DE2505011C2 - Verfahren zur Materialbearbeitung mittels eines steuer- bzw. ablenkbaren Energiestrahls - Google Patents

Verfahren zur Materialbearbeitung mittels eines steuer- bzw. ablenkbaren Energiestrahls

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Description

Das Hauptpatent betrifft ein Verfahren zur Materialbearbeitung mittels eines Steuer- bzw. ablenkbaren Energiestrahls, wobei die Bewegung eines zu bearbeitenden Werkstückes oder dergleichen relativ zum Energiestrahl bzw. zum Einwirkbereich des Energiestrahls nach Maßgabe einer vorgegebenen Bearbeitungsform gesteuert wird und zur Kompensation wenigstens der infolge der Trägheit der Werstückbewegungssteuerung nicht unmittelbar ausgleichbaren, durch kontinuierliches Vergleichen der momentanen IST-Position des Werkstücks mit der durch die Bearbeitungsform bestimmten SOLL-Position feststellbaren Abweichungen des Werkstücks oder dergleichen von dieser SOLL-Position der Energiestrahl entsprechend nachgeführt wird.
Dieses Verfahren gewährleistet ein gleichmäßiges, der vorgegebenen Bearbeitungsform vollkommen entsprechendes Bearbeitungsergebnis. Es läßt sich jedoch nicht ohne weiteres für die Bearbeitung von Werkstückanordnungen verwenden, bei denen der vorgesehene Einwirkbereich des Energiestrahls in mindestens einem Teil des zu bearbeitenden Bereichs (Bearbeitungsform) nur mit einem abgelenkten (geknickten) Energiestrahl zugänglich ist, oder die Art der Bearbeitung einen geknickten, unter einem vorgegebenen, sich gegebenenfalls längs der Bearbeitungsstrecke ändernden Winkel auf das Werkstück auftreffenden Energiestrahl erfordert.
Der ersterwähnte Fall liegt z. B. beim Schweißen von sogenannten »Kehlnähten« vor, also von Schweißnähten, die in einem konkaven Bereich (Hohlkehle) eines Werkstücks verlaufen. Ein typisches Beispiel ist das stumpfe Anschweißen eines rohrförmigen Körpers an einer Platte oder das Einschweißen von ringförmigen Einsatzkörpern in ein Rohr oder einen anderweitigen Hohlraum. Solche Schweißungen lassen sich bisher in der Praxis nur dann wirtschaftlich durchführen, wenn die Schweißnaht kreisförmig ist und durch Drehen des Werkstücks oder kreisförmiges Ablenken des Energiestrahls, wie es beispielsweise in der DE-PS 11 02 313 beschrieben ist, vom Einwirkbereich des Energiestrahls durchlaufen werden kann. Schweißnähte mit einer von der Kreisform abweichenden Bearbeitungsform sind wegen des komplizierten Bewegungsablaufes mit den bisher bekannten Verfahren und Einrichtungen prak-
tisch nicht wirtschaftlich auszuführen. ... .
Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, das Verfahren gemäß dem Hauptpatent dahingehend weiter zu entwickeln, daß praktisch beliebige Bearbeitungsformen, die entweder aus Gründen der Zugänglichkeit oder aus Gründen, der erforderlichen Einwirkrichtung des Energiestrahls einen abgelenkten, geknickten Energiestrahl erfordern, mit einfachen Mitteln, rasch, zuverlässig und ohne großen Arbeitsaufwand ausgeführt werden können.
Diese Aufgabe wird durch die im. kennzeichnenden Teil des Patentanspruchs 1 angegebenen Merkmale gelöst
Die Unteransprüche beireffen vorteilhafte Ausgestaltungen und Weiterbildungen der Erfindung.
Zur Durchführung des vorlegenden Verfahrens brauchen das Verfahren gemäß dem Hauptpatent und eine zur Durchführung dieses Verfahrens geeignete Einrichtung nur geringfügig abgewandelt zu werden. Bei Verwendung eines technischen Ladungsträgerstrahlgerätes mit in zwei Koordinaten numerisch gesteuertem Werkstückvorschub lassen sich sie erforderlichen Änderungen mit besonders geringem Aufwand durchführen.
Im folgenden werden Ausführungsbeispiele der Erfindung unter Bezugnahme auf die Zeichnung näher erläutert; es zeigt
Fig. la) eine - perspektivische Darstellung einer Werkstückanordnung, die unter Anwendung des vorliegenden Verfahrens durch eine Kehlnaht verschweißt werden kann;
Fi g. Ib) eine schematisierte Darstellung in der Ebene (Schnitt A-A in F i g. Ic)), die durch den abgelenkten und nicht abgelenkten Elektronenstrahl aufgespannt wird;
Fig. Ic) eine schematische Darstellung des Bearbeitungsprinzips in der Bearbeitungsebene;
F i g. 2 eine schematische Darstellung eines Ausführungsbeispieles einer Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens gemäß der Erfindung und
F i g. 3 eine schematische Darstellung einer anderen Ausführungsform einer Einrichtung zur Durchführung des vorliegenden Verfahrens.
Das vorliegende Verfahren wird am Beispiel der Herstellung von Schweißnähten mittels eines energiereichen Elektronenstrahlbündels beschrieben. Die Erfindung ist jedoch nicht hierauf beschränkt, sondern sowohl auf andere Energiestrahlen, wie lonenstrahlen oder Laserstrahlen, als auch andere Bearbeitungsvorgänge, wie Bohren, Gravieren, Umschmelzen, Einschmelzlegieren, Härten und dgl. anwendbar.
Bei dem vorliegenden Verfahren wird wie bei dem Verfahren zur Materialbearbeitung mittels eines ablenkbaren Energiestrahles gemäß dem Hauptpatent die Bewegung einer zu bearbeitenden Werkstückanordnung relativ zum Einwirkbereich des Energiestrahls entsprechend einer vorgegebenen Bearbeitungsform (Einwirkspur) gesteuert, indem die IST-Position der Werkstückanordnung bezüglich einer Referenzposition, z. B. einer Energiestrahlquelle, fortlaufend mit SOLL-Werten, die als Funktion der Zeit entsprechend der Bearbeitungsform geändert werden, verglichen und ein der Abweichung zwischen der augenblicklichen IST-Position und dem augenblicklichen SOLL-Wert entsprechendes Fehlersignal erzeugt wird. Die IST-Position wird durch eine mechanische Verstellvorrichtung mit vorgegebener Regelschärfe und Rcgelzeitkonstante im Sinne eines Verschwindtns des Fehlersignals geregelt und die Ablenkung des Elektronenstrahls wird im Sinne einer Kompensation der augenblicklichen Abweichung von IST-Position und SOLL-Wert gesteuert.
Bei dem vorliegenden Verfahren wird nun dem Fehlersignal vor Einspeisung in den Regelkreis der mechanischen Verstellvorrichtung ein Signair auf geschaltet, das als »Versetzungssignal« bezeichnet werden soll und so gewählt wird, daß die IST-Position der Werkstückanordnung um eine gewünschte Strecke von der dem augenblicklichen SOLL-Wert entsprechenden
to SOLL-Position abweicht Das Versetzungssignai nimmt jedoch keinen direkten Einfluß auf die-die Strahlablenkung steuernde Anordnung, sondern sie kompensiert automatisch (siehe DE-PS 2015 078) den durch das Versetzungssignai bewußt eingeführten Lagefehler, so daß der Einwirkbereich des Energiestrahls infolge der sich ergebenden Strahlablenkung eine dem SOLL-Wert entsprechende Position hat und der Strahl das Werkstück unter einem der Versetzung entsprechenden Winkel trifft
Dies soll "im folgenden unter Bezugnahme auf Fi g. 1 am Beispiel der Verschweißung einer Metallplatte 10 mit einem in Draufsicht im wesentlichen rechteckigen, abgerundete Ecken, aufweisenden Metallteil 12 unter Verwendung einer Elektronenstrahl-Schweißmaschine beschrieben werden. Die Elektronenstrahl-Schweißmaschine soll einen Werkstück-Support 14 haben, der' durch eine numerische Steuereinrichtung in einer x- und y-Richtung verstellbar ist Die Verstellrichtungen liegen in einer Ebene, die senkrecht zur Achse 16 des nicht
in abgelenkten Elektronenstrahls verläuft Der Elektronenstrahl ist durch eine Ablenkvorrichtung 18 in zwei Richtungen ablenkbar, die am zweckmäßigsten mit der x- bzw. y-Richtung- der Bewegungseinrichtung zusammenfallen.
Der Werkstückbereich, in dem die Schweißnaht gebildet werden muß, ist, wie F i g. 1 zeigt, mit dem unabgelenkten Elektronenstrahl nicht einwandfrei erreichbar, da dieser streifend längs der Wand des Metallteils 12 verlaufen müßte, und für eine Verbindung der beiden Teile ist ein Aufschmelzen von Bereichen beid'.r Teile nahe der Fügelinie erforderlich, auch wenn mit Zusatzmaterial gearbeitet wird. Um die gewünschte »Kehlnaht« längs des Bereiches 20, in dem sich die Metallplatte 10 und das Bauteil 12 berühren, einwandfrei herstellen zu können, muß also die Strahlachse 16 um eine gewisse Strecke 22 vor der Linie 20 weg gerückt werden und der Elektronenstrahl muß durch die Ablenkvorrichtung 18 um einen solchen Winkel « abgelenkt werden, daß der Strahlauftreffpunkt oder
so Enwirkbereich 24 auf die Linie 20 fällt. Man könnte dies im Prinzip dadurch bewirken, daß man die Vorschubvorrichtung für den Support 14 durch ein erstes Programm so steuert, daß die Achse 16 des unabgelenkten Strahles längs einer Linie 26 verläuft, die den gewünschten Abstand von der Schweißnahtünie 20 hat, und gleichzeitig die Strahlablenkvorrichtung 18 durch ein zweites Programm so steuert, daß der abgelenkte Strahl auf der Schweißnahtlinie 20 auftrifft. Wesentlich einfacher ist es jedoch, nur den Verlauf der Schweißnahtlinie 20 zu programmieren und mit diesem Programm unter Einbeziehung der in bekannter Weise ermittelten IST-Werte der Werkstückposition sowohl den Werkstücksupport 15 als auch die Strahlablenkvorrichtung 18 zu steuern. Um die gewünschte Versetzung (Strecke 22) zu erreichen, wird dem Regelkreis für den Werkstücksupport das bereits erwähnte Versetzungssignal aufgeschaltet, so daß die IST-Position des Werkstücksupports mit einem beabsichtigten Fehler entsprechend der
Versetzungsstrecke 22 behaftet ist und dieser Fehler durch die Regelung der Strahlablenkung 18 in der im Hauptpatent beschriebenen Weise kompensiert wird.
Besonders einfach werden die Verhältnisse, wenn man berücksichtigt, daß beim Elektronenstrahlschwei-Ben (und auch bei vielen anderen Energiestrahl-Materialbearbeitungsverfahren) eine konstante Wanderungsgeschwindigkeit (Schweißgeschwindigkeit) des Energiestrahl-Einwirkbereiches bezüglich des Werkstückes wenn nicht erforderlich, so doch wünschenswert ist. Setzt man eine konstante »Bahngeschwindigkeit« voraus, so kann man die Versetzungssignale für die x- und /-Richtung aus den Geschwindigkeitssignalen für die jeweils andere Koordinate ableiten. Damit wird gleichzeitig gewährleistet, daß die Ebene, die die Achse 16 des nicht abgelenkten Strahls und die Achse 16' des abgelenkten Strahls enthält, senkrecht zur Schweißnahtlinie 20, d. h. ganz allgemein senkrecht zur Bearbeitungsrichtung verläuft. Diese Lagebeziehung wird auch beim Durchlaufen von Biegungen, z. B. an den Ecken des Metallteils 12, aufrechterhalten.
Fig.2 zeigt ein Ausführungsbeispiel einer mit NC-Steuerung arbeitenden Einrichtung zur Durchführung des eben erläuterten Verfahrens.
Der Werkstücksupport 14 ist durch einen x-Motor 30 in x-Richtung und durch einen /-Motor 32 in /-Richtung verstellbar. Mit den Motoren 30 und 32 ist jeweils ein Tachometergenerator 34 bzw. 36 gekoppelt, der eine der Verstellgeschwindigkeit proportionale Ausgangsspannung x' bzw. /' entsprechend der x-Geschwindig- jo keit bzw./-Geschwindigkeit liefert.
Die Steuerung der Einrichtung erfolgt durch ein Steuergerät 38 (»Interpolator«), das für jede Vorschubstreckeneinheit (z.B. ΙΟμπι) einen Impuls für die betreffende Vorschubkoordinate liefert. Bei der dargestellten Ausführungsform liefert das Steuergerät 38 für jede Vorschubstrecke von 10 μΐη in positiver x-Richtung einen impuls auf einer Leitung 40, für dieselbe Strecke in negativer ^-Richtung einen Impuls auf einer Leitung 42, für dieselbe Strecke in der positiven /-Richtung auf einer Leitung 44 und für dieselbe Strecke in der negativen /- Richtung auf einer Leitung 46. Die Leitungen 40 und 42 sind mit den Eingängen eines Frequenz/Spannungs-Wandlers 48 und eines Vorwärts-Rückwärts-Zählers 50 gekoppelt. Der Frequenz/Spannungs-Wandler 48 liefert ein der x-SOLL-Geschwindigkeit in Betrag und Vorzeichen entsprechendes Signal auf einer Leitung 52, die mit dem Eingang eines Dividierers 54 und einem Eingang eines Differenzverstärkers 56 gekoppelt ist. Die Ausgänge des Zählers 50 sind mit einem Digital/Analog-Umformer verbunden, der ein dem Zählwert proportionales analoges Ausgangssignal auf eine Leitung 60 liefert, die mit einem weiteren Eingang des Verstärkers 56 verbunden ist. Die Leitung 60 ist außerdem über einen Verstärker 62 mit x-AbienkspuIen 64 des Ablenksystems 18 zur Ablenkung des Elektronenstrahls verbunden.
Das Steuergerät 38 liefert eine der programmierten Bahngeschwindigkeit entsprechende digitale Information über eine Leitung 63 an einen Digital/Analog-Umformer 66, der ein der Bahngeschwindigkeit entsprechendes Ausgangssignal an einen zweiten Eingang (Nenner-Eingang) des Dividierers 54 liefert.
Für die /-Koordinate ist eine entsprechende Schal· tungsanordnung vorgesehen, die einen Frequenz/Spannungsumformer 48a, einen Vorwärts-Rückwärts-Zähler 50a, einen Dividierer 54a. einen Differenzverstärker 56a, einen Digital/Analog-Uniformer 58a, eine Leitung 60a, einen Verstärker 62a und eine /-Ablenkspule 64a enthält.
Auf einer Ausgangsleitung 70 des Dividierers 54 steht ein Signal zur Verfügung, das proportional dem Quotienten vJvb der -Y-Gesch windigkeit v, und der Bahngeschwindigkeit ve ist. Dieses Signal wird als Störgröße, gegebenenfalls nach Amplitudeneinstellung durch ein Abschwächer- oder Verstärkerglied 72, einem weiteren Eingang des Differenzverstärkers 56a mit einer solchen Polarität zugeführt, daß es sich zu dem v^-SOLL-Wert-Signal vom Ausgang des Frequenz/ Spannungsumformers 48a additiv vereinigt.
Der Übertragungsfaktor des Abschwächer- oder Verstärkergliedes 72 (das z. B. dann einen »regelbaren« Verstärker enthalten kann) ist gewünschtenfalls verstellbar, z. B. durch ein von der SOLL-Position oder der Bahnlänge abhängiges Signal, das vom Steuergerät 38 erzeugt und über eine Leitung 72' zugeführt wird.
Von dem sich durch die additive Vereinigung ergebenden, effektiv kombinierten Signal wird ein zweites effektiv kombiniertes Signal abgezogen, das aus dem die IST-Geschwindigkeit in /-Richtung darstellenden Ausgangssignal des Tachometergenerators 36 und dem Signal auf der Leitung 60a vom Ausgang des Digital/Analog-Umformers 58a besteht. Das Ausgangssignal des Digital/Analog-Umformers 58a entspricht ja dem Zählwert des Vorwärts-Rückwärts-Zählers 50a, dem außer den /-SOLL-Wert-Impuisen von den Leitungen 44 und 46 außerdem noch Ober eine Leitung 74a/-Lageimpulse von einem Lagegeber 76a zugeführt werden, der auf die /-Komponente der IST-Lage des Werkstücksupports 14 anspricht und bei der Verschiebung des Werkstücksupports 14 um eine vorgegebene Strecke (z.B. ΙΟμπι) in /-Richtung einen Impuls entsprechender Polarität an den Zähler 50a liefert, der diesen Zähler vorwärts oder rückwärts zählen läßt. Auf diese Weise wird dem Signa! auf der Leitung 60a die /-Lagekoordinate aufgeschaltet, und der Differenzverstärker 56a liefert am Ausgang ein Fehlersignal, das nur dann 0 ist, wenn sowohl der SOLL- und IST-Wert der /-Geschwindigkeit als auch der SOLL- und IST-Wert der /-Position übereinstimmen. Der vom Steuergerät 38 gelieferte SOLL-Wert der /-Position wird aber durch das von der ^-Geschwindigkeit abgeleitete Störsignal vom Dividierer 54 »verfälscht«, so daß ein dem Ausgangssignal des Dividierers 54 proportionaler Lagefehler aufrechterhalten wird.
Während das /-Lagefehlersignal auf der Leitung 60a im Differenzverstärker 56a durch das Ausgangssignal vom Dividierer 54 kompensiert wird, so d~ß der /-Motor 32 vom Differenzverstärker 56a keine diesbezügliche Fehlerspannung erhält, die ihn zu einer Lagekorrektur veranlassen würde, wird das /-Fehlersignal an den /-Ablenkspulen 64a voll wirksam, und es korrigiert den /-Lagefehler durch eine entsprechende Ablenkung des Elektronenstrahls. Der Elektronenstrahlauftreffpunkt folgt also trotz der Versetzung des Werkstücksupports 14 genau der durch das Steuergerät 38 mittels der x- und /- ',npulse vorgegebenen Spur.
Die Versetzung des Tisches 14 in Ar-Richtung ist proportional zur /-Geschwindigkeit, und die Versetzung in /-Richtung ist proportional zur x-Geschwindigkeit Auf diese Weise wird der Strahl immer senkrecht zur Bahntangente abgelenkt, und es wird ein vorgegebener, durch die Vorrichtung 72 einstellbarer Abstand zwischen der Achse des unabgelenkten Strahles und der programmierten Bearbeitungsspur eingehalten, so daß Kehlnahtschweißungen und Bearbeitungsvorgänge in
hinterschnittenen Bereichen ohne weiteres durchgeführt werden können.
Die Versetzung zwischen der Achse des unabgelenkten Strahls und dem Strahlauftreffpunkt definiert zusammen mit dem Abstand zwischen Strahlauftreffpunkt und Ablenkzentrum in der Ablenkvorrichtung 18 einen bestimmten Ablenkwinkel. Man kann also auf die beschriebene Weise auch einen vorgegebenen Auftreffwinkel zwischen einer Werkstücksoberfläche und der Strahlauftreffrichtung programmieren, z. B. um einen kegelförmigen Körper in eine entsprechende kegelförmige Vertiefung einzuschweißen.
F i g. 3 zeigt eine andere Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens gemäß der Erfindung, die einen programmgesteuerten elektronischen Prozeß-Rechner (Computer) 80 enthält und dadurch den Vorteil größerer Flexibilität hat. Baueinheiten, die in ihrer Funktion Baueinheiten der Ausführungsform gemäß F i g. 2 entsprechen, sind mit den gleichen Bezugszeichen versehen wie diese. Die Lagegeber 76 bzw. 76a für die λγ- bzw. /-Koordinate des Werkstücksupports 14 liefern Lage-IST-Wert-Signale an den Rechner 80, der die IST-Werte mit den gespeicherten und entsprechend dem Ablauf des Bearbeitungsvorganges und der Bearbeitungsforderung geänderten Lage-SOLL-Werten vergleicht. Bei Lagefehlern liefert der Rechner ein digitales Fehlersignal für die ^-Koordinate bzw. y-Koordinate an die Digital/Analog-Umformer 58 bzw. 58a ähnlich wie vorher die Vorwärts-Rückwärts-Zähler 50 bzw. 50a der Ausführungsform gemäß F i g. 2. Die den Vorschub-Inkrementen entsprechenden »Geschwindigkeitsimpulse« werden von dem Rechner 80 Digital/Analogumformern 48' bzw. 48'a zugeführt, die eine ähnliche Funktion haben wie die Frequenz/Spannungs-Umformer 48 und 48a des Ausführungsbeispiels gemäß F i g. 2. Der Rechner übernimmt durch entsprechende Programmierung die Funktion der Schaltungsanordnung 54, 54a, 66, 70, 70a, 72 und 72a in Fig. 2, so daß auch hier wieder ein der ^-Geschwindigkeit bzw. /-Geschwindigkeit proportionaler Faktor dem y- bzw. x-Lageregelkreis aufgeschaltet wird (über die Digital/ Analog-Umformer 48' bzw. 48'a,), um die gewünschte
ίο Versetzung des Werkstücksupports 14 zu erreichen, die dann durch die Ablenkung des Energiestrahls automatisch kompensiert wird.
Bei der Einrichtung gemäß Fig.3 kann auf folgende Weise gewäh. leistet werden, daß die Ebene der Strahlablenkung immer senkrecht zum momentanen Geschwindigkeitsvektor, also senkrecht zur Bahntangente verläuft: Entweder wird der Quotient aus x-Wegimpulsen zu /-Wegimpulsen pro Zeiteinheit ermittelt oder einfacher, die Zahl der Weginkremente der einen Koordinate gezählt, bis ein entsprechendes Weginkrement der anderen Koordinate auftritt. Dabei braucht man in der Praxis nur zwischen sechs verschiedenen Verhältnissen zu unterscheiden, z. B.: 1 : 1.1 : 2.1 :3.1 :4.1 : 5 und 1 : >5.
Hat z. B. die Schweißbahn eine r.olche Richtung, daß ein x-Wegimpuls pro 2,35 y-Wegimpulsen auftritt, so wird die Tangentenrichtung abwechselnd mit I : 2 und 1 :3 festgestellt. Die Lagesteuerung des Tisches wird entsprechend einer Abweichung von der SOLL-Lage eingestellt, deren Vektor konstante Länge hat, aber auch jeweils in der Richtung zwischen 1 :2 und 1 :3 schwankt. Durch die Masseträgheit des Werkstücksupports 14 ergibt sich eine mittlere, stetige Verstellung.
Hierzu 4 Blatt Zeichnungen

Claims (9)

25Ö5 Patentansprüche: ίο
1. Verfahren zur Materialbearbeitung mittels eines ablenkbaren Energiestrahls, wobei die Bewegung eines zu bearbeitenden Werkstückes oder dergleichen relativ zum Energiestrahl bzw. zum Einwirkbereich des Energiestrahls nach Maßgabe einer vorgegebenen Bearbeitungsform gesteuert wird und zur Kompensation wenigstens der infolge der Trägheit der Werkstückbewegungssteuerung nicht unmittelbar ausgleichbaren, durch kontinuierliches Vergleichen der momentanen IST-Position des Werkstückes mit der durch die Bearbeitungsform bestimmten SOLL-Position feststellbaren Abweichungen des Werkstücks oder dergleichen von dieser SOLL-Position der Energiestrahl entsprechend nachgeführt wird, nach Patent 20 15 078, dadurch gekennzeichnet, daß zumindest während eines Teiles des Bearbeitungsvorganges eine solche^ gewollte Abweichung der IST-Position des Werkstücks von der durch die Bearbeitungsform bestimmten SOLL-Position erzeugt wird, und daß sich durch die resultierende Ablenkung des Energiestrahls, die die gewollte Abweichung kompensiert, ein gewünschter Winkel bezüglich Werkstück und dem abgelenkten Energiestrahlergibt.
2. Verfahren nach Ansprach 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Abweichung der IST-Position des Werkstücks von der durch die Bearbeitungsform bestimmten SOLL-Position in jedem Moment senkrecht zur Richtung der Relativbewegung zwischen Energiestra^JeinwisV.bereich und Werkstückverläuft.
3. Verfahren nach Anspruch '·> oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Komponenten der Abweichung in jedem Moment aus den Komponenten der Sollgeschwindigkeit erzeugt werden, mit der sich der Einwirkbereich des Energiestrahles bezüglich der Werkstückoberfläche bewegt.
4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die x-Komponente (Cx) und die y-Komponente (cr) der Versetzungsstrecke (2?) proportional zu Vy/\ vB\ bzw. v,/| v^ sind, wobei vx und Vj die x- bzw. y-Komponente der Bahngeschwindigkeit Vffsind und | ve| = j/vx 2 + v/ist.
5. Verfahren nach Anspruch 1,2,3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Betrag der Abweichung eine Funktion der SOLL-Position des Werkstücks ist.
6. Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 1 mit einem Werkstücksupport, der in zwei im wesentlichen senkrecht zur Strahlachse verlaufenden Koordinatenrichtungen verstellbar ist, einer Verstellvorrichtung, die mindestens einen Regelkreis für jede Koordinatenrichtung enthält und durch SOLL-Wert-Signale verstellbar ist, und einer Strahlablenkvorrichtung, die zur Kompensation von Lagefehlern des Werkstücksupports durch Fehlersignale aus den Regelkreisen steuerbar ist, gekennzeichnet durch eine Schaltungsanordnung (70, 72, 56a; 70a, 72a, 56) zum Erzeugen von der gewünschten Abweichung entsprechenden Versetzungssignalen und zur Zuführung dieser Versetzungssignale zu den Regelkreisen.
7. Einrichtung nach Anspruch 6 mit einem Geschwindigkeitsregelkreis und einem Lageregelkreis für jede Koordinate, gekennzeichnet durch eine Schaltungsanordnung (48, 70, 52, 56a; 48,i, 70a, 72a, 56) zum Erzeugen des Versetzungssignals für die eine Koordinate aus einem Geschwindigkeits-SOLL-Wert-Signal für die jeweils andere Koordinate.
8. Einrichtung nach Anspruch 7, gekennzeichnet durch jeweils eine Schaltungsariordnung (48, 48a) zum Erzeugen eines der SOLL-Geschwindigkeitskomponente in Richtung der jeweiligen Koordinate proportionalen Signals und durch jewehs eine Dividierschaltung (54, 54a) zur Division dieser geschwindigkeitsproportionalen Signale durch ein Bahn-SOLL-Geschwindigkeitssignal (vom Digital/ Analog-Umsetzer 66).
9. Einrichtung nach einem der Ansprüche 6,7 oder 8, gekennzeichnet durch eine Anordnung (72, 72'; 72a, 7Ta) zum Steuern von Betrag und/oder Richtung der gewollten Abweichung in Abhängigkeit von der Werkstückform bzw. SOLL-Positionswerten für das Werkstück.
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