DE2323971C2 - Bauelement mit Lumineszenzdiode - Google Patents

Bauelement mit Lumineszenzdiode

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DE2323971C2
DE2323971C2 DE19732323971 DE2323971A DE2323971C2 DE 2323971 C2 DE2323971 C2 DE 2323971C2 DE 19732323971 DE19732323971 DE 19732323971 DE 2323971 A DE2323971 A DE 2323971A DE 2323971 C2 DE2323971 C2 DE 2323971C2
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Hans-Eberhard Dr.-Ing. Bergt
Bernd Dipl.-Ing. 8000 München Heinz
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Siemens AG
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    • H01L33/44Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the coatings, e.g. passivation layer or anti-reflective coating
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Description

Die Erfindung betrifft ein Bauelement nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.
Ein derartiges Bauelement ist aus der GB-PS 12 98 979 bekannt
Lumineszenzdioden werden bekanntlich in Durchlaßrichtung betrieben, wobei die an der Lumineszenzdiode stehende Flußspannung die Schwellspannung nicht wesentlich übersteigen darf, da sonst eine Zerstörung des Bauelements wegen des zu großen Flußstroms unvermeidlich ist Für die heute in großem Umfang für derartige Lumineszenzdioden verwendete*! Halbleitermaterialien Galliumarsenid, Galliumarsenidphosphid und Galliumphosphid liegen die Schwellspannungen etwa bei 1,1 V, 1,6 V bzw. 2,1 V.
In vielen Fällen liegen nun aber die in einer Schaltung, in der eine Lumineszenzdiode zum Einsatz kommt, zur Verfügung stehende Spannungen über den vorgenannten Spannungswerten. So betragen beispielsweise in sogenannten TTL-Schaltungen die zur Verfügung stehenden Spannungen 5 V. Bei einem derartigen Spannungswert würden Lumineszenzdioden aus den vorgenannten Materialien zerstört werden. Um dies zu vermeiden, schaltet man in Reihe zur Lumineszenzdiode einen ohmschen Vorwiderstand, dessen Wert so bemessen ist, daß an der Lumineszenzdiode nur noch die zulässige Spannung abfällt.
Der vorliegenden Erfindung liegt nun die Aufgabe zugrunde, ausgehend von der GB-PS 12 98 979, ein Bauelement zu schaffen, bei dem die Widerstandsschicht und die Lumineszenzdiode auf kleinem Raum untergebracht werden können, so daß eine hohe Integrationsdichte erzielt wird.
Diese Aufgabe wird bei einem Bauelement nach dem 5 Oberbegriff des Patentanspruchs 1 erfindungsgemäß durch die in dessen kennzeichnendem Teil angegebenen Merkmale gelöst
Durch die »versetzte« Anordnung der Fenster wird der Platzbedarf für das Bauelement äußerst gering,
ίο Eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung ist im Patentanspruch 2 angegeben. Derartige Materialien für integrierte Schaltungen sind allerdings bereits bekannt; vgl. dazu »Elektro-Anzeiger«, 21. Band, 7. August 1968, Seiten 25 und 26.
Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung wird nachfolgend anhand der Zeichnung erläutert
Die Figur zeigt ein Bauelement mit einer in einem
Halbleiterkörper 1 ausgebildeten Lumineszenzdiode.
Auf eine Oberflächenseite des Halbleiterkörpers I ist eine erste Isolierschicht 2 in an sich bekannter Weise aufgebracht, die beispielsweise aus Aluminiumoxid (AI2O3) oder Siliciumdioxid (S1O2) besteht In diese Isolierschicht 2 ist in an sich bekannter Weise durch Fototechnik ein Fenster 3 vorgesehen, das einen Zugang zum Halbleiterkörper 1 schafft
Auf diese Isolierschicht 2 ist eine Widerstandsschicht 4 aus Widerstandsmaterial aufgebracht wobei es sich beispielsweise um Tantalnitrid (TaN), Tantaloxidnitrid oder Zinnoxid (SnO2) handelt Diese Widerstandsschicht 4 greift direkt durch das Fenster 3 in der ersten Isolierschicht 2 durch und steht damit in elektrischem Kontakt mit dem Halbleiterkörper 1. Sollte die direkte Kontaktgabe der Widerstandsschicht 4 mit dem Halbleiterkörper 1 Schwierigkeiten bereiten, so kann im Bereich des Fensters 3 auch eine Kontaktierung mit einem anderen Kontaktmaterial wie z. B. Gold-Germanium erfolgen.
Auf die Widerstandsschicht 3 ist nun eine weitere
Isolierschicht 5 (beispielsweise aus den oben genannten
■to Materialien) aufgebracht, welche gegen das Fenster 3 in der ersten Isolierschicht 2 versetzt ein Fenster 6 aufweist, das ebenfalls in der an sich bekannten Fototechnik hergestellt ist Schließlich ist auf die zweite Isolierschicht 5 eine Metallschicht 7, beispielsweise durch Aufdampfen, aufgebracht, die durch das Fenster 6 hindurchgreift und daher mit der Widerstandsschicht 4 in elektrisch leitendem Kontakt steht. Als Material für die Metallschicht 7 kommt ein auf Aluminiumoxid oder Siliciumdioxid haftendes Metall, wie beispielsweise Chrom oder Titan, in Frage.
Wie ohne weiteres ersichtlich, bildet nun der Teil der Widerstandsschicht 4 zwischen den Fenstern 3 und 6 den in Reihe zur Lumineszenzdiode im Halbleiterkörper 1 liegenden Vorwiderstand.
Die gesamte in der Figur dargestellte Anordnung kann nun in an sich bekannter Weise auf einem Gehäuseträger, beispielsweise durch Auflegieren, montiert werden.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims (2)

Patentansprüche:
1. Bauelement mit einer in einem Halbleiterkörper ausgebildeten Lumineszenzdiode, die über-eine als Vorwiderstand dienende Widerstandsschicht mit einer der Stromzufuhr dienenden Metallschicht in Verbindung steht, wobei ein Oberflächenteil des Halbleiterkörpers mit einer Isolierschicht bedeckt ist, die ein Fenster für den elektrischen Zugang zur Lumineszenzdiode aufweist, und wobei ferner die Widerstandsschicht von einer Isolierschicht bedeckt ist, die ihrerseits von der Metallschicht bedeckt ist und durch ein in ihr vorhandenes Fenster die elektrische Verbindung der Widerstandsschicht mit der Metallschicht erlaubt, dadurch gekennzeichnet, daß die Widerstandsschicht (4) auf der den Zugang zur Lumineszenzdiode aufweisenden Isolierschicht (2) derart angeordnet ist, daß die in den beiden Isolierschichten (2, 5) vorhandenen Fenster (3, 6) in Richtung der Oberflächennormale versetzt zueinander sind.
2. Bauelement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet daß das Material für die Widerstandsschicht (4) Tantalnitrid, Tantaloxidnitrid oder Zinnoxid ist
DE19732323971 1973-05-11 1973-05-11 Bauelement mit Lumineszenzdiode Expired DE2323971C2 (de)

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JPS5017777A (de) 1975-02-25
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