DE2240302A1

DE2240302A1 - Optischer mehrfachantireflexbeschichtungsfilm

Info

Publication number: DE2240302A1
Application number: DE2240302A
Authority: DE
Inventors: Tokujiro Kozawa; Tadashi Morokuma
Original assignee: Olympus Optical Co Ltd
Current assignee: Olympus Corp
Priority date: 1971-08-16
Filing date: 1972-08-16
Publication date: 1973-03-01
Also published as: US3804491A; DE2240302C3; DE2240302B2

Description

Optischer Mehrfachantireflexbeschichtungsfilm

Die Erfindung betrifft einen optischen Mehrfachantireflexbeschichtungsfilm oder -belag, bzw. eine mehrschichtige Antireflexbeschichtung für ein Glassubstrat, insbesondere für Linsen, bei welchen das Brechungsvermögen in Richtung der Filmdicke unterschiedlich (inhomogen) ist.

Treffen Lichtstrahlen auf die Grenzfläche zwischen Glas und Luft oder treten sie aus. dieser aus, so gehen auch bei senkrechtem Einfallswinkel durch Reflektion an der Grenzfläche etwa 4 % der Lichtstrahlen verloren.. Je größer die Anzahl der Berührungs- bzw. Grenzflächen zwischen dem Glas und der Luft ist, desto kleiner ist daher der Durchlässigkeitsgrad für Lichtstrahlen. Es ist üblich, bei Objektiven für hochwertige Kameras oder in

309809/Oö3 1

ORIGINAL INSPEGTED

- 2 - 41 846

Mikroskopen etc., ein Linsensystem mit einer Vielzahl von Linsenoberflächen zu verwenden. Bei einem Linsensystem mit 10 Linsenoberflächen gehen durch Reflexion etwa 40 yo der Lichtstrahlen verloren. Das an einem lichtempfindlichen Film in der Kamera oder im Mikroskop ankommende, durch Innenreflexion erzeugte Streulicht führt zur Abbildung mit Reflexionsflecken bzw. zur Erzeugung eines Geisterbildes.

Um eine derartige Innenreflexion im Kamerobjektiv etc. zu verhindern, wird die Linse an ihrer Oberfläche durch Auftragen eines dünnen Films vergütet. Bisher war es üblich, zur Beschichtung der Linsenoberfläche einen Mehrfachantireflexbeschichtungsfilm mit wenigstens einer Schicht zu verwenden. Jedoch betrug das Reflexionsvermögen der beschichteten Linse noch etwa 0,5 bis 1,5 ^.

In Fig. 1A sind die Kennkurven des Reflexionsvermögens im Spektrum eines herkömmlichen zweischichtigen Antireflexbeschichtungsfilms gezeigt. In dieser Fig. 1A ist mit n_B die Brechzahl eines Glassubstrates bezeichnet. Ist n„= 1,8 oder n_= 1,9, so wird zur Beschichtung des Glassubstrates eine erste Schicht aus MgF₂ mit einer Brechzahl n^= 1,38 verwendet, auf der eine zweite Schicht aus ZrO₂ mit einer Bre.ch.zahl n₂= 2,1 aufgebracht wird (Fig. 1A).

Bei einem weiteren herkömmlichen zweischichtigen Antireflexbeschichtungsfilm, dessen Reflexionsvermögen im Spektrum durch die in Fig. 1 B dargestellten Kennlinien angegeben ist, ist die Brechzahl des Glassubstrates n_B= 1,40, n_ßs= 1_f5O bzw. iir,= 1,60 gewählt, und das Glassubstrat mit einer ersten Schicht aus MgFp mit einer Brechzahl n^= 1,38 und einer zweiten Schicht mit einer Brechzahl np= 1,751» 1,848 bzw. 1,944 beschichtet.

Die in Fig. 2 gezeigten Kennkurven für das ,i'eflexionsvermögen im Spektrum beziehen Mich auf einen herkömmlichen droiachicl. t, i t t

ί ü 9 fj o 9 / o 8;»1

- 3 - ' ' 41 846

Antireflexbeschichtungsfilm. Bei diesem wird auf ein Glassubstrat mit einer Brechzahl n-g = 1,50, n^= 1,60, n_ß = 1,70 bzw. n-g= 1,80 eine erste Schicht mit einer Brechzahl n.,= 1,38 und einer Filmdicke von 125 mn, eine zweite Schicht mit einer Brechzahl np= 2,24 und einer Filmdicke von 250 nm und eine dritte Schicht mit einer Brechzahl n^= n-,"Vn~ und einer Filmdicke von 125 nm aufgebracht. Wie aus Fig. 1 A, 1B und 2 erkennbar, weist ein herkömmlicher mehrschichtiger Antireflexbeschichtungsfilm den Nachteil aaf, daß das Reflexionsvermögen sowohl an der Kurzwellen- als auch an der Langwellenseite des Sichtbaren verstärkt ist. Je größer die Brechzahl n-g des Glassubstrates, je stärker tritt das vorgenannte Phänomen auf.

Inbesondere hat der herkömmliche, zweischichtige Antireflexbechichtungsfilm nach Pig. 1B den lachteil, daß eine Erhöhung des Reflexionsvermögens auch im Bereich der mittleren Wellenlänge auftritt. Je kleiner die Brechzahl n-g des Glas substrates, je stärker tritt das vorgenannte Phänomen auf« Seit kurzem ist es üblich, bei Kameraobjektiven, etc. zum Zwecke der Fehlerbehebung ein hochbrechendes Glas zu verwenden^ wobei sich jedoch für das Kameraobjektiv, etc. der vorerwähnte, in höchstem Maße unerwünschte Nachteil einstellt.

Zur Verringerung der erwähnten Reflexionsvermögens wurde vorgeschlagen, die Anzahl der Filmschichten zu erhöhen, d.h. einen Mehrschichtenfilm mit zwischen 7 und 19 Schichten zu verwenden.

Bei dem herkömmlichen, in der vorgenannten Weise aufgebauten Antireflexbeschichtungsfilm führt eine kleine Anzahl von Schichten zu einem übermäßig hohen Reflexionsvermögen, wohingegen es bei einer größeren Anzahl von Schichten schwierig ist, die Dicke des Films während der Herstellung genau zu basLnflussen bzw. zu beherrschen. Außerdem wird dadurch der Film teurer.

309809/083 1

- 4 - 41 846

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, mit einfachen Mitteln einen verbesserten, wirtschaftlich herstellbaren Mehr- . fachantireflexbeschichtungsfilm zu schaffen, dem die vorgenannten und weitere Nachteile des Standes der Technik nicht anhaften und der aus wenigstens einer Schicht besteht und in hohem Maße ein ausgezeichnetes Reflexionsvermögen besitzt, das dem eines Mehrfachantireflexbeschichtungsfilms entspricht, dessen Schichtenzahl größer ist als die des Films nach der Erfindung.

Diese Aufgabe ist für den eingangs genannten Antireflexfilm oder -belag gemäß der Erfindung dadurch gelöst, daß er aus einem zunächst auf das Glassubstrat aufgetragenen, nichthomogenen Film, dessen Brechzahl in Richtung der Filmdicke von einem der Brechzahl des Glassubstrates entsprechenden Wert ausgehend sich stetig verändert, und einem auf diese aufgetragenen wenigstens einschichten Antireflexbeschichtungsfilm .oder -belag aufgebaut ist.

Die Erfindung wird im folgenden anhand schematischer Zeichnungen mehrerer Ausführungsbeispiele mit weiteren Einzelheiten erläutert. In der Zeichnung zeigt:

Fig. 1A und 1B die Kennkurven des Reflexionsvermögens im Spektrum eines herkömmlichen zweischichtigen Mehrfachantireflexbeschichtungsfilms,

Fig. 2 die Kennkurven des Reflexionsvermögens im Spektrum eines herkömmlichen dreischichtigen Mehrfachantireflexbeschichtungsfilms,

Fig. 3A und 3B Schnitte, in vergrößertem Maßstab, durch Teile eines zweischichtigen und eines dreischichtigen Mehrfachantireflexbeschichtungsfilms nach der Erfindung,

309809/0831

-5 - 41 846

Fig. 4A die Kennkurven des Reflexionsvermögens im Spektrum des zweischichtigen Mehrfachantireflexbeschichtungsfilms entsprechend Mg. 3A und

Fig. 4B und 4C die Kennkurven des Reflexionsvermögens im Spektrum des dreischichtigen Mehrfachantireflexschichtungsfilms entsprechend Fig. 3B.

Der Erfinder geht bei der Lösung der Aufgabe davon aus, daß sich bei der Beurteilung der Kennlinie! des Reflexionsvermögens im Spektrum entsprechend Fig. 1A, 1B und 2 die Tatsache ergibt, daß je kleiner die Brechzahl n-g des Glassubstrates, je kleiner das Reflexionsvermögen sowohl an der Kurzwellenals auch an der Langwellenseite, und daß je größer die Brechzahl η-D des Glassubstrates, je kleiner das Reflexionsvermögen ' im Bereich der mittleren Wellenlänge.

Es sei nun auf Fig. 3A, 3B, 4A, 4B und 4C verwiesen.

Fig. 3A zeigt in vergrößertem Maßstab einen Schnitt durch einen Teil eines zweischichtigen Mehrfachantireflexbeschichtungsfilms in erfindungsgemäßer Ausbildung. Im Falle des zweischichtigen Films entsprechend Fig. 3A ist an einem Glassubstrat 1 ein nichthomogener Film 2 aufgebracht, dessen Brechzahl von einem der Brechzahl n-n des Glassubstrates 1 gleichen Wert ausgehend in Richtung der Dicke des D¹UmS 2 sich stetig gegen eine Brechzahl η hin verändert, deren Wert höher liegt als die Brechzahl n-g des Glas subs trat es 1. Auf den stetig nichthomogenen Film 2 ist eine zweischichtiger Mehrfachantireflexbeschichtungsfilm 3 aufgebracht, dessen Aufbau dem des herkömmlichen zweischichtigen Mehrfachanti reflexbeschichtungsfilms gleicht.

Der nichthomogene Film 2 in erfindungsgemäßer Ausbildung, der in Fig. 3A gezeigt ist, sei nun in Einzelheiten beschrieben.

309809/083 1

- 6 - 41 846

Erfindungsgemäß ist die Brechzahl des nichthomogenen Films 2 nicht unstetig verschieden, sondern verändert sich stetig in Richtung der Filmdicke von einem der Brechzahl n_B des Glassubstrates 1 entsprechenden Wert gegen eine über dieser liegende Brechzahl n_. Daraus ergibt sich für den nichthomogenen Film 2 an der Seite der Grenzfläche zwischen dem nichthomogenen Film 2 und dem zweischichtigen Mehrfachantireflexbeschichtungsfilm 3» die dem Film 3 benachbart ist, eine höhere Brechzahl. Der in Fig. 3A gezeigte zweischichtige Mehrfachantireflexbe schichtungsfilm bringt also die gleiche Wirkung wie ein hochbrechender auf das Glassubstrat 1 aufgetragener zväschichtiger Mehrfachantireflexbeschichtungsfilm. Das Ergebnis ist, daß das in den nichthomogenen Film 2 eintretende Lichtstrahlenbündel darin keiner inneren Reflexion unterworfen ist.

Als hochbrechendes Ausgangsmaterial für die Herstellung des nichthomogenen Films 2 kann ein Gemisch aus MgF₂> CeFp, CeOp, etc. vorgesehen sein. Diese Ausgangsmaterialien werden so miteinander vermischt, daß die Brechzahl der erhaltenen Mischung höher ist als die Brechzahl n-g des Glas substrates 1. Zur Herstellung der Seite des nichthomogenen Films 2, die eine niedrige, der Brechzahl n_B gleiche Brechzahl aufweist, kann MgFpi NaF, Kryolith, etc., oder eine Mischung davon verwendet werden. Die Brechzahl des nichthomogenen Films 2 kann in Richtung der Filmdicke dadurch stetig verändert werden, daß man ein Mischungsverhältnis zwischen den zum Aufdampfen sowohl des Materials mit hoher als auch des Materials mit

niedriger Brechzahl auf das Glassubstrat 1 erzeugten Dampfmengen stetig verändert. Bei der beschriebenen Ausbildungsform hat die Dicke des nichthomogenen Films 2 keinerlei Einfluß auf die Kennlinien des Reflexionsvermögens, jedoch soll der nichthomogene Film 2 eine bestimmte Dicke aufweisen, da bei geringer Dicke eine plötzliche Änderung der Brechzahl im nichthomogenen Film 2 auftritt.

309809/0831

- 7 - 41 846

Die Maximalwerte für die Brechzahl η an der Seite des nichthomogenen Films 2, die dem zweischichtigen Mehrfachantireflexbeschichtungsfilm 3 "benachbart ist, können mit Vorteil im Bereich zwischen 1,70 und 1,95 gewählt sein.

Bei n_ ^C 1,70 wird das Reflexionsvermögen im Ultra-Violett- und in der Fähe des Infra-Rot-Bereiches kleiner, jeben im Sichtbaren größer,so daß der Antireflexbeschiehtungsfilm wertlos wird. Wählt man jedoch n_ > 1»95» so wird die Kennkurve des Reflexionsvermögens quadratisch und das Reflexionsvermögen wird in allen Bereichen, einschließlich des ültra-Violett-Bereiches, in der Nähe des Infra-Rot-Bereiches und im Sichtbaren,großer, so daß der Antireflexbeschichtungsfilm praktisch nicht verwendbar ist»

Fig. 3B zeigt in vergrößertem Maßstab einen Schnitt durch einen Teil eines dreischichtigen Mehrfachantireflexbe schichtungsfilms in erfindungsgemäßer Ausbildung. Bei Verwendung dieses Beschichtungsfilms wird, entsprechend Fig. 3B, an einem Glassubstrat 1 ein nichthomogener Film 2 aufgetragen, dessen Brechzahl von einem der' Brechzahl n-g des Glassubstrates 1 gleichen Wert n-g in Richtung der Dicke des Films 2 sich stetig gegen eine Brechzahl η verändert, die kleiner ist als die Brechzahl n-g des Glas substrates 1. Auf den stetig nichthomogenen Film 2 ist ein dreischichtiger Mehrfachantireflexbeschichtungsfilm 3 aufgetragen, dessen Aufbau gleich ist dem herkömmlichen dreischichtigen Mehrfachantireflex- · beschichtungsfilm.

Der in Fig. 3B dargestellte nietthomogene Film 2 in erfindungsgemäßer Ausbildung sei nun in Einzelheiten beschrieben. Erfindungsceinäß ist die Brechzahl des nichthomogenen Films 2 nicht unstetig verschieden, sondern verändert sich in Richtung der Filmdicke stetig von der Brechzahl n-g des Glas substrates 1 gegen eine Brechzahl n_s, die kleiner ist als die Brechzahl n-g dos Glassubstrates 1. Daraus ergibt sich für den nichthomogenen

309809/0831

- θ - 41 846

Film 2 eine kleinere Brechzahl an der Seite der Grenzfläche zwischen dem nichthomogenen Film 2 und dem dreischichtigen Mehrfachantireflexbeschichtungefilm 3, die dem Film 3 benachbart ist. Der in Fig. BB gezeigte dreischichtige Mehrfachantireflexbeschichtungsfilm hat also die gleiche Wirkung wie ein am Glassubstrat 1 aufgetragener dreischichtiger Mehrfachantireflexbeschichtungsfilm mit niedriger Brechzahl, so daß das in den nichthomogenen Film 2 eingetretene Lichtstrahlenbündel darin keine innere Reflexion erfährt.

Als Ausgangsmaterial mit höherer Brechzahl für den nichthomogenen Film 2 kann ein Gemisch aus MgFn» GeF«» CeOp, etc., verwendet werden. Biese Ausgangsmaterialien werden so miteinander vermischt, daß die Brechzahl der erhaltenen Mischung gleich ist der Brechzahl n^ des Glassubstrateβ 1. Zur Herstellung der Seite des nichthomogenen Films 2, die eine minimale Brechzahl aufweisen soll, kann als Auegangsmaterial MgF₂» NaF, Kryolith, etc., oder eine Mischung davon verwendet werden. Eine stetige Veränderung der Brechzahl dee nichthomogenen Filme 2 in Sichtung der Filmdicke ist durch stetiges Verändern eines Mischungsverhältnisses zwischen den zum Aufdampfen sowohl des Materials mit hoher als auch des Materials mit niedriger Brechzahl auf das Glassubstrat 1 erzeugten Dampfmengen erzielbar. Der nichthoaogene Film 2 «oll jedoch eine bestimmte Dicke aufweisen, da bei geringer Sicke eine plötzliche Änderung der Brechzahl des nichthomogenen Films auftreten kann«

In Fig. 4A sind die Kennlinien des Reflexionsvermögen im Spektrum der in Fig. 3A gezeigten Ausbildungsform dargestellt. Bei dieser ist als Brechzahl für das Glassubstrat n_B = 1,50 und als maximale Brechzahl für den nichthomogenen Film 2 n_ß = 1,75 bzw. 1,62 bzw. 1,90 gewählt. Der zweischichtige Mehrfachantireflexbeechiehtungefilm 3 besteht aus einer ersten Schicht mit einer optischen Dicke von Λ/4 und aus einer zweiten Schicht mit einer optischen Dicke von λ/2, Diese

309809/0831

- 9 - ■ 41 846

beiden Schichten sind auf den nichthomogenen Film 2 aufgedampft, und zwar mit den Werten n.. = 1,39» n^d^ = 125 nm und np = 2,08, n^dg = 250 mn, worin n^d. und Hpdp die optischen Dicken der ersten "bzw. der zweiten Schicht des zweischichtigen Mehrfachantireflexbeschichtungsfilms 3 bezeichnen.

In Pig. 4B sind die Kennlinien des Reflexionsvermögens im Spektrum einer Ausbildungsform des dreischichtigen Mehrfachantireflexbeschichtungsfilms entsprechend Fig. 3B dargestellt. Dabei ist η_Ό = 1,80 und die niedrigere ,Brechzahl η der dem

JD S

Mehrfachantireflexbeschichtungsfilms 3 benachbarten Seite des nichthomogenen Films 2 mit n„ = 1,30 bzw. η = 1,40 klein

ο S

gewählt. Der dreischichtige Mehrfachantireflexbeschichtungsfilm 3 setzt sich aus drei Schichten zusammen, die bestimmt sind durch n^ = 1,38» ^d₁ = 125 nm, n« = 2,24, n₂d₂ = 250 nm und n-. = n-j ^n , n-,d, = 125 nm.

Fig. 40 zeigt die Kennlinien des Reflexionsvermögens im Spektrum einer weiteren Ausbildungsform des dreischichtigen Mehrfachantireflexbeschichtungsfilms entsprechend Fig. 3B-, bei der n-g = 1,80 und die niedrigere Brechzahl η der dem Mehrfachantireflexbeschichtungsfilm 3 benachbarten Seite des nichthomogenen Films 2 mit n_ = 1,30 bzw. η = 1,40 klein gewählt ist. Der dreischichtige Mehrfachantireflexbeschichtungsfilm 3 ist aus drei Schichten zusammengesetzt, die bestimmt sind durch n., = 1,38, n^d^ = 125 nm, n« =2,1, n^dp = 250 nm bzw. n^ = 1,38V^n₃", ⁿ3^d3 = 125 nm.

Wie bereits erwähnt, ist das Reflexionsvermögen eines erfindungsgemäß ausgebildeten Mehrfachantireflexbeschichtungsfilms, dessen Schichtenzahl im gesamten sichtbaren Bereich klein ist, verringert, so daß im Spektrum flache Kennkurven für das Reflexionsvermögen erzielbar sind. Der Verringerung des ReflexionsvermÖgens des erfindungsgemäßen Mehrfachantireflexbeschichtungsfilms kommt besondere Bedeutung im Zwischenbereich des Sichtbaren bei niedriger Brechzahl des Glassubstrates

309809/08 31

- 10 - 41 846

und sowohl an der Kurzwellen- als auch an der Langwellenseite des Sichtbaren bei hoher Brechzahl des Glassubstrates 1 zu. Bei den in Pig. 4A, 4B und 4C gezeigten Kennlinien des Reflexionsvermögens im Spektrum liegen die Werte für das Reflexionsvermögen an der Seite der großen Wellenlängen höher als an der Seite der kurzen Wellenlängen. Dieser Zustand ist bedingt dadurch, daß die Länge der Mittelwelle bei 500 mn liegt, und ist dadurch veränderbar, daß man diese zur Seite der großen Wellenlängen hin verschiebt.

Fig. 3A zeigt einen zweischichtigen Mehrfachantireflexbeschichtungsfilm, dessen erste und zweite Schicht mit Dicken von A/4 bzw. Λ/2 auf den nichthomogenen Film 2 aufgebracht sind. Jedoch kann eine Kombination aus dem nichthomogenen Film mit dem Mehrfachantireflexbeschichtungsfilm 3 bei Ausführung der ersten und der zweiten Schicht mit einer Dicke von jeweils λ /2 ebenfalls beträchtlich zu einer Verbesserung des Reflexionsvermögen im Spektrum beitragen.

Bei dem in Fig. 3B gezeigten dreischichtigen Mehrfachantireflexbeschichtungsfilm sind dessen erste, zweite und dritte Schicht auf den nichthomogenen Film 2 aufgetragen. Jedoch kann eine Kombination aus dem nichthomogenen Film 2 und einem Antireflexbeschichtungsfilm 2 mit einer, zwei oder mehr als drei Schichten ebenfalls zu einer beträchtlichen Verbesserung des Reflexionsvermögens im Spektrum führen.

3 0 9 8 U Π/ U Ö 3 1

Claims

ANSPRÜCHE

(9

1J Optischer Mehrfachantireflexbeschichtungsfilm oder -belag, für ein Glassubstrat, insbesondere für Linsen, mit mehreren Schichten, deren Brechungsvermögen in Richtung der Filmoder Belagdicke unterschiedlich ist, dadurch gekennzeichnet, daß er aus einem zunächst auf das Glassubstrat (1) aufgetragenen, nichthomogenen Film (2), dessen Brechzahl in Richtung der Filmdicke von einem der Brechzahl des Glassubstrates (1) entsprechenden Wert ausgehend sich stetig verändert, und einem auf diese auf getragenen wenigstens einschichtigen Antireflexbeschichtungsfilm oder -belag (3) aufgebaut ist.
2. Optischer Mehrfachantireflexbeschichtungsfilm nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Brechzahl des nichthomogenen Films (2) in Richtung der Filmdicke von einem der Brechzahl des Glas substrates.. (1) gleichen Wert sich gegen einen unter diesem liegenden Wert stetig verändert.
3. Optischer Mehrfachantireflexbeschichtungsfilm nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet , daß die Brechzahl des nichthomogenen Films (2) in Richtung der Filmdicke von einem der Brechzahl des Glassubstrates (1) gleichen Wert sich gegen einen über diesem liegenden Wert stetig verändert und daß der Antireflexbeschichtungsfilm (3) zwei Schichten aufweist.

30 9 809/0831

- 12 - 41
4. Optischer Mehrfachantireflexbeschichtungsfilm nach Anspruch 1, dadurch gek ennz e i chnet, daß die hochbrechende Seite des nichthomogenen Films (2) aus einem Gemisch aus MgF₂> CeF₂I CeO₂> etc., die niedrigbrechende Seite des nichthomogenen Films (2) aus MgF2i NaF, Kryolith, etc., oder aus einem Gemisch davon gebildet ist, und daß die stetige Veränderung der Brechzahl in Richtung der Dicke des nichthomogenen Films (2) durch stetiges Verändern eines Mischungsverhältnisses zwischen den zum Aufdampfen sowohl des Materials mit hoher als auch des Materials mit niedriger Brechzahl auf das Glassubstrat (1) erzeugten Dampfmengen erzielt ist.
5. Optischer Mehrfachantireflexbeschichtungsfilm nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Antireflexbeschichtungsfilm (3) drei Schichten mit den Brechzahlen n.., ii₂ bzw. n, aufweist, daß die niedrigere Brechzahl n_ des nichthomogenen Films (2) mit n_ « 1,30 bzw. η β 1,40 klein gewählt ist, daß die Brechzahlen n^_t n₂ und n, und die Dicken d.., dp und d-, der ersten, zweiten bzw. dritten Schicht des Antireflexbeschichtungsfilms (3) von der obersten Schicht ausgehend mit n- = 1₉ 3β» n-jd-j = 125 nm, n₂ = 2,24, npdp = 250 nm und n, = η-νΊΓ", n,d, = 125 nm bestimmt sind, und daß die Brechzahl n_B des Glassubstrates (1) n-g SB 1,80 ist.

309809/0831

- 13 - 41 846
6. Optischer Mehrfachantireflexbeschichtungsfilm nach. Anspruch 2, dadurch gekennz e i c h η e t, daß der Ahtireflexbeschichtungsfilm (3) drei Schichten mit den Brechzahlen n^, n_? bzw. n-, aufweist, daß die niedrigere Brechzahl n_ des nichthomogenen Films (2) mit n_ = 1»30 bzw. η = 1,40 klein gewählt ist, daß die Brechzahlen n^, n₂ und n-, und die Dicken d^, dp und d-> der ersten, zweiten bzw. dritten Schicht des Antireflexbeschichtungsfilms (3) von der obersten Schicht ausgehend mit n^ = 1,38, n^d^ = 125 um, n₂ = 2,1, n₂d₂ =250 nm und n, = 1,38VIi^, η,ά, = 125 nm · bestimmt sind, und daß die Brechzahl n-g des Glas substrates (1) n-g = 1,80 ist.
7. Optischer Mehrfachantireflexbeschichtungsfilm nach Anspruch 3> dadurch gekennzeichnet, daß der Antireflexbeschichtungsfilm (3) zwei Schichten mit den Brechzahlen n^ bzw. n₂ aufweist, daß die höhere Brechzahl n_ des nichthomogenen Pilms (2) mit n_ = 1,75 bzw. n_ = 1,82 bzw. η = 1,90 groß gewählt ist, daß die Brechzahlen n^ und ήρ und die Dicken d.« und d₂ der ersten bzw. zweiten Schicht des Antireflexbeschichtungsfilms (3) von der obersten Schicht ausgehend mit n^ = 1,39» n^d^ = 125 nm und n₂ = 2,08, n₂d₂ = 250 nm bestimmt sind, und daß die Brechzahl n-o des Glassubstrates (1) n_ß = 1,50 ist.

309809/083 1