DE2252690A1 - Verfahren zur herstellung von strukturierten schichten - Google Patents

Verfahren zur herstellung von strukturierten schichten

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deposition
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Lothar Naumann
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Hochvakuum Dresden VEB
Original Assignee
Hochvakuum Dresden VEB
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    • H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/10—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
    • H05K3/14—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using spraying techniques to apply the conductive material, e.g. vapour evaporation
    • H05K3/146—By vapour deposition
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    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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