DE2426880A1 - Vorrichtung zur kathodenzerstaeubung - Google Patents

Vorrichtung zur kathodenzerstaeubung

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Germany
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electrode arrangement
semiconductor
conductive surface
dark room
etched
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DE19742426880
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German (de)
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Michel Loiseau
Pierre Charles Pileur
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    • H10W74/00—Encapsulations, e.g. protective coatings
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
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    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/34—Gas-filled discharge tubes operating with cathodic sputtering
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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