DE2502720C2 - Verfahren zum Eichen eines korpuskularoptischen Gerätes und korpuskularoptisches Gerät zur Durchführung des Verfahrens - Google Patents
Verfahren zum Eichen eines korpuskularoptischen Gerätes und korpuskularoptisches Gerät zur Durchführung des VerfahrensInfo
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- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
- H01J37/304—Controlling tubes by information coming from the objects or from the beam, e.g. correction signals
- H01J37/3045—Object or beam position registration
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Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR7402572A FR2259383B1 (fi) | 1974-01-25 | 1974-01-25 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2502720A1 DE2502720A1 (de) | 1975-07-31 |
DE2502720C2 true DE2502720C2 (de) | 1986-05-28 |
Family
ID=9134012
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19752502720 Expired DE2502720C2 (de) | 1974-01-25 | 1975-01-23 | Verfahren zum Eichen eines korpuskularoptischen Gerätes und korpuskularoptisches Gerät zur Durchführung des Verfahrens |
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Country | Link |
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-
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- 1975-01-24 JP JP990275A patent/JPS6022496B2/ja not_active Expired
- 1975-01-24 GB GB329475A patent/GB1497432A/en not_active Expired
Also Published As
Publication number | Publication date |
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JPS6022496B2 (ja) | 1985-06-03 |
JPS50105383A (fi) | 1975-08-20 |
GB1497432A (en) | 1978-01-12 |
DE2502720A1 (de) | 1975-07-31 |
FR2259383A1 (fi) | 1975-08-22 |
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