DE2414658C2

DE2414658C2 - Geschichtete Kanalplatte mit Dynoden

Info

Publication number: DE2414658C2
Application number: DE2414658A
Authority: DE
Inventors: Hewson Nicholas Graham King; Pamela May Salfords Surrey Stubberfield; Derek Washington
Original assignee: Philips Gloeilampenfabrieken NV
Current assignee: Koninklijke Philips NV
Priority date: 1973-04-06
Filing date: 1974-03-27
Publication date: 1983-01-20
Also published as: ES424952A1; NL7404439A; IT1009417B; AU6755874A; JPS49131569A; US4482836A; CA1007693A; GB1434053A; SE393484B; DE2414658A1; BE813316A; FR2224870A1; FR2224870B1

Description

Die Erfindung betrifft eine geschichtete Kanalplatte mit Dynoden in Form von perforierten Dynodenplatten mit einem Kanalsystem mit sekundäremittierenden Wänden, dessen Kanäle axiale Schnitte aufweisen, deren von den Wänden gebildete Seiten derartig _w konkav gekrümmt sind, daß die Kanäle in der Ausgangsfläche einen kleineren Querschnitt aufweisen als in einer Ebene im Innern der Kanäle senkrecht zur Kanalachse.

Die Erfindung betrifft ferner die Verwendung dieser Kanalplatte.

Eine Kanalplatte dieser Art ist aus »Advances in Electronics and Electron Physics«, Bd. 33A (1972), 117-123 bekannt

Aus der DE-OS 22 43 716 sind geschichtete Kanalplatten bekannt, deren Kanäle kegelstumpfförmig sind und axiale Schritte aufweisen, deren von den Wänden gebildete gerade Seiten geneigt sind.

Derartige bekannte Konfigurationen mit geraden Seiten sind in den Fig.IA und IB dargestellt Ein Nachteil dieser Konfigurationen ist, daß das elektrische Feld als Folge des Potentiales, das jeweils an die vorangehenden Dynode angelegt wird, in den Kanal der folgenden Dynode eindringt. Dies ergibt ein verzögerndes Feld, wodurch Sekundärelektronen mit einer niedrigen Emissionsenergie (d. h. einige eV) die Wand am Eingangsende der öffnung nicht verlassen können, da sie dort mit dem verzögernden Feld zusammentreffen (der betreffende Bereich ist mit R in Fig.2 schematisch angegeben). Da der größte Teil der Sekundärelektronen eine geringe Emissionsenergie hat, ist dieser Effekt wesentlich. Auf diese Weise kann ungefähr 50% der Wandoberfläche nachteilig beeinflußt werden.

Weii im Faiie nach F i g. i B die Kanäle an der Eingangsseite größer sind, hat das Potential der jeweils vorangehenden Dynode dort größeren Einfluß auf das Feld in dem Kanal. Dies gilt auch im Falle kegeliger Kanäle mit gekrümmten Wänden entsprechend der eingangs genannten Veröffentlichung in ^Advances in Electronics and Electron Physics«. Die Verfasser dieser Veröffentlichung haben eine derartige Anordnung durch Verwendung eines Stapels von Lochmasken erzielt, wie sie fs/ Farbfernsehwiedergaberöhren angewandt werden. Dies ist in der F i g. 3 veranschaulicht

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, bei einer geschichteten Kanalplatte der eingangs genannten Art die Auswirkungen des Eindringens des Feldes der jeweils vorangehenden Dynode in die Kanäle der folgenden Dynode zu beseitigen.

Der Erfindung liegt die Erkenntnis zugrunde, daß wenn die Ladung ankommender EIe¹Kt onen auf dem nichtproduktiven Eingangsbereich der Wand jedes Kanals einer diskreten Dynode vermieden wird, der Wirkungsgrad verbessert wird, da die Elektronen dann nur in Bereichen landen können, in denen Sekundärelektronen direkt von der Oberfläche weg beschleunigt werden. Dabei wird angenommen, daß diese Sekundärelektronen auf aufeinanderfolgenden Dynoden landen und nicht axial durch den Kanal hindurch beschleunigt werden.

Die genannte Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die im kennzeichnenden Teil des Anspruchs 1 angegebenen Merkmale gelöst.

Weitere Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen.

Die erwähnte Verengung hat vorzugsweise eine regelmäßige Kegelform, so daß die Vervielfachungsflächen eines Kanals gegen die Kanalachse schräg stehen und in Richtung der Ausgangsfläche der Dynode zusammenlaufen. Der Überhang an der Eingangsseite eines Kanals in einer derartigen Anordnung ermöglicht es, daß eine größere Anzahl ankommender Elektronen auf dem produktiveren Teil des schrägen, konvergierenden Ausgangsgebietes des Kanals konzentriert werden kann; dieser Teil stellt sich in den Weg des Elektronenstromes als Folge seiner schrägen, konvergierenden Form.

Wenn die Kanäle einen kreisförmigen Querschnitt aufweisen, können ihre konkaven Innenflächen z. B.

nahezu kugelförmig sein oder eine andere Form aufweisen, die in allen Richtungen gekrümmt ist (z, B. eine Sphäroidform), aber auch nahezu konisch sein, wie nachstehend erläutert wird.

Die Kanäle können zu einer Querschnittsmittelebene symmetrisch sein. Hinsichtlich der gegenseitigen Abmessungen werden in der Praxis gute Ergebnisse mit Eingangsdurchmessern und Ausgangsdurchmessern erreicht, die einander und dtr Dicke der Dynode ungefähr gleich sind.

Einige Ausführungsbeispiele nach der Erfindung werden nachstehend anhand der Fig.4 bis 12 beschrieben.

Die Ausführungsbeispiele der F i g. 4 bis 9 beziehen Konische Flächen sind jedoch schwer herstellbar und es zeigt sich, daß sie keine Vorteile gegenüber gekrümmten Profilen bieten.
Eine weitere Abwandlung besteht in der Verwendung

₅ nichtsphärischer gekrümmter Formen, die einfach durch Ätzen erzielt werden können. Dies führt zu Techniken zum Herstellen der Dynoden. Ein bevorzugtes Verfahren besteht aus dem bekannten chemischen Ätzen durch belichtete und entwickelte Photolackmasken hindurch.

Jede Dynode besteht dabei aus zwei Teilen, die nicht notwendigerweise die gleiche Dicke haben. F i g. 5 zeigt ein symmetrisches Beispiel, bei dem die zusammengestellte Dynode an der Querschnittsmittelebene Pm geteilt ist Das Belichten und Ätzen jeder Hälfte kann an

sich hauptsächlich auf Konfiguration von Kanälen mit ₎₅ jener Seite durchgeführt werden, an der die Kanäle die

größte Fläche aufweisen. Geeignete Dynodenmaterialien sind Metalle mit guten Sekundäremissionseigenschaften (z.B. eine BeCu-Legwrung) oder billige Metalle wie mit Sekundäremissionsflächen bedecktes

Gegensatz zu Widerstandsmaterial). ₂o Weicheisen (ζ. B. ein oxydierter BeCu-FiIm oder eine eine Anordnung mit einem gestuft MgO-Abdeckschicht).

Bei einem besonderen Beispic! d^;cses Vcrfah-cns bestehen die zwei Hälften der Dynode aus einem Paar zusammenpassender Lochmasken, wie sie für Farbfernsehwiedergaberöhren hergestellt werden. Fig.6 zeigt ein Beispiel in Form eines Axialschnittes durch einen Kanal. Bei dieser Anordnung erfährt die Ausgangshäifte jedes Kanals eine geeignete Oberflächenbehandlung, um die erforderlichen Sekundäremissionseigenschaften zu erzielen, und die Form jeder Hälfte entspricht der Form nach F i g. 3.

Ein System von Dynoden, das eine geschichtete Kanalplatte bildet ist in den F i g. 7 und 8 dargestellt wobei die Kanäle Axialschnitte entsprechend Fig.4 haben (wenn die Dynoden aus zwei symmetrischen Hälften bestehen, wie zn Hand der Fig.5 beschrieben ist. kann die erste Dynodenplatte M(I) durch eine derartige halbe Platte gebildet werden.

Fig.7 zeigt einen Axialschnitt entsprech -nd der Linie VII-VII in Fig.8, welche eine Ansicht entsprechend der Linie VIII-VIII in Fig. 7 zeigt. Die letzten aii Stufen der Kanalplatte sind mit metallenen Dynodenplatten M(n-2), M(n-X) und M(n) versehen, die durch isolierende Trennschichten D voneinander getrennt sind. Da die Platte M(n) die letzte Platte der Reihe ist, nimmt sie den Platz der Ausgangselektrode einer Kanalplatte mit kontinuierlichen Kanälen ein. Es ist gleichfalls eine erste Platte M(X) vorhanden, die die Stelle der Eingangselektrode einnimmt

Beim Betrieb werden alle Dynodenplatten M mit wachsenden Potentialen aus einer geteilten Gleichstromquelle versorgt die schematisch durch Bm dargestellt ist.

D's Stapelung kann aus halben Platten mit kegeligen Löchern durch jede Trennschicht an jener Seite einer anzubringenden rulben Platte gebildet werden, an der die Löcher die kleinste Oberfläche aufweisen, aber es Lt nicht erwünscht, daß das Trennmaterial bis in die kegeligen Löcher vordringt. Bei einem Verfahren, bti go dem dies vermiecen ist, wird das Trennmaterial in Form eines durchgehenden Blattes angebracht und die perforierte halbe Metalldynode als die Maske verwendet, durch die die Löcher in der Trennschicht geätzi werden. Perforierte halbe Weicheisenplatten können

einem kreisf innigen Querschnitt und mit Eingangs- und Ausgangsdurchmessern, die einander und der Dicke der Dynode gleich oder nahezu gleich sind und mit Trennschichten aus einem isolierenden Material versehen sind (im
Fig. 10 zeigt

angeordneten DynodenstapeL F i g. 11 und F i g. 12 veranschaulichen Anwendungen von Kan<>iplatten der F i g. 4 bis 9 in bildformenden Röhren.

F i g. 4 zeigt als Beispiel einen kugelförmigen Kanal in einem Axialschnitt der symmetrisch um eine Querschnittsmittelebene Pm liegt Für Versuchszwecke wurden Einkanalvervielfacher einer derartigen Form hergestellt wobei die Eingangs- und Ausgangsdurchmesser d 1 bzw. d2 je nahezu gleich der Dynodendicke t waren; die Mitte der Krümmung lag (wegen der angenommenen Symmetrie) auf der Achse Xc des Kanals (hier decken sich die Achsen der individuellen Kanäle der Dynoden mit der Achse des durchgehenden Kanals der Kanalplatte. Es wurde eine große Verstärkungszunahme bei Vervielfachern mit 10 Dynoden gegenüber vergleichbaren Vervielfachern entsprechend F i g. 1A oder 1B festgestellt. Die bisher höchste Verstärkung beträgt 10⁶ für eine lOstufige Einkanalausführung und mehr als 10⁵ für 10stufige Kanalsysteme.

Die daigestellte konkave Konfiguration ist derart, daß der Innenquerschnitt des Kanals in der Querschnittsmittelebene Pm eine größere Fläche (Durchmesser c/3) aufweist als die Fläche des Kanals an der Eingangsebene (Durchmesser dl) und als die Fläche an der Ausgangsebene (Durchmesser d 2).

Es zeigt sich, daß der Krümmungsradius r und der Abstand 5 zwischen den Dynoden sehr kritisch sind und daß eine größere Schwankung von d\ und c/2 zulässig ist. Es zeigt sich insbesondere, daß die Symmetrie dl = c/2 nicht wesentlich ist; mit anderen Worten der Ursprung des Radius r braucht nicht auf der Mitte der Achse de» Kanals zu liegen.

Die konkave Form des Kanals ist nicht kritisch und kann auf viele Weisen variiert werden, wenn nur ein bestimmter Überhang O\ an der Eingangsfläche 'jnd eine allmähliche Verengung oder schräge Konvergenz im Ausgangsbereich O2 aufrechterhalten bleiben.

Der Krümmungsradius in den axialen Ebenen kann sich z. B. vom Radius des größten Querschnittes unterscheiden und es können zwei verschiedene Krümmungsradien für die Eingangshälfte und für die Ausgangshälfte auftreten.
Als eine weitere Abwandlung kann die sphärische

Form mit Hilfe einer Reihe konischer oder nahezu ₆₅ (einseitig) mit einer Glasschicht durch Lacker, oder

konischer Flächen angenähert werden. In einem durch Elektrophorese oder mit Hilfe eines Verfahrens

extremen Fall ist es sogar möglich, nur zwei bedeckt werden, bei dem ein glashaltiges Klebeband an

entgegengesetzte konische Flächen zu verwenden. der Fläche jeder halben Platte angebracht wird, an der

die Löcher die kleinste Oberfläche haben. Jede bedeckte halbe Platte wird darauf erhitzt, bis sich dort eine glasähnliche Schicht bildet Die glasige Seite wird dann mit einem Material bedeckt, das ätzbeständig ist, und danach werden durch die Plattenöffnungen hindurch Löcher in das Glas geätzt. Als Ätzmittel kann dabei z. B. Fluorwasserstoffsäure verwendet werden. Nach dem Ätzen wird das Widerstandsmaterial entfernt und Paare halber Platten genau aufeinander gelegt und erhitzt, bis das restliche Glas schmilzt oder wenigstens erweicht und die Platten miteinander verbindet. Derartige Paare halber Platten werden darauf zu einem Stapel zusammengefügt und die Verbindungen zwischen den Paaren zusammenpassender halber Dynoden können z. B. durch Golddiffusion hergestellt werden.

Wenn das Material, das für die leitenden Schichten verwendet wird (z. B. Weicheisen) für eine bestimmte Anwendung nicht genügend sekundäremissiv ist, kön-Ticri dis Sck'.ir!däre;T!iES!onseigenscb?.f'?n einiger oder aller Leiter durch das Anbringen einer aus einem emissiveren Material bestehenden Schicht auf den unbedeckten Oberflächen der Leiter in den Kanälen verbessert werden.

Die Glastrennschichten D können während eines getrennten Verfahrensschrittes, der der Zusammenstellung und der Verbindung der Plattenstapel folgt, zurückgeätzt werden. Infolgedessen sind die Offnungen in D größer als der größte Querschnitt der Löcher in der Metallplatte.

Obgleich die Fig.4 bis 8 symmetrische Beispiele darstellen, braucht, wie bereits erläutert, eine Dynode nicht notwendigerweise symmetrisch um die Querschnittsmittelebene (z. B. die Ebene Pm nach den F i g. 4 und 5) zu liegen.

Andere Strukturen, die nicht in diesem Sinne symmetrisch sind, seien anhand des Beispiels der F i g. 9 beschrieben.

Jede metallene Dynodenplatte M nach F i g. 9 ist mit nahezu konischen Kanälen versehen, deren Achsen Xa sich mit der allgemeinen Kanalplattenachse bedecken. Der Ausgangsbereich O2 liefert die wirksamen Vervielfachungsflächen, die gegen die Kanalachse schräg stehen und in Richtung auf die Ausgangsebene der Dynode zusammenlaufen. Der angenähert konische Teil jedes Kanals (Ausgangsbereich O 2) arbeitet mit einem leitenden Überhang 01 an der Eingangsfläche zusammen, der in Form einer Schicht auf der angrenzenden Trennschicht D angebracht werden kann. Diese Schicht kann gemäß der Darstellung auf der ganzen Trennschicht angebracht werden. Dies kann die Herstellung dadurch erleichtern, daß jede Trennschicht vollständig bedeckt werden kann, bevor die Dynodenplatten M und die Trennschichten D zu einem Stapel zusammengefügt werden. Dies ist jedoch für die Wirkungsweise nicht wesentlicht, da es genügt, wenn jeder Überhang Ol in elektrischem Kontakt mit der angrenzenden Platte M steht, um damit, in einer Axialebene gesehen, die gewünschte konkave Konfiguration zu bilden. Gemäß der Darstellung können die Trennschichten D an den Rändern der Öffnungen zurückgeätzt sein.

Als Abwandlung zur Anordnung nach F i g. 9 kann ein Axialschnitt mit geraden Seiten verwendet werden. Dabei kann eine rein konische Form des Loches zum Ersatz der dargestellten gekrümmten Profile erzielt werden. Das Profil im Axialschnitt bleibt konkav, weil es eine LJmfangshöhle zwischen der konischen Wand und dem Überhang O\ gibt Dies bietet jedoch keine deutlichen Vorteile und kann zu zusätzlichen Problemen bei der Herstellung führen.

Die Abmessungen der Kanäle des Beispieles nach F i g. 9 sind gleich denen nach F i g. 4, in dem Sinne, daß die Eingangs- und Ausgangsdurchmesser (d\ und d2) einander und der Dicke der Dynode nahezu gleich sind. Obgleich die Dynodenkanäle der in der Zeichnung dargestellten Beispiele rotationssymmetrisch um ihre individuellen Achsen angeordnet sind, ist es möglich ίο (wenn nur den Bedingungen des Verfahrens zum Herstellen entsprochen wird), Kanäle mit einem nicht kreisförmigen Querschnitt zu verwenden, z. B. viereckige oder hexagonale Querschnitte. Für die Anordnungen nach den Fig.4 und 5 können z. B. Kanäle mit einem !5 viereckigen Querschnitt mit vier zylindrischen Wänden verwendet werden (der dargestellte Axialschnitt bleibt ungeändert), und es können auf entsprechende Weise in der Anordnung nach F i g. 9 Kanäle mit der ungefähren Form einer Pyramide mit einem viereckigen Quer schnitt verwendet werden. Wenn Kanäle mit einem viereckigen Querschnitt auf diese Weise angewandt werden, können die Eingangsbreiten und die Ausgangsbreiten einander und der Dynodendicke ungefähr gleich sein.

Obgleich sie nach der Beschreibung mit durchgehenden Trennschichten D aus isolierendem Material versehen sind, können die Ausführungsbeispiele nach den Fig.". 8 und 9 Schichten D aus einem Widerstandsmaterial besitzen, und/oder es können diese Schichten unterbrochen sein, z. B. in Form von Systemen von Linien oder Punkten.

Das Ausrichten der Kanäle braucht nicht orthogonal zu den Plattenflächen zu erfolgen. Als Folge des geschichteten Aufbaus der Matrix können auf diese

Weise aufeinanderfolgende leitende Schichten gegeneinander verschoben werden, um durchgehende Kanäle bilden zu lassen, die von der konventionellen Konfiguration mit geraden Kanälen normal zu den Kanalplattenflächen abweichen. Damit werden verschiedene Effekte erzielt, die bereits in bezug auf die Kanalplatten mit kontinuierlichen Kanälen beschrieben wurden. Die Dynoden können z.B. aus durchgehenden gestuften Leitschichten bestehen, die derart angeordnet sind, daß sich durchgehende Kanäle bilden, die einen spitzen Winkel mit der Normalen an den Flächen der Kanalplatte einschließen. Diese Anordnung verhindert, daß senkrecht zur Eingangsfläche einfallende Elektronen die Kanäle passieren können, ohne an die Wände zu prallen, und gleichfalls, daß optische und lonenrück kopplung eines Wiedergabeschirmes zu einer Photoka thode an der Eingangsseite der Kanalplatte aufr^Tn. Fig. 10 gibt ein Beispiel eines derartigen Aufbaus, bei dem ein Dynodenstapel gestuft angeordnet ist, um die Achse Xc der durchgehenden Kanäle um einen Winkel « gegen die Normale der Flächen der Kanalplatte zu kippen. (In diesem Falle ist die gekippte Achse Xc eines durchgehenden Kanals der Kanalplatte von den Achsen Xa der individuellen Kanäle in den Dynoden zu unterscheiden, die immer noch normal in bezug auf die Flächen der Kanalplatte sind.) Auf entsprechende Weise können variabel gestufte Leitschichten zur Bildung gekrümmter durchgehender Kanäle zum Vermeiden von Ionenrückkopplung und optischer Rückkopplung angebracht werden.

Bei derartig gestuften Anordnungen der Dynoden kann die Vervielfachungswirksamkeit geringer sein, aber die erreichbaren Verstärkungen sind so hoch, daß oft einiger Verlust hingenommen werden kann, um

Rückkopplung zu vermeiden.

Bei Bildverstärkungsanwendungen ist es manchmal erwünscht, eine dünne Schicht oder Membran auf einem Ende der Kanalplatte anzubringen, vorzugsweise am Eingang jedes Kanals. Charakteristische Beispiele dafür sind

A. r^-s Anbringen einer photoemittierenden Schicht an jedem Kanaleingang gemäß der GB-PS 11 54 515,

B. das Anbringen von für Elektronen transparenten leitenden Membranen an den Kanaleingängen gemäß der GB-PS 11 75 599.

Erfindungsg'^%mäße Kanalplatten können in verschiedenen bildforr.ienden Röhren angewandt werden, von denen Bildverstärker- und Kathodenstrahlröhren typische Beispiele sind. Erfindungsgemäße Kanalplatten können insbesondere Plätten ersetzen wie sie in Farbwidergabeanordnungen entsprechend der DE-OS 22 43 716 angewandt werden.

F i g. 11 veranschaulicht die Verwendung von Kanalplatten nach Fig.4 bis 10 in einer Bildverstärkerröhre des »Proximityw-Typs. Bei diesem Beispiel befindet sich eine Kanalplatte /in der Hülle einer Bildverstärkerröhre, die gleichfalls eine Photokathode PC und einen Wiedergabeleuchtschirm S enthält. Die Eingangs- und Ausgangselektrode der Kanalplatte werden mit £1 bzw. £2 bezeichnet, und auf der Photokathode PC wird ein Gegenstand O dargestellt. Die Elektroden £1 und £2 entsprechen der ersten und der letzten Dynode des Stapels (z. B. Platten M(I) und M(n) nach Fig. 7). Die Quelle Bm ist mit Abzweigungen (nicht dargestellt) zum Versorgen der individuellen Dynoden versehen, z. B. gemäß der Darstellung nach Fig.4, während die Quellen SO und B 2 die erforderlichen Potentiale für die

_|0 Stufen PC-Ei und £2-5liefern.

Fig. 12 zeigt ein zweites Beispiel einer bildformenden Röhre, d. h. eine Kathodenstrahlröhre mit einem Elektronenstrahlerzeugungssystem G (einschließlich einer Kathode K) zum Erzeugen eines Strahles b, der durch Mittel d zum Abtasten einer Kanalplatte /, die entsprechend Fig.4 bis 10 aufgebaut ist, abgelenkt wird. Der Platte / folgt ein Leuchtschirm 5, der auf einem flachen Glasfenster oder Glasträger Wangeordnet werden kann. Der Schirm 5 kann auch auf einer

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Hülle ist, wobei die Platte /entsprechend gekrümmt sein kann.

Wenn BeCu verwendet wird, können die Dynoden aus zwei Dynodenhälften bestehen, die mit Hilfe eines Hartlotes, das aus einem eutektischen Kupfer-Silber-Gemisch besteht, miteinander verbunden sind. Eine Hälfte, vorzugsweise die Eingangshälfte, wird dabei mit einer Silberschicht überdeckt, und beide Hälften werden danach aneinandergeklemmt und erhitzt.

Hierzu 4 Blatt Zeichnungen

Claims

Patentansprüche: 117-123

1. Geschichtete Kanalplatte mit Dynoden in Form von perforierten Dynodenplatten (M) mit einem Kanalsystem mit sekundäremittierenden Wänden, dessen Kanäle axiale Schnitte aufweisen, deren von den Wänden gebildete Seiten derartig konkav gekrümmt sind, daß die Kanäle in der Ausgangsfläche einen kleineren Querschnitt aufweisen als in einer Ebene im Innern der Kanäle senkrecht zur Kanalachse, dadurch gekennzeichnet, daß die Kanäle in der Eingangsfläche durch einen Überhang (Oi) so verengt sind, daß sie in der Eingangsfläche einen kleineren Querschnitt aufweisen als in einer Ebene im Innern der Kanäle ₎₅ senkrecht zur Kanalachse (Xa).

Z Kanalplatte nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Verengung der Kanäle eine derartige regelmäßige kegelige Form hat, daß die Vervielfachungsflächen gegen die Kanalachse (Xa) _Μ eine schräge Lage aufweisen und in der Richtung auf die Ausgangsfläche der Dynode zusammenlaufen.

3. Kanalplatte nach Anspruch I, dadurch gekennzeichnet, daß die Kanäle einen kreisförmigen Querschnitt aufweisen und die konkaven Innenfiä- _a chen eine Form haben, die in allen Richtungen gekrümmt ist

4. Kanalplatte nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Eingangs- und die Ausgangsdurchmesser (d 1 bzw. d2) oder Eingangs- und Ausgangsbreite eines Kanals einander und der Dicke (t) der isynodenplatte (M) ungefähr gleich sind.

5. Kanalplatte nach einen der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Kanäle zu einer Querschnittsmittelebene (Pm)symmetrisch sind.

6. Kanalplatte nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß jede Dynodenplatte (M) aus zwei zusammenpassenden halben Platten besteht

7. Verwendung einer Kanalplatte nach einem der Ansprüche 1 bis 6 für eine Bildverstärkerröhre mit einer Photokathode (PC), einem Wiedergabeleuchtschirm (S) und der Kanalplatte (I) zwischen der Photokathode (PC) und dem Wiedergabeleuchtschirm (S)(F ig. 11).

8. Verwendung einer Kanalplatte nach einem der Ansprüche 2 bis 6, für eine Kathodenstrahlröhre mit einem Wiedergabeschirm (W) an der Ausgangsseite der Kanalplatte (I) sowie einem Elektronenstrahlerzeugungssystem (C) zum Abtasten der Eingangsflä· _χ ehe der Kanalplatte <7;( F ig. 12).