DE2234775A1 - Kuehlanordnung fuer flache scheibenzellen-halbleiterbauelemente - Google Patents

Kuehlanordnung fuer flache scheibenzellen-halbleiterbauelemente

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DE2234775A1 DE19722234775 DE2234775A DE2234775A1 DE 2234775 A1 DE2234775 A1 DE 2234775A1 DE 19722234775 DE19722234775 DE 19722234775 DE 2234775 A DE2234775 A DE 2234775A DE 2234775 A1 DE2234775 A1 DE 2234775A1
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Description

  • Kühlanordnüng für flache Scheibenzellen-Halbleiterbauelemente Die Erfindung betrifft eine Kühlanordnung für flache Scheibenzellen-Halbleiterbauelemente mit mindestens zwei Kühlbausteinen, von denen jeder aus einem Scheibenzellen-Halbleiterbauelement besteht, an dessen beiden Flachseiten Je eine elektrisch und thermisch gut leitende Kontaktscheibe anliegt, welche über eine elektrisch isolierende, jedoch gut wärmeleitende Zwischenlage mit einem Kühlkörper wärmeleitend verbunden ist, der von einer Künlflüssigkeit durchströmt ist.
  • Kühlbausteine der genannten Art sind bekannt, s.B. aus der deutschen Offenlegungsschrift 1 564 590. Das Halbleiterbauelement, z.B. ein Thyristor, ist in einem scheibenförmigen Gehäuse angeordnet. Die Anode und Kathode des Halbleiterbauelements sind Jeweils mit einer Gehäuseflachseite elektrisch leitend verbunden. Das Scheibenzellen-Halbleiterbauelement ist zwischen zwei zwei flüssigkeitsgekühlten Kühikörpern angeordnet und steht mit diesen über Je eine elektrisch gut leitende Kontaktscheibe und eine Zwischenlage aus elektrisch isolierendem, Jedoch gut wärmeleitendem Material in thermischem Kontakt.
  • Als Material für die Zwischenlage wird bevorzugt Oxidkeramik, insbesondere Beryllium- oder Aluminiumoxid, verwendet. Die beiden mit hohem Druck gegen das Scheibenzellen-Halbleiterbauelement gepreßten Kühlkörper sind an einen Kühlkreislauf mit einer strömenden Kühlflüssigkeit angeschlossen und durch eine Rohrleitung miteinander verbunden. Der kühlbaustein wird durch eine Druckverspannung zusammengehalten. Ein ähnlich aufgebaut er Kühlbaustein mit Luftkühlung ist aus der USA-Patentschrift 2 907 935 bekannt.
  • Aus der deutschen Offenlegungsechrift 1 564 694 ist es beispielsweise bekannt, mehrere Scheibenzellen-Halbleitergleich richter Jeweils abwechselnd mit einem Kühlkörper zu einer säulenförmigen Kühlstapelanordnung zusammenzufassen. Die Kühlkörper sind von einer Kühlflüssigkeit durchströmt, und die Kühlkreisläufe der einzelnen Kühlkörper können einander parallel geschaltet sein. Eine Einspannvorrichtung für mindestens zwei solcher Kühlsta'pelanordnungen ist z.B. aus der deutschen Auslegeschrift 1 614 640 bekannt.
  • Bei der Kühlung solcher Kühlstapelanordnungen mit einer Kühlflüssigkeit als Kühlmittel treten jedoch einige Schwierigkeiten auf. Die Kühlkörper liegen bei Betrieb der Scheibenzellen-Halbleiterbauelemente auf verschiedenem elektrischem Potential. Die Kühlflüssigkeit ist daher einen elektrischen Feld ausgesetzt. Wird als Kühlflüssigkeit z.B. Wasser oder ein anderes dissoziierendes flüssiges Kühlmittel verwendet, so wird sich dieses elektrolytisch zersetzen. Die entstehenden Gasblasen setzen dem Kühlflüssigkeitsstrom einen beträchtlichen Strömungssiderstand entgegen, welcher bei der Dimensionierung der Kühlpumpe beachtet werden muß. Da sich die Kühlflüssigkeit zersetzt, muß sie nach einiger Zeit entweder aufbereitet oder durch neue Kühlflüssigkeit ersetzt werden. Die elektrolytische Zersetzung der Kühlflüssigkeit kann ferner zu Korrosionsechäden innerhalb der Kühlleitungen und der Kühlkörper führen. Weiterhin muß darauf geachtet werden, daß die Kühlmittelanschlüsse an den Kühlkörpern besonders dicht ausgeführt sind. Andernfalls kann austretende Kühlflüssigke#t das Scheibenzellen-Halbleiterbauelement elektrisch kurzschließen.
  • Aus all diesen Gründen möchte man bei der Flüssigkeitskühlung von Kühlstapelanordnungen, die insbesondere auf den Gebiet der Leistungselektronik verwendete Dioden oder Thyristoren enthalten, mit der Kühlflüssigkeit potential-frei arbeiten.
  • Der Erfindung liegt somit die Aufgabe zugrunde, eine Kühlanordnung für flache Scheibenzellen-Halbleiterbauelemente anzugeben, bei welcher die Kühlflüssigkeit puWential-frei geführt werden kann.
  • Die Erfindung geht aus von der Überlegung, daß zur Lösung dieser Aufgabe die eingangs genannte Kühlanordnung herangezogen werden kann. Die Erfindung besteht bei dieser Kühlanordnung darin, daß zwei oder mehr Kühlbausteine wärmekontaktschlüssig aneinander gepreßt sind, wobei die jeweils aneinander angrenzenden Kühlkörper zu einem einzigen Kühlkörper zusammengefaßt sind, und daß je zwei Kontaktscheiben durch einen Strombügel miteinander elektrisch verbunden sind.
  • Gegenüber einer reinen Reihenanordnung von zwei oder mehr der bekannten Kühlbausteine besitzt diese Kühlanordnung den Vorteil, daß an den Stoßstellen von zwei Kühlbausteinen Jeweils ein Kühlkörper eingespart werden kann. Mit dieser Kühlanordnung ist man frei von Problemen der Kühlflüssigkeitsaufbereitung, die sich aus elektrischen Isolations- sowie aus Korrosisonsschutzforderungen ergeben. Die durch den Strombügel miteinander verbundenen Kontaktscheiben liegen auf derselben elektrischen Potential. Sie sind durch die beiden Zwischenlagen von dem dazwischen angeordneten Kühlkörper elektrisch getrennt. Somit kann das elektrische Potential dieses Kühlkörpers beliebig gewählt werden. Der Kühlkörper kann also auch geerdet werden.
  • Gemaß einer Weiterbildung der Kühlanordnung ist daher vorgesehen, daß an den Kühlkörpern eine elektrische Erdleitung befestigt ist. Sind die Kühlkörper durch Kühileitungen aus Metall verbunden, so können auch diese geerdet sein.
  • Der Strombügel kann als eine starre Stromschiene ausgebildet werden. Um jedoch der thermischen Ausdehnung der Kühlanordnung bei Betrieb der Scheibenzellen-Halbleiterbauelemente Rechnung zu tragen, kann der Strombügel auch-federnd oder flexibel ausgebildet sein. Damit der Kühlkörper bei Verschmutzung auf einfache Weise ausgetauscht werden kann, ist es zweckmäßig, den Strombügel an den Kontaktscheiben lösbar zu befestigen.
  • Um zu einer leicht auseinandernehmbaren Kühlanordnung zu gelangen, ist es weiterhin zweckmäßig, daß der Strombügel an der einen Seite und die an den Kühlkörpern angebrachten Kühlmittelanschlüsse an der gegenüberliegenden Seite der Stapel angeordnet sind.
  • Ausführungsbeispiele der Erfindung werden anhand der beigefügten Figuren naher erläutert. Es zeigen: Figur 1 eine Kühlanordnung für zwei elektrisch parallel geschaltete Scheibenzellen-Dioden, und Figur 2 eine Kühlanordnung für eine Anzahl elektrisch in Reihe geschalteter Scheibenzellen-Thyristoren.
  • Die in Figur 1 dargestellte Kühlanordnung enthält zwei flache Scheibenzellen-Halbleiterbauelemente 2 und 3, und zwar Scheibenzellen-Leistungsdioden. Diese entwickeln im Betrieb eine beträchtliche Verlustwärme, die von der Kühlanordnung abgeführt wird. Die Kühlanordnung umfaßt weiterhin drei flüssigkeitsgekühlte zylindrische Kühlkörper 4 bis 6 aus Metall, insbesondere aus Kupfer oder Aluminium, an welche Jeweils eine Erdleitung 7, 8 bzw. 9 angeschlössen ist, ferner vier elektrisch isolierende, aber thermisch gut leitende Zwischenlagen 10 bis 13 z.B. aus Berylliumoxid oder Glimmer, sowie vier elektrisch und thermisch gut leitende Kontaktscheiben 14 bis 17, die z.B. aus Kupfer gefertigt sind.
  • Die Kontaktscheiben 14, 15 und 16, 17 sind Jeweils an einer der beiden Flachseiten der Scheibenzellen-Halbleiterbauelemente 2 bzw. 3 angeordnet. Die Kontaktscheiben 14 bis 17 tragen je eine der elektrisch isolierenden Zwischenlagen 10 bis 13. Diese sorgen für eine elektrische Abtrennung der anliegenden Kühlkörper 4, 5 und 6 von den Scheibenzellen-Halbleiterbauelementen 2 bzw. 3. Die beiden außen angeordneten Kühlkörper 4 und 6 kühlen das Jeweils benachbarte Scheibenzellen-Halbleiterbauelement 2 bzw. 3, während der mittlere Kühlkörper 5 für die gleichzeitige Kühlung beider Scheibenzellen-Halbleiterbauelemente 2, 3 vorgesehen ist.
  • Die Kühlkörper 4 bis 6 sind durch Kühlleitungen 18 und 19, die z.B. aus Kunststoff bestehen können, miteinander verbunden. Am Kühlkörper 4 ist eine Einlaßkühlleitung 20 und am Kühlkörper 6 eine Auslaßkühlleitung 21 vorgesehen. Die Kühlkörper 4 bis 6 werden nacheinander in Richtung der Pfeile 22 von einer Kühlflüssigkeit, z.B. von Wasser, durchströmt.
  • Natürlich kann auch eine strömungsmäßige Parallelschaltung der Kühlkörper 4 bis 6 in einem Kühlflüssigkeitskreislauf vorgesehen sein.
  • Eine (nicht dargestellte) Einspannvorrichtung, die aus einem Einspannåoch bestehen kann, übt in Richtung der Pfeile 23, welche mit der Richtung der Stapelachse I-I zusammenfällt, auf die Kühlkörper 4 und 6 einen beträchtlichen Kontaktdruck aus. Dadurch werden die einzelnen Teile der Kühlanordnung mit ihren Flachseiten wärmekontaktscnlüssig aneinander gepreßt.
  • Die beiden Kontaktscheiben 15 und 16, welche dem mittleren Kühlkörper 5 zugewandt sind, sind durch einen oder mehrere Strombügel 24 miteinanaes elsktrisch leitend verbunden. Dieser Strombügel 24 ist mit einer Anschlußklemme 25 versehen. Entsprechend sind die beiden anderen Kontaktscheiben 14 und 17 durch eine Verbindungsleitung 26 miteinander verbunden, die gleichfalls mit einer AnschluBklemmq 27 versehen ist. Die beiden Scheibenzellen-Halbleiterbauelemente 2 und 3 sind in der Kühlanordnung so angeordnet, daß sie bezüglich der Anschlußklemmen 25 und 27 elektrisch parallel geschaltet sind.
  • Die Kühlleitungen 18 bis 27 sind dabei auf der einen, der Strombügel 24 ist auf der anderen Seite der Stapelfachs 1-1 angeordnet.
  • Bei der dargestellten Kühlanordnung ist ein freier Wärmefluß von den Scheibenzellen-Halbleiterbauelementen 2 und 3 über die wärmekontaktschlüssig angelegten Kontaktscheiben und die ebenfalls wärmekontaktschlüssig angepreßten Zwischenlagen zu den Kühlkörpern 4 und 5 bzw. 5 und 6 möglich. Die von den Scheibenzellen-Ealbleiterbauelementen 2 und 3 im Betrieb entwickelte Verlustwärme wird also zunächst durch Wärmeleitung ~;md anschließend durch Wärmetransport in der strömenden KWhlflüssigkeit abgeführt.
  • Infolge der Verwendung der Zwischenlagen 10 bis 13 und des Strombügels 24 können alle Kühlkörper 4 bis 6 oder alle Kühlleitungen 18 bis 21,, sofern diese aus Metall bestehen, trotz eines nennenswerten Spannungsabfalls zwischen den Kontaktscheiben 14 und 15 sowie 16 und 17 auf dasselbe elektrische Potential gelegt, insbesondere geerdet werden.
  • Die Flüssigkeitskühl'ung erfolgt also potentialfrei. Infolge.
  • dessen kann sich zwischen den Kühlkörpern 4 und 5 sowie 5 und 6 und innerhalb der strömenden Kühlflüssigkeit kein elektrisches Feld ausbilden, welches sonst zur Dissoziation der Kühlflüssigkeit und damit zu einer störenden Gasblasenentwicklung führen würde.
  • Aus Figur 2 geht hervor, daß sich auch bei elektrischer Serienschaltung einer größeren Anzahl vqn Scheibenzellen-Halbleiterbauelementen 30 bis 34, im vorliegenden Fall von Scheibenzellen-Thyristoren in einer Stromrichterschaltung mit hoher Speisespannung, z.B. von 10 000 Volt, eine potentialfreie Versorgung der Kühlkörper 35 bis 48 mit Kühlflüssigkeit erreichen läßt.
  • Jedes der Scheibenzellen-Halbleiterbauelemente 30 bis 34 ist wiederum zwischen zwei der elektrisch leitfähig-en Kontaktscheiben 41 bis 50 eingespannt, welche mit einer der elektrisch isolierenden, aber thermisch gut leitenden Zwischenlagen 51 bis 60 belegt sind, welche ihrerseits wiederum mit ihrer anderen Flachseite an einem der Kühlkörper 35 bis 40 anliegen. Die gestapelten Teile der Kühlanordnung werden wiederum durch eine (nicht gezeigte) Einspannvorrichtung wärmekontaktschlüssig zusammengehalten, welche in Richtung der Pfeile 61 und damit in Richtung der Stapelachse II-II Druck ausübt.
  • Die beiden am weitesten außen liegenden Kontaktscheiben 41 und 50 sind mit elektrischen Anschlußklenen 62 bzw. 63 versehen, an welche eine Gleich- oder Wechselspannung angelegt sein kann. Die beiden Kontaktscheiben 42 und 43, welche den Kütilkörper 36 einschließen, sind durch einen Strombügel 64 miteinander verbunden, der außen an der gestapelton Kühlanordnung vorbei führt. Entsprechend sind Strombügel 65 bis 67 zur Überbrückung der Kühl körper 37 bis 39 vorgesehen, so daß sich bei gleichzeitig gezündeten Scheibenzellen-Halbleiterbauelementen 30 bis 34 ein elektrischer Stromweg von der Anschlußklemme 62 über die Kontaktecheibe 41, das Scheibenzellen-Halbleiterbauelement 30, die Kontaktscheibe 42, den Strombügel 64, die Köntaktscheibe 43, das Scheibenzellen-Halbleiterbauelement 31, die Kontaktscheibe 44, den Strombügel 65, .... bis zur Anschlußklemme#63 ergibt.
  • In der dargestellten Kühlanordnung sind die beiden Strombügel 64 und 67 federnd und die beiden Strombügel 65 und 66 flexibel ausgeführt. Beide Ausführungen besitzen den Vorteil, daß thermische Spannungen nicht zur Zerstörung führen- können. Die Strombügel 64 bis 67 sind vorzugsweise jeveilssenigstens an einem Ende lösbar an der entsprechenden Kontaktscheibe 42 bis 49 befestigt. Dadurch lassen sich nach Lösen der Einspannvorrichtung auf einfache Weise defekte Scheibenzellen-Halbleiterbauelemente, Isolierscheiben oder verstopfte Kühlkörper auswechseln. Wegen der Flexibilität der Strombügel kann der Austauch auch ohne Lösung eines der beiden Enden des Strombügels von der Kontaktscheibe erfolgen. Zwei Kontaktscheiben mit Strombügel können dann als Einheit dem Stapel entnommen werden.
  • Die Zufuhr und Ableitung der Kühlflüssigkeit erfolgt wiederum von der anderen Seite der Stapelachse 11-11. Die Xühlleitungen 68 bis 74, die in Richtung der Pfeile 75 von der Kühlflüssigkeit durchströmt werden, bestehen bei der dargestellten Kühlanordnung ebenso wie die Kühlkörper 35 bis 40 aus Metall.
  • Sie sind bei 76 geerdet. Dadurch liegen die Kühlkörper 35 bis 40 ebenso wie bei der Ausführungsform gemäß Figur 1 wiederum alle auf demselben elektrischen Potential. Die genannten Nachteile können sich also auch bei der in Figur 2 gezeigten Kühlanordnung nicht einstellen. Die einzelnen Elemente des Stapels können Ausnehmungen enthalten derart, daß der Stapel durch das Ineinanderfügen der einzelnen Elemente in diese Ausnehmungen genau axial ausgerichtet ist.
  • 9 Patentansprüche 2 Figuren

Claims (9)

  1. Patentans prüche 1.)Kühlanordnung für flache Scheiben zellen-Halbleit erbauelemente mit mindestens zwei Kühlbausteinen, von denen jeder aus einem Scheibenzellen-Halbleiterbauelement besteht, an dessen beiden Flachseiten je eine elektrisch und thermisch gut leitende Kontaktscheibe anliegt, welche über eine elektrisch isolierende, jedoch gut wärmeleitende Zwischenlage mit einem Kühlkörper wärmeleitend verbunden ist, der von einer Kühlflüssigkeit durchströmt ist, dadurch gekennzeichnet, daß zwei oder mehr Kiihlbausteine wärmekontaktschlüssig aneinander gepreßt sind, wobei die jeweils aneinander angrenzenden Kühlkörper zu einem einzigen Kühlkörper (5; 36 bis 39) zusammengefaßt sind, und daß Je zwei Kontaktscheiben (15, 16; 42 bis 49) durch einen Strombügel (24; 64 bis 67) miteinander elektrisch verbunden sind.
  2. 2. Kühlanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Strombügel (24) eine starre Stromschiene ist.
  3. 3. Kühlanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Strombügel (64 bis 67) federnd oder flexibel ausgebildet ist.
  4. 4. Kühlanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Strombügel (24; 64 bis 67) an mindestens einer der beiden Kontaktscheiben (15, 16; 42 bis 49) lösbar befestigt ist.
  5. 5. Kühlanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß an den Kühlkörpern (4 bis 6) eine elektrische Erdleitung ci bis 9) befestigt ist.
  6. 6. Kühlanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Kühlkörper (35 bis 40) durch Kühlleitungen (68 bis 74) aus Metall verbunden und daß die Kühlleitungen (68 bis 74) geerdet sind.
  7. 7. Kühlanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß der Strombügel (~24; 64 bis 67) an der einen Seite und die an den Kühlkörpern (4 bis 6; 35 bis 40) angebrachten Kühlmittelanschlüsse an der gegenüberliegenden Seite einer Stapelachse (I-I; II-II) angeordnet sind.
  8. 8. Ku~klanordaung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß zwei Kontaktscheiben mit flexiblem Strombügel eine unlösbare, aus der gestapelten Kühlanordnung als Ganzes entnehmbare Einheit bilden.
  9. 9. Kühlanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß in den Kühlkörpern, Kontaktecheiben und/oder Zwischenlagen Ausnehmungen vorgesehen sind, die einen axialen Aufbau ermöglichen.
    L e e r s e i t e
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FR2590005A1 (fr) * 1985-11-08 1987-05-15 Alsthom Cgee Systeme de composants semi-conducteurs de puissance refroidis par circulation d'un liquide

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