DE2239944C3

DE2239944C3 - Spektrometer sowie Verfahren zur Herstellung der im Spektrometer verwendeten Zonenplatte

Info

Publication number: DE2239944C3
Application number: DE19722239944
Authority: DE
Inventors: Adolf W. La Jolla Calif. Lohman; Rolf K. Brighton Mich. Mueller
Original assignee: Bendix Corp
Current assignee: Bendix Corp
Priority date: 1971-08-31
Filing date: 1972-08-14
Publication date: 1979-03-15
Also published as: JPS5070080A; DE2239944B2; IT964334B; GB1360691A; FR2150932A1; CA968604A; FR2150932B1; DE2239944A1

Description

Die Erfindung betrifft ein Spektrometer nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1 sowie ein Verfahren zur Herstellung der in diesem Spektrometer verwendeten Zonenplatte nach dem Oberbegriff des Anspruchs 6.

Aus der DD-PS 70 406 ist es bekannt, Fresnelsche Zonenplatten zur Spektroskopie einzusetzen. Fresnelsche Zonenplatten, die als Hologramm eines Lichtpunktes hergestellt werden, wirken als Linsen mit wellenlängenabhängiger Brennweite. Dies macht sie zur Verwendung als dispergierendes Element in einem Spektrometer geeignet. Im einfachsten Falle wird die durch die Zonenplatte erzeugte Abbildung einer vom Meßlicht beleuchteten Eintrittslochblende mittels einer verschiebbaren Austrittslochblende abgetastet, hinter der ein Photodetektor angeordnet ist Die Zonenplatte wird dabei im wesentlichen von parallelem Licht durchtreten, wobei praktisch die bei der Aufnahme der Zonenplatte auftretenden optischen Vorgänge umgekehrt werden. Die bei diesem Aufbau erforderliche Austrittslochblende muß sehr klein sein; die seitlichen Verschiebungswege dieser Austrittslochblende beim Aufsuchen der verschiedenen Abbildungspunkte sind ebenfalls sehr gering, so daß der mechanische Aufbau eines hochauflösenden Spektrometers auf diese Weise sehr problematisch ist.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, ein Spektrometer der eingangs genannten Art so auszubilden, daß eine genaue Positionierung der Lochblende während des Meßvorgangs nicht erforderlich sowie ein Verfahren zur Herstellund der hierbei verwendeten Zonnenplatte anzugeben.

Diese Aufgabe wird durch die im Kennzeichen des Anspruchs 1 bzw. des Anspruchs 6 beschriebene Erfindung gelöst; vorteilhafte Weiterbildungen sind in den Unteransprüchen angegeben.

Beim erfhidungsgemäßen Spektrometer wird das Problem der Positionierung der Lochblenden dadurch weitgehend beseitigt, daß die Zonenplatte gegenüber der Lochblende eine dauernd fixierte Lage einnimmt. Diese fixierte Lage wird während der spektrographischen Messungen unter Verwendung der Zonenplatte dauernd beibehalten. Durch Verwendung derselben optischen Anordnung bei der Herstellung der Zonenplatte und bei den Messungen werden Fehler, die durch Mängel des optischen Aufbaus bedingt sind, automatisch kompensiert. Spektrographische Messungen, etwa an weißem Licht, lassen sich durch Veränderung der Länge des optischen Weges durchführen, welche das Licht in der Anordnung durchläuft. Jede Wellenlänge wird an einem anderen Ort fokussiert, der mit Hilfe eines Photodetektors aufgefunden werden kann.

Da die gleichen optischen Bausteine sowohl für die Aufnahme als auch für die Messungen verwendet werden und da die Positionen der kritischen Bauelemente festliegen, wird ein praktisch vollständiger Ausgleich von optischen Fehlern erzielt. Die Bauelemente können gegebenenfalls permanent auf der Grundplatte fest angebracht werden, wodurch das Gerät entsprechend stabil wird. Aufgrund der automatischen Fehlerkompensation können billige optische Bauelemente verwendet werden. Es ist keine Präzisionsmontage der Bauelemente erforderlich.

Ausführungsbeispiele der Erfindung werden nachfolgend anhand der Zeichnung näher erläutert; es zeigt

Fig. la ein bekanntes Verfahren zur Herstellung einer Fresnelschen Zonenplatte,

Fig. Ib die bekannte Verwendung der Zonenplatte, die nach Fig. la hergestellt wurde, für spektrographische Messungen,

F i g. 2 ein erstes Ausführungsbeispiel der Erfindung,

Fig. 3 ein zweites Ausführungsbeispiel, bei welchem zwischen der Lichtquelle und der Zonenplatte eine bewegliche Lochblende verwendet wird,

Fig.4 ein weiteres Ausführungsbeispiel der Erfindung unter Verwendung einer hinter der Zonenplatte angeordneten beweglichen Lochblende,

F i g. 5 die Fresnelsche Ringanordnung,

F i g. 6 das bei einer monochromatischen Lichtquelle am Photodetektor anliegende Ausgangssignal als Funktion der optischen Weglänge,

F i g. 7 ein weiteres Ausführungsbeispiel, bei welchem ^r> Änderungen der optischen Weglänge durch eine Änderung des Brechungsindex bewirkt werden.

Wie F i g. 1 a zeigt wird eine Lochblende 11 durch eine Quelle beleuchtet, so daß das Licht mit der Wellenlänge Ai den Bildträger 12 voll beleuchtet Du. ch to die gleichzeitige Beleuchtung des Bildträgers 12 mit parallelen Strahlen einer zweiten Punktlichtquelle, die ebenfalls von der Wellenlänge Ai und mit den Strahlen der ersten Quelle kohärent sind, kann ein Interferenzbild erzeugt werden. Das Interferenzbild wird dauerhaft aufgezeichnet Der Aufzeichnungs- oder Bildträger kann beispielsweise lichtempfindliches Fotomaterial sein, das anschließend entwickelt wird. Nach der Entwicklung des Interferenzbildes kann es zur Aussiebung der Wellenlänge des Lichtes verwendet werden, das zu seiner Belichtung gedient hat Dies ist anhand der Fig. Ib gezeigt, in welchem Licht mit der Wellenlänge A, das Interferenzbild 12 so beleuchtet, daß die Lichtstrahlen im wesentlichen parallel verlaufen. Wenn die Wellenlänge A, gleich ist der zur Ausformung des 2^r> Interferenzbildes dienenden Wellenlänge Ai, dann bündelt sich ein erheblicher Teil des das Interferenzbild durchlaufenden Lichtes an der Lochblende 13, die genau im gleichen Abstand angeordnet ist wie der Abstand zwischen der Lochblende 11 und dem Interferenzbild 12 der Fig. la. Wenn jedoch die Wellenlänge A, von Ai verschieden ist dann wird das Licht am Punkt 14 gebündelt der sich in einem anderen Abstand vom Bild

12 befindet wie der Abstand zwischen der Lochblende

11 und dem Bildträger 12 während der Aufnahme des r> Interferenzbildes. Der Abstand D zwischen dem Nadelloch 13 und dem Punkt 14 stellt den Unterschied zwischen der Wellenlänge des Lichts dar, welches das Interferenzbild erzeugt hat, und des Lichts, das anschließend das aufgezeichnete Interferenzbild beleuchtet Daher kann der Abstand D zur Bestimmung der Wellenlänge A» des Lichtes verwendet werden, das das Interferenzbild beleuchtet.

Wenn es sich bei dem das Interferenzbild 12 bestrahlenden Licht um weißes Licht handelt, das 4^r> verschiedene Wellenlängen enthält, dann können diese Wellenlängen durch Bewegung der Lochblende 13 und durch Beobachtung der Stellung, an welcher die maximale Ausgangsenergie empfangen wird, nachgewiesen werden. Der Weg, um weichen die Lochblende w

13 weiterbewegt wird, wird aufgezeichnet und zeigt eine der Wellenlängen an, die zusammengesetzt weißes Licht bilden.

Dieses Spektrometer arbeitet zwar in der Theorie, ist jedoch in der Praxis sehr schwer durchzuführen, da, wie γ, erwähnt, die genaue Positionierung der Lochblende 13 höchst kritisch ist.

F i g. 2 zeigt ein erstes Ausführungsbeispiel der Erfindung in einer !eicht vereinfachten Form. Hier wird zur Erzeugung des Interferenzbildes (der Fresnelschen bo Zonenplatte) das monochromatische Licht eines Lasers !7 verwendet. Ein Körper 16 ist vorgesehen, der, wie noch erläutert wird, mehrere Zwecke hat. Der Körper 16 kann aus Glas, Kunststoff oder einem anderen festen Stoff gefertigt sein, der für die Strahlung des Lasers 17 b^r> durchlässig ist. Der Querschnitt des Körpers 16 kann grundsätzlich beliebig sein. Der Körper 16 ist so ausgeformt, daß er zwei parallele ebene Begrenzungsflächen besitzt, auf welchen seine aktiv wirkenden Teile angeordnet sind. Auf einer der parallelen Begrenzungsflächen ist der Werkstoff 18 mit der Lochblende 19 angebracht Der Werkstoff 18 kann nach verschiedenen Gesichtspunkten ausgewählt werden. Erstens kann er für das Licht des Lasers 17 vollkommen undurchlässig sein. Wenn diese Art von Maske zur Ausbildung der Lochblende 19 verwendet wird, muß eine zusätzliche Anordnung zur Lenkung des Bezugsstrahls auf die lichtempfindliche Schicht 21 vorgesehen werden, die sich auf der anderen Begrenzungsfläche des Körpers 16 befindet Der Bezugsstrahl kann so geführt werden, daß er die Bildschicht 21 entweder von der Seite der Lochblende 19 oder von der anderen Seite her beleuchtet Der Werkstoff 18 kann auch so beschaffen sein, daß er einen Teil der Strahlung absorbiert und einen anderen Teil durchläßt. Der durchgelassene Teil dient dann als der erforderliche Bezugsstrahl. Schließlich kann der Werkstoff 18 aus einem durchlässigen Stoff bestehen, dessen Brechungszahl von der des Materials des Körpers 16 verschieden ist. In diesem Falle bewirkt die Lochblende 19 aufgrund der durch die Linse 22 fokussieren Strahlung die Bildung von Fresnelringen. Gleichzeitig durchlaufen parallele und andere nicht fokussierte Strahlen den Werkstoff 18 und dienen als Bezugsstrahlen.

Zwischen dem Körper 16 und dem Laser 17 ist die Bündelungslinse 22 angeordnet. Die Strahlung des Lasers 17 wird durch die Linse 22 an der Lochblende 19 fokussiert. Die Lochblende 19 dient als punktförmige Lichtquelle. Das entstehende Interferenzbild wird von der lichtempfindlichen Schicht 21 aufgenommen. Nachdem die lichtempfindliche Schicht 21 gleichzeitig über die Lochblende 19 und mit dem Bezugsstrahl belichtet ist, wird sie wie eine herkömmliche photographische Platte entwickelt; das Interferenzbild in Form Fresnelscher Ringe bleibt dauerhaft aufgezeichnet.

Die so erhaltene Fresnel-Zonenplatte kann auf verschiedene Arten als Spektrometer eingesetzt werden, von denen eine in F i g. 4 dargestellt ist. In F i g. 4 ist die Fresnel-Zonenplatte 21 so angeordnet, daß sie weißes Licht von der Quelle 23 durch die Lochblende 19 erhält. Das von der Quelle 23 emittierte weiße Licht kann durch eine nicht gezeigte Lochblende geleitet werden, so daß es als Punktquelle erscheint. Das weiße Licht wird an der Lochblende 19 fokussiert, läuft durch den Körper 16 hindurch und beleuchtet die Zonenplatte 21. Das Licht durchläuft die Zonenplatte 21 und wird an einem Punkt hinter dieser in Abhängigkeit von der Wellenlänge der Strahlung gebündelt. Der verschiebbare Schlitten 25 ist mit einer weiteren Lochblende 24 versehen und im Tubus 27 befestigt. Der Schlitten 25 ist im Tubus 27 so angeordnet, daß der Abstand zwischen der Zonenplatte 21 und der Lochblende 24 verändert werden kann, während die axiale Fluchtung der Lochblenden 19 und 24 erhalten bleibt.

Hinter der Lochblende 24 ist der Detektor 28 angeordnet, so daß das von der Zonenplatte 21 abgestrahlte Licht die Lochblende 24 durchläuft und auf den Detektor 28 auftrifft.

Wenn die Wellenlänge A der von der Beleuchtungsquelle 23 ausgehenden Strahlung gleich ist der der Strahlung, die das Interferenzbild erzeugt hat, d. h. gleich ist der in F i g. 2 gezeigten Wellenlänge Ai, dann fokussiert das die Fresnel-Zonenplatte 21 durchlaufende Licht an einem Punkt, der sich im gleichen Abstand von der Lochplatte 21 wie die Lochblende 19 befindet. Wenn jedoch die Wellenlänge A, der von der Beleuchtung-

quelle 23 ausgehenden Strahlung von Ai verschieden ist, Jann fokussiert die die Zonenplatte 21 durchlaufende Strahlung an einem Punkt, dessen Abstand von der Zonenplatte 21 gegenüber dem Abstand der Lochblende 19 von der Zonenplatte differiert.

Die Änderung des Brennpunktes als Funktion der Wellenlänge virä anhand der bekannten Theorie der Fi-esnelring-Interferenz erklärt. Fig. 5 zeigt ein Fresnelring-Bild. Der Radius des η-ten Ringes ist

Kombination Lochblende 19/Zont'nplatte 21 befindet, woraus sich weniger strenge Toleranzlorderungcn

wobei

R\ = Radius des ersten Ringes.

Wenn das Ringbild mit der Wellenlänge Ai aufgezeichnet worden ist, dann kann der Radius Λι wie folgt definiert werden:

/?,-' = 2 A₁Z,,
wobei

Z\ = Abstand zwischen Quelle und Lochblende.

Wenn man somit den Faktor Z\ als konstant annimmt, dann wird die spezielle Wellenlänge A, in

fokussiert. Die nichtfokussierten Wellenlängen werden fast vollständig von der Lochblende unterdrückt.

Das Signal Ro des Phoiodetektors 28 ist eine Funktion von Z[Ro(Z)] und ergibt die in Fig.6 gezeigte Ausgangsspannungsspitze. Somit ist es offensichtlich, daß eine Bewegung der Quelle das vom Detektor 28 empfangene Ausgangssignal verändert. Die Breite der Spitze in Fig.6 wird durch die Schärfentiefe (f/D') bestimmt und beträgt X(f/Df.

Die beiden Weilenlängen A und λ + Δλ können unterschieden werden, wenn

U) > IZ = (

daher

I/. }.J ₌ Kf
λ ~ D² 2D'²"

Kf

wobei
D'

Durchmesser des größten Ringes des Interferenzbildes,

Abstand, in welchem das durch die Fresnel-Zonenplatte gebeugte Licht fokussiert wird.

Da die als Beleuchtung dienende Weißlichtquelle 23t verschiedene Wellenlängen enthält, macht die Bestimmung der einzelnen Wellenlängen eine Längenänderung des optischen Lichtweges zwischen der Zonenplatte 21 und der Lochblende 24 erforderlich. Ein Verfahren zur Änderung der optischen Weglänge besteht darin, wie anhand der F i g. 4 erklärt wurde, die Lochblende 24 auf der Verbindungsachse mit der Lochblende 19 zu bewegen.

Die Lochblende 19 kann weniger genau dimensioniert und positioniert werden, da sich die Fehler bei der Aufnahme oder Aufzeichnung und dem Bildwiederaufbau aufheben. Da die Einrichtung mit optischer Rückverkleinerung arbeitet braucht auch die Lochblende 24 nicht so eng toleriert zu sein. Der Grund dafür liegt darin, daß sich die bewegliche Lochblende 24 in einem verhältnismäßig großen Abstand von der Bei dem vorstehend beschriebenen Ausführungsbei -) spiel wird die optische Weglänge durch eine Stellungsänderung von einem oder mehreren optischen Elementen verändert. Ein anderes Verfahren zur Änderung der optischen Wegiänge besteht darin, eine Änderung einer Brechungszahl in der optischen Einrichtung vorzunch-

K) men. Bei der Ausführungsform der Fig. 2 kann der Brechungsindex dadurch veränderlich gemacht werden, dab der Körper 16 als ein durchsichtiges Hohlteil hergestellt wird. Außerdem muß eine Möglichkeit zum Einfüllen und Herauslassen einer Flüssigkeit in und aus dem Hohlraum des Körpers vorgesehen sein. Zur Herstellung der Zonenpiatte wird eine Flüssigkeit mit einer bekannten Brechungszahi in den Körper 16 eingefüllt; dann wird ein Interferenzbild unter Verwendung einer bekannten Lichtwellenlänge aufgenommen.

3d Wird dann diese Zonenplatte als Spektrometer benutzt, dann fokussiert das Licht mit der Wellenlänge, die für die Aufnahme benutzt wurde, an einem Punkt, der sich im gleichen Abstand von der Zonenplatte 21 wie die Lochblende 19 befindet Andere Wellenlängen fokussieren jedoch entweder vor oder hinter diesem Punkt. Die optische Weglänge im Körper 16 kann durch eine Änderung der Brechungszahl des Körpers 16 verändert werden, was bei der Anordnung der F i g. 3 durch eine Änderung der Brechungszahl der Flüssigkeit im Körper

κι 16 bewirkt wird. Eine Verkleinerung der optischen Weglänge wird durch eine Erhöhung der Brechungszahl bewirkt und umgekehrt. Somit können die Wellenlängen in der Quelle 23 durch eine Auswechslung der Flüssigkeit im Körper 16 identifiziert werden.

j-> Die Einrichtung nach F i g. 7 umfaßt den Körper 16, der eine variable oder feste Brechungszahl besitzen kann, die Lochblende 19 sowie die Schicht 21 mit dem Interferenzbild wie beim Ausführungsbeispiel der Fig. 2. Der Körper 16 ist mit der Hohllinse 33 fest

jo verbunden, so daß das Licht vom Bild 21 zur Lochblende 34 in der Hohllinse 33 läuft Die Hohllinse 33 ist mit einem Verschlußstöpsel 36 versehen, so daß sie mit Flüssigkeit gefüllt und wieder entleert werden kann. Der Detektor 37 ist nahe der Lochblende 34 angeordnet.

Am Eingang der Einrichtung sind der Beleuchtungsträger 38 und der Linsenträger 39 vorgesehen. Die Träger 38 und 39 dienen als Halterung für die Lichtquelle 41 und die Fokussierlinse 42. Die Quelle 41 ist die zu analysierende Strahlungsquelle; die Linse 42 bündelt das Licht an der Lochblende 19.

Die Quelle 41, die Linse 42, der Körper 16 und die Hohllinse 33 sind auf der Grundplatte 43 montiert, so daß ihre relativen Ausrichtungen und Abstände fixiert sind.

Wenn zur Herstellung der Zonenpiatte ein Interferenzbild aufgenommen wird, wird die Quelle 41 durch eine Quelle mit kohärentem Licht ersetzt; die lichtempfindliche Schicht 21 wird so belichtet wie es vorstehend anhand der Fig.2 beschrieben wurde. Zur

bo Zeit der Aufnahme enthält die Hohllinse 33 ein Strömungsmittel, dessen Brechungsindex eine Fokussierung der Aufnahme-Wellenlänge an der Lochblende 34 bewirkt Dann wird das Interferenzbild dauerhaft aufgenommen.

Wenn die Meßlichtquelle 41 eine Teilrrequenz mit einer Wellenlänge enthält die gleich der Aufnahme-Wellenlänge ist dann ergibt sich eine Spannungsspitze wie in Fig.6. Andere Wellenlängen fokussieren

entweder vor oder hinter der Lochblende 34. Durch eine entsprechende Vergrößerung oder Verkleinerung des Brechungsindex des in der Hohllinse 33 enthaltenen Strömungsmittels können auch diese Wellenlängen zur Bündelung an der Lochblende 34 gebracht werden. Die Beziehung zwischen Brennweite f, Wellenlänge A und Brechungszahl π wird durch die folgende Gleichung ausgedrückt:

wobei

R\ = Radius des ersten Ringes,

Λ = Wellenlänge der Beleuchtungsstrahlung im Vakuum,

η = Brechungszahi des Mediums, durch welchen der optische Weg verläuft.

Wenn f und R\ konstant sind, dann ist die auf die Lochblende fokussierte Wellenlänge der Brechungszahl umgekehrt proportional:

wobei

= Ri V2 f.

Falls gewünscht, kann auch der optische Körper 16 mit einem veränderlichen Brechungsindex ausgelegt werden. Da sowohl der Brechungsindex des Körpers 16 als auch der Hohllinse 33 gemeinsam oder unabhängig verändert werden können, steht ein weiter Bereich von Variationen zur Verfügung, so daß Lichtquellen mit einem großen Bereich von Spektralanteilen genau analysiert werden können.

F i g. 3 zeigt eine andere Verwendungsmöglichkeit für die dauerhaft aufgezeichnete Fresnel-Zonenplatte als Spektrometer. In diesem Fall ist die Fresnel-Zonenplatte 21 so angeordnet, daß sie weißes Licht von der Quelle 46 durch die Lochblende 47 empfängt. Das von der Lochblende 47 ausgestrahlte weiße Licht wird durch die Linse 48 gebrochen, so daß es im wesentlichen in der Form von parallelen Strahlen auf die Zonenplatte auftrifft. Wenn die Wellenlänge λ der von Beleuchtungsquelle 46 emittierten Strahlung gleich ist der bei der Aufnahme des Interferenzbilds verwendeten Wellenlänge, d.h. der in Fig.2 dargestellten Strahlung Ai, dann

ίο fokussiert das die Fresnel-Zonenplatte 21 durchlaufende Licht an der Lochblende 19. Wenn jedoch die Wellenlänge X_x der von der Lichtquelle 46 ausgesandten Strahlung von X\ verschieden ist, dann fokussiert die Strahlung an einem Punkt, der neben der Lochblende 19 liegt, wie durch die gestrichlten Linien 49 dargestellt ist. Die Bündelung der Strahlung an der Lochblende 19 wird durch den Detektor 28 in der gleichen Weise abgetastet wie bei den anderen, vorstehend beschriebenen Ausführungsbeispielen.

Wenn eine Weißlichtquelle als Lichtquelle 46 dient, dann enthält das die Lochblende 47 durchlaufende und von ihr aus abgestrahlte Licht verschiedenen Wellenlängen. Um die Wellenlängen im Licht der der Lichtquelle 46 bestimmen zu können, muß die Länge des optischen Weges, den das Licht zwischen der Quelle 46 und der Lochblende 19 durchläuft, geändert werden. Dies wird durch eine Verschiebung der Lochblende 47 auf der Verbindungsachse zwischen der Quelle 46 und der Lochblende 19 erreicht, d. h. durch eine Verschiebung auf einer zur Oberfläche der Zonenplatte 21 senkrechten Achse. Die Stellungsänderung der Lochblende 47 ergibt eine Fokussierung der verschiedenen Lichtwellenlängen genau an der Lochblende 19 in Übereinstimmung mit den vorstehend gegebenen Beziehungen und Gleichungen.

Hierzu 2 Blatt Zeichnungen

Claims

Patentansprüche:

1. Spektrometer mit einer Eintrittslochblende, einer Austrittslochblende, einem zwischen den beiden Blenden angeordneten dispergierenden Element in Form einer Zonenplatte sowie einer Einrichtung zur Veränderung der optischen Weglänge zwischen den beiden Blenden, dadurch gekennzeichnet, daß eine der beiden Blenden (19) und die Zonenplatte (21) auf einander gegenüberliegenden Begrenzungsflächen eines starren, lichtdurchlässigen Körpers (16) angeordnet sind.

2. Spektrometer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden Begrenzungsflächen des lichtdurchlässigen Körpers (16) parallel zueinander verlaufen.

3. Spektrometer nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die auf dem Körper (16) angeordnete Blende (19) die Eintrittslochblende ist und daß die Lage der Austrittslochblende (24) entlang der optischen Achse veränderbar ist.

4. Spektrometer nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die auf dem Körper (16) angeordnete Blende (19) die Eintrittslochblende ist, daß die Austrittslochblende (34) ortsfest angeordnet ist und daß zwischen der Zonenplatte (21) und der Austrittslochblende (34) eine Küvette (33) vorgesehen ist, die mit Substanzen von unterschiedlichem Brechungsindex füllbar ist. jo

5. Spektrometer nach Anspruch I oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die auf dem Körper angeordnete Blende (19) die Austrittslochblende ist und daß der Körper (16) als eine mit Substanzen von unterschiedlichem Brechungsindex füllbare Küvette ausgebildet ist.

6. Verfahren zur Herstellung der Zonenplatte des Spektrometers nach Anspruch 1, bei dem ein starrer lichtdurchlässiger Körper auf einer ersten Begrenzungsfläche mit lichtempfindlichem Material be- 4» schichtet und dieses Material mit einer von einer Lochblende ausgehenden Kugelwelle sowie einer mit dieser kohärenten ebenen Welle belichtet und anschließend entwickelt wird, dadurch gekennzeichnet, daß die Lochblende (19) auf einer der ersten Begrenzungsfläche gegenüberliegenden zweiten Begrenzungsfläche des Körpers (16) dauerhaft angebracht und anschließend die Belichtung des Materials über diese Lochblende vorgenommen wird.

7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekenn- -,o zeichnet, daß auf die zweite Begrenzungsfläche eine teildurchlässige Schicht mit einer die Blende bildenden Öffnung aufgebracht wird und daß die Bestrahlung des Materials mit der kohärenten ebenen Welle durch die teildurchlässige Schicht hindurch erfolgt.