DE2263478A1 - Anordnung zur erzeugung von ionen - Google Patents

Anordnung zur erzeugung von ionen

Info

Publication number
DE2263478A1
DE2263478A1 DE19722263478 DE2263478A DE2263478A1 DE 2263478 A1 DE2263478 A1 DE 2263478A1 DE 19722263478 DE19722263478 DE 19722263478 DE 2263478 A DE2263478 A DE 2263478A DE 2263478 A1 DE2263478 A1 DE 2263478A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
ions
gas
discharge channel
channel
arrangement
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DE19722263478
Other languages
German (de)
English (en)
Inventor
Walter Dr Huber
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
OC Oerlikon Balzers AG
Original Assignee
Balzers AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Balzers AG filed Critical Balzers AG
Publication of DE2263478A1 publication Critical patent/DE2263478A1/de
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J27/00—Ion beam tubes
    • H01J27/02—Ion sources; Ion guns
    • H01J27/20—Ion sources; Ion guns using particle beam bombardment, e.g. ionisers

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)
DE19722263478 1972-01-24 1972-12-27 Anordnung zur erzeugung von ionen Pending DE2263478A1 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CH102772 1972-01-24

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE2263478A1 true DE2263478A1 (de) 1973-08-02

Family

ID=4200740

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19722263478 Pending DE2263478A1 (de) 1972-01-24 1972-12-27 Anordnung zur erzeugung von ionen

Country Status (4)

Country Link
CH (1) CH547549A (forum.php)
DE (1) DE2263478A1 (forum.php)
FR (1) FR2169071B3 (forum.php)
NL (1) NL7203301A (forum.php)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1693877A1 (en) * 2005-02-10 2006-08-23 The Thailand Research Fund High current density ion source

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1693877A1 (en) * 2005-02-10 2006-08-23 The Thailand Research Fund High current density ion source

Also Published As

Publication number Publication date
FR2169071B3 (forum.php) 1976-01-16
CH547549A (de) 1974-03-29
FR2169071A1 (forum.php) 1973-09-07
NL7203301A (forum.php) 1973-07-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE19941670A1 (de) Massenspektrometer
DE1798021B2 (de) Einrichtung zur buendelung eines primaer-ionenstrahls eines mikroanalysators
DE2701671A1 (de) Einrichtung zum plasmaspritzen
DE1291207B (de) Ablenkeinrichtung fuer den Schubstrahl einer Rueckstossduese eines Luft- oder Raumfahrzeuges
DE1962617A1 (de) Ionenquelle fuer Massenspektrometer
DE1577739B2 (de) Elektrostatische Sprühvorrichtung
DE2041422A1 (de) Elementanalysator
DE2420275B2 (de) Vorrichtung zum Analysieren einer Oberflächenschicht durch Ionenzerstreuung
DE1498845A1 (de) Ionisierungsvorrichtung fuer in grossen Totaldruckbereichen verwendbare Massenspektrometer
DE2263478A1 (de) Anordnung zur erzeugung von ionen
DE1281602B (de) Vorrichtung zur Erzeugung eines ionisierten Luftstrahls
DE1598150C3 (de) Ionenquelle für Massenspektrometer mit einer Feldionisierungseinrichtung und einer ElektronenstoBionisierungseinrichtung
DE2418604A1 (de) Elektrostatische spruehpistole
DE1100188B (de) Ionenquelle
DE1073655B (de) Verfahren zum Ändern der Bildhelligkeit in Korpuskularstrahlgeräten, insbesondere in Elektronenmikroskopen
DE751111C (de) Reihenvervielfacher
DE3717859A1 (de) Ionenquelle fuer ein massenspektrometer
DE748720C (de) Elektronenroehre fuer Verstaerkungszwecke mit einer Elektronen praktisch gleicher Austrittsgeschwindigkeit emittierenden Kathode
DE962283C (de) Ionenquelle mit Extraktionssonde
DE973214C (de) Messroehre mit einer die Anode allseitig umhuellenden Kathode
DE2141376C3 (de) Vorrichtung zur Erzeugung von relativistischen Elektronenstrahlimpulsen mit magnetischer Selbstfokussierung
DE714868C (de) Druckleitungsanlage zur Zufuehrung von Gasen unter verschiedenem Druck von einer mit einer Druckquelle, z.B. einer Kohlensaeureflasche, verbundenen Hauptleitung aus zu mehreren Spritzen zur Gas- oder Fluessigkeitsbehandlung fuer zahnaerztliche Zwecke
DE634981C (de) Einrichtung zur regelbaren Verstaerkung der Gasionisation in vorevakuierten Gluehkathodenroehren
DE803766C (de) Presslufthammer mit Ventilsteuerung
DE911409C (de) Korpuskularstrahlapparat, insbesondere Elektronenmikroskop