DE2400717A1 - Rotierende anode fuer hochleistungsroentgenroehren und verfahren zu ihrer herstellung - Google Patents

Rotierende anode fuer hochleistungsroentgenroehren und verfahren zu ihrer herstellung

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Tatjana A Birjukowa
Nikolaj N Ewgrafow
Nikolaj I Freze
Samuil M Gurewitsch
Geb Lebedinskaja Isajtschenko
Georgij W Kurganow
Michail W Malzew
Michail M Nerodenko
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Sergej G Semenow
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Marija I Teumin
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    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J35/00X-ray tubes
    • H01J35/02Details
    • H01J35/04Electrodes ; Mutual position thereof; Constructional adaptations therefor
    • H01J35/08Anodes; Anti cathodes
    • H01J35/10Rotary anodes; Arrangements for rotating anodes; Cooling rotary anodes
    • H01J35/108Substrates for and bonding of emissive target, e.g. composite structures

Description

  • ROTLERENDE ANODE FÜR HOCHLEISTUNGSRÖNTGENRÖHREN UND VERFAHREN ZU LHRER HERSTELLUNG Die Erfindung bezieht sich auf die Röntgentechnik und genauer auf rotierende Anoden für diagnostische Hochleistungsröntgenröhren und auf Verfahren zu deren Herstellung.
  • Das Erhöhen der Intensität der i:lektronenbeschießung der wirksamen Anodenoberfläche, das mit der Vergrößerung der Röntgenröhrenleistung verbunden ist, führte zum Anwachsen der Rotationsgeschwindigkeit der Anode bis auf 9000 U/min-und machte das Verwenden von @ateriall@@ erforderlich, die eine größere Wärmekapazität und Wärmcbeständigkeit bei thermischen Zyklen mit großer Amplitude sowie eine geringere Wichte im Vergleich zu Wolfram, welches früher für Röntgenröhren mit geringer Leistung verwendet wurde, besitzen.
  • In diesem Zusammenhang wurden kombinierte Bimetallanoden vorgesch.
  • lagen die eine weitgehende Verwendung fanden, wobei als Material für den Grundkörper dieser Anoden Molybdän oder Legierungen auf Molybdänbasis verwendet werden, während das Material der oberen Wirkschicht, welche der Elektronenbeschießung ausgesetzt ist, aus Wolfram oder aus Rhenium enthaltenden Wolframle,ierungen besteht. Hierbei sind Anoden weitbekannt, bei denen die Wirkschicht aus einer Wolfram-Rhenium-Legierung besteht, welche eine konstante Zusammensetzung in der ganzen Wirkschichtdicke hat. Es sind auch Anoden bekannt, bei denen sich der Wolfram- und Rheniumgehalt um so mehr vermindert, Je weiter die betrachtete Stelle von der Anodenoberfläche entfernt ist, während der Molybi@@genalt umgekehrt zunimmt, bis er seinen Höchstwert im Material des Anodengrundkörpers erreicht (s. beispielsweise Anode gemäß dem DDR--Patent Nr. 82171, k1.21g, 17/02). Die obenerwähnten Bimetallanoden werden nach pulvermetallurgischen Verfahren erzeugt.
  • Der Eauptnacheeil der bekannten Bimetallanoden besteht in deren kurzer Lebensdauer, In der Regel halten solche Anoden nicht mehr als 15000 Sinschaltungen aus. In der Praxis erfolgen während des Betriebseinsatzes der Anode nach dem Erreichen der erwähnten Einschaltungszahl Abblättern der Anode, Zerstören der Oberflächenschicht, Verformen der Anode und auch Vermindern des Betriebsvakuums.
  • Das Abblättern der Anode ist auf eine ungenügend feste Haftung zwischen den Metallen der Wirkschicht und des Grundkörpers zurückzuführen, f Die schlechte Hatung ihrerseits sowie auch die schnelle Zerstörung der Wirkschicht, die Verformung der Anode u.a.
  • sind eine Folge des pulvermetallurgischen Verfahrens, welches bei der Anodeherstellung verwendet wurde. Dieses Verfahren ist deshalb nachteilig, weil dabei das Vorhandensein von Gas-und Metalleinschitissen im Grundkörper der Anode und in der Anodenwirkschicht unvermeidlich ist.
  • Unter metallischen Beimengungen werden hier Metalle mit verhältnismäßig niedrigerer Schmelztemperatur verstanden.
  • Während des Betriebseinsatzes der Anode werden unter dem Einfluß hoher Temperaturen die obenerwähnten Beimengungen stürmisch verdampft, was natürlich, wie oben dargelegt wurde, schnelles Zerstören der Anode zur Folge hat.
  • Es war das Ziel der Erfindung, die Nachteile bekannter rotierender Anode die in Hochleistungsröntgenröhren verrendet werden, zu beseitigen.
  • Der BrSindung lag die Aufgabe zugrunde, eine neue Bimetallanode für Hochistungsröntgenröhren zu schaffen und auch ein solches Verfahren zur Anodenherstellung zu entwickeln, daß Anoden erhalten werden, deren Betriebseigerschaften sich auf dem erforderlichen Niveau befinden.
  • Die gestellte Aufgabe wurde dadurch gelöst, daß die rotierende Anode für Hochleistungsröntgenröhren, welche aus Molybdän oder Legierungen auf Molybdänbasis hergestellt ist und bei welcher die der Elektronenbeschießung ausgesetzte Oberfläche mit einer Wolfram-Rhenium-Legierung bedeckt ist, deren Zusammensetzung sich derartig ändert, daß sich der Rheniumgehalt vermindert und der Molybdängehalt steigt, je weiter die betrachtete Stelle innerhalb der Anode von deren Oberfläche entfernt ist, erfindungsgemäß aus geschmolzenen Molybdän oder einer Legierung auf Molybdänbasis hergestellt -ist, während die aus einer Wolfram-Rhenium-Legierung bestehende Schicht durch Aufschmelzen erzeugt wird.
  • Dabei befindet sich auf der Oberfläche des Überzugs der aus Wolfram-Rhenium-Legierung eine Schicht, die eine konstante Rheniummenge enthält.
  • der Die Dicke der Schicht aus Wolfram-Rhenium-Legierung, in der die Fheniummenge konstant ist, kann 0,2 bis 0,5 mm betragen, wobei die Gesamtdicke des Uberzugs mindestens 0,7 mm beträgt~ Entsprechend den obigen Darlegungen besteht das Verfahren darin; daß der Anodenrohling durch Schmelzen im Vakuum oder in einer inerten Atmosphäre erhalten wird, während der Uberzug aus Wolfram-Rhenium-Legierung durch schichtweises Aufschmelzen im Vakuum oder in einem Medium aus inerten Gasen erzeugt wird.
  • Dabei wird die Wolfram-Rhenium-Legierung in einzelnen, mindestens 0,2 mm dicken Schichten aufgeschmolzen.
  • Nachstehend wird eine z @@ Ausführungsform der Brfindung ausführlich beschrieben, die durch eine Zeichnung veranschau licht wird, auf der eine erfindungsgemäß ausgeführte Anode abgebildet ist (räumliche Darstellung mit Teilausschnitt).
  • Die Anode besteht aus einem Grundkörper 1 und aus einem Überzug 2, welcher aus einer Wolfram-Rhenium-Legierung gefertigt und auf die Anodenoberfläche, die der Elektronenbeschießung ausgesetzt ist, aufgetragen wird.
  • Es empfiehlt sich, den Überzug 2, um teueres Rhenium zu sparen, nur in der Breite der Brennfleckbahn, die vom Kathodenstrahl bestrichen wird, aufzutragen.
  • Der Anodengrundkörper 1 wird aus schweißbarem Molybdän oder aus schweißbaren Legierungen auf Molybdänbasis hergestellt. Unter dem Ausdruck "schweißbar" wird ein solches Molybdän oder eine solche Molybdänlegierung verstanden, welche nach dem Schmelzen und dem darauffolgenden Erstarren ,-;i plastisch blbt.
  • Als schweißbare Molybdänlegierung kann eine in der Tachnik weitbekannte Legierung folgender Zusammensetzung (in Massenprozent) verwendet werden: Zirkonium - O.15. 0.25, Kohlenstoff - 0.01...0,06, Nickel - 0,03...0,06, Rest Molybdän. Es kann auch eine beliebige andere, bekannte, schweißbare Molybdänlegierung verwendet werden.
  • Das schweißbare Molybdän kann durch intensives zonales Reinigen von nichtschweißbarem Ausgangsmolybdäns erhalten werden.
  • Der Rohling für den Anodengrundkörper 1 wird durch Schmelzen im Vakuun erzeugt, um das Metall weitgehendst von Gas- und Metallbeimengungen zu reinigen. Anstelle des Vakuums kann ein Medium aus inerten Gasen verwendet werden.
  • Der erschmolzene Rohling wird gewalzt und geformt wobei der Anodengrundkörper 1 erhalten wird. Hiernach wird auf die Oberfläche des Grundkörpers 1, welche der Einwirkung des Kathodenstrahls ausgesetzt ist, ein wirksamer Überzug aus einer Wolfream-Rhenium-Legierung aufgetragen.
  • In der Praxis besteht der wirksame Überzug aus zwei Schichten, vobeieine 0,2 bis 0,5 mm dicke Außenschicht 3 durch - praktisch konstanten Rheniumgehalt gekennzeichnet wird. Es ist unvorteil haft, die Dicke geUrßsenchicht 3 Uber den angegebenen Bereich hinaus zu vermindern oder zu vergrößern. Das Vermindern der Schicht 3 kann zum Auftreten von Molybdän an der Anodenoberfläche und als Folge hiervon zur Verschlechterung der Betriebscharakteristiken der Anode und zwar zum Vermindern der Röntgenstrahlungsleistung führen.
  • Das Vergrößern der Schichtdicke hat einen ungerechtfertigten Aufwand an teuerem Metall (Rhenium) zur Folge.
  • die Zwischen Die - zweite Schicht, nämlich schicht 4, ist eine Zwischen-Außen schicht zwischen der Außen Schicht 3 und dem Anodengrundkörper 1.
  • Diese Zwischen schicht hat eine Mindestdicke von 0,5 mm. Beim Vermindern ihrer Dicke wird die Haftung zwischen den Metallen des Grundkörpers n und des wirksamen Überzugs 2 vermindert. Gleichzeitig steigt auch das Eigenspannungsniveau in der Verbindungszone der ungleichartigen Metalle schroff an.
  • Die Zwischenschicht 4 hat eine sich in Dickenrichtung ändernde Zusammensetzung, wobei der Rheniumgehalt geringer wird und der Molybdängehalt steigt, je weiter die betrachtete Stelle innerhalb der Anode von der Außen~Schicht 3 entfernt ist. Hierbei ändert sich der Rheniumgehalt so, daß er -zuerst einen Höchstwert hat, welcher dem Rheniumgehalt in der Außen Schicht 3 entspricht, und dann einen Mindestwert besitzt, welcher gleich den Spuren dieses Metalls im Grundkörper 1 ist. In demselben Maße vermindert sich der Molybdängehalt in Richtung der t Außen Schicht 3.
  • Die Gesamtdicke des wirksamen Überzugs 2 besteht aus der Summe der Dicken der beiden Schichten 3 und 4. Es empfiehlt sich, die Gesamtdicke des Überzugs 2 mindestens gleich 0,7 mm zu nehmen. Eine mehr als 1,3 mm große Gesamtdicke des wirksamen Überzugs 2 ist unzweckmäßig, da dies, wie oben erwähnt, zu einem ungerechtfertigten Aufwand an Rhenium führt.
  • Eine geringere Dicke verschlechtert ebenfalls analog den obigen Angaben die Anodenqualität.
  • Der Überzug 2 wird durch schichtweises Aufschmelzen einer Wolfram-Rhenium-Legierung auf die entsprechende Oberfläche des Anodengrundkörpers 1 erzeugt. Es werden Schichten, Jede mit 0,2 mm Mindestdicka auSgeschmolzen, Beim Aufschmelzen von Schichten, welche dünner als 0,2 mm sind, dringt das Molybdän bei einer Gesamtdicke des Überzugs 2 von höchstens 1,3 mm an die wirksame Anodenoberfläche durch.
  • Das Aufschmelzen wird auch im Vakuum oder in einem Medium aus inerten Gasen durchgeführt. Die Gründe hierfür sind analog denen1 welche für das Erschmelzen des Anodenrohlings angeführt worden sind.
  • Die Schichten werden in Form von Ringnähten, deren Breite der Brennfleckbahn der Anode entspricht, im Elektronenstrahl-, Argonar Autragsschweiß- oder Plasmaverfahren aufgeschmolzen.
  • Die Anode wird im voraus auf eine Temperatur von 1000 bis 1500°C, beispielsweise durch einen defokussierten Elektronenstrahl oder nach einem andern belKanaten Verfahren erhitzt.
  • Hierbei wird die Oberflächenschicht der Molybdänlegierung zum Schmelzen gebracht, damit sich die ungleichartigen Metalle besser verbinde@ Die erste, 0,2 bis 0,5 mm dicke Schicht der Wolfram--Rhenium-Legierung gewährleistet ein gutes Verschmelzen der Metalle unter Bildung von Legierungen der Molybdän-Wolfram-Rheniungattung mit wechselnder Zusammensetzung. Die zweite Schicht und eventuell die nachfolgenden Schichten mit 0,3 in Form der Außenschicht bis 0,5 mm Gesamtdicke bilden die AnodenwirkschichS 3 mit konstanter Zusammensetzung, die für die Betriebscharakteristiken des Erzeugnisses ausschlaggebend ist.
  • Die auf diese Weise erzeugten Anoden sind durch hohe Zuverlässigkeit und einen langen Betriebseinsatz gekennzeichnet. Versuche haben gezeigt, daß sie mehr als 20000 Einschaltungen aushalten sowie sich durch außerordentlich geringen Gehalt an Gas- und Metallbeimengungen auszeichnen. Hierdurch ist es möglich, eine Reihe von teuren und langwierigen Arbeitsgängen zum Entgasen des Erzeugnisses vcr der Montage der Röntgenröhre zu vermeiden.
  • Der wirksame Überzug kann mittels Wolfram-Rhenium-Legierungen beliebiger bekannter Zusammensetzungen, welche friiher zum Erzeugen des wirksamen Anodenüberzugs verwendet worden sind, aufgeschmolen werden.
  • Nachstehend werden Beispiele von Anoden und Betriebscharackteristi ken derselben angeführt.
  • Anode Nr. 1 Dia Gesamtdicke des Überzugs aus Wolfram-Rhenium-LegierurE beträgt 1 mm, Die Außenschicht mit konstantem, 27%igem Rheniumgehalt ist 0,3 mm dick. Die Dicke der Zwischenschicht zwischen der Wo lfram-Rhenium-Legierung mit konstantem Rheniumgehalt und dem Anodengrundkörper beträgt 0,7 mm.
  • Diese Schicht wird dadurch gekennzeichnet, daß sich ihr Molybdängehalt bis zum vollkommenen Verschwinden an der Oberflächenschicht vermindert und daß sich der in der Oberflächenschicht 27% betragende Rheniumgehalt bis auf Rheniumspuren im Anodengrundkörper vermindert.
  • Die Anode wurde durch schichtweises Auschmelzen der Wolfram-Rhenium-Legierung, , welche 27% Rhenium enthält, auf die entsprechende Oberfläche ihres Grundkörpers hergestellt.
  • Letzerer wurde durch Erschmelzen(im Vakuum) aus einer Schweißbaren Molybdänlegierung'/'erzeugt, deren Zusammensetzung im allgemeinen Teil der BeEchreibung angegeben ist.
  • Es wurden 0,3 bis 0,4 mm dicke Schichten aufgeschweißt.
  • Die Anode wurde 28000mal bei einer Rotationsgeschwindigkeit von 9000 U/min und bei ca. 1700 0C Betriebstemperatur eingeschaltet. Praktisch traten keine Änderungen der Betriebseigenschaften der Anode auf.
  • Anode Nr. 2 der Die Gesamtdicke de@ @berzugs aus Wolfram-Rhenium-Legierung beträgt 0,9 mm.
  • Die Außenschicht mit konstantem, 20,1%igem Rheniumgehalt ist 0,3 mm dick.
  • Die Dicke der Zwischenschicht ist analog der im ersten Beispiel angegebenen und beträgt 0,6 mm.
  • Der Überzug wurde in 0,3 bis 0,4 mm dicken Schichten auf den Grundkörper aufgeschmolzen. Die Herstellung und die Zusammensetzung des letzteren entsprechen dem ersten Beispiel.
  • Die Anode wurde 22000mal bei einer Rotationsgeschwindigkeit von 9000 U/min und bei 1700°C Betriebstemperatur eingeschaltet.
  • Praktisch traten keine Verschlechterungen der Anodenqualität auf.

Claims (5)

PATEN TA N SPRÜCHE
1. Rotierende Anoder für Hochleistungsröntgenröhren, die aus Molybdän oder Legierungen auf Molybdänbasis hergestellt ist und bei der die der Ele@@ronenbeschießung ausgesetzte Oberfläche mit einer Wolfram-Rhenium-Legierung bedeckt ist, deren Zusammensetzung sich derartig ändert, daß sich der Rheniumgehalt vermindert und der Molybdängehalt zunimmt, je weiter die betrachtete Stelle innerhalb der Anode von der@l Oberfläche entfernt ist, d a d u r c h g e k e n n z e i c Ii n e t , daß sie aus geschmolzenem Molybdän oder einer Legierung auf Molybdänbasis hergestellt, und mit eifi Uberzug (2) aus Wolfram-Rhenium-Legierung durch Aufschmelzen versehen ist
2. Anode nach Anspruch 1, d a d u r c h g e k e n n -z e i c h n e t , daß der Überzug (2) aus Wolfram-Rhenium--Legierung an der Oberfläche eine konstante Rheniummenge @thält.
3. Anode nach Anspruch 2, d g d u r c h g e k e n n -. e i c h n e t , daß die Dicke einer Schicht (3) im Überzug aus Wolram-Rhenium-Legierung, in der dl e Rheniummenge konstant ist, 0,2 bis 0,5 mm beträgt,und daß die Gesamtdicke des Überzugs (2) mindestens gleich 0,7 mm ist.
4. Verfahren zum Herstellen der Anode nach Anspruch 1, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß der Anodenrohling durch Schmelzen im Vakuum oder in einem Medium aus inerten Gasen erhalten wird, während der Überzug aus Wolfram--Rhenium-Legierung durch schichtweises Aufschmelzen im Vakuum oder im Medium aus inerten Gasen erzeugt wird.
5. Verfahren nach Anspruch 2, d a d u r c h g e k e n n -z e i c h n e t , daß deT Überzug aus Wolfram-Rhenium-Legierung in mindestens 0,2 mm dicken Schichten aufgeschmolzen wird.
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