wird diese Anordnung durch den Vakuumverschluß 9 vom
Aufnahmeraum 2 getrennt. Anschließend wird der Vakuumverschluß 9' der Anordnung
4' geöffnet, innerhalb der während der Belichtung der Fotoplatten der Anordnung
4 die folgenden Arbeitsschritte vollzogen worden
sind: Nach Abnahme
der Dichtplatten 24', 25' wurde der Sammelbehälter 6' entleert und der Vorratsbehälter
5' mit unbelichteten Fotoplatten 3 gefüllt. Die beiden Behälter 5', 61 wurden anschließend
wieder vakuumdicht verschlossen - die Anordnung 4' wies damit den in Fig. 1 dargestellten
Zustand auf - und durch Umlegen des Teiles 28 (in der Figur nach links) an die Vakuumpumpe
P sowie weiter an den Exsikkator angeschlossen. Dadurch wurde in der Anordnung 4t
ein Vakuum eingestellt, das dem in der Säule 8 des Elektronennlkroskops gleich ist;
ferner wurden die Fotoplatten getrocknet.
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Zum Transport des Fotomaterials dienen Transporteinrichtungen 12,
12', die den beiden Anordnungen jeweils zugeordnet sind und von denen eine (12)
in Fig. 2 dargestellt ist. Die Transporteinrichtung 12 besteht aus einem Rahmen
13, an dessen dem Aufnahmeraum 2 zugewandter Seite eine senkrecht stehende Platte
14 befestigt ist. Diese ist mit Einfräsungen 15 versehen, in die starre Führungsschienen
16 eingreifen. Die Führungsschienen 16 sind innerhalb der zugehörigen Anordnung
4 befestigt. Sie bilden die Verlängerung zweier innerhalb des Aufnahmeraumes 2 angeordneter
Schienen 17. Der Rahmen 13 ist ferner mit zwei starren Auflageelementen 19 sowie
mit zwei beweglichen Zungen 18 versehen, die durch nicht dargestellte Federn in
der eingezeichneten Position gehalten werden und die längs der eingezeichneten Pfeile
2O umgeklappt werden können. Die Transporteinrichtung 12 wird mit Hilfe zweier Teleskopstangen
21, die in untereinander gleicher Weise durch einen nicht dargestellten Elektromotor
in ihrer Längsrichtung aus- und eingefahren werden können, betätigt.
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Ausgehend von einer Fotoplatte, die im Aufnahmeraum 2 liegt, wird
diese durch die Transporteinrichtung 12 in die hnordnung 4 gezogen. Die Fotoplatte
gleitet äuf den Schienen 17 bzw. den Führungsschienen 16; sie ist zusätzlich durch
die beiden Auflageelemente 19 gehalten. Beim Einfahren der Transporteinrichtung
12 in die Anordnung 4 gleitet die Transporteinrichtung
12 unter
den Stapel der unbelichteten Fotoplatten 3, der auf einer Platte 22 aufliegt; dabei
werden die beiden Zungen 18 heruntergedrückt. Im weiteren Verlauf der Bewegung der
Transporteinrichtung 12 fährt die Platte 14 über die Enden 23 der Führungsstangen
16 hinweg. Die Fotoplatte ist damit lediglich noch an einer Seite gehalten (hufiageelemente
19); sie fällt somit in den Sammelbehälter 6.
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Die Transporteinrichtung 12 wird anschließend in die in Fig. 1 gezeigte
Endstellung gebracht. In dieser sind die beiden Zungen 18 wieder aufgerichtet. Während
der folgenden Bewegung des Rahmens 13 in Richtung des Aufnahmeraumes nehmen die
beiden Zungen 18 die im Vorratsbehälter 4 folgende Fotoplatte mit. Diese wird durch
die beiden Zungen aus dem Stapel herausgezogen und läuft nach Zurücklegen eines
entsprechenden Weges von der Platte 22 ab und fallt auf die beiden Führungsschienen
16 sowie die beiden Auflageelemente 19.
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Die Fotoplatte wird dann in den !fnieraum 2 gebracht und dort belichtet.
Sind sämtliche Fctoplatten der Anordnung 4 belichtet, so wird der zugehörige Vakuumverschluß
9 in der beschriebenen Weise betätigt. Die Belichtung des anschließend zu belichtenden
Fotomaterials der Anordnung 4' erfolgt dann mittels einer in analoger Weise gebauten
Transporteinrichtung 12', die innerhalb dieser Anordnung ebenfalls beispielsweise
mittels zweier Teleskcpstangen bewegt werden kann.
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2 Figuren 2 knsprüche