DE2302174C3 - Verfahren zum Beschichten von Körpern, insbesondere von Folien für elektrische Kondensatoren im Durchlaufverfahren und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens - Google Patents

Description

leicht polymerisierbar sind. Aus Gründen der besseren mechanischen und elektrischen Eigenschaften sind Monomere möglichst hohen Molekulargewichts vorteilhaft. Ein höheres Molekulargewicht bringt noch weitere Vorteile: Die Abscheidegeschwindigkeit steigt in etwa linear mit dem Molekulargewicht, der Einbau von unerwünschten polaren Grupen nimmt mit steigender Monomerenlänge ab und die Anzahl der Quervernetzungen wird pro Längeneinheit kleiner, je größer das Ausgangsmolekül ist

Da eine zu hohe Zahl von Quervernetzungen die Schicht spröd und rißanfällig macht, wird angestrebt, die Quervernetzung soweit zu reduzieren, daß zwar ein Fließen des Kunststoffes noch nicht erfolgen kann, das Material aber elastische Eigenschaften aufweist Die obere Grenze für das Molekulargewicht ergibt sich dadurch, daß das Monomer für eine ausreichende Durchströmung des Glimmentladungsbereiches einen Dampfdruck größer 250 N/m² bei der Temperatur im Vorratsbehälter und im Glimmentladungsbereich aufweisen muß. Der Dampfdruck nimmt mit zunehmendem Molekulargewicht stark ab, so daß z. B. Decen (C10H20) bei Raumtemperatur einen gerade noch genügenden Dampfdruck aufweist, um die nötige Durchströmung mit unverbrauchtem Gas zu gewährleisten.

Erfindungsgemäß werden die Ausgangsmonomere vorteilhafterweise aus Penten, Hexen, Hepten, Okten oder aus Cyclopentan, Cyclohexan, Cycloheptan oder Cyclooktan ausgewählt, wobei auch Gemische aus diesen Substanzen günstig verwendet werden können. Damit können Schichten mit definierten mechanischen Eigenschaften (z. B. Elastizität) und gutem elektrischem Verhalten hergestellt werden.

Eine besondere geringe Auftrennenergie wird benötigt, wenn Cyclofluorbutan in den Glimmentladungsbereich gebracht wird, da im Viererring die Bindungen zwischen den C-Atomen verspannt sind, so daß die benötigte Auftrennenergie kleiner ist als bei unverspannten Ringen. Auch bei Verwendung von Hexafluorpropylen gemäß der DE-AS 21 05 003 lassen sich durch den Einsatz des vorliegenden Verfahrens schneller gleichmäßige Schichten mit besonders kleinem Verlustfaktor herstellen.

Zur Durchführung des erfindungigemäßen Verfahrens ist eine Vorrichtung vorteilhaft, in der die zu beschichtenden Körper in unmittelbarer Nähe jeweils einer der Elektroden durch den Glimmentladungsbereich bewegt werden, und welche für die Zuführung bzw. Absaugung der zu polymerisierenden Gase zumindest eine Zuführungs- und eine Absaugungsgasleitung enthält, bei der als Begrenzung des Glimmentladungsbereiches in der Bewegungsrichtung der zu beschichtenden Körper hohle Leisten oder Stäbe angeordnet sind, die den Raum zwischen den Elektroden bis auf einen zum Hindurchbewegen der zu beschichtenden Körper benötigten Spalt ausfüllen und in Richtung auf den Glimmentladungsbereich mehrere Öffnungen aufweisen, in der diese hohlen Leisten oder Stäbe mit der Zufuhrungsgasleitung verbunden und zur Zuführung des polymerisierbaren Gases in den Glimmentladungsbereich geeignet sind und in der die öffnungen so angeordnet sind, daß ein durch sie hindurchtretendes Gas die Oberflächen der zu beschichtenden Körper nach einem kurzen und für alle öffnungen annähernd gleichen Weg durch den Glimmentladungsbereich erreicht

Eine gute Kühlung, eine geringe Reibung und eine gleichmäßige Schichtdicke werden erreicht, wenn in einer Vorrichtung zwei oder mehrere Glimmentladungsbereiche mit jeweils zwei Elektroden mit ebenen Oberflächen vorhanden sind und diese Vorrichtung zur Beschichtung dünner Kondensatorfolien mit Vorratsrollen vor und hinter den Elektroden ausgerüstet ist, wobei an jeder der beiden Elektroden jedes Glimmentladungsbereiches gleichzeitig eine Folie vorbeigeführt werden kann, und wenn die Vorrichtung vor dem ersten und hinter dem letzten Glimmentladungsbereich zumindest jeweils eine Umlenkrolle und zwischen zwei benachbarten Elektroden verschiedener Glimmentladungsbereiche jeweils eine Rollengruppe von drei Umlenkrollen enthält, die so zueinander und zu den Elektroden angeordnet sind, daß eine über alle diese Rollen gezogene dünne Folie in unmittelbarer Nähe, aber ohne eine für die Folien schädliche Reibung, an den Elektroden vorbeibewegt wird und wenn zwei einander bezüglich der Folienlaufrichtung gegenüberliegende Umlenkrollen bzw. Rollengruppen durch je eine hohle Leiste abgedeckt sind, die aus isolierendem, ausreichend wärmebeständigem und mit den Gasen im Entladungsraum verträglichem Material besteht und parallel zur Folienlaufrichtung und symmetrisch zur Mittelebene zwischen den beiden zu beschichtenden Folien angeord-

nete Öffnungen aufweist Eine derartige Vorrichtung ist relativ einfach aufgebaut und ermöglicht eine schnelle Beschichtung von großen Mengen Folie.

Weisen die Glimmentladungsbereiche in Folienlaufrichtung eine relativ große Ausdehnung, z. B. mehr als 10 cm auf, so ist es vorteilhaft, wenn sich im Glimmentladungsbereich ein oder mehrere, gegenüber dem Elektrodenabstand dünne, quer zur Folienlaufrichtung angeordnete Rohre in der Nähe je eines der zu beschichtenden Körper befinden, welche mit einer Zuführungsgasleitung verbunden sind und auf den in der Nähe liegenden zu beschichtenden Körper gerichtete öffnungen aufweisen.

Zur Erzeugung besonders gleichmäßiger Schichten hoher mechanischer und elektrischer Qualität bei hoher Abscheidegeschwindigkeit ist eine Vorrichtung vorteilhaft in der die zu beschichtenden Körper in unmittelbarer Nähe einer Elektrode vorbeigeführt werden, während die von den zu beschichtenden Körpern entfernter liegende Elektrode hohl ausgebildet und mit der Zuführungsgasleitung verbunden ist und diese Elektrode in ihrem den Glimmentladungsbereich begrenzenden Teil aus einem Metall mit vielen Poren oder Löchern besteht, durch die das polymerisierbare Gas in den Glimmentladungsbereich eintreten kann.

Dies läßt sich einfach realisieren, indem die von den zu beschichtenden Körpern entfernter liegende Elektrode in ihrem den Glimmentladungsbereich begrenzenden Teil aus einer Fritte aus Bronze oder V2A-Stahl besteht Um eine deutliche Strömung des polymerisierbaren Gases von der Mitte des Glimmentladungsbereiches nach außen zu gewährleisten, ist es vorteilhaft, daß die Löcher oder Poren in der Mitte der Glimmentladungsbereiche zahlreicher sind oder einen größeren Durchmesser aufweisen als an den Rändern der Glimmentla-

wi dungsbereiche, an denen das Gas abfließen kann. Ein gleichmäßiger Abfluß des Gases kann dadurch verbessert werden, daß Absaugrohre an mehreren rund um die Glimmentladungsbereiche verteilten Stellen angebracht sind.

n~< Im folgenden wird die Erfindung anhand von Figuren näher erläutert; sie ist nicht auf die in den Figuren gezeigten Beispiele beschränkt
F i g. 1 zeigt schematisch eine erfindungsgemäße

Vorrichtung zum Beschichten von Folien,

F i g. 2 zeigt eine erfindungsgemäße Vorrichtung zum Beschichten von Folien mit einer porösen Elektrode.

In Fig. 1 werden zwei Folien 3 von je einer Vorratsrolle 1 über Umlenkrollen 5 in unmittelbarer Nähe von Elektroden 7 vorbei zu je einer Vorratsrolle 2 geführt. Zwischen den Vorratsrollen 1, 2 und den nächstliegenden Elektroden 7 ist jeweils eine und zwischen den Elektroden 7 verschiedener Glimmentladungsbereiche sind jeweils drei Umlenkrollen 5 angeordnet, wobei alle Rollen 5 von der Folie 3 teilweise umschlungen werden und dadurch eine genaue Führung der Folie 3 ermöglichen. Zwischen den einander gegenüberliegenden Umlenkrollen 5 bzw. Gruppen aus jeweils drei IJmlenkrollen 5 sind hohle, elektrisch nichtleitende Leisten 4 angeordnet, die die Rollen 5 so weit überdecken, daß in deren Bereich keine Glimmentladung stattfinden kann, und so weit an die Elektroden 7 heranreichen, daß die Folien 3 gerade noch zwischen den hohlen Leisten 4 und den Elektroden 7 ungehindert hindurchbewegt werden können. Die hohlen Leisten 4 weisen einen rechteckförmigen Querschnitt auf, sind mit einer Zuführungsgasleitung 10 verbunden, bestehen aus elektrisch nichtleitendem Material, vorzugsweise einem Kunststoff, der sich bei 100⁰C noch nicht verzieht, und weisen in Folienlaufrichtung gerichtete öffnungen 11 auf, durch welche das polymerisierbare Gas in den Glimmentladungsraum eintreten kann. Die öffnungen 1 sind über die gesamte Breite der Folien 3 verteilt.

Zur Kühlung der Elektroden 7 wird Kühlmittel durch die hierfür vorgesehenen Anschlüsse 6 durch die Elektroden 7 hindurchgeleitet. Zur Erzeugung einer Glimmentladung wird über die Anschlüsse 8 eine Wechselspannung an die Elektroden 7 gelegt.

Für eine besonders gleichmäßige Beschichtung, insbesondere bei einer Breite der Elektroden 7 in Folienlaufrichtung von mehr als 10 cm, wird zusätzlich durch im Vergleich zum Elektrodenabstand dünne Rohre 9 polymerisierbares Gas in den Glimmentladungsraum eingeleitet, wobei die Rohre 9 radiale Bohrungen (nicht dargestellt) aufweisen, die in Richtung der zunächstliegenden Elektrode 7, ggf. unter einem spitzen Winkel zu dieser Elektrode 7, Gas austreten lassen und über die ganze Breite der Elektroden 7 quer zur Folienlaufrichtung verteilt sind.

In Fig. 2 wird eine Folie 15 über Rollen 12 an einer Elektrode 17 vorbeigeführt, wobei die Folie 15 in unmittelbarer Nähe der Elektrode 17 angeordnet ist, ohne durch eine Reibung unzulässig stark mechanisch belastet zu werden. Die Gegenelektrode 13 weist eine poröse Oberfläche auf, die den Glimmentladungsbereich begrenzt und durch die polymerisierbares Gas in den Glimmentladungsbereich eintreten kann, welches über die Zuführungsgasleitung 14 in den kastenförmig ausgebildeten Teil der Elektrode 13 eingeleitet wird. Über die Anschlüsse 18 wird den Elektroden 17 und 13 die zur Erzeugung der Glimmentladung erforderliche Wechselspannung zugeführt.

Durch das ständige Austreten von Gas durch die Poren der porösen Oberfläche der Elektrode 13 wird eine Polymerisation des Gases in den Poren vermieden. Der kastenförmige hintere Teil der Elektrode 13 ist vorteilhaft aus nichtleitendem Material ausgebildet, um eine Glimmentladung außerhalb des porösen Bereichs der Elektrode zu vermeiden.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims (13)

Patentansprüche:

1. Verfahren zum Beschichten von Körpern, insbesondere von Folien für elektrische Kondensatoren im Durchlaufverfahren, bei dem mittels einer durch eine Wechselspannung erzeugten Glimmentladung eine Polymerisation eines polymerisierbaren Gases herbeigeführt wird, bei dem die Wechselspannung über Elektroden zugeführt wird, die zumindest die Breite der zu beschichtenden Körper aufweisen, bei dem während des Polymerisationsvorganges das polymerisierbare Gas in den Glimmentladungsbereich eingefühlt und das verbrauchte Gas abgesaugt und dadurch der Druck im Entladungsgefäß eingestellt wird und bei dem die zu beschichtenden Körper im Glimmentladungsbereich in unmittelbarer Nähe zumindest einer der Elektroden angeordnet werden, dadurch gekennzeichnet, daß ständig polymerisierbares Gas an verschiedenen, über den Glimmentladungsbereich verteilten und in annähernd gleichem Abstand von den zu beschichtenden Flächen befindlichen Stellen zugeführt wird.

2. Verfahren nach Anspruch 1, bei dem die Pumpleistung für das Absaugen fest eingestellt wird, dadurch gekennzeichnet, daß der Gasdruck über die Gaszufuhr durch einen elektronischen Druckkonstanthalter auf ±10% des eingestellten Drucks konstant gehalten wird.

3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Gasdruck zwischen 100 und 700 N/m² eingestellt wird.

4. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß eine dünne Polyäthylenterephthalatfolie beschichtet wird, die im Glimmentladungsbereich an einer gekühlten Elektrode anliegt, und daß bei einem Elektrodenabstand von 1 cm ein Druck von 600 N/m² verwendet wird.

5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß in dem Glimmentladungsbereich zyklische Kohlenwasserstoffe ohne Doppelbindung (Cyxloalkane) oder nichtzyklische Kohlenwasserstoffe mit einer Doppelbindung (Alkane) mit einem relativ hohen Molekulargewicht eingebracht werden, deren Dampfdruck bei der Temperatur im Vorratsbehälter und im Glimmentladungsbereich größer ist als 250 N/m².

6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß bei Raumtemperatur einer oder mehrere der Stoffe Penten, Hexen, Hepten, Okten, Cyclopentan, Cyclohexan, Cycloheptan oder Cyclooktan in den Glimmentladungsbereich gebracht werden.

7. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß Cyclofluorbutan in den Glimmentladungsbereich gebracht wird.

8. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 7, in der die zu beschichtenden Körper in unmittelbarer Nähe jeweils einer der Elektroden durch den Glimmentladungsbereich bewegt werden und welche für die wi Zuführung bzw. Absaugung der zu polymerisierenden Gase zumindest eine Zuführungs- und eine Absaugungsleitung enthält, dadurch gekennzeichnet, daß als Begrenzung des Glimmentladungsbereiches in Bewegungsrichtung der zu beschichtenden Kör- <> > per hohle Leisten oder Stäbe angeordnet sind, die den Raum zwischen den Elektroden bis auf einen zum Hindurchbewegen der zu beschichtenden Körper benötigen Spalt ausfüllen und in Richtung auf den Glimmentladungsbereich mehrere öffnungen aufweisen, daß diese hohlen Leisten oder Stäbe mit der Zuführungsgasleitung verbunden und zur Zuführung des polymerisierbaren Gases in den Gliinmentladungsbereich geeignet sind und daß die öffnungen so angeordnet sind, daß ein durch sie hindurchtretendes Gas die Oberfläche der zu beschichtenden Körper nach einem kurzen und für alle Öffnungen annähernd gleichen Weg durch den Glimmentladungsbereich erreicht

9. Vorrichtung nach Anspruch 8, welche zwei oder mehrere hintereinanderliegende Glimmentladungsbereiche mit jeweils zwei Elektroden mit ebenen Oberflächen enthält und zur Beschichtung dünner Kondensatorfolien mit Vorratsrollen vor und hinter den Elektroden ausgerüstet ist, wobei an jeder der beiden Elektroden jedes Glimmentladungsbereiches gleichzeitig eine Folie vorbeigeführt werden kann, dadurch gekennzeichnet, daß sie vor dem ersten und hinter dem letzten Glimmentladungsbereich zumindest jeweils eine Umlenkrolle und zwischen je zwei benachbarten Elektroden verschiedener Glimmentladungsbereiche jeweils eine Rollengruppe von drei Umlenkrollen enthält, die so zueinander und zu den Elektroden angeordnet sind, daß eine über alle diese Rollen gezogene dünne Folie in unmittelbarer Nähe, aber ohne eine für die Folie schädliche Reibung an den Elektroden, vorbeibewegt wird, und daß je zwei bezüglich der Folienlaufrichtung einander gegenüberliegende Umlenkrollen bzw. Rollengruppen durch je eine hohle Leiste abgedeckt sind, die aus isolierendem, ausreichend wärmebeständigem und mit den Gasen im Entladungsraum verträglichem Material besteht und parallel zur Folienlaufrichtung und symmetrisch zur Mittelebsns zwischen den beiden zu beschichtenden Folien angeordnete öffnungen aufweist.

10. Vorrichtung nach Anspruch 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, daß sich im Glimmentladungsbereich eine oder mehrere, gegenüber dem Elektrodenabstand dünne, quer zur Folienlaufrichtung angeordnete Rohre in der Nähe je eines der zu beschichtenden Körper befinden, welche mit der Zuführungsgasleitung verbunden sind und auf den in der Nähe liegenden zu beschichtenden Körper gerichtete öffnungen aufweisen.

11. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 7, in der die zu beschichtenden Körper in unmittelbarer Nähe an einer Elektrode vorbeigeführt werden, dadurch gekennzeichnet, daß die von den zu beschichtenden Körpern entfernter liegende Elektrode hohl ausgebildet und mit der Zuführungsgasleitung verbunden ist und daß diese Elektrode in ihrem den Glimmentladungsbereich begrenzenden Teil aus einem Metall mit vielen Poren oder Löchern besteht, durch die das polymerisierbare Gas in den Glimmentladungsraum eintreten kann.

12. Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die von dem zu beschichtenden Körper entfernter liegende Elektrode in ihrem den Glimmentladungsbereich begrenzenden Teil aus einer Fritte aus Bronze oder V2A-Stahl besteht.

13. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 8 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Löcher oder Poren in der Mitte der Glimmentladungsbereiche zahlreicher sind und/oder einen größeren Durch-

messer aufweisen als an den Rändern der Glimmentladungsbereiche, an denen das Gas abfließen kann.

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Beschichten von Körpern, insbesondere von Folien für elektrische Kondensatoren im Durchlaufverfahren, bei dem mittels einer durch eine Wechselspannung erzeugten Glimmentladung eine Polymerisation eines polymerisierbaren Gases herbeigeführt wird, bei dem die Wechselspannung über Elektroden zugeführt wird, die zumindest die Breite der zu beschichtenden Körper aufweisen, bei dem während des Polymerisationsvorganges das polymeiisierbare Gas in den Glimmentladungsbereich eingeführt und das verbrauchte Gas abgesaugt und dadurch der Druck im Entladungsgefäß eingestellt wird und bei dem die zu beschichtenden Körper im Glimmentladungsbereich in unnittelbarer Nähe zumindest einer der Elektroden angeordnet werden.

Ein derartiges Verfahren ist aus der DE-OS 20 06 702 bekannt Dieses Verfahren führt jedoch bei Verwendung von Monomeren mit relativ kurzen Molekülen und kleinem Molekulargewicht zu spröden Schichten und bei Verwendung von Monomeren mit relativ langen Molekülen und großem Molekulargewicht zu klebrigen Schichten. Als Ursache für beide Effekte wurde festgestellt, daß in der Glimmentladung Crackprodukte gebildet werden. So spalten z.B. Kohlenwasserstoffe Chh-Gruppen ab; eine Anlagerung von Methylgruppen an die Molekülketten führt zu einem abgesättigten Molekül und damit zum Abbruch der Kettenbildung, es entstehen kurzkettige Moleküle. Das Polymerisat ist thermisch nur geringfügig belastbar.

Ähnliches gilt für den Einbau von Sauerstoff und Wasserdampf bzw. von OH-Gruppen. Das Vorhandensein von Luft und Wasserdampf in der Anlage ist nicht auszuschließen, da jede Vakuumanlage eine mehr oder weniger große Leckrate aufweist Zusätzlich erfolgt eine Gasabgabe durch die Inneneinbauten bzw. durch die eingebrachte Trägerfolie. Der Einbau von Sauerstoff oder polaren Molekülteilen führt nicht nur zum Kettenabbruch, sondern auch zur Entstehung von Dipolen, die sich ungünstig auf die dielektrischen Schichteigenschaften auswirken.

Beim Vorhandensein von Crack-Produkten kann es — evtl. durch Zusammenwirken mit Sauerstoff — auch zur Bildung von staubförmigen Ablagerungen kommen; es handelt sich dann um kurzkettige Moleküle aus einigen wenigen Monomereinheiten. Solche Beschichtungen sind für eine Weiterverarbeitung ungeeignet

Die Aufgabe, die der vorliegenden Erfindung zugrundeliegt, besteht darin, bei einem Verfahren der eingangs beschriebenen Art die Qualität der Polymerisationsschichten in mechanischer und elektrischer Hinsicht zu verbessern und den Einsatz von Stoffen mit größerem Molekulargewicht zu ermöglichen.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß ständig polymerisierbares Gas an verschiedenen, über den Glimmentladungsbereich verteilten und in annähernd gleichem Abstand von den zu beschichtenden Flächen befindlichen Stellen zugeführt wird.

Dieses Verfahren hat zunächst den Vorteil, daß hierbei ungünstige Verbindungen von Molekülen und Radikalen vermieden werden, von denen einige bereits genannt wurden. Dadurch ergeben sich gleichmäßige, aus langen Molekülen zusammengesetzte Schichten mit günstigen elektrischen Eigenschaften. Sowohl die Sprodigkeit von Schichten, die aus niedermolekularen Monomeren entstehen als auch die Klebrigkeit von Schichten, die aus relativ hochmolekularen Monomeren entstehen, wird weitgehend vermieden.

Ein weiterer Vorteil des erfindungsgemäßen Verfahrens besteht darin, daß die Polymerisationsschichten im gesamten Glimmentladungsbereich gleichmäßig dick

ίο werden, während beim Stand der Technik die Ränder aufgrund der endlichen Diffusionsgeschwindigkeit der Monomere in dem Glimmentladungsbereich wesentlich dicker ausgebildet werden als die mittleren Bereiche. Dieser Vorteil wirkt sich bei hohen Abscheidegeschwin digkeiten (reL hohen Stromdichten und Gasdrucken) besonders deutlich aus.

Eine ausreichende Konstanthaltung des Gasdrucks im Glimmentladungsbereich wird erreicht, wenn die Pumpleistung für das Absaugen fest eingestellt wird und der Gasdruck über die Gaszufuhr durch einen elektronischen Druckkonstanthalter auf ±10% des eingestellten Drucks konstant gehalten wird. Dieses Verfahren beinhaltet einen relativ geringen apparativen Aufwand, da die Gaszufuhr leichter und genauer zu regeln ist als die Pumpleistung der Absaugpumpe.

Eine vorteilhafte Ausgestaltung der Erfindung besteht darin, daß der Gasdruck auf 100—700 N/m² eingestellt wird. Eine hohe Abscheidegeschwindigkeit und eine gute Schichtqualität werden bei einem erfindungsgemäßen Verfahren erreicht, wenn eine dünne Polyäthylenterephthalatfolie beschichtet wird, die im Glimmentladungsbereich an einer gekühlten Elektrode anliegt, und wenn bei einem Elektrodenabstand von 1 cm ein Druck von etwa 600 N/m² verwendet wird.

Mit steigendem Druck steigt auch die Äbscheidegeschwindigkeit schnell, was eine entsprechend höhere Erwärmung der beschichteten Körper zur Folge hat. Die obere Grenze für den Gasdruck ist daher durch die

■»ο thermische Beständigkeit des Folienmaterials und durch die höchstmögliche Kühlung begrenzt. Die Diffusionsgeschwindigkeit der Gase, die beim Stand der Technik bereits die Verwendung der relativ hohen Gasdrucke, wie oben genannt, unmöglich macht, da beim Stand der Technik nur noch die Außenbereiche der Folien beschichtet würden, spielt beim erfindungsgemäßen Verfahren allenfalls eine untergeordnete Rolle.

Um für die Beschichtung mit einem relativ geringen Energieaufwand auskommen zu können, werden gemäß

so der Erfindung in den Glimmentladungsbereich besonders vorteilhaft zyklische Kohlenwasserstoffe ohne Doppelbindung (Zykloalkane) oder nichtzyklische Kohlenwasserstoffe mit einer Doppelbindung (Alkane) mit einem relativ hohen Molekulargewicht eingebracht deren Dampfdruck bei der Temperatur im Vorratsgefäß und im Glimmentladungsbereich größer ist als 250 N/m². Verwendet man derartige Kohlenwasserstoffe, so ergeben sich bei der Aufspaltung einer Bindung Kettenbruchstücke mit zwei freien Valenzen, die sich zu

hi langen Molekülen aneinanderlagern können. Die Summformel der beiden angegebenen Stoffgruppen ist C„H2n· Da die Energie, die zur Verwandlung einer Doppelbindung in eine einfache Bindung notwendig ist, bedeutend kleiner ist als die, welche zur Aufspaltung

'■' einer liinfachbindung aufgebracht werden muß, öffnet sich in Stoffen mit einer Doppelbindung in der Glimmentladung bevorzugt die Doppelbindung und es entstehen Radikale mit zwei freien Valenzen, welche