DE2349944A1 - Vorrichtung zur messung der verschiebung zwischen ersten und zweiten relativ zueinander beweglichen koerpern - Google Patents

Vorrichtung zur messung der verschiebung zwischen ersten und zweiten relativ zueinander beweglichen koerpern

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DE2349944A1 DE19732349944 DE2349944A DE2349944A1 DE 2349944 A1 DE2349944 A1 DE 2349944A1 DE 19732349944 DE19732349944 DE 19732349944 DE 2349944 A DE2349944 A DE 2349944A DE 2349944 A1 DE2349944 A1 DE 2349944A1
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Description

Vorrichtung zur Messung der Verschiebung zwischen ersten und zweiten relativ zueinander beweglichen Körpern„
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Messung der Verschiebung zwischen ersten und zweiten relativ zueinander beweglichen Körpern und bezieht sich damit auf eine inkrementale, photoelektrische Messeinrichtung, bei der das Moire-Streifenmessprinzip Anwendung findet. Dieses Prinzip wird beispielsweise in optischen Vergleichseinrichtungen, Höhenmessern und Messgeräten benutzte Außerdem findet es bei Werkzeugmaschinen Anwendung.
Das Hauptslement eines Moire-Streifen-Meßsystems ist eine genau eingeteilte oder linierte Skala oder Maßstab der gewünschten Bewegungslänge. Dieser Maßstab besteht gewöhnlich
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Patentanwälte Dipl.-Ing. Martin Licht, Dipl.-Wirfsch.-ing. Axel Hansmann, Dipl.-Phys. Sebastian Herrmann
aus Glas oder Stahl und weist eine genau bekannte Anzahl Linien pro Längeneinheit auf, beispielsweise 5oo gleiche Linien und Abstände pro Zoll» Wenn ein zweiter Maßstab mit derselben Linieneinteilung diesem Maßstab unter einem kleinen Winkel überlagert Wird, so daß sich die beiden Linienstrukturen kreuzen, so wird ein Muster aus dunklen und hellen Streifen erzeugt, da die Linien auf dem zweiten Maßstab auf die Linien oder Abstände des ersten Maßstabs fallen. Dieses dadurch entstehende, integrierte Bild, ist als Moire-Streifenmuster bekannt» Der Abstand der Moire-Streifen laßt sich durch Drehen des einen Maßstabs bzw. der einen Skala in bezug auf den anderen Maßstab um eine Achse einstellen, die lotrecht zu beiden Maßstäben verläuft.
Wenn der zweite Maßstab, gewöhnlich auch Index-Einteilung genannt, auf den Maßstab übertragen wird, der normal zu der Richtung der auf dem Maßstab befindlichen Linien verläuft, dann bewegt sich das Streifenmuster rechtwinKLig zu der Bewegungsrichtung. Wenn nun ein Lichtstrahl sowohl durch den Maßstab als auch durch die Index-Einteilung oder den Index-Raster hindurchfällt, kann die Bewegung des Streifenmusters durch Benutzung von photoelektrischen Sensoren in elektrische Signale umgesetzt werden. Die Ausgänge dieser photoelektrischen Sensoren lassen sich beispielsweise summieren, umbilden und verstärken und dann einem elektronischen Digitalanzeigezähler zuführen« Die von den photoelektrischen Sensoren erhaltenen Signale können außerdem zur Anzeige der Bewegungsrichtung benutzt werden.
Es ist allgemein bekannt, daß Systeme, die mit dem Moire-Streifen-Messprinzip arbeiten, keinen durch Abnutzung hervorgerufenen Fehlern oder einem Bewegungsspiel in dem Ausmaße unterliegen, wie es bei der übertragung von Bewegungen, beispielsweise über eine Zahnstange und ein Ritzelrad, für eine direkte Messung auftritt. Somit lassen sich
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diese Systeme immer dort bei Werkzeugmaschinen verwenden, wo eine geradlinige oder Winkelverschiebung genauestens bestimmt oder festgelegt werden muß· Eine solche Verwendung macht präzis arbeitende Führungsspingeln, Zahnstangen und Ritzelräder oder andere ähnliche Vorrichtungen überflüssig.
Die auf dem Moirfe-Streifen-Prinzip beruhende Messvorrichtung weist drei Grundbestandteile auf, nämlich 1) einen genau gestrichelten bzw. unterteilten Maßstab, 2) einen Lese- oder Übertragungskopf, der in bezug auf den Maßstab beweglich ist, und 3) eine elektronische Anzeigeeinheit zur Übersetzung der elektronischen Signale, die von dem Übertragungskopf empfangen werden, in eine lesbare, numerische Darstellung. Bei vielen Systemen weist der Übertragungskopf ein Indexraster, eine Lichtquelle und einen photoelektrischen Sensor auf.
Damit der Übertragungskopf, der auch mit Wandlerkopf bezeichnet werden könnte, von dem Maßstab ein optisches Bild abgreift, müssen der Abstand und die Ausrichtung zwischen dem Maßstab und dem Indexraster absolut konstant bleiben. In der Vergangenheit hat dies eine langwierige und schwierige Lagerung oder Anbringung erfordert, bei der der Maßstab mit Linien versehen werden mußte, die zur Bewegungsrichtung, beispielsweise eines Maschinentisqhes parallel laufen, woraufhin der Übertragungskopf separat angebracht werden mußte, und zwar in einem bestimmten Abstand von dem Maßstab und in bezug auf den Drehwinkel ausgerichtet auf diesen Maßstab. Kennzeichnend war, daß die Parallelität zwischen den Längsachsen des Übertragungskopfes und dem Maßstab über die ganze Bewegungslänge innerhalb weniger tausendstel Millimeter aufrechterhalten werden mußte. Wenn das System zu Wartungszwecken auseinandergebaut werden
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mußte, war diese langwierige Ausrichtprozedur beim Wiedereinbau von neuem vorzunehmen.
Alternativ zu der oben beschriebenen getrennten parallelen Lagerung bzw. Anbringung des Maßstabs und des Übertragungskopfes lassen sich der Maßstab und der Übsrtragungskopf auf demselben Balken montieren. Bei diesem Systemtyp ist der Maßstab an dem Balken fixiert, und der Übertragungskopf, der den Rastermaßstab enthält, ist auf einer Gleitvorrichtung gelagert. Diese Gleitvorrichtung kann die Form eines maschinell bearbeiteten Oberflächenpaares auf dem Balken aufweisen. Um jedoch sicherzustellen, daß der Abstand zwischen dem Maßstab und dem Balken über die ganze Bewegungslänge konstant bleibt, muß die Gleitvorrichtung sorgfaltig bearbeitet werden, und der Maßstab muß sorgfältig parallel zu ihr angebracht werden.
Bisher sind zwei Verfahrensweisen zur Befestigung des Balkens benutzt worden, der den Maßstab auf der Maschine oder dem Gerät trägt, bei dem der Maßstab benutzt werden sollte. Die eine Verfahrensweise bestand darin, den Balken nur an jedem Ende zu lagern. Bei Balkenlängen von etwa 1 m oder größer konnten jedoch leicht Vlbrationen entstehen, die das korrekte Arbeiten des Systems in Frage stellten. Deshalb waren für größere Längen umständliche Stützarme erforderlich, um die Vibrationen auf ein Mindestmaß zu beschränken und auch eine zu starke Durchbiegung zu verhindern. Die andere Verfahrensweiseder Lagerung des den Maßstab tragenden Balkens bestand darin, in bestimmten Abständen über die Länge des Balkens Befestigungslöcher anzubringen.
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Diese Befestigungslöcher haben jedoch die Höhe des Balkens vergrößert, wodurch bei gewissen Maschinen die Befestigung bzw. Lagerung zu großen Schwierigkeiten führte.
Aufgabe der Erfindung ist es daher, die obigen Ausrichtprobleme zu beseitigen. Dies geschieht erfindungsgemäß dadurch, daß der Übertragungskopf direkt auf dem Maßstab gleitet. Dadurch wird ein konstanter Abstand und die gewünschte Ausrichtung zwischen den beiden Rastern sichergestellt. Desweiteren werden die oben angeführten Lagerungs- bzw. Befestigungsprobleme dadurch überwunden, daß der Balken mit einer sich in Längsrichtung erstreckenden, matrizenförmigen Schwalbenschwanznut ausgestattet ist, in die ein patrizenförmiger Schwalbenschwanzkörper eingreift, der an der Lageroberfläche befestigt ist.
Damit wird also die der Erfindung zugrundeliegende Aufgabe galöst, die zwischen der Skala bzw. dem Maßstab und der Indexeinteilung oder Maßsinteilung notwendige Parallelität ohne das oben beschriebene, bisher verwendete, langwierige Ausrichtverfahren herzustellen und die Gesamtgröße der Messvorrichtung zu verringern.
Eine Moire-Streifen-Messvorrichtung zur Bestimmung der Verschiebung zwischen zwei relativ zueinander beweglichen Körpern weist also eine genau eingeteilte Skala auf, die an einem der beiden beweglichen Körper fest angebracht ist, ferner einen Übertragungskopf, der einen Schlitten oder Wagen und einen Indexraster mit der derselben Linieneinteilung wie die Skala bzw. der Maßstab besitzt, desweiteren ein Öbertragungskopftraggehäuse, das an dem anderen der beiden beweglichen Körper befestigt
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ist und schließlich einen auskragenden Federkörper, der an seinem einen Ende mit dem Übertragungskopftraggehäuse fest verbunden ist und auf seinem anderen Ende eine Kugel trägt, die in einer Fassung sitzt, welche in dem Shlitten ausgebildet ist, um dadurch eine Kugelgelenkverbindung zu schaffen. Der Maßstab ist an seinem Lagerungsbalken in bezug auf die Vertikale und einem bestimmten Winkel befestigt, und der Schlitten ist mit einem Paar relativ zueinander geneigter Maßstabberührungsflächen versehen. Diese Anordnung macht es der von dem auskragenden Federkörper nach oben ausgeübten Kraft möglich, die Maßstabberührungsflächen des Schlittens mit dem Maßstab an jeder Stelle des Maßstabs in direkter Berührung zu halten. Da das Indexraster in bezug auf die eine der beiden Maßstabberührungsflächen des Schlittens fest parallel angeordnet ist, ist der konstante Abstand zwischen dem Maßstab und dem Indexraster sichergestellt, der zur Erzeugung der Moire-Streifen erforderlich ist, ahne daß dadurch eine langwierige und zeitaufwendige Ausrichtprozedur, wie sie den bekannten Vorrichtung dieser Art eigen ist, notwendig wird. Die obige erfindungsgemäße Anordnung verringert in Verbindung mit den Schwalbenschwanzlagerelementen die gesamte Größe der Messvorrichtung,
Die Erfindung wird nachfolgend anhand des in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispiels näher erläutert. In der Zeichnung zeigen:
Figur 1 eine perspektivische Ansicht der Messvorrichtung,
Figur 2 eine Schnittansicht der Messvorrichtung, längs der Linie 2-2 in Figur 1,
Figur 3 eine. Schnittansicht der Vorrichtung längs der Linie 3-3 in Figur 1,
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Figur 4 eine Schnittansicht lings dar linie 3-3 in Figur 3, wobei der Balken und die Dichtung zur Verdeutlichung entfernt sind,
Figur 5 eine Oetailansicht der zwischen dem übertragungskopf und dem Übertragungskopftraggehäuse vorhandenen Verbindung, und
Figur 6 eine Schnittansicht des übertragungskopftraggehäuses, längs der Linie 6-6 in Figur 4.
Eines der Grundelemente der Vorrichtung 11 ist ein genau eingeteilter Maßstab 13. In der bevorzugten Ausführungsform der Messvorrichtung besteht dieser Maßstab 13 aus silberplattiertem Glas mit Kanten, die beispielsweise innerhalb eines Toleranzbereiches von + o,o7ß2 mm über die ganze Länge gerade verlaufen. Die Bodenfläche 15 ist mit einem Linienraster von beispielsweise 5oo gleichen Linien und Abständen pro Zoll versehen. Diese Linien laufen lotrecht zur Hauptachse des Maßstabes» Die Bodenkante 17 ist über die ganze Länge geschliffen und poliert. Die Kante 17 erstreckt sich vorzugsweise lotrecht zur Fläche 15.
Der Maßstab 13 befindet sich in einem Balken 21, der einen umgekehrt U-förmigen Querschnitt aufweist* Das Innere des Balkens 21 ist mit einem sich in Längsrichtung erstreckenden Schlitz 23 versehen, der zwischen 35 ° und 55° in bezug auf die Vertikale geneigt ist. Der Maßstab 13 wird entweder durch mehrere Befestigungsschrauben 25, 26 oder mit Hilfe eines Klebstoffes in dem Schlitz 23 festgehalten.
Der Balken 21 ist außerdem mit einer sich in Längsrichtung erstreckenden Schwalbenschwanznut 27 ausgestattet, die parallel zu dem Schlitz 23 verläuft. Die Schwalbenschwanznut
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27 kann entweder auf der Seite, wie in den Figuren 2 und 3 gezeigt, oder oben auf dem Balken 21 liegen.
Eine in ihrem Querschnitt an die Schwalbenschwanznut angepaßte Schwalbenschwanzrippe 29 hält den Balken 21 an der Maschinenlagerfläche 31 fest. Die Schwalbenschwanzrippe 29 wird zunächst an der Lagerfläche 31 durch Befestigungsschrauben 33 und 35 befestigt. Die Schwalbenschwanznut 27 wird dann über die Rippe 29 geschoben und mit mehreren Kopfschrauben, wie sie beispielsweise bei 37 und 39 gezeigt sind, auf die Lagerfläche 31 aufgeschraubt. DieseKopfschrauben ziehen den Balken fest an die Lagerfläche 31 heran. Wenn der Balken 21 später dann zwecks Wartung abgebaut werden muß, bleibt die Schwalbenschwanzrippe 29 auf der Lagerfläche, so daß eine rasche Montage des Balkens 21 ermöglicht wird.
Der Übertragungskopf 41 besteht aus einem Hauptschlittenkörper 43 und einem Schlittenkopf 45. Diese beiden Elemente sind aus einem Plastikmaterial geringer Reibung gefertigt und durch nicht dargestellte Befestigungselemente fest miteinander verbunden, so daß die Maßstabberührungsflachen 47 und 49 in bezug aufeinander unter demselben Winkel geneigt sind wie die Fläche 15 in bezug auf die Kante 17. Da die Fläche 15 in der bevorzugten Ausführungsform lotrecht zur Kante 17 verläuft, sind auch die Maßstabberührungsflachen 47 und 49 lotrecht zueinander.
Der Hauptschlittenkörper 43 ist mit einer rechteckigen Öffnung 51 versehen, die mit einem Paar gegenüberliegender Stützflächen 53 und 55 ausgestattet ist. In der öffnung 51 sitzt der Indexraster 57, der dabei an den Stützflächen 53 und 55 anliegt. Der Indexraster 57 besteht ebenfalls aus silberplattiertem oder verspiegelten Glas und hat auf
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der Oberfläche 59 dieselbe Linien- oder Stricheinteilung wie der Maßstab 13. Da die· Flachen 53 und 55 parallel zu der Maßstabberührungsflache 49 verlaufen,liegt auch die Indexrasterfläche 59 parallel zur Fläche 49. Wie aus Fig. hervorgeht, ist die Fläche" 59 von der Fläche 49 mit Abstand getrennt.
Der Hauptschlittenkörper 43 ist außerdem mit einem Zapfen 61 und einer Tafel 65 aus Isoliermaterial versehen, die vier photoelektrische Sensoren 67 trägt. Wie aus Figur 5 hervorgeht, weist der Zapfen 61 eine geschlitzte Aussparung 63 auf.
Der Schlittenkopf 45 trägt einen Lampenhalter 69, der seinerseits eine Lampe 71 trägt, wie aus den Figuren 3 und 4 entnehmbar ist.
Das Übertragungskopftraggehäuse 75 hat einen Bodenteil 77 und einen nach oben ragenden, vorspringenden Teil 79. Das Gehäuse 75 ist an einer zweiten Maschinenlagerflache 81 befestigt, die in bezug auf die Maschinenlagerflache 31 bweglich ist. Um die Befestigung des Gehäuses 75 zu erleich· tem ist sowohl an dem Balken 21 als auch an dem Bodenteil 77 ein zeitweiliger Ausrichtarm 83 befestigt. Diese Anordnung positioniert das Gehäuse 75 in bezug auf den Balken 21 und damit auf den Maßstab 13 genauestens. Abdrückschrauben 85, 87, 89 und 91 im Bodenteil 77 stellen den genauen Abstandzwischen dem Bodenteil 77 und der Fläche her und dienen auch zur Befestigung an unregelmäßigen Oberflächen, beispielsweise Maschinengußflachen. Nachdem diese Schrauben mit der Oberfläche 81 in Berührung- gebracht worden sind, wird der Bodenkörper 77 an der Oberfläche 61 durch Schraubenbolzen 93 und 95 befestigt. Daraufhin wird der Arm 63 entfernt. Falls sich jedoch die Notwendigkeit
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ergibt, das Gehäuse 75 zu demontieren, kann der Ausrichtarm 83 zur darauffolgenden Montage leicht wieder verwendet werden.
Wie aus Figur 3 ebenfalls hervorgeht, erstreckt sich dann, wenn das Gehäuse 75 sowohl in bezug auf den Balken 21 als auch auf die Maschinenlagerflache 81 richtig montiert ist, der nach oben ragende, überstehende Teil 79 in das Innere des Balkens 21 hinein. Um das Gehäuse 75 mit dem Öbertragungskopf 41 zu verbinden, ist ein Federarm 97 vorgesehen. Wie aus den Figuren 4 und 5 hervorgeht, ist der Federarm 97 an seinem einen Ende mit dem vergrößerten oberen Ende 8o des vorspringenden Teils 79 fest verbunden. Das andere Ende des Federarms 97 trägt eine Kugel 99, die in einer in dem Hauptschlittenkörper 43 vorhandenen Aussparung 63 sitzt. Wenn der Federarm 97 an dem Ende 8o angebracht und mit dem Hauptschlittenkörper 43 verbunden ist, steht der Übertragungsköpf 41 mit dem Gehäuse 75 durch eine Kugelgelenkverbindung am Ende des Federarms 97 in Verbindung. Die Tatsache, daß der Maßstab 13 in bezug auf die Vertikale geneigt ist, ermöglicht es der nach oben gerichteten Kraft des Federarms 97, den Maßstab, der mit den Flächen 47 und 49 in Berührung steht, mit der Fläche 15 und der Kante 17 in der in Figur 3 gezeigten Weise in Berührung zu halten. Diese Verbindungsanordnung gibt dem Übertragungskopf 41 das notwendige MaB an Freiheit, das es ihm ermöglicht, mit dem Maßstab 13 auch dann in enger Berührung zu bleiben, wenn die senkrechte Lage des Gehäuses 75 in bezug auf den Maßstab 13 geändert wird. Gleichzeitig schließt sie im wesentlichen jegliche Bewegung zwischen dem Gehäuse 75 und dem Übertragungskopf 41 längs der überfahrenen Länge aus, die zu einer fehlerhaften Ablesung der tatsächlichen relativen Entfernung führen würde, die zwischen den Maschinen· lagerflächen 31 und 81 zurückgelegt ist. Bei einem Feder-
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druck von annähernd 16o Gramm beträgt das Spiel etwa o,oo254 mm. ■ .
Um zu verhindern, daß Schmutz, Maschinenspäne oder Kühlflüssigkeit den Maßstab 13 oder den Übertragungskopf 41 verschmutzen, ist der Balken 21 mit einem Paar Dichtungslippen 1o1 und 1o3 versehen, die durch ein Paar Dichtungshalterungen 1o5 und 1o7 befestigt sind. Diese Dichtungen verhindern zusammen mit dem vergrößerten oberen Ende 8o, daß das Übertragungskopftraggehäuse 75 von dem Balken 21 einfach weggezogen werden kann. Die gegenüberliegenden Enden des Balkens 21 sind durch Platten verschlossen, von denen eine bei 1o9 in Figur 1 zu sehen ist.
Um die Öffnung in den Dichtungen 1o1 und 1o3, die von dem Gehäuse 75 erzeugt wird, auf ein Mindestmaß zu beschränken, ist der Mittelabschnitt des vorspringenden Teii 79 mit abgeschrägten Oberflächen 1o9, 111, 113 und 115 versehen, die ihm nahezu den Querschnitt eines Kanus verleihen.
Der vorspringende Teil 79 ist außerdem mit einem Durchgangsloch 117 ausgestattet, das nicht dargestellte, feine Drähte der photoelektrischen Sensoren.67 und der Lampe 71 aufnimmt. Somit kann der Bodenteil 77 als Spieisskasten zur Verbindung dieser Drähte mit einem verhältnismäßig starken Kabel dienen, das an einennicht dargestellten elektronischen Digitalanzeigezähler angeschlossen ist. Ein nicht gezeigter Deckel wird nach dem zeitweiligen Entfernen des Ausrichtarms 83 auf den Bodenteil 77 aufgeschraubt, um die Draht-anschlüsse einzuschließen.
Im Betriebszustand wird, nachdem die Lampe 71 eingeschaltet ist, jegliche Bewegung des Moire-Streifenmusters,
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das von den integrierten Bildeffekten der Stricheinteilungen auf beiden Seiten des Maßstabs 13 und des Indexrasters 57 erzeugt wird, durch die photoelektrischen Sensoren 67 abgetastet und in elektrische Signale umgesetzt. Die Änderung in der Intensität des auf die photöelektri- . sehen Sensoren fallenden Lichts zeigt den Durchgang jedes Moire-Streifens an und mißt damit die Relativbewegung des Indexrasters 54 in bezug auf den Maßstab 13. Der Ausgang der Photozellen kann verstärkt, umgeformt und summiert werden und zwar durch eine geeignete, nicht dargestellte Schaltung, die entweder auf der Isoliertafel 65 oder in der elektrischen Digitalanzeigeeinheit selbst oder auch in beiden Elementen vorgesehen werden kann. Eine derartige Schaltung ist nicht Teil dervorliegenden Erfindung und kann, wie dem Fachmann geläufig, unterschiedlich ausgebildet sein» Da das Indexraster 57 in bezug auf den Hauptschlittenkörper 43 des Übertragungskopfes 41 befestigt ist, und die Maßstabberührungsflächen 4? und 49 durch den Federarm 97 ständig mit der Fläche 15 und der Kante 17 in Berührung gehalten werden, werden der Abstand und die Ausrichtung zwischen dem Indexraster 57'und dem Maßstab 13 konstant gehalten, wodurch sichergestellt ist, daß der Übertragungskopf 41 ständig ein optimales Bild von dem Maßstab 13 abgreift.-
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Claims (1)

  1. Patentansprüche
    1J Vorrichtung zur Messung der Verschiebung zwischen ersten und zweiten relativ zueinander beweglichen Körpern, gekennzeichnet durch einen Maßstab (13), der an dem ersten beweglichen Körper (21) befestigbar ist, eine Übertragungseinrichtung (41), mit einem Schlitten (43) und einem Indexraster (57), wobei letzteres dem auf den Schlitten (43) getragenen Maßstab (13) ähnlich ist, ferner durch eine Trageinrichtung (29), die an dem zweiten beweglichen Körper (31) befestigbar ist, und durch eine zwischen der Trageinrichtung (29) und der Übertragungseinrichtung (41) befestigten Vorrichtung, durch die der Schlitten (43) mit dem Maßstab (13) in ständiger Berührung haltbar ist, wodurch im Betriebsfall bei einer Bewegung des ersten Körpers €.213 in bezug auf den zweiten Körper (31) der relative Abstand zwischen dem Raster (57) und dem Rastermaßstab (19) im wesentlichen konstant haltbar ist,
    2, Vorrichtung nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch einen Balken (21), der den Maßstab (13) trägt und eine Lagerfläche (27) aufweist, die mit dem ersten beweglichen Körper (31) in Berührung bringbar ist.
    3, Vorrichtung nach Anspruch 2, gekennzeichnet durch eine schwalbenschwanzförmige Halterungsrippe (29), zur Befestigung auf dem ersten beweglichen Körper (31), wobei der Balken (21) mit einer dazu passenden, schwalbenschwanzförmigen Nut (27) versehen ist, durch die die Lagerfläche mit dem ersten beweglichen Körper in Berührung haltbar ist. .
    4, Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Balken (21) mit einem sich in Längsridatung er-
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    streckenden Schlitz (23) versehen ist, der in bezug auf die Lagerfläche geneigt ist und den Maßstab (133 aufnimmt.
    5. Vorrichtung nach Anspruch 4» d adurch gekennzeichnet, daB der Maßstab (13) erste und zweite geneigte Flächen (15, 17) aufweist, und daß der Schlitten (43) erste und zweite Maßstabberührungsflachen (47, 49) besitzt, die in bezug aufeinander unter demselben Winkel geneigt sind wie die ersten und zweiten Flächen (15, 173 des Maßstabs.
    6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung, mit der eine ständige Berührung aufrechterhaltbar ist, eine Feder (97) ist, die die ersten und zweiten MaBstabberührungsflachen (47, 49) mit den ersten und zweiten geneigten Flächen (15, 17) in Berührung hält. '
    7. Vorrichtung, nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß der Schlitten (43) mit einer Fa*»ssung (63) versehen ist, und daß die Feder (97) an ihrem einen Ende an der Tragvorrichtung (75) befestigt ist und an ihrem anderen Ende eine Kugel (99) trägt, die in der Fassung (63) sitzt.
    8. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß das Indexraster 67) von dem Schlitten (43}parallel zu einer- der MaBstabberührungsf lachen (47, 49) und mit Abstand zu dieser Fläche getrennt haltbar ist.
    9. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet,
    daß der Schlitten (43) eine Lampe (71) und eine photoelektrische Sensoreinrichtung (67) aufweist.
    1p. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 - 9, dadurch gekennzeichnet, daB die Übertragungseinrichtung t413
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    einen Kopf aufweist, der auf dem Maßstab (13) läuft, daß der Kopf mit einem Schlitten {43} versehen ist, der erste und zweite Maßstabberührungsflächen i%7)fL aufweist, und daß die Maßstabberührungsflächen in bezug aufeinander unter dem gleichen Wiifcel geneigt sind wis die ersten und zweiten Flächen £15, 173 des Maßstabs £133.
    11 ο Vorrichtung nach Anspruch 1o? gekennzeichnet durch ein Inäexraster £57), das dieselbe Linieneinteilung hat wie der Maßstab (133 und von dem Schlitten (43) parallel zu einer der Maßstabberührungsflachen und mit Abstand von dieser getrennt haltbar ist0
    12. Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß auf dsm. Schlitten (43) eine Lampe (713 und eine photo elektrische Sensoreinrichtung (67} angeordnet sind.
    13„ Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 - 12, dadurch gekennzeichnet, daß der Balken (21) eine längliche Nut (273 mit einer Maschinenlagerflache sowie eine längliche Maßstablagemut (233 aufweist^ wobei letztere sich ober die Länge der Nut [273 erstreckt und in bezug auf die Maschinenlagerflache £313 geneigt verläuft»
    14« Vorrichtung nach Anspruch 13» dadurch gekennzeichnet, daß die Maschinenlagerflache mit einer schwalbenscfiwanzförmigsn Lagereinrichtung (293 353 versehen ist.
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    L e e r s e i t e
DE2349944A 1972-10-06 1973-10-04 Vorrichtung zur Messung der Verschiebung zwischen zwei in Bezug aufeinander beweglichen Körpern Expired DE2349944C3 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
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JP (1) JPS5717241B2 (de)
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