DE2505437C2

DE2505437C2 - Verkupferungslösung und deren Verwendung

Info

Publication number: DE2505437C2
Application number: DE19752505437
Authority: DE
Inventors: Godefridus Heijnen; Constantius Eindhoven Henricus; Arian Molenaar
Original assignee: Philips Gloeilampenfabrieken NV
Current assignee: Koninklijke Philips NV
Priority date: 1974-02-22
Filing date: 1975-02-08
Publication date: 1982-10-07
Also published as: FR2262131A1; NL7402423A; BE825774A; JPS5623143B2; DE2505437A1; CA1052162A; JPS50119727A; FR2262131B1; GB1494432A

Description

R₅ R₁ R, R₁

H₂O₃P-C-N-R₇-N-C-PO₃H₂

I I

in der

Ri und R₂ je ein Wasserstoffatom, eine Alkyl-, Hydroxyalkyl, Methylphosphonsäure- oder Alkylcarboxylgruppe darstellen,

R₃ bis Ρ« je ein Wasserstoffatom, eine Alkylgruppe mit höchstens 4 Kohlenstoffatomen, eine Aryl-, Aralkyl- oder eine substituierte Aryl- oder Aralkylgruppe darstellt und

R; für — (CH₂)n— steht, wobei 2 £ π £ 6 ist

3. Verkupferungslösung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Phosphonsäurederivat die folgende Struktur aufweist:

R₅ R₂ R₃

R,—C—N —C —R,

in der

40

45

R₂ bis R₆ die im Anspruch 2 angegebene Bedeutung haben,

R₈ und R₉ je für -PO₃H₂ oder für -COOH

stehen und die Verbindung mindestens eine Phosphonsäure enthält

4. Verkupferungslösung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Phosphonsäurederivat die folgende Struktur aufweist:

PO₃H₂

R —C —OH

PO₃H₂

60

in der R Alkyl, Aryl oder Aralkyl sein kann.

5. Verkupferungslösung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß ihr pH-Wert /wischen 2 und 7 liegt

6. Verkupferungslösung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß sie quaternäre Alkylbenzyl- oder Alkyltolylammoniumverbindungen in Kombination mit einer Alkylarylpolyoxyäthylenverbindung enthält

7. Verkupferungslösung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß sie außerds.-n einen Komplexbildner für Kupfer(I)-lonen enthält

8. Verkupferungslösung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß sie neben dem Phosphonsäurederivat Nitrilotriessigsäure enthält

9. Verwendung der Verkupferungslösung nach einem der Ansprüche 1 bis 8 zur physikalischen Entwicklung eines Keimbildes, dadurch gekennzeichnet, daß das Keimbild vorher mit einer Lösung von Bleiacetat in Essigsäure gespült wird.

Die Erfindung betrifft eine Verkupferungslösung, die im wesentlichen aus einer wässerigen Lösung besteht, die Kupfer(II)-Ionen, das Redoxpaar Fe²⁺ZFe³+ als Reduktionsmittel und einen Komplexbildner, durch den die Differenz ΔΕ zwischen dem Kupferpotential und dem Redoxpotential auf mindestens 50 mV eingestellt wird, enthält

Ferner betrifft die Erfindung die Verwendung einer derartigen Verkupferungslösung.

Eine derartige Verkupferungslösung ist aus der CH-PS 4 93 647 bekannt Darin wird das Redoxpaar Fe²⁺ZFe³⁺ in Verbindung mit Äthylendiamintetraessigsäure oder Triäthanolamin als Komplexbildner für Kupfer(II)-Ionen, gegebenenfalls mit Formaldehyd als Reduktionsmittel verwendet Derartige Lösungen sind aber nur in alkalischem Milieu brauchbar und ergeben störende Niederschläge von Kupfer(l)-oxid und von Eisen(II)- und Eisen(III)-hydroxid.

In der DE-AS 24 14 650 ist ein wäßriges alkalisches Verkupferungsbad vorgeschlagen worden, das ein lösliches Kupfer(H)-Salz, einen pH-Wert bestimmenden Bestandteil, ein Reduktionsmittel wie z. B. Formaldehyd oder Dialkylaminoboran und einen Komplexbildner für Kupfer(II)-Ionen enthält, der aus mindestens einer organischen Verbindung besteht, die mindestens zwei Phosphonsäure- und/oder Phosphinsäuregruppen enthält Als physikalische Entwicklungslösung eignet sich dieses Verkupferungsbad nicht

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine universell wirkende Vsrkupfemngslösung zu schaffen, die sowohl als physikalischer Kupferentwickler als auch zur Verstärkung äußerer photographischer Keimbildner zu Kupfermustern ohne äußere Stromquelle verwendet werden kann und die sowohl für reprographische Zwecke als auch zur Herstellung gedruckter Verdrahtungen, für leitende Überzüge, die nachher elektrolytisch weiter überzogen werden können, und für dekorative Zwecke Anwendung finden kann.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelost, daß die eingangs genannte Lösung ein organisches Phosphonsäurederivat als Komplexbildner enthält

Physikalische Kupferentwickler, mit denen photographische Keimbikler zu genügender Endschwärzung verstärkt werden, sind physikalischen Silberentwicklern vorzuziehen, nicht nur, weil Kupfer billiger als Silber ist, sondern vor allem, weil Kupfer eine viel größere Absorption im ultravioletten Teil des Spektrums aufweist Dadurch sind mit diesen Kupferentwicklem entwickelte Bilder besonders gut als Photomaskenmate-

rial und für reprographische Anwendungen geeignet

Bei Untersuchungen, die zur Erfindung geführt haben, wurde gefunden, daß das Redoxpaar Fe²+/Fe³+ mit Erfolg als Mittel zur Reduktion von Kupfer(II)-Ionen zu metallischem Kupier in saurem und schwach alkalischem Milieu verwendet werden kann, wenn organische Phosphonsäurederivate der Lösung zugesetzt werden. Diese Verbindungen bilden, wie sich herausgestellt hat, starke Eisen(IH)-Komplexe, während die Komplexbildung mit Eisen(II)- und Kupfer(II)-Ionen einerseits genügend ist, um eine Niederschlagsbildung von freiem Hydroxid zu verhindern, aber andererseits in bezug auf die Bildung von Eisen(III)-Komplexen verhältnismäßig schwach ist

Die Abscheidung von Kupfer erfolgt auf katalytischem Wege auf Metallkeimschichten, die auf chemischem sowie auf photographischem Wege erhalten sein können.

Das organische Phosphonsäurederivat bewirkt, daß die Differenz ZlE zwischen dem kupferpotentia] und dem Redoxpotential .mindestens 5OmV beträgt Die Messung des Kupferpotentials erfolgt in einer das Phosphonsäurederivat enthaltenden Kupfersulfatlösung zwischen einer Kupferplatte und einer Standard-Kalomelektrode. Das Redoxpotential wird in einer ebenfalls das betreffende Phosphonsäurederivat enthaltenden Eisen(III)-Eisen(II)-Lösung in einer Stickstoffatmosphäre zwischen Platin und einer Standard-Kalomelektrode gemessen.

Phosphonsäurederivate, die im Rahmen der Erfindung besonders geeignet sind, werden vorzugsweise aus den folgenden drei Klassen von Verbindungen gewählt:

R5

^ R3

Il Il

H₂O₃P-C-N-R₇-N-C-X)₃H₂ Rf, R4

Rs R₂ R₃

I I I

fj? R,—C—Ν —C —R,

R₄

35

40

45

wobei

Ri und R₂ je ein Wasserstoffatom, eine Alkyl-, Hydroxyalkyl-, Methylphosphonsäure- oder Al- kylcarboxylgruppe darstellen,

R₃ bis Re je ein Wasserstoffatom, eine Alkylgruppe mit höchstens 4 Kohlenstoffatomen, eine Aryl-, Aralkyl- oder eine substituierte Aryl- oder Aralkylgruppe darstellen,

R₇ für - (CH2),, steht wobei 2 S η ώ 6, und Rj und R₉ jsweüs für -PO₃H₂ oder -COOH

stehen und die zweitgenannte Verbindung mindestens eine Phosphonsäuregruppe enthält, und

PO₃H₂ R — C — OH

I

PO₃H₂ wobei R Alkyl, Aryl oder Aralkyl sein kann.

Vorzugsweise wird der pH-Wert der Verkupferungslösung nach der Erfindung auf einen Wert zwischen 2 und 7 eingestellt

Wie an sich bekannt ist empfiehlt es sich, zur Stabilisierung der Lösung ein kationenaktives Netzmittel der Lösung zuzusetzen, das naturgemäß keine störende Reaktion mit den übrigen Badbestandteilen aufweisen darf. Einen besonders großen Effekt haben, wie gefunden wurde, quaternäre Alkylbenzyl- oder Alkyltolylammoniumverbindungen in Kombination mit einer Alkylarylpolyoxyäthylenverbindung.

Neben den oben angegebenen Komplexbildnern auf Basis von Phosphonsäurederivaten können mit Erfolg bereits bekannte Komplexbildner, wie Äthylendiamintetraessigsäure, Triäthanolamin oder Brenzcatechin dem Ve-kupferungsbad zugesetzt werden. Ein besonders günstiger Effekt wird mit Nitrilotriessigsäure erreicht

Die Stabilität der Lösung kann dadurch weite; vergrößert werden, daß neben einem Komplexbildner für Eisen(III)-Ionen ein Komplexbildner für Kupfer(I)-lonen dem Bad zuge-setzt wird. Für diesen Zweck sind u. a. geeignet: 2-Butin-l,4-diol, Acetonitril, Sulfitionen und Pyridin-3-sulfonsäure.

Die Verkupferungslösungen nach der Erfindung eignen sich besonders gut zur Verstärkung latenter photographischer Keimbilder zu genügender Endschwärzung. Eine wichtige .Anwendung liegt auf dem Gebiet der Herstellung von Photomasken auf Diazosulfidmaterial mit seinem hohen Auflösungsvermögen. Die Lösungen können zur direkten Verstärkung sowohl der für physikalische Entwicklung bekannten katalytischer) Keimbildec, wie Amalgamkeimbilder, Metall-, Metalloxid- oder Metallsulfidkeimbilder, als auch von Keimbildern zu elektrisch leitenden Kupfermustern auf nichtleitenden Substraten in additiven Verfahren zur Herstellung biegsamer oder starrer gedruckter Verdrahtungsplatten verwendet werden.

Wenn ein leichter Mikroschleier auftritt kann dieser dadurch bekämpft werden, daß das bekeirn'; Substrat vor der Verkupferung einer Spülbehandlung in einer Lösung von Bleiacetat in Essigsäure ausgesetzt wird. Dadurch werden außerdem eine Vergrößerung der Abscheidungsgeschwindigkeit und eine Vergrößerung des γ-Wertes (—die Ableitung der Schwärzung als Funktion der Belichtungsenergie) erreicht.

Manchmal kann es nützlich sein, die an sich bekannte Technik mit getrennten Bädern in automatisch arbeitenden Vorrichtungen anzuwenden, die erst kurz vor Beginn des Verstärkungsvorgangs an der Stelle der zu verstärkenden Keimbilder gemischt werden. Die Bäder entfalten dann z. B. das Redoxpaar zusammen mit dem komplexbildenden Agens, bzw. das Kupfer(II)-Salz zusammen mit etwaigen anderen Zusätzen.

Die Erfindung wird nunmehr an Hand einiger Ausführungsbeispiele näher erläutert

Beispiel 1

Eine mit einer etwa 1,3 μπι dicken einseitig angebrachten Celluloseacetobutyratschicht überzogene Glasplatte wurde nach oberflächlicher Verseifung dadurch lichtempfindlich gemacht, daß sie in eine Lösung von 0,1 Mol a^-DichloM-dimethylaminobenzoldiazo-tert.-butylsulfid pro Liter Äthanol eingetaucht und dann getrocknet wurde. Das erhaltene Material wurde danach hinter einer Vorlage 8 Sekunden lang mit eine"· 125-W-Quecksilberdampflampe in einem Abstand von 80 cm belichtet und anschließend 2 Sekunden lane

in eine wässerige Lösung eingetaucht, die 0,005MoI Quecksilber(I)-nitrat, 0,03 Mol Silbernitrat und 0,01 Mol Salpetersäure pro Liter enthielt, wodurch an den belichteten Stellen ein Silberamalgamkeimbild erhalten wurde. Nach 15 Sekunden langem Spülen in entionisiertem Wasser, anschließendem 1,5 Minuten langem Spülen in einer wässerigen Lösung, die pro Liter 75 g Bleiacetat und 100 ml Essigsäure enthielt, und nach wiederum 15 Sekunden langem Spülen in entionisiertem Wasser wurde das Keimbild in einer Stickstoffatmo-Sphäre physikalisch in einer Lösung verstärkt, die pro Liter enthielt:

0,15 Mol Nitrildimethylphosphonsäuremono-

essigsäure

0,100 Mol Eisen(II)-ammoniumsulfat 0,010 Mol Eisen(III)-nitrat 0,025 Mol Natriumeitrat 0,040 Mol Kupfersulfat

0,025 Gew.-% Netzmittel A 0,025 Gew.-% Netzmittel B

Der Phosphonsäurelösung war Natriumhydroxid zugesetzt, so daß der pH-Wert der endgültigen Entwicklungslösung 4,0 betrug. Nach 12 Minuten langer Verstärkung wurde ein schleierfreies Kupferbild mit einer Schwärzung von 2,50 erhalten.

Das Netzmittel A besteht zu etwa 50% aus Alkynes - C,g)-dimethyl-3,4-dichlorbenzylammoniumchlorid und zu 10% aus Alkenyl(Ci6 - CzoJ-dimethyläthyl- ammoniumbromid; das Netzmittel B besteht aus Nonylphenolpolyoxyäthylen.

Beispiel 2

Ein oberflächlich verseifter Cellulosetriacetatfilm wurde dadurch lichtempfindlich gemacht, daß er 2 Minuten lang in eine wässerige Lösung eingetaucht wurde, die 0,15 Mol p-methoxybenzoldiazosulfonsaures Natrium und 0,1 Mol Cadmiumlactat pro Liter enthielt, wonach dieser Film zwischen zwei Gummistreifen abgestrichen und getrocknet wurde. Ein Stück dieses Filmes wurde mit Hilfe einer Quecksilberdampflampe gleichmäßig belichtet und dann in eine wässerige Lösung eingetaucht, die pro Liter 0,005 Mol Quecksilber(l)-nitrat, 0,03 Mol Silbernitrat und 0,01 Mol SaI- petereäure enthielt, wodurch ein Silberamalgamkeimbild eingeführt wurde. Die erhaltene Folie wurde danach in entionisiertem Wasser gespült, wonach Teile dieser Folie 10 Minuten lang in einer Stickstoffatmosphäre physikalisch zu genügender Endschwärzung mit einer so der nachstehenden frisch angesetzten Lösungen verstärkt wurden, die pro Liter enthielten:

a) 0,075 Mol Eisen(II)-ammoniumsulfat 0,010MoI Eisen(HI)-nitrat 0,025 Mol Natriumeitrat

0,020 Mol Kupfersulfat

0,150 Mol Äthylendiamintetramethyl-

phosphonsäure.

Der Phosphonsäure wurde vor dem Ansetzen des ω Entwicklers eine derartige Menge Natriumhydroxid zugesetzt, daß der pH-Wert der endgültigen Lösung 5,0 betrug.

b) Lösung a) + 0,02Gew.-% Netzmittel A

+ 0,04 Gew.-% Netzmittel B

c) Lösung ») + 0,02 Gew.-% eines Nctzmittels auf Basis eines * Ikalialkyloleats von Alkylimidazol + 0.04 Gew.-% Netzmittel B

d) Lösung a) + 0,02Gew,-% eines Gemisches von Oleyl-, Palmityl- und Stearylaminoacetaten

+0,04 Gew.-% Netzmittel B

e) Lösung a) + 0,02 Gew.-% Dichlorbenzyltriphenylphosphoniumchlorid +0,04 Gew.-% Neumittel B

f) Lösung a) +0,02Gew.-% eines Gemisches von fettsauren Amiden

g) Lösung a) + 0,02 Gew.-% eines (n-Soya-n-äthyl)-morpholinäthosulfats

Die Lebensdauer der Lösung a) betrug 15 bis 20 Minuten. Bei Wiederholung des Versuches mit den anderen Lösungen stellte sich heraus, daß die Lösungen b) bis g) eine Lebensdauer gleich dem Anderthalb- bis Siebzigfachen der Lebensdauer der Lösung a) aufwiesen.

Beispiel 3

Eine mit einem Handroller angebrachte 2 um dicke Polyesterklebstoffschicht auf eVir 50 μπι dicken PoIyäthylenterephthaiatfolie wurde da'hirch lichtempfindlich gemacht, daß sie in eine Lösung eingetaucht wurde, die 0,1 Mol S^-DichloM-dimethylaminobenzoldiazotert-butylsulfid pro Liter Äthanol enthielt, wonach die Fciie zwischen zwei Gummistreifen abgestrichen und getrocknet wurde. Die erhaltene Folie wurde dann 2$ Minuten lang hinter einer Vorlage mit einer 125 W-Quecksilberdampflampe in einem Abstand von 59 cm belichtet und danach 3 Sekunden lang in eine Lösung eingetaucht, die 0,05 Mol Quecksilber(I)-nitrat, 0,03 Mol Silbernitrat und 0,01 Mol Salpetersäure pro Liter eines Gemisches von Wasser, Äthanol und Äthylacetat (Verhältnis 3:2:1) enthielt, wodurch an den belichteten Stellen ein Silberamalgamkeimbild erhalten wurde. Nach 15 Sekunden langem Spülen mit entionisiertem Wasser wurde ein Teil der erhaltenen Folie in einer Stickstoffatmosphäre in einer frisch hergestellten Lösung verstärkt, die pro Liter enthiek:

0,095 Mol	Easen(ll)-amnioniumsulfat
0,01 Mol	Eisen(III)-nitrat
0,025 Mol	Natriumeitrat
0,07 Mol	Kupfersulfat
030 Mol	Isopropanol
035MoI	Äthan-l-hydrosy-
	1,1 -diphosphonsäure
0,015 Gew.-% Netzmittel A
0,015 Gew.-% Netzmittel B,

während der andere Teil in ein Bad eingetaucht wurde, das aus

b) Lösung a) + 0,06 MoI 2-Butin-l,4-diol

bestand.

Der Phosphonsäureverbindung wurde vor dem Ansetzen der Entwickler eine derartige Menge Natriumhydroxid zugesetzt, daß der pH-Wert beider Lösungen 1$ betrug. Das Keimbild wurde 10 Minuten lang mit dir Lösung a) zu einer Endschwirzung von etwa 1 verstärkt Es wurde kein äußeres Bild erzeugt, wu auf die schnelle Abnahme der Aktivität der Lösung zurückzuführen war. Mit der Lösung b) wurde nach 10 Minuten langer Entwicklung ein leitendes Kupferbikl erhalten, wobei die Lösung völlig stabil geblieben war.

Diese Stabilitätsverbesserung konnte auch erhalten werden, wenn Butindiol durch andere Kupfer(I)-Komplexbildner, wie Acetonitril, Natriumsulfit und Pyridin-3-sulfonsäure, ersetzt wurde.

Beispiel 4

Einseitig mit Siliciumcarbid und Flußsäure angerauhte Glasplatten wurden für die stromlose Verkupferung dadurch aktiviert, daß sie bei Zimmertemperatur zunächst 2 Minuten in einer Lösung von 50 g SnCI₂ und 10 ml konzentrierter HCI-Lösung in 1 Liter entionisiertem Wasser bewegt, eine halbe Minute in strömendes entionisiertes Wasser gehalten, 1 Minute lang in einer Lösung von 0,25 g PdCl₂ und 10 ml konzentrierter in HC1-Lösung in 1 Liter entionisiertem Wasser bewegt und schließlich wieder eine halbe Minute lang in strömendes entionisiertes Wasser gehalten wurden. Sie wurden danach stromlos in einer auf 55°C erhitzten Verkupferungslösung verstärkt, die die folgenden r. Bestandteile pro Liter enthielt:

0,15 Mol Äthylendiamin-NN'-bisisopropyl-

nhnsnhnnsänre

0,10MoI Eisen(II)-ammoniumsulfat 0,01 Mol Eisen(III)-nitrat
0,025 Mol Natriumeitrat und
0,04 Mol Kupfersulfat.

Der Phosphonsäure wurde zuvor eine derartige Menge Natriumhydroxid zugesetzt, daß der pH-Wert der endgültigen Lösung bei Zimmertemperatur 5,45 betrug. Nach 30 Minuten langer Verkupferung wurde eine leitende Kupferschicht mit einem schönen Äußeren erhalten. Die Lösung war dann noch völlig stabil, jo während auch auf der Wand und dem Boden der verwendeten Küvette keine Kupferabscheidung stattgefunden hatte.

Beispiel 5

Mit Celluloseacetobutyrat überzogene Glasplatten wurden nach Behandlung auf die im Beispiel 1 beschriebene Weise physikalisch in einer der nachstehenden frisch hergestellten Lösung verstärkt, die pro Liter enthielten:

35

a) 0,10 Mol

40

Athylendiamin-

NN'-bisisopropylphosphonsäure
0,06 Mol Kupfersulfat

0,10 Mol Eisen(II)-ammoniumsulfat 0,01 Mol Eisen(III)-nitrat
0,025 Mol Natriumeitrat
0,025 Gew.-% Netzmittel A
0,025 Gew.-% Netzmittel B.

Lösung a) mit 0,05 Mol Phosphonsäure + 0,05 Mol Nitrilotriessigsäure statt 0,10MoI Äthylendiamin-NN'-bis-isopropylphosphonsäure.

Der Phosphonsäure wurde eine derartige Menge Natriumhydroxid zugesetzt, daß der pH-Wert beider Lösungen 5,0 betrug. Nach 40 Minuten langer Verstärkung in einer Stickstoffatmosphäre wurde mit der Lösung a) ein sehr schwaches Bild mit einer Schwärzung von 0,1 erhalten, während das mit dem Entwickler b) verstärkte Bild eine Schwärzung von 1,12 aufwies.

Beispiel 6

Eine mit Celluloseacetobutyrat überzogene Glasplatte wurde auf die im Beispiel 1 beschriebene Weise lichtempfindlich gemacht und dann in einer Stickstoffatmosphäre physikalisch mit einer Lösung verstärkt, die pro Liter enthielt:

0,04 Mol Eisen(ll)ammoniumsulfat

0,03 Mol Kupfersulfat

0,063 Mol Nitrilisopropylamindimethyl-

phosphonsäure
0,025 Gew.-% Netzmittel A
0,025 Gew.-¹Vb Netzmittel B.

Der Phosphonsäurelösung wurde vor dem Ansetzen des Entwicklers eine derartige Menge Natriumhydroxid zugesetzt, daß der pH-Wert der endgültigen Lösung 4,03 betrug. Nach 8 Minuten langer Verstärkung wurde ein Bild mit einer Schwärzung von 1,8 erhalten.

Beispiel 7

Eine mit Celluloseacetobutyrat überzogene Glasplatte wurde auf die im Beispiel 1 beschriebene Weise lichtempfindlich gemacht und anschließend in einer Stickstoffatmosphäre physikalisch mit einer Lösung verstärkt, die pro Liter enthielt:

0,05 Mol Eisen(II)-ammoniumsulfat

0,02 Mol Kupfersulfat

0,10 Mol Äthylendiamin-NN'-hydroxyäthyl-

NN'-dimethylphosphonsäure
0,025 Gew.-% Netzmittel A
0,025 Gew.-% Netzmittel B.

Der Pho'phonsäuielösung wurde vor dem Ansetzen des Entwicklers eine derartige Menge Natriumhydroxid zugesetzt, daß der pH-Wert der endgültigen Lösung 6,5 betrug.

Nach 10 Minuten langer Verstärkung wurde ein Bild mit einer Schwärzung von 1,7 erhalten.

Beispiel 8

Eine angerauhte Glasplatte wurde, nachdem sie auf die im Beispiel 4 beschriebene Weise lichtempfindlich gemacht worden war, stromlos bei 50⁰C in einer Stickstoffatmosphäre mit einer Verkupferungslösung verstärkt, die pro Liter enthielt:

0,05 Mol Eisen(II)-ammoniumsulfat

0,02 Mol Kupfer(II)-suIfat

0,20 Mol Nitriltrimethylphosphonsäure.

Der Phosphonsäurelösung wurde eine derartige Menge Natriumhydroxid zugesetzt, daß der pH-Wert der endgültig erhaltenen Lösung 9,0 betrug. Nach 20 Minuten langer Verstärkung wurde eine leitende Kupferschicht hoher Güte erhalten.

Beispiel 9

Eine 20gew.-%ige Titanacetylacetonatlösung in Isopropanol wurde durch Schleudern auf einer Boratglasplatte angebracht und bei 500⁰C ausgeheizt Die erhaltene Titanoxidschicht wurde in eine wässerige Lösung eingetaucht, die 2 g Palladhimchlorid, 4 g eines Natriumalkylphenolpolyglykoläthersulfats und 10 g Glycerin pro Liter enthielt, wonach sie getrocknet und 1,5 Minuten lang hinter einer Vorlage mit einer 125-W-QuecksiIberdampflampe in einem Abstand von 50 cm belichtet wurde, wodurch an den belichteten Stellen ein Palladiumkeimbild erhalten wurde. Nach 3 Minuten langem Spülen in entmineraiisiertem Wasser wurde das Keimbild 1,5 Minuten lang in einer wässerigen Lösung verstärkt, die pro Liter enthielt:

0,30 Mol Nitrildimethylphosphonsäure-

monoessigsäure

0,15 Mol Eisen(II)-ammoniumsulfat

0,01 Mol Eisen(III)-nitrat

0,025 Mol Natriumeitrat -,

0.08 Mo! Kupfersulfat

0,25 Mol Natriumbisulfit.

De^r ''hosphonsäurelösung wurde zuvor eine derartige Menge Natriumhydroxid zugesetzt, daß der pH-Wert der endgültigen Lösung 4,23 betrug. Es wurde ein gut leitendes Kupferbild erhalten.

Beispiel 10

Ein Polyesterimidklebstoff, in dem Wismutoxid r, dispergiert war, wurde durch Herausziehen aus dem Klebstoff auf einer 50 μιη dicken Polyimidfolie angebracht, wonach 30 Minuten lang bei 100°C getrocknet und schließlich 30 Minuten lang bei 350⁰C ausgehärtet wurde. Die dadurch mit einer etwa 12 nm dicken m Klebstoffschicht überzogene Folie wurde dann nacheinander 2 Minuten lang bei 50⁰C mit einer wässerigen Lösung mit 5 Mol Natriumhydroxid pro Liter angerauht, 1 Minute lang mit entmineralisiertem Wasser gespült, 5 Minuten lang durch Ultraschallschwingen in 2·; entmineralisiertem Wasser bewegt, aufs neue 1 Minute lang mit entmineralisiertem Wasser gespült, 1 Minute lang in eine wässerige Lösung mit 2 g Palladiumchlorid, 4 g eines handelsüblichen Netzmittels und 10 g Glycerin pro Liter eingetaucht und schließlich getrocknet Die jo erhaltene Folie wurde danach 5 Minuten lang hinter einer Vorlage mit einer HPR 125-W-Quecksilberdampflampe in einem Abstand von 50 cm belichtet und nach 3 Minuten langem Spülen mit strömenden entmineralisiertem Wasser in einer Stickstoffatmosphäre zu einer leitenden Kupferschicht mit einer Lösung verstärkt, die pro Liter enthielt:

0,40 Mol Äthan-1-hydroxy-

1,1 -diphosphonsäure

0,15MoI Eisen(ll)-ammoniumsulfat

0,01 Mol Eisen(III)-nitrat

0,025 Mol Natriumeitrat

0,10MoI 2-Butin-l,4-dioi

0,08 Mol Kupfersulfat.

Der pH-Wert der Lösung war 3,04. Es wurde ein gut leitendes Kupferbild hoher Güte erhalten.

Beispiel 11

Eine Boratglasplatte wurde nach Schleudern mit einer Lösung von Titanacetylacetonat ausgeheizt, in eine Lösung von Palladiumchlorid eingetaucht, getrocknet und belichtet und auf die im Beispiel 9 beschriebene Weise 3 Minuten lang mit entmineralisiertem Wasser gespült. Die erhaltene Platte wurde danach 4 Minuten lang bei 70⁰C in einer wäßrigen Lösung verstärkt, die pro Liter enthielt:

0,36 Mol	Hexamethylendiamintetramethyl
	phosphonsäure
0,15MoI	Eisen(II)-ammoniumsulfat
0,01 Mol	Eisen(III)-nitrat
0,025 Mol	Natriumcitrat
0,04 MoI	Kupfersulfat.

Der pH-Wert der Lösung war mit NaOH bei Zimmertemperatur auf 6,50 gebracht worden. Es wurde ein leitendes Kupferbild erhalten.

Claims

Patentansprüche:

1. Verkupferungslösung, die im wesentlichen aus einer wässerigen Lösung besteht, die Kupfer(II)-Ionen, das Redoxpaar Fe²⁺ZFe³⁺ als Reduktionsmittel und einen Komplexbildner, durch den die Differenz ΔΕ zwischen dem Kupferpotential und dem Redoxpotential auf mindestens 50 mV eingestellt wird, enthält, dadurch gekennzeich- net, daß die Lösung ein organisches Phosphonsäurederivat als Komplexbildner enthält

2. Verknüpfungslösung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Phosphonsäurederivat die folgende Struktur aufweist: