DE2264192A1 - Verfahren und vorrichtung zur spektrometrischen analyse mit roentgenstrahlen - Google Patents

Verfahren und vorrichtung zur spektrometrischen analyse mit roentgenstrahlen

Info

Publication number
DE2264192A1
DE2264192A1 DE2264192A DE2264192A DE2264192A1 DE 2264192 A1 DE2264192 A1 DE 2264192A1 DE 2264192 A DE2264192 A DE 2264192A DE 2264192 A DE2264192 A DE 2264192A DE 2264192 A1 DE2264192 A1 DE 2264192A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
pattern
cathode
annular
columns
incident
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DE2264192A
Other languages
English (en)
Inventor
Jean Sahores
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Societe Nationale des Petroles dAquitaine SA
Original Assignee
Societe Nationale des Petroles dAquitaine SA
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Societe Nationale des Petroles dAquitaine SA filed Critical Societe Nationale des Petroles dAquitaine SA
Publication of DE2264192A1 publication Critical patent/DE2264192A1/de
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
    • G01N23/22—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material
    • G01N23/223—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material by irradiating the sample with X-rays or gamma-rays and by measuring X-ray fluorescence
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J35/00—X-ray tubes
    • H01J35/02—Details
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J35/00—X-ray tubes
    • H01J35/02—Details
    • H01J35/04—Electrodes ; Mutual position thereof; Constructional adaptations therefor
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
    • G01N2223/07—Investigating materials by wave or particle radiation secondary emission
    • G01N2223/076—X-ray fluorescence

Description

Dipl.-ΐί". Π oc. pubU 2 2 6 A 1 9 2
Dk SKY
PAV. : LT 29. Dezember 1972
I Müaü-e; ..πύΛ. * 7324/III-St.
T»!«fen 5* 17*1
Soclfte* Nationale des Petrol·a d'Aquitaine Courbevoie, Tour Aquitaine (Frankreich)
"Verfahren und Vorrichtung zur spektrometrIschen Analyse
■it Röntgenstrahlen"
Priorität von 29. Dezember 1971 aus der französischen Patentanmeldung Nr. 71/47 291
Die Erfindung betrifft ein Verfahren sur Spektrometrie «it Röntgenstrahlen sowie eine Vorrichtung sur direkten Emission langsamer Elektronen. Bei der Anwendung von vorhandenen Apparaten sur Spektrometrie stellen die Schattenzonen, die eine nicht ▼011ig kontinuierliche Oberfläche aufweist, eine nicht zu vernaehllsslgende Fehlerquelle für die Analyse dar. Wenn das Muster Unstetlgkeiten der Oberfläche enthält, z.B. Spalten oder Aushöhlungen, deren Tiefe im Vergleich mit der Stärke der Absorption einer gegebenen Strahlung nicht zu vernachlässigen 1st, wird ein Teil der schragen Oberfläche der Poren und der Spalten nicht bestrahlt, während ein Teil der bestrahlen Oberfläche nicht sichtbar ist, d.h. keine Strahlung, die für die Zusammensetzung des Musters charakteristisch 1st, in Richtung der Analysenvorrichtung aussendet (Kollimator mit Spalt, Kristal}analysator, Zähler). In solchen Fällen entzieht sieh
-2-
309828/0881
fast di· gesamte Oberflieh·, dl· von Poren bcsotst Ist, der Analyse, line solch· Wirkung der Schatten, dl· häufig bei Muttern In For» von agglomeriertem Pulver beobachtet wird, 1st auf dl« Tatsaeh· surOeksufOhren, daft dl· Achten d«t einfallenden Strahlenbflndels und det emittierten analjtlerten Bündelt !■ allgemeinen einen Winkel svlschen 60 und 1*0° bilden.
In den Figuren 1 und 2, die die Oberfitehen von nicht völlig polierten Muttern selgen, kann man erkennen, daft der größer« Teil der Oberfläche aut Poren oder Spalten betteht, und »war entweder au· bestrahlten Teilen (a), die nleht In der Richtung der Analysenvorrlehtung emittieren, oder aut nloht bestrahlten Teilen (b), dl· empfänglich «Iren, wenn sie bestrahlt wurden, In Richtung der Analysenvorrlehtung ku emittieren. Nur ein schwacher Teil der bestrahlten Porenoberflflehe (c) emittiert In Richtung der Analjsevorrichtung.
Das Xlel der vorliegenden Erfindung besteht darin, diese Nachteile su vermelden und ein Verfahren für die Spektrometrie sowie eine Vorrichtung fOr die direkte Emission von Elektronen Voranschlägen, Indem man die Wirkungen des Sohattens verringert oder beseitigt, den die Muster mit einer nleht völlig kontinuierlichen Oberfläche selgen.
Da· erfindungsgemlfie Verfahren 1st dadurch gekennzeichnet, daA der Winkel, der durch das fllnfallen-de Strahlenbündel und das Bündel der emittierten Strahlung gebildet wird, swlsehttn 1*0 und 180° beträgt.
Oemtft einer der Ausfflhrungsformen der vorliegenden Erfindung ordnet man einen Kollimator mit Spalten in der Welse an, daft dl· Aebs· der Spalten senkrecht auf der Oberfitehe des Muster· steht, während eine oder mehrere Quellen der einfallenden Strahlung derart aufgestellt sind, daft die Achse des ein· fallenden Bündels soweit wie möglich der Senkrechten auf der
Oberfitehe des Musters benachbart 1st.
309828/0881
Gemäß einer anderen Aueführungaform kann man eine Strahlungsquelle derart anordnen, daß das einfallende Bündel senkrecht auf die Oberflache des Musters auftrifft, während eine oder mehrere Kollimatoren mit der Achse des einfallenden Bündels einen Winkel zwischen 1*0 und 180° bilden.
Gemäß einer weiteren Ausffihrungsform ordnet man mehrere Quellen und Kollimatoren mit konvergierenden Achsen in abgeänderter Weise auf der gebogenen Fliehe des Gehäuses eines Konus an, dessen Winkel an der Spitze kleiner als 4o° ist.
Gemäß einem weiteren Kennseichen der Torliegenden Erfindung ist das Bündel der einfallenden Strahlung nach der Achse gerichtet, die senkrecht auf der Oberfläche des Musters steht, und zwar mit Hiwife eines elektrostatischen oder elektromagnetischen Feldes, das an der Bahn des Bündels in der Nähe des Musters angelegt ist.
In den Figuren 3a und 3b ist eine solche Vorrichtung dargestellt. Dabei bedeutet i einen Block mit Sollerspalten, deren Achse senkrecht auf der Oberfläche des Musters steht» 2 eine Röhre für direkte Emissionen Elektronen mit einer Kathode in Form einer metallischen Scheibe 2a und einer Anode in Form eines metallischen Gitters 2b, und 3 ist ein Muster. Die Elektronenbündel, die durch das Rohr unter einem Winkel emittiert werden, der die analytischen Messungen eines nicht völlig polierten Musters unsicher macht, werden nach der Achse senkrecht auf die Oberfläche des Musters gerichtet, und zwar mit Hilfe eines magnetischen Feldes, das durch das Elsen eines Magneten 1 gebildet wird, oder mit Hilfe eines elektrostatischen Feldes, das durch die Elektroden 5 einer elektrostatischen Platte erzeugt wird.
Die angewandte Spektrometrieapparatur mit direkter Emission besteht aus Teilen der klassischen Apparatur, wie der Spektrometrlekammer, einer Haltevorrichtung für das Muster, einem
309828/0881
-H-
226A192
Kollinator mit Spalt, einem Krletallanalygator und einem Zflhler sowie der Röhre für die direkte Emission von Elektronen unter Ausschluß von Photonen, die Gegenstand der französischen Patentanmeldung sind» die von der Anmelderin am gleichen Tage unter der Nr. 71 47 290 eingereicht wurde.Sie ist gekennzeichnet durch die Vorrichtung des Blocks mit Spalten In der zentralen Achse, die senkrecht auf der Oberfläche des Musters steht und durch die von einer oder mehreren Quellen einer Emissionsstrahlung, die derart einfällt, daß die Achse des einfallenden Strahlenbündel soweit wie möglich der Senkrechten auf der Oberflächesdes Musters benachbart ist.
Die Figur 4 stellt schematisch die Vorrichtung mit zwei Rühren dar, die mit den in der Figur 3 dargestellten identisch sind, und swar auf beiden Seiten der Vorrichtung mit dem Spalt. Dank dieser Vorrichtung betrSgt der Winkel, der von den einfallenden und emittierten Bündeln gebildet wird zwischen 140 und 180°.
In der Figur 4a wird eine Spektrometrle-Apparatur gezeigt, die die Anordnung der beiden Röhren gemSß Figur 4 erläutert. Eine Vakuumkammer 5» die mit der DIf fraktometr lekamnier 10 verbunden 1st, enthält den Block 4, in dessen Inneren zwei Quellen 2 für Röntgenstrahlen angebracht sind und zwar auf beiden Selten mit einem Kollimator mit Spalten 1. Die Nummern 11 und 12 bezeichnen den Krlstallanalysator und einen Detektor sowie einen Impulszähler. Der Block 4 1st in der Figur 4b dargestellt. Jede Quelle 2 1st eine Quelle für direkte Emission von Elektronen und besteht aus einer Kathode 20 und einer Anode, die entweder perforiert oder in Form eines Gittere 21 ausgebildet 1st. Das Gehäuse der Kammer 22, die die Elektroden enthält, 1st mit Offnungen 23 und 24 versehen. Diese erlauben die Zuführung und Abführung von Gasen. Eine Muffe 25, in deren Inneren die Anode 21 befestigt 1st, gleitet auf dem zylindrischen Gehäuse der Kammer 22 und erlaubt so die Einstellung der Entfernung zwischen der Kathode und der Anode.
309828/0 881
Bin Bloektr&ger 26 enthilt 3 Offnungen und trSgt swel Emissionsröhren» vie ale oben beschrieben sind, und einen Kollimator alt Sollerspalten, der !mitten dea Blocks angeordnet ist. Die Verschraubung 27 erlaubt die Befestigung der Röhren an de« TrSg;tr 26.
QemSft einer bevorsugten Auβfahrungsform der Torriehtung hat die Röhre für die direkte Emission» die die Quelle für die einfallende Strahlung bildet» die Form eines ringförmigen Umdrehungskörpers, der eine ringförmige Kathode enthalt, die s.B. aus eine« Aluminiumdraht besteht, der in Form eines Kreieringa oder eines Aluminiumrings ausgebildet 1st» sowie eine ringförmige Anode» die aus einem metallischen Gitter oder einem Spalt beateht und eine ringförmige öffnung darstellt» die fflr den Durchgang der Elektronen in Richtung auf das Küster bestimmt 1st. Ό·τ evakuierte innere Teil der Röhre enthilt die Torriehtung für die Spalten.
Die Figur 5 seigt in perspektivischer Ansieht eine Torrich tang für eine solehe Röhre· Das Bündel wird in Richtung der ringförmigen Anode emittiert» die die Form eines metallischen Gitters besitzt» und swar aus der Kathode» die aus einen Aluminiumring 2 besteht» und trifft das Muster 4» wobei die Auslösung von Strahlen bewirkt wird» die charakteristisch sind für die Elemente, aus denen es besteht.
Die Röntgenstrahlung» die von dem Muster emittiert wird , wird in Form eines BOndels, das mit dem einfallenden Bündel einen Winkel In der Nine von l8o° bildet» nach der Torriehtung mit den Spalten 1 geleitet. Zwei konische Muffen 5 isolieren· die Elektroden der Torrichtung mit den Spalten und des Spektrometer«. Der mittlere Durehmeaaer der Ringanode ist kleiner ala der der Rlngkadbde» die Kantellinien des Konus» die als Leitlinien diese swel mittleren Durchmesser haben» laufen ungeflhr in der Mitte des scheibenförmigen Musters xusammen.
-6-
309828/0881
Die Τ·11· der Oberfliebe alt den bestrahlten Poren de· Musters und diejenigen Teile» die von den einfallenden Bündel nicht bestrahlt wurden, sind also vermindert oder fast vOUlg verschwunden.
In der Figur 5a sind Im Querschnitt die Einzelheiten der Konstruktion fflr die Ausführung des Blocks dargestellt. Dieser besteht aus einer ringförmigen Quelle 3 für die Elektronen und aus einen KoIliestor 1, der In seines Inneren angebracht 1st. Eine Isolierende, ringförmige Muffe 6 enthalt In seiner zentralen Öffnung den KoI Heat or nlt Spalt. In der ringf Bmigen Vorrichtung dieser Muffe 1st eine Aussparung angebracht, die die ringförmige KaAxIe enthält, die nlt einer Quelle τοη hoher Spannung verbunden 1st. Eine Isolierende Muffe 2, die In die innere Muffe 6 eingefügt 1st, bildet nlt der luieren Seitenwand der Muffe einen rlngfOrnlgen Kanal *. für den Durchgang der Elektronen. Die Winde des so hergestellten Ringes bilden ■lt der Achse der Spalten des Kollinators einen Winkel zwischen 140 und 18O°. Die ringförmige Unfassung » ist fOr Öffnungen zur Einführung und Abführung von Oasen vorgesehen. Eine ringförmige Anode 5 In Fern eines Gitters 1st an «uferen End· de· rlngfOmlgen Kanals 4 angebracht·
Die in Figur 5 dargestellte Strahlungsquelle von Typ einer groAen Anode erlaubt es, eine bessere Ausbeute an emittierten Photonen an erhalten. Eine Quelle von Typ einer großen Kathode, wie sie la Figur 6 dargestellt 1st, erlaubt es, ohne nachfolgende Richtung des Bündels nlt Hilfe de· Magnetischen Feldes eine Bestrahlung der Oberflieh· de· Muster· unter einen Winkel υ erhalten, der der Senkrechten auf dl· Oberfllche des Musters nah· genug ist· Die Kathode besteht in diesen Fall aus einem flachen Ring, wehrend die Anode als Spalt awlsehen zwei Armaturen gebildet wird, wobei dl· Kathode und dl· Armaturen mit der elektrischen Einrichtung verbunden sind.
Die Torrichtung einer Quelle nlt groler Anod· und Kathode,
wie si· in Figur 7 dargestellt 1st, erlaubt gleichfalls, nach
309828/0881
der Richtung dee Bündelsmit Hilfe eines elektroetatlechen Feldes eine Strahlung zu erzielen, und zwar unter den fast senkrechten Winkel auf die Oberfläche des Musters.
Die einfallenden Bündel können die einfache Form oder die gekreuzte Form besitzen» wie aus der Figur 8 hervorgeht. Die Anwendung der Quelle «dt gekreuztein Bündel bringt Vorteile, die auf der Tatsache beruhen» dag Jeder Funkt des Musters Elektronen von zwei verschiedenen Richtungen erhSlt, was in vielen Fällen Fehler vermindern kann» die auf den Wirkungen des Schattens beruhen.
Die Anwendung des einfallenden Strahlenbündels aus einer ringförmigen Kathode und Anode bringt das Problem der Homogenität der Bestrahlung der gesamten Oberfläche des Husters nitjblch.
Wie auch inner die angewandte Art der Bestrahlung durchgeführt wird (einfaches oder gekreuztes Bündel), und wie auch lasier die Größe der angewandten Kathoden und Anoden S-ImI1 ist stets erhält man in Mittelpunkt des Küsters eine viel höhere Dichte an Elektronen als an der Peripherie (siehe Figur 9, wo die Dichte des Elektronenbonbardement D, ausgedrückt In Watt pro Einheit der Oberflache des Musters, als Funktion der Entfernung zum Fittelpunkt des Musters X, ausgedrückt ißt).
Um die Wirkung des Verbrennens im Kittelpunkt zu veraeiden und eine homogene Dichte bei der Verteilung der Elektronen auf der Oberfläche des Musters zu erhalten , kann man eine große Anode nlt einer Transparenz anwenden» wfthdtfren Entfernung zum Kittelpunkt variabel 1st. Die Ausbeute der Quelle wird dabei jedoch herabgesetzt. Vorzugsweise kann «an eine Kathode mit einer Ausstrahlung verwenden» die veränderlich 1st in Abhün/lp.kelt der Entfernung zum Mittelpunkt .Diese veränderliche Ausstrahlung kann erhalten werden, indem man die Kathode aus einer Reihe konzentrischer Ringe von verschiedener Zusannen-
-8-
309B28/0881
setzun? herstellt, und zwar in der Weiee, daft der Ring, der den Mittelpunkt des Musters bestrahlt, eine sehwiehere Ausstrahlung besitzt. Ein anderes Mittel, um die Intensltfit der Emission der einfallenden Strahlung in Richtung von Mittelpunkt des Küsters abnehmen su käsen, besteht darin, die Kathode in dreieckige Kelle aufstellen, deren Spltsen entweder an luAeren Umkreis des Kinnes bei einer groften Röhrenkathode (Flg. 10) liegen oder an inneren Unkreis des Ringes (Pig. 11) einer groften Röhrenanode oder -kathode angebracht sind.Bei Verwendung solcher Kathoden und Anoden nlt Aussparungen nuß nan natürlich dem Nüster eine Drehbewegung verleihen, un eine homogene Strahlungsdichte auf die gesante Oberfliehe su erzielen.
Die Korrektur der Bahn des aus einer ringförmigen Quelle auspesandten Bündels sur Einstellung der Richtung nach der Achse, die senkrecht auf der Oberfläche des Musters steht, kann mit Mitteln durchgeführt werden, die denjenigen fihnlich sind, wie sie in den Figuren 3a und 3b dargestellt sind.
Zu diesem Zweck kann man (Flg. 12) auf die Bahn des Bündels aus einer ringförmigen Rühre vor der Anode 3 Mittel anwenden, um ein elektrostatisches Feld tu erzeugen, das aus zwei konzentrischen Elektroden gebildet wird, wobei die eine zylindrisch und von kleinem Durchmesser ist, die in die Achse des Rohres 6 gestellt wird, und die andere die Form einer konischen oder ringförmigen Muffe 7 besitzt, die den konischen Mantel des Elektronenbündels 8 umgibt.
Um die Wirkungen der Konsentration des elektrischen Feldes in dem benachbarten Raue am Ende der zentralen, zylindrischen Elektrode 6 zu vermindern, kann man diese Elektrode durch eine Reihe konzentrischer Zylinder ersetzen, die das gleiche Potential besitzen, und zwar derart, daß ihre Höhe mit ihrem Durchmesser abnimmt ( Flg. 13)· Diese Zylinder, die an ihrer Basis offen sind, erlauben den freien Durchgang von Photonen, die
309828/088 1
von dem Muster emittiert sind, au der Analysenvorrichtung auf ihrer Bahn, die parallel xur Achse dieser Zylinder verläuft.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform kann die Vorrichtung sur Spektrometrie, die in Figur 14 dargestellt ist» aus Hehreren Strahlungsquellen 2 und mehreren Kollimatoren 1 mit konvergierenden Achsen bestehen, die auf einem Konus angebracht sind, dessen WinkelOC an der Spltse kleiner als 40° 1st. Die emittierte Strahlung wird so auf der gesamten Oberfläche des Küsters 4 erhalten, dat Diskontinuitäten aufweist* Ebenso wird jeder bestrahlte Teil die Strahlung aussenden,die kennzeichnend ist für die Zusammensetzung des Musters« Jeden Kolliaator entspricht ein Streusystem, das unabhängig 1st und jedem erlaubt, ein oder mehrere Elenente xu analysleren. Ein solches Streusystem umfaßt einen Kristall und einen Detektor und gegebenenfalls eine Winkelbewegung des Kristalls und des Detektors. Eine solche Vorrichtung stellt somit den doppelten Vorteil eines multikanalen Analysator* und eines Analysator β dar, der es erlaubt, die Nachtelle einer ungleichmäßigen Oberfläche des Musters xu vermindern.
Die verschiedet mitgeteilten AusfOhrungsformen für die Apparate gemSB der Erfindung stellen keine Einschränkung dar. Die Erfindung erstreckt sich gleichfalls auf andere Ausführung»· formen, die dem Stand der Technik entsprechen.
309828/0881

Claims (12)

  1. CHpl.-lnp. D!:! cnc. pwbL 2 2 6 A 1 9 2
    D' · "■ >'^Y J1n 29. Dezember 1972
    r r /V 732'1-III/St.
    t Wl"^-■ .:-Jstr. ti
    Teldsn J#'7 4l
    Socie'te' Nationale des Pltroles d'Aquitaine Courbevole, Tour Aquitaine (Frankreich)
    Patentansprüche:
    Verfahren zur spektrometrischen Analyse mit Röntgenstrahlen durch direkte Emission, dadurch gekennzeichnet, daß der Winkel, der von dem einfallenden Strahlungsbündel und dem Bündel der emittierten Röntgenstrahlung gebildet wird, zwischen 1*0 und l80° .beträgt.
  2. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß eine Vorrichtung mit Spalten senkrecht zur Oberfläche des Musters angeordnet 1st und eine oder mehrere Quellen einfallender Strahlen derart angebracht sind, daß die Achse des einfallenden Bündels soweit wie möglich der Senkrechten der Oberfläche des Musters benachbart ist.
  3. 3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das einfallende Elektronenbündel gemflß der Achse senkrecht auf die Oberfläche des Musters gerichtet wird, und zwar mit Hilfe eines magnetischen oder elektrostatischen Feldes, das an der Bahn des Bündels in der Nähe des Musters angelegt 1st.
  4. 4. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
    man um die Achse des Kollimators mit Spalten eine ringförmige Kathode als Quelle für die Emission des einfallenden Bündels anordnet, wobei eine ringförmige Anode In Form eines
    309828/0881
    Gitters oder Spaltes an der Bahn des einfallenden Bündels In Richtung des Musters angebracht ist.
  5. 5. Vorrichtung zur Spektrometrie mit direkter Emission, bestehend aus einer Vakuumkammer, einer Röhre zur Emission von Elektronen, einem Träger für das Muster, einem Kollimator mit Spalten, einem Kristallanalysator und einem Zähler, dadurch gekennzeichnet, daß der Kollimator mit Spalten derart angeordnet ist, daß die Achse der Spalten senkrecht auf der Oberfläche des Musters steht und ein oder mehrere EmiseionsrÖhren in der Nähe des Kollimators derart angebracht sind, daß die Achse des einfallenden Bündels soweit wie möglich der Senkrechten auf der Oberfläche des Musters benachbart ist.
  6. 6. Vorrichtung zur Spektrometrie nach Anspruch 5» dadurch gekennzelchnet, daß die Rohre für die direkte Emission die Form eines ümdrehungskörpers mit ringförmigem Querschnitt hat, isoliert mit einer doppelten Muffe, eine ringförmige Kathode und eine ringförmige Anode enthält, die aus einem Gitter oder Spalt besteht, und mit einer ringförmigen Öffnung versehen ist, die für die Bahn der Elektronen in Richtung des Musters bestimmt ist, und daß der innere evakuierte Teil der Röhre den Kollimatormit den Spalten umschließt.
  7. 7* Vorrichtung stur Spektrometrie nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Kathode aus einer Kathode mit einer Ausstrahlung besteht, die veränderlich ist als Funktion der Entfernung zum Mittelpunkt.
  8. 8. Vorrichtung zur Spektrometrie nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Querschnitt der Kathode Aussparungen In Form von dreieckigen Keilen enthält, deren Spitzen an der äußeren oder inneren Umgrenzung des Ringes liegen.
    309 8 28/0881
  9. 9. Vorrichtung zur Spektrometrie nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Kathode aus mehreren konzentrischen Ringen mit verschiedenen Zusammensetzung besteht, deren Ausstrahlung In Richtung auf den Mittelpunkt abnimmt·
  10. 10. Vorrichtung zur Spektrometrie nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere Strahlenquellen und mehrere Kollinatoren mit konvergierenden Achsen wechselweise auf einem Konus angebracht sind, dessen Winkel an der Spitze kleiner als 40° ist.
  11. 11. Vorrichtung zur Spektrometrie nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß diese In der Nfihe des Musters elektromagnetische oder elektrostatische Kittel für die Ablenkung des einfallenden Bündele vorsieht.
  12. 12. Vorrichtung zur Spektrometrie nach Anspruch 6 und 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Mittel zur Erzeugung eines elektrostatischen Feldes aus zwei konzentrischen Elektroden bestehen, wobei die eine In der Mitte mit zylindrischer Form und kleinem Durchmesser in der Achse des Rohres angebracht 1st und der andere an der Peripherie die Form einer konischen oder ringförmigen Muffe hat.
    13* Vorrichtung zur Spektrometrie nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die innere Elektrode aus mehreren konzentrischen Ringen mit dem gleichen Potential besteht, wobei die Höhe der Ringe mit ihrem Durchmesser abnimmt.
    309828/088 1
DE2264192A 1971-12-29 1972-12-29 Verfahren und vorrichtung zur spektrometrischen analyse mit roentgenstrahlen Pending DE2264192A1 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR7147291A FR2166540A5 (de) 1971-12-29 1971-12-29

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE2264192A1 true DE2264192A1 (de) 1973-07-12

Family

ID=9088304

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE2264192A Pending DE2264192A1 (de) 1971-12-29 1972-12-29 Verfahren und vorrichtung zur spektrometrischen analyse mit roentgenstrahlen

Country Status (21)

Country Link
JP (1) JPS4878996A (de)
AR (1) AR194772A1 (de)
AT (1) AT348801B (de)
AU (1) AU470801B2 (de)
BE (1) BE793444A (de)
BR (1) BR7209163D0 (de)
CA (1) CA994478A (de)
CH (1) CH571718A5 (de)
CS (1) CS177113B2 (de)
DD (1) DD105664A5 (de)
DE (1) DE2264192A1 (de)
ES (1) ES410110A1 (de)
FR (1) FR2166540A5 (de)
GB (2) GB1422329A (de)
IL (1) IL41187A (de)
IT (1) IT972980B (de)
LU (1) LU66757A1 (de)
NL (1) NL7217760A (de)
OA (1) OA04309A (de)
SE (1) SE388941B (de)
ZA (1) ZA729137B (de)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2415365A1 (fr) * 1978-01-24 1979-08-17 Radiologie Cie Gle Dispositif de reduction de la divergence du faisceau utile d'un tube a rayons x, et tube ainsi equipe
NL8603264A (nl) * 1986-12-23 1988-07-18 Philips Nv Roentgenbuis met een ringvormig focus.
JP3165615B2 (ja) * 1995-03-17 2001-05-14 財団法人国際超電導産業技術研究センター 表面元素分析方法及び装置
DE102015220754B3 (de) * 2015-10-23 2017-02-09 Siemens Healthcare Gmbh Verfahren und Messeinrichtung zur Ermittlung des Elektrodenabstands von Röntgenröhren

Also Published As

Publication number Publication date
GB1422329A (de) 1976-01-28
AR194772A1 (es) 1973-08-14
IL41187A (en) 1975-12-31
IL41187A0 (en) 1973-02-28
DD105664A5 (de) 1974-05-05
AU5059072A (en) 1974-07-04
ES410110A1 (es) 1975-12-16
BE793444A (fr) 1973-04-16
GB1422330A (de) 1976-01-28
ZA729137B (en) 1973-11-28
CA994478A (fr) 1976-08-03
LU66757A1 (de) 1973-02-27
AU470801B2 (en) 1976-04-01
CS177113B2 (de) 1977-07-29
FR2166540A5 (de) 1973-08-17
JPS4878996A (de) 1973-10-23
NL7217760A (de) 1973-07-03
SE388941B (sv) 1976-10-18
ATA1115872A (de) 1978-07-15
IT972980B (it) 1974-05-31
OA04309A (fr) 1980-01-15
BR7209163D0 (pt) 1973-09-25
AT348801B (de) 1979-03-12
CH571718A5 (de) 1976-01-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE1063286B (de) Verfahren und Einrichtung zum Einstellen der Lage des durch einen Kathodenstrahl erzeugten Brennflecks auf der Antikathode einer Roentgenroehre
EP3079803B1 (de) Vorrichtung zum beaufschlagen von schüttgut mit beschleunigten elektronen
DE3423394A1 (de) Laufzeit-massenspektrometer
DE4015180C2 (de)
DE2647220A1 (de) Roentgenroehren-anordnung
DE4441843A1 (de) Anordnung zum Messen des Impulsübertragungsspektrums von elastisch gestreuten Röntgenquanten
DD140516A5 (de) Kathodenstrahlroehre
DE19544203A1 (de) Röntgenröhre, insbesondere Mikrofokusröntgenröhre
DE3827511C2 (de)
DE4015105A1 (de) Roentgen-computer-tomographie-system
EP3685420A1 (de) Mbfex-röhre
DE2738165C2 (de) Röntgenstrahler mit einem konzentrisch zum Brennfleck der Röntgenröhre gewölbten Fenster
DE2264192A1 (de) Verfahren und vorrichtung zur spektrometrischen analyse mit roentgenstrahlen
DE1938172U (de) Elektronenstrahlen abgebende rohre.
DE2738918B2 (de) Ionisationskammer
DE2811464A1 (de) Verfahren und vorrichtung zum erzeugen von roentgenstrahlen aus verschiedenen richtungen ohne sich bewegende teile
DE2237855B2 (de) Röntgenröhrendrehanode
DE1537147B2 (de) Verfahren und vorrichtung zur herstellung eines leuchtschirmes fuer eine farbbild kathodenstrahlroehre
DD202354A5 (de) Plasmaspritzen von konversionsschirmen
EP0141041B1 (de) Röntgenlithographiegerät
DE2505173A1 (de) Roentgenaufnahmeanordnung mit einer gasgefuellten kammer
DE2421442A1 (de) Multiplex-bildschirmaufbau einer farbbildkathodenstrahlroehre und herstellungsverfahren
DE2022132A1 (de) Spektrometer
DE2849416A1 (de) Farbbildroehre
DE2639033B2 (de) Bauteil in mit Ladungsträgerstrahlen arbeitenden elektrischen Vakuumgeräten und Verfahren zu dessen Herstellung

Legal Events

Date Code Title Description
OGA New person/name/address of the applicant
OHA Expiration of time for request for examination