DE2249509A1 - Mehrpoliger akustischer oberflaechenwellen-wandler mit einseitiger richtwirkung - Google Patents

Description

Patentanwälte Dipl.-ing. W. Scherrmann Dr.-lng. R, RQger

73 Essllngen (Neckar), Fabrikstraße 9, Postfach 348 9. Oktober 1972
PA 18 rünae

35961»

Telegramme Patentschutz -Essllngeftneckar

Hazeltine Corporation, Greenlawn, New York 11740, USA Mehrpoliger akustischer Oberflächenwellen-Wandler mit

einseitiger Richtwirkung

Die Erfindung betrifft einen mehrpoligen akustischen Oberflächenwellen-Wandler mit einseitiger Richtwirkung innerhalb eines vorbestimmten Betriebsfrequehzbandes, dessen Elektroden zur_eAnregung und« zum Empfang von Oberflächenwellen in einem bzw. von einem Körper aus piezoelektrischem Material eingerichtet sind, sowie ein Verfahren zum Betrieb eines solchen Wandlers und eiii Verfahren zur Erzeugung eines n-phasigen elektrischen Signales unter Verwendung eines derartigen Wandlers.

Oberflächenwellen-Geräte oder -Vorrichtungen bestehen, wie an sich bekannt, im allgemeinen aus einem Ausbreitungsmedium für akustische Oberflächenwellen und einem oder mehreren elektromagnetischen Wandlern zur Anregung und zum Empfang von Oberflächenwellen in dem bzw. aus dem Medium. Der bekannteste Wandler ist der sogenannte Interdigital-Wandler; er besteht aus einem oder mehrere Sätze ineinandergreifender Metallelektroden, die auf

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der Oberfläche des piezoelektrischen Materials mit einem Abstand von 1/2 -Wellenlänge der Betriebsfrequenz des Wandlers aufgetragen sind. Ein Pinger jedes Paares ist elektrisch durch eine erste Sammelschiene angeschlossen, die eine erste Anschlußklemme (Pol) des Wandlers bildet, während der andere Finger jedes Paares durch eine zweite Sammelschiene angeschlossen ist, welche die zweite Anschlußklemme (Pol) des Wandlers bildet. Wird einem solchen Wandler ein einphasiges elektrisches Signal zugeführt, so kann die sich ergebende Oberflächenwelle sich in zwei Richtungen ausbreiten. Ein derartiger Wandler weist deshalb einen Minimum-Umwandlungsverlust von 3 db auf/ weil in jeder Richtung die Hälfte der mechanischen Energie erregt wird. Da dieser Verlust sowohl bei der Umwandlung eines elektrischen Signales in eine akustische Oberflächenwelle als auch bei der Umwandlung von einer akustischen Oberflächenwelle in ein elektrisches Signal auftritt, beträgt der Netto-Minimumverlust bei einem zwei Wandler aufweisenden akustischen Oberflächenwellen-Gerät 6 db.

Bei den bekannten Wandlern ist es üblich, Abschlüsse füt das in der falschen Richtung wandernde Signal durch die Verwendung eines absorbierenden Materials, wie Wachs oder Tetraflour, Polyäthylen vorzusehen, das auf die Oberfläche des piezoelektrischen Materials aufgebracht wird, um die akustische Oberflächenwelle zu absorbieren. Durch diese Vorgangsweise wird natürlich von den 6 db Umwandlungsverlust nichts eingespart.

Eine zweite Lösung dieses Problems ist auf Seite 1252 der "Proceedings of the IEEE, Vol. 58 No. 8" beschrieben. Sie besteht darin, daß als Anregungswandler zwei gleiphe

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Interdigitalwandler verwendet werden, die durch einen Abstand von (n + 1/4)^ voneinander getrennt sind, wobei ^ die Qberflächenwellen-Wellenlänge. und η eine ganze Zahl sind. Werden diesen beiden Wandlern um 90° gegeneinander phasenverschobene elektrische Signale zugeführt, so regt jeder von ihnen in dem piezoelektrischen Material sich ausbreitende Oberflächenwellen an, wobei jedoch die in einer Richtung.laufenden Oberflächenwellen sich in der Phase addieren, während die in der entgegengesetzten Richtung laufenden Oberflächenwellen sich gegenseitig auslöschen. Dadurch wird der Gesamtumwandlungswirkungsgrad des Wandlers um 3 db verbessert, weil die sich ergebende Oberflächenwelle sich lediglich in einer Richtung ausbreitet; es tritt jedoch ein schwerwiegender Nachteil insoweit auf, daß sich wegen dem großen Abstand zwischen den beiden zur Anregung der Oberflächenwelle dienenden Wandler nur eine sehr schmale Bandbreite ergibt.

Der Erfindung liegt deshalb die Aufgabe zugrunde, einen mehrpoligen akustischen Oberflächenwellen-Wandler mit einer einseitigen Richtwirkung zur schaffen, der nicht a\;f schmale Bandbreiten beschränkt ist und deshalb bei allen Arten von Oberflächenwellen-Geräten wie Verzögerungsleitungen, abgestimmten Filtern und Impulskompressions- und Expansionsfilter eingesetzt'werden kann.

Zur Lösung dieser Aufgabe ist der eingangs genannte akustische Oberflächenwellen-Wandler erfindungsgemäß dadurch gekennzeichnet, daß ein Satz von η (η = eine ganze Zahl größer zwei) Elektroden auf einer Oberfläche des piezoelektrischen Materialkörpers mit einem Mitte-Mitte Elektrodenabstand von — Wellenlänge einer ausge-

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wählten, in dem Betriebsfrequenzband liegenden Frequenz angeordnet ist und jede Elektrode einen Pol des mehrpoligen Wandlers bildet und daß bei Einspeisung eines n-phasigen elektrischen Signales an den Polen des Wandlers mit einer Phasenverschiebung von 360 · zwischen den Polen durch den Wandler eine

η
entsprechende Oberflächenwelle in dem piezoelektrischen Material in der Richtung der über die Elektroden fortschreitenden Phase anregbar ist.

Das neue Verfahren zum Betrieb eines solchen Wandlers zeichnet sich gemäß weiterer Erfindung dadurch aus, daß ein n-phasiges elektrisches Signal an die Pole des

Wandlers mit einer -■ Phasenverschiebung zwischen den

Wandlerklemmen eingespeist und dadurch eine entsprechende Oberflächenwelle in dem Material des Wandlers in der Richtung der über die Elektroden fortschreitenden Phase erzeugt wird.

Schließlich ist das Verfahren zur Erzeugung eineönphasigen elektrischen Signales unter Verwendung eines neuen Wandlers erfindungsgemäß dadurch gekennzeichnet, daß der aus piezoelektrischem Material bestehende Körper des akustischen Wandlers derart angeregt wird, daß sich in diesem eine akustische Oberflächenwelle ausbreitet und daß von den η parallelen Elektroden ein n-phasiges

360 elektrisches Signal mit einer Phasenverschiebung von —— zwischen den einzelnen Phasen abgeleitet wird·

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In der Zeichnung ist ein Ausführungsbeispiel des Gegenstandes der Erfindung dargestellt. Die Figur zeigt:

Einen akustischen Oberflächenwellenwandler -einseitiger Richtwirkung gemäß der Erfindung mit drei Anschlußklemmen.

Um einen elektromechanischen Wandler mit einseitiger. Richtwirkung zu schaffen, der nicht unter den Nachteilen bekannter Wandler dieser Art leidet, werden bei der beschriebenen Erfindung mehrpolige Wandler"verwendet, die auf Mehrphasensignale ansprechen. Einer der Vorteile eines solchen mehrpoligen Wandlers liegt darin, daß für die Herstellung üblicher Einphasenwandler bekannte technische Vorgangsweisen zum Aufbau neuer, mehrpoliger Wandler mit einseitiger Richtwirkung verwendet werden können. Ein weiterer Vorteil dieser Wandler mit einseitiger Richtwirkung wird darin gesehen, daß sie bei «allen akustischen Oberflächenwellen-Geräten Verwendung finden' können, bei denen eine einseitige Richtwirkung erzielt werden soll. Die Aufzählung spezieller Verwendungsgebiete für diese Wandler geschieht deshalb lediglich zur Illustration ?■ dieser neuartigen Eigenschaften; sie bedeutet keine Beschränkung der Erfindung.

In Fig. 1 ist ein Teil eines dreiphasigen einseitig · gerichteten Wandlers gemäß der Erfindung dargestellt. Der Wandler besteht aus einer Anzahl Sätzen von je drei parallelen Elektroden, die in Kaskade auf der Oberfläche eines nicht dargestellten piezoelektrischen Materials

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angeordnet sind. Der erste dieser Sätze ist mit 10, 11, 12, der zweite mit 1O¹,11 * _# 12" und der dritte mit 10", 11", 12" bezeichnet. Abhängig von dem jeweiligen Einsatzgebiet und der jeweiligen angestrebten Betriebsweise des Wandlers können natürlich noch weitere Sätze vorgesehen sein. -

Jeder dieser Sätze ist dadurch zum Ansprechen auf elektrische Signale einer ausgewählten Frequenz gebracht worden, daß er einen Mitte-Mitte Elektrodenabstand von ein Drittel Wellenlänge ( Λ ) der jeweiligen Frequenz aufweist. Der Wandler kann hierbei für eine extrem breitbandige Betriebsweise durch Verwendung entweder einer verhältnismäßig kleinen Anzahl von jeweils bei der gleichen Frequenz arbeitenden Sätzen (in welchem Fall ' Δ/\ , wie in Figur 1 dargestellt Null ist) oder durch Verwendung einer großen Anzahl von Sätzen, von denen jeder bei einer gegenüber der Frequenz des jeweils vorhergehenden Satzes in der Aufeinanderfolge unterschiedlichen Frequenz arbeitet, ausgelegt werden. In dem letzteren Fall hängt das Frequenzband in dem der Wandler arbeitet von Δ. A (das ist die nichtganzzahlige Zunahme oder Abnahme der Wellenlänge von einem Wandler zu dem nächstfolgenden) und der Anzahl der verwendeten Sätze ab. Im Gegensatz zu den bekannten Wandlern mit schmaler Bandbreite kann deshalb durch die Verwendung solcher mehrere Anschlußklemmen aufweisender Wandler eine extrem breitbandige Betriebsweise erzielt werden und dennoch,wie im folgenden noch beschrieben, die einseitige Richtwirkung erreicht werden.

Alternativ kann auch ein schmalbandiges System dadurch aufgebaut werden, daß einfach Δ Α gleich Null gesetzt und eine Anzahl Elektrodensätze verwendet wird.

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Da in diesem Falle jeder Satz bei der gleichen Frequenz arbeitet, ergibt sich resultierend ein schmalbandiger Wandler. Ein solcher Wandler zeigt gegenüber den bekannten Schmalband-Wandlern-Vorteile, weil durch die Verwendung von drei (oder mehr) Anschlußklemmen aufweisenden Wandlern Reflexionen verhütet werden, die normalerweise bei Wandlern mit zwei Anschlußklemmen auftreten.

In seiner einfachsten Ausführungsform kann der drei Anschlußklemmen aufweisende (dreipolige) Wandler aus einem einzigen Satz Elektroden 10,11,12 bestehen, wobei in diesem Falle jede Elektrode eine Anschlußklemme des Wandlers bildet, woher die Bezeichnung dreipoliger Wandler rührt. Da jedoch, wie bereits vermerkt, die meisten erfindungsgemäßen Wandler aus einer Anzahl solcher Elektrodensätze bestehen, umfaßt die Erfindung auch Mittel • zur elektrischen Verbindung entsprechender Elektroden jedes Satzes, wobei jede Gruppe miteinander verbundener Elektroden eine Anschlußklemme des dreipoligen Wandlers bildet. In der Figur sind die Verbindungsmittel durch drei übliche Samme1schienen 13,14,15 veranschaulicht, die ebenfalls auf der Oberfläche des piezoelektrischen Mediums angeordnet sind. Die Sammelschiene 13 der Figur wird zur Verbindung aller mit 10 bezeichneten Elektroden benutzt, während die Sammelschiene 14 zur Verbindung aller mit 12 bezeichneten Elektroden dient und die Sammelschiene 15 die Verbindung aller mit 11 bezeichneten Elektroden bewirkt. Die spezielle in der Figur dargestellte Anordnung verhütet eine direkte Verbindung der Sammelschiene 15 mit ihren zugeordneten Elektroden, weil der die Samme!schienen 13,14

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mit ihrem Elektroden verbindende Metallauftrag ein Hindernis darstellt. Aus diesem Grunde werden zur Verbindung der Sammelschiene 15 mit allen mit 11 bezeichneten Elektroden Verbindungsdrähte benutzt. Die in der Figur veranschaulichte Anordnung ist natürlich in keiner Weise kritisch; es sind vielmehr viele Abwandlungen denkbar. So können zum Beispiel Verbindungsdrähte dadurch vermieden werden, daß übliche isolierte Kreuzungselemente verwendet werden oder eine Sammelschiene auf der Rückseite des piezoelektrischen Materials aufgetragen und metallisierte durchgehende Bohrungen zur Verbindung der Elektroden 11 mit der Sammelschiene 15 verwendet werden. Schließlich ist jeder Pol (der aus einer Sammelschiene und deren zugeordneten Elektroden besteht) mit einer elektrischen Klemme 17 verbunden, die zum Empfang oder zur Abgabe elektrischer Signale dient, welche in oder aus akustischen Oberflächenwellen umgewandelt werden sollen.

Der einseitig gerichtete Wandler ist wie alle anderen Oberflächenwellen-Wandler im Betrieb reziprok; er kann deshalb sowohl zur Erzeugung als auch zur Aufnahme von Oberflächenwellen in einem Körper aus piezoelektrischem Material verwendet werden. Die nachfolgende Beschreibung beschränkt sich jedoch der Einfachheit und Übersichtlichkeit halber auf die Funktion als Anregungswandler.

Um eine einseitig gerichtete Oberflächenwelle in einem Körper aus piezoelektrischem Material anzuregen, werden die elektrischen Anschlußklemmen 17 des in der Figur dargestellten Wandlers aus einer dreiphasigen elektrischen Signalquelle gespeist. (Falls der Wandler zum Empfang von Oberflächenwellen benutzt wird, sind die Anschlußklemmen 17 an eine dreiphasige Belastung,wie eine Reihe im Stern geschalteter Widerstände angeschlossen). Den drei Sammel-

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•O. Q Μ·

schienen 13,14,15 werden auf diese Weise identische elektrische Signale zugeführt, die gegeneinander jeweils um 120 in Phase verschoben sind. Damit wird iri dem' piezoelektrischen Material eine Oberflächenwelle lediglich in der Richtung der Phasenvorrückung an den ·Elektroden angeregt. Das bedeutet, daß wenn allen Elektroden 10 die 0° Signalkomponente zugeführt wird, während alle Elektroden 11 die 120° Signalkompononente und alle Elektroden 12 die 240° Signalkompononente erhalten, eine Oberflächenwelle lediglich in der Richtung, des in der Figur eingetragenen Pfeiles (d.h. von links nach rechts) sich ausbreiten wird.

Dies ist leicht einzusehen, wenn zunächst lediglich ein Elektrodensatz, zum Beispiel die Elektroden 10,11, 12, betrachtet wird. Da diese Elektroden jeweils im Abstand von ein Drittel der Wellenlänge der Betriebsfrequenz, für die der Wandler ausgelegt ist, angeordnet sind, hat sich die Phase eines von einer dieser Elektroden angeregten Signales um 120° gedreht, wenn das Signal die nächste Elektrode erreicht·. Das zum Beispiel von der Elektrode 10 angeregte Signal hat sich um 120° gedreht, wenn das Signal die Elektrode 11 erreicht. Außerdem beträgt die Phasendrehung des von der Elektrode 10 angeregten Signales 240°, wenn das Signal die Elektrode 12 erreicht, während die Phase des von der Elektrode angeregten Signals sich bei Erreichen der Elektrode um 120° gedreht hat. In der Richtung des Phasenfortschreitens der Elektroden (von links nach rechts) ent-

en .-■.-■·■ .

sprechen diese Phasenänderung/ des sich ausbreitenden Signales exakt den Phasenänderungen der jeder der Elektroden

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zugeführten elektrische Signale, so daß das In dieser Richtung sich ausbreitende Signal beim Auftreffen auf jede Elektrode jedesmal verstärkt wird. Auf der anderen Seite kommt die normalerweise in der entgegengesetzten Richtung sich ausbreitende Welle an jeder Elektrode nicht in Phase mit dem von dieser Elektrode angeregten Signal an; sie wird deshalb unterdrückt. Die weiteren Elektrodensätze (10',H¹,12' etc.) wirken in der gleichen Weise, wodurch eine einseitig gerichtete Betriebsweise der Wandler mit einer entsprechenden Einsparung eines ümformungsverlustes von drei d'j erzielt wird.

Ein anderes Merkmal der mehrpoligen,einseitig gerichteten Wandler besteht darin, daß sie bei Verwendung als Empfänger Reflexionen verhüten, weil die ganze Oberflächenwelle von dem Wandler absorbiert wird, übliche Wandler reflektieren ein Viertel der einfallenden Energie.

Lie Erfindung ist nicht auf einen dreipoligen Wandler beschränkt; tatsächlich können solche Wandler auch mit vier oder mehr Anschlußklemmen gebaut werden. Für einen Wandler mit mehr als drei Anschlußklemmen wird ein Satz von η parallelen Elektroden (wobei η eine ganze Zahl größer zwei ist) auf der Oberfläche des piezoelektrischen Materiales mit einem Mitte-Mitte Elektrodenabstand von — — Wellenlänge der jeweiligen Frequenz des Betriebsfrequenzbandes angeordnet. Bei Verwendung von mehreren solchen Sätzen müssen,ebenso wie bei dem dreipoligen Wandler, Mittel zur Verbindung entsprechender Elektroden der einzelnen Sätze verwendet werden, um damit die einzelnen Pole des Wandlers zu bilden. Wenn somit ein n-phasiaes

■ '■■■'■ ■ 360 '■

elektrisches Signal diesen Anschlußklemmen mit ——-— Phasenunterschied zv/ischen den Polen zugeführt wird, regt

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der Wandler eine entsprechende Oberflächenwelle in dem Material in der Richtung der Phasenfortschreitung über die Elektroden an. Zum Aufbau eines vierpoligen Wandlers, zum Beispiel,würden ein oder mehrere Sätze vier paralleler Elektroden verwendet werden, die auf der Oberfläche des piezoelektrischen Materiales mit einem Mitte-Mitte Elektrodenabstand von ein Viertel Wellenlänge der gewählten Frequenz angeordnet sind. Entsprechende Elektroden jedes Satzes sind über Sammelschienen und zum Beispiel die im Zusammenhang-mit Figur beschriebenen Verbindungsdrähte miteinander verbunden, so daß sich ein vierpoliger Wandler ergibt. Diesem Wandler wird dann ein vierphasiges elektrisches Signal zugeführt, das aus Signalkomponenten mit Phasenlagen von 0°, 90°, 180° und 270 besteht, wodurch eine einseitig gerichtete Oberflächenwellenausbreitung in dem piezoelektrischen Material in der Richtung der über die Elektroden fortschreitenden Phase erzielt wird. '

Wie bereits vermerkt verfügen Wandler mit einseitiger Richtv/irkung über ein weite? Anwendungsgebiet; sie können in allen Oberflächenwellen-Geräten Verwendung finden, -bei denen im Augenblick zweiseitig gerichtete Wandler eingesetzt werden. Eine besonders vorteilhafte Anwendung'liegt bei einem Impulskompressions- oder Expansionsfilter. Bei dieser Anwendung spricht jeder Satz einer Anzahl von Elektrodensätzen auf eine fortschreitend unterschiedliche Frequenz innerhalb eines Betriebsfrequenzbandes an. Wird ein elektrisches Signal mit unterschiedlichen Frequenzkomponenten einem solchen Wandler zugeführt, so wird jede Frequenzkomponente in dem piezoelektrischen Material durch einen eigenen Satz der Elektrodensätze angeregt, so daß sich eine' Oberflächenwelle ergibt, die die verschiedenen Frequenzkömponenten des Originalsignals,um unterschiedliche Beträge zeitver-

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schoben^aufweist. Dies ist dann natürlich ein Impulsexpansionsfilter; es könnte einfach als Iinpulskompressionsfilter verwendet werden, indem lediglich der Wandler zum Empfang einer expandierten pberflächenwelle benutzt wird.

Ein dreipoliger einseitig gerichteter Wandler für ein Filter der beschriebenen Art wurde mit Erfolgt für 30 MHz bei 6 MHz Bandbreite ausgelegt und betrieben. Bei dem Wandler waren sechs Sätze Gold-Elektroden vorgesehen , die durch drei Sammelschienen miteinander verbunden waren. Bei einer Sammelschiene waren 0,01778 mm (0,7 mil) Goldverbindungsdrähte zum Anschluß an die zugeordneten Elektroden vorgesehen. Die Elektroden waren etwa 1/6 Wellenlänge breit und mehrere Wellenlängen lang. Während die Breite der Elektroden nicht kritisch ist, ist es zweckmäßig, die Länge beträchtlich größer als die Breite zu machen, um dadurch das Auftreten von Verzerrungen in der sich ausbreitenden Oberflächenwelle zu vermeiden. Dieser Wandler erzielte die erwartete Einsparung von 3 db Einfügungsdämpfung gegenüber einem üblichen Wandler.

Im vorstehenden wurde ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel der Erfindung beschrieben; es versteht sich jedoch, daß im Rahmen der Erfindung eine Reihe von Änderungen und Abwandlungen möglich sind. Das Ausführungsbeispiel soll deshalb keine Beschränkung der Erfindung bedeuten.

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Claims (11)

1. Patentansprüche

   Mehrpoliger akustischer Oberflächenwellen-Wandler Thit einseitiger Richtwirkung innerhalb eines vorbestimmten Betriebsfrequenzbandes, dessen Elektroden zur Anregung und zum Empfang von Öberflächenwellen in einem bzw. von einem Körper aus piezoelektrischem Material eingerichtet sind, dadurch gekennzeichnet, daß ein Satz von η (η "= eine ganze Zahl größer zwei). Elektroden auf einer Oberfläche des piezoelektrischen Materialkörper mit einem Mitte-Mitte Elektrodenabstand_x von — — Wellenlänge einer ausgewählten, in dem Betriebsfrequenzband liegenden Frequenz angeordnet ist und jede Elektrode einen Pol des mehrpoligen Wandlers bildet und daß bei Einspeisung eines n-phasigen elektrischen Signales, an den Polen des Wandlers mit einer Phasenverschiebung ^von ~~n— zwischen den Polen durch den Wandler eine entsprechende Oberflächenwelle in dem piezoelektrischen Material in der Richtung der _cüber die Elektroden fortschreitenden Phase anregbar ist.
2. 2. Wandler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß er eine Anzahl Elektrodensätze aufweist, die in Kaskade auf der Oberfläche des Körpers aus piezqelektrischem' Material angeordnet sind und von denen jeder einen Mitte-Mitte Elektrodenabstand von — '— Wellenlänge einer, ausgewählten Frequenz in dem Betriebsfrequenzband, aufweist und daß entsprechende Elektroden der einzelnen Sätze elektrisch miteinander verbunden sind und jede

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   Gruppe miteinander verbundener Elektroden einen Pol des mehrpoligen Wandlers bildet.
3. 3. Wandler nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß η = drei ist.
4. 4. Wandler nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet,

   daß die Elektroden eine Anzahl von Sätzen erster, zweiter und dritter paralleler Elektroden aufweisen, die in Kaskade auf einer Oberfläche des Körpers aus piezoelektrischem Material mit einem Mitte-Mitte Elektrodenabstand von 1/3 Wellenlänge einer ausgewählten Frequenz in dem Betriebsfrequenzband angeordnet sind und denen erste, zweite und dritte, ebenfalls auf einer Oberfläche, des Körpers aus piezoelektrischem Material angeordnete;Sammelschienen zugeordnet sind, durch welche entsprechende Elektroden jedes Satzes elektrisch miteinander verbunden sind, wobei jede Gruppe miteinander verbundener Elektroden einen Pol des dreipoligen Wandlers bildet und daß Lei Einspeisung eines dreiphasigen elektrischen Signales an den Polen des Wandlers bei 120 Phasenverschiebung zwischen den einzelnen Polen durch den Wandler eine entsprechende Oberflächenwelle in dem piezoelektrischen Material in der Richtung der über die Elektroden fortschreitenden Phase anregbar ist.
5. 5. Wandler nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß jeder Elektrodensatz bei einer in dem Betriebsfrequenzband liegenden und sich von der Frequenz des vorhergehenden Elektrodensatzes fortschreitend unterscheidenden Frequenz betrieben wird und daß bei Einspeisung eines dreiphasigen elektrischen Signales an den Polen des Wandlers von einzelnen Elektrodensätzen verschiedene Frequenzkomponenten des elektrischen Signales angeregt werden und dadurch eine

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   zeitgedehnte Oberflächenwelle in dem piezoelektrischen Material zur Ausbreitung gebracht wird.
6. 6. Wandler nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß zwei der Sammelschienen unmittelbar mit ihren zugeordneten Elektroden verbunden sind und die Verbindung der dritten Sammelschiene mit deren zugeordneten Elektroden, durch Verbindungsdrähte bewirkt ist.
7. 7. Wandler nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet» daß jede Elektrode eine Breite von etwa 1/6 Wellenlänge der ausgewählten Frequenz aufweist. ·
8. 8. Verfahren zum Betrieb eines Wandlers nach Anspruch 1/ dadurch gekennzeichnet ■, daß e£n n-phasiges elektrisches Signal an die Pole des Wandlers mit einer

   Phasenverschiebung zwischen den Wandlerklemmen eingespeist und dadurch eine entsprechende Oberflächenwelle in dem Material des Wandlers in der Richtung der. über die Slektroder fortschreitenden Phase erzeugt wird.
9. 9. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß das n-phasige elektrische Signal ein dreiphasiges elektrisches Signal ist, das den Klemmen des Wandlers mit einer 120 - Phasenverschiebung zwischen den Wandlerklemmen zugeführt wird.
10. 10. Verfahren zur Erzeugung eines n-phasigen elektrischen Signales unter Verwendung eines Wandlers nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der aus piezoelektrischem Material bestehende Körper des akustischen Wandlers derart angeregt wird, daß sich in diesem eine akustische Oberflächenwelle ausbreitet und daß von den η parallelen Elektroden ein n-phasiges elektrisches Signal mit einer

    Phasenverschiebung von ' zwischen den einzelnen

    Phasen abgeleitet wird.

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11. 11. Verfahren nach Anspruch 1O_# dadurch gekennzeichnet, daß drei Elektrodensätze verwendet werden und tfas abgeleitete Signal ein dreiphasiges Signal ist.

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