DE2400717B2 - Röntgenröhrendrehanode und Verfahren zu deren Herstellung - Google Patents
Röntgenröhrendrehanode und Verfahren zu deren HerstellungInfo
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- H01J35/08—Anodes; Anti cathodes
- H01J35/10—Rotary anodes; Arrangements for rotating anodes; Cooling rotary anodes
- H01J35/108—Substrates for and bonding of emissive target, e.g. composite structures
Description
35
Die Erfindung bezieht sich auf eine Röntgenröhrendrehanode nach dem Oberbegrilf des Anspruchs 1 und
auf Verfahren zu deren Herstellung.
Aus der DE-OS 22 12 058 ist eine Drehanode für Röntgenröhren, bestehend aus einem geschichteten und
sintergepreßten Anodenkörper aus schwerschmelzbarem Material bekannt, wobei wenigstens die von
Elektronen beaufschlagte Oberflächenschicht eine röntgenaktive Schicht aus einer Wolframlegierung ist, bei
der der Anodenkörper unterhalb der röntgenaktiven ersten Schicht zwei weitere Schichten aufweist, wobei
die zweite Schicht aus Reinwolfram oder einer hochwolframhaltigen Wolframlegierung mit wenigstens
70 Gew.% und die darunterliegende dritte Schicht aus einer Molybdänschicht besteht, wobei die röntgcnaktive
Schicht 0,05 bis I mm dick sein soll und aus einer Wolframlegierung mit 3 bis 20, vorzugsweise 5 bis
15 Gew.% wenigstens eines der Metalle Zirkon, Hafnium, Niob, Tantal, Rhenium, Osmium oder Iridium
als Legierungselement bestehen kann. Mit der dabei vorgesehenen Herstellung der Röntgendrehanode mittels
der bekannten pulvermetallurgischen Technik durch Verdichten dreier übereinandergeschichteter
Pulverschichten zu einem kanienfesten Preßkörper und dessen Sinterung in Wasserstoffatmosphäre oder im
Vakuum werden selbst, wenn eine anschließende Warm Verdichtung bei Temperaturen zwischen 1400 und
18000C erfolgt, Sinterteile erhalten, die unvermeidlich
Gas- und Metalleinschlüsse aufweisen, die der Lebensdauer und dem Vakuum in der Röntgenröhre nachteilig
sind und ein schnelles Zerstören der Anode zur Folge haben.
Aus der DE-OS 21 08192 ist eine Anode für Hochleistungs-Röntgenröhren mit einer Brennfläche
aus einer Wolfram-Rhenium-Legierung bekannt, die gekennzeichnet ist durch eine entlang des Axialschnitts
der Anode stetig veränderte Zusammensetzung derart, daß die Brennfläche die Maximalwerte für Wolfram und
Rhenium und der Schaft den Maximalwert für Molybdän aufweist, sowie durch einen Gehalt an 0,01 bis
1 Gew.% Bor. Bei einer derartigen Röntgenröhre kommt im Betrieb das Molybdän leicht an die
Oberfläche, was sich nachteilig auf die Röntgeneigenschaften durch Verminderung der Röntgenstrahlleistung
auswirkt.
In der DE-AS 10 11533 ist ein Verfahren zur
Erhöhung der Anstichfestigkeit von Röntgenröhrenanoden aus hochschmelzenden gesinterten Metallen
bekannt, bei dem die Anode während der Herstellung der Röhre oberflächlich zum Schmelzen gebracht und
damit die Anodenoberfläche infolge der beim Erstarren wirksam werdenden Kohäsionskräfte verdichtet werden
soll. Damit wird zwar eine gewisse Verdichtung einer dünnen Oberflächenschicht erreicht, die Nachteile
der Verwendung eines hochwärmebelasteten Sinterkörpers, die in der durch die Freisetzung von Gasen porigen
Struktur bestehen, bleiben jedoch erhalten.
Die DE-OS 15 21 576 betrifft schließlich ein Verfahren zum Herstei^n eines Verbundwerkstoffes für
thermisch hochbelastbare Elektroden, insbesondere Drehanoden für Röntgenröhren, das dadurch gekennzeichnet
ist, daß auf ein hochschmelzendes Metall vorzugsweise Mofybdän, als Grundmetall höherschmelzendes
Metall, vorzugsweise Wolfram, mittels Plasmastrahl aufgetragen wird. An der Grenzschicht der
unterschiedlichen Metalle kann es dabei leicht zu inneren Spannungen und damit zur Ablösung kommen.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Röntgendrehanode anzugeben, die durch einen bestimmten
mehrschichtigen Aufbau über Zehnlausendc von Belastungen ihre Betriebseigenschaften gut beibehält.
Dies wird erfindungsgemäß erreicht durch die im Anspruch 1 gekennzeichneten Merkmale.
Vorteilhafte Verfahren zur Herstellung einer solchen Rönlgenröhrendrehanode sind in den Unteransprüchen
gekennzeichnet.
Die Erfindung wird nun anhand von Ausführungsbeispielen unter Bezugnahme auf die Zeichnung, in der eine
erfindungsgemäßc Röntgenröhrendrehanode in perspektivischer Ansicht teilweise geschnitten dargestellt
ist, näher erläutert. Die Anode besteht aus einem Grundkörper 1 und einem Auftrag 2, der aus einer
Wolfram-Rhenium-Legierung gefertigt und auf die Anodenoberfläche, die einem Elektronenbeschuß ausgesetzt
ist, aufgetragen wird.
Es empfiehlt sich, den Auftrag 2 um teures Rhenium zu sparen, nur in der Breite der Brennfleckbahn, die vom
Kathodenstrahl bestrichen wird, aufzutragen. Der Grundkörper 1 wird aus schweißbarem Molybdän oder
aus schweißbaren Legierungen auf Molybdänbasis hergestellt. Unter dem Ausdruck »schweißbar« wird ein
solches Molybdän oder eine solche Molybdänlegierung verstanden, welche nach dem Schmelzen und dem
darauffolgenden Erstarren palstisch bleibt.
Als schweißbare Molybdänlegierung kann eine in der Technik gut bekannte Legierung folgender Zusammensetzung
(in Massenprozent) verwendet werden: Zirkonium 0,15-0.25, Kohlenstoff 0,01-0,06, Nickel
0,3—0,06, Rest Molybdän. Fs kann auch eine beliebige
andere, bekannte, schweiübare Molybdänlegierung verwendet werden. Das schweißbare Molybdän kann
durch intensives zonales Reinigen vun nichi .chweißburem
Ausgangsmolybdän erhallen werden.
Der Rohling für den Grundkörper I wird durch Schmelzen im Vakuum erzeugt, um das Metall
weitgehendst von Gas- und Metallbeimengungen zu reinigen. Anstelle von Vakuum kann ein Medium aus
inerten Gasen verwendet werden.
Der erschmolzene Rohling wird gewalzt und geformt wobei der Grundkörper 1 erhalten wird. Hiernach wird
auf die Oberfläche des Grundkörpers 1, welche der Einwirkung des Kathodenstrahls ausgesetzt ist, ein
Auftrag 2 aus einer Wolfram-Rhenium-Legierung aufgetragen. Dieser besteht aus zwei Schichten, wobei
eine die 0,2 bis 0,5 mm dicke äußere Schicht 3 mit praktisch konstantem Rheniumgehalt ist. Es ist unvorteilhaft,
die Dicke der äußeren Schicht 3 über den angegebenen Bereich hinaus zu vermindern oder zu
vergrößern. Das Vermindern der äußeren Schicht 2 kann zum Auftreten von Molybdän an der Anodenoberfläche
und als Folge hiervon zur Verschlechterung der Betriebscharakteristiken der Anode und zwar zum
Vermindern der Röntgenstrahlungsleistung führen. Das Vergrößern der Schichtdicke hat einen ungerechtfertigten
Aufwand an teurem Metall (Rhenium) zur Folge.
Die andere Schicht, die Zwischenschicht 4, ist eine Zwischenschicht zwischen der äußeren Schicht 3 und
dem Grundkörper 1. Diese Zwischenschicht 4 hat eine Mindestdicke von 0,5 mm. Beim Vermindern ihrer
Dicke wird die Haftung zwischen den Metallen des Grundkörpers 1 und der aufgetragenen Schichten
vermindert. Gleichzeitig steigt auch das Eigenspannungsniveau in der Verbindungszone der ungleichartigen
Metalle stark an. J5
Die Zwischenschicht 4 hat eine sich in Dickenrichtung ändernde Zusammensetzung, wobei der Rheniumgehalt
geringer wird und der Molybdängehalt steigt, je weiter die betrachtete Stelle innerhalb der Anode von der
äußeren Schicht 3 entfernt ist. Hierbei ändert sich der Rhcniumgehalt so, daß er zuerst einen Höchstwert hat,
welcher dem Rheniumgchalt in der äußeren Schicht 3 entspricht, und dann einen Mindestwert besitzt, welcher
gleich den Spuren dieses Metalls im Grundkörper 1 ist. In demselben Maße vermindert sich der Molybdängehalt
in Richtung zur äußeren Schieb' 3.
Die Gesamtdicke der beiden Schichten 3 und 4 sollte mindestens 0,7 mm betragen. Eine mehr als 1,3 mm
große Gesamtdicke ist unzweckmäßig, da dies, wie oben erwähnt, zu einem ungerechtfertigten Aufwand an
Rhenium führt.
Eine geringe Dicke verschlechtert ebenfalls analog den obigen Angaben die Anodenqualität.
Die Schichten 3 und 4 werden durch schichtweises Aufschmelzen einer Wolfram-Rhenium-Legierung auf
die entsprechende Oberfläche des Grundkörpers I erzeugt. Es werden Schichten je 0,2 mm Mindestdicke
aufgeschmolzen. Beim Aufschmelzen von Schichten, welche dünner als 0,2 mm sind, dringt Molybdän bei
einer Gesamtdicke der Schichten von maximal 1,3 mm an die wirksame Anodenoberfläche durch.
Das Aufschmelzen wird im Vakuum oder in einem inerten Gas durchgeführt. Die Gründe hierfür sind
analog denen, welche für das Erschmelzen des Anodenrohlings angeführt worden sind.
Die Schichten werden in Form von Ringnähten, deren Breite der Brennfleckbahn der Anode entspricht, im
Elektronenstrahl-, Argonarc-Auftragsschweißen- oder Plasma verfahren aufgeschmolzen. Die Anode w ird 1111
voraus auf eine Temperatur von 1000 bis 1500 C. beispielsweise durch einen defokussierten Elektronenstrahl
oder nach einem anderen bekannten Verfahren erhitzt. Hierbei wird die Oberflächenschicht der
Molybdänlegierung zum Schmelzen gebracht, damit sich die ungleichartigen Metalle besser verbinden.
Die erste 0,2 bis 0,5 mm dicke Schicht aus Wolfram-Rhenium-Legierung gewährleistet ein gutes
Verschmelzen der Metalle unter Bildung von Legierungen der Molybdän- Wolfram-Rheniumgallung mit wechselnder
Zusammensetzung. Die letzte Schicht und ggfs die vorletzte Schicht bilden die äußere Schicht 3 mit
konstanter Zusammensetzung und 03 bis 0,5 mm Gesamtdicke, die für die Betriebscharakteristiken des
Erzeugnisses ausschlaggebend ist.
Die auf diese Weise erzeugten Anoden sind durch hohe Zuverlässigkeit und einen langen Betriebseinsatz
gekennzeichnet. Versuche haben gezeigt, daß sie mehr als 20 000 Einschaltungen aushalten sowie sich durch
außerordentlich geringen Gehalt uv Gas- und Metailbeimengungen
auszeichnen. HierdurcL ist es möglich, eine Reihe von teuren und langwierigen Arbeitsgängen
zum Entgasen vor der Montage der Röntgenröhre zu vermeiden.
Nachstehend werden Beispiele von Anoden mit den Betriebscharakteristiken angeführt.
Anode Nr. 1
Die Gesamtdicke der Schicht beträgt 1 mm. Die äußere Schicht 3 mit konstantem. 27%igem Rheniumgehait
ist 0,3 mm dick. Die Dicke der Zwischenschicht 4 zwischen der äußeren Schicht 3 mit konstantem
Rheniumgehalt und dem Grundkörper 1 beträgt 0.7 mm.
Diese Zwischenschicht 4 wird dadurch gekennzeichnet, daß sich ihr Molybdängehalt bis zum vollkommenen
Verschwinden an der Oberflächenschicht vermindert und daß sich der in der Oberflächenschicht 27%
betragende Rheniumgehalt bis auf Rheniumspuren im Grundkörper I vermindert.
Die Anode wurde durch schichtweises Aufschmelzen von Wolfram-Rhenium-Legierung, welche 27% Rhenium
enthält, auf die entsprechende Oberfläche ihre Grundkörper hergestellt. Letzterer wurde durch Erschmelzen
aus einer schweißbaren Mo'ybdänlcgierung im Vakuum erzeugt, deren Zusammensetzung im
allgemeinen Teil der Beschreibung angegeben ist.
Es wurden 0,3 bis 0,4 mm dicke Schichten aufgeschweißt. Die Anode wurde 28 000 mal bei einer
Rotationsgeschwindigkeit von 900C U/min und bei ca. 1700°C Betriebstemperatur eingeschaltet. Praktisch
traten keine Änderungen der Betriebseigenschaften der
Anode auf.
Anode Nr. 2
Die Gesamtdicke der Schichten beträgt 0,9 mm. Die
äußere Schicht 3 :nit konstantem, 20.1%igem Rheniumgehalt ist 0,3 mm dick.
Die Dicke der Zwischenschicht 4 ist analog der im ersten Beispiel angegebenen und beträgt 0,6 mm. Der
Auftrag wurde in 0,3 bis 0,4 mm dicken Schichten auf den Grundkörper aufgeschmolzen. Die Herstellung und
die Zusammensetzung des letzteren entsprechen dem ersten Beispiel.
Die Anode wurd^ 22 000 mal bei einer Rotationsgeschwindigkeit
von 9000 U/min und bei 1700°C Betriebstemperatur eingeschaltet. Praktisch traten keine Verschlechterungen
der Anodenqualität auf.
Claims (3)
1. Röntgenröhrendrehanode, die aus einem
Grundkörper aus einer Legierung auf Molybdänbasis, einer Wolfram enthaltenden Zwischenschicht
und einer 0,2 bis 0,5 mm starken äußeren Schicht aus einer Wolfram-Rhenium-Legierung konstanter Zusammensetzung
besteht, bei der die Gesamtdicke von Zwischenschicht und äußerer Schicht mindestens
0,7 mm beträgt, dadurch gekennzeichnet,
daß der Grundkörper aus im Vakuum oder inerter Atmosphäre erschmolzener Legierung auf
Molybdänbasis besteht, auf dem die Zwischenschicht (4) aus Wolfram, Molybdän und Rhenium in
wechselnder Zusammensetzung angeordnet ist, iä wobei der Rheniumgehalt abnimmt und der
Molybdängehalt zunimmt* je weiter die betrachtete Stelle der Zwischenschicht (4) von der Oberfläche
der Röntgenröhrendrehanode entfernt ist.
2. Verf?hren zur Herstellung einer Röntgenröhrendrehar.ode
nach Anspruch 1. gekennzeichnet durch Erschmelzen des Rohlings für den Grundkörper
im Vakuum, Walzen des Grundkörpers und Formung des Grundkörpers zur Anode und schichtweises Aufschmelzen einer Wolfram-Rheniumlegierung
im Vakuum auf die dem Elektronenbeschuß ausgesetzte Oberfläcne der Elektrode zur
Bildung der Zwischenschicht (4) und der äußeren Schicht (3).
3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß das schichtenweise Aufschmelzen in
mindestens u,2 mm dicken Schichten vorgenommen wird.
Priority Applications (1)
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---|---|---|---|
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Applications Claiming Priority (1)
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Publications (3)
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ID=5904329
Family Applications (1)
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---|---|---|---|
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Country Status (1)
Country | Link |
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Families Citing this family (5)
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EP0359865A1 (de) * | 1988-09-23 | 1990-03-28 | Siemens Aktiengesellschaft | Anodenteller für eine Drehanoden-Röntgenröhre |
AT1984U1 (de) * | 1997-04-22 | 1998-02-25 | Plansee Ag | Verfahren zur herstellung einer anode für röntgenröhren |
-
1974
- 1974-01-08 DE DE19742400717 patent/DE2400717C3/de not_active Expired
Also Published As
Publication number | Publication date |
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