DE2217968C3 - Verfahren zur Herstellung von Interferenzschicht-Spektralteilern - Google Patents
Verfahren zur Herstellung von Interferenzschicht-SpektralteilernInfo
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- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 title claims description 16
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 13
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 12
- 230000008569 process Effects 0.000 title claims description 6
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 8
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 4
- 230000001788 irregular Effects 0.000 claims description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 2
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 56
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 12
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 7
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 7
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 6
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 5
- -1 polyethylene Polymers 0.000 description 5
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 5
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 4
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 4
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 4
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 3
- 230000009931 harmful effect Effects 0.000 description 3
- PGAPATLGJSQQBU-UHFFFAOYSA-M thallium(i) bromide Chemical compound [Tl]Br PGAPATLGJSQQBU-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- CMJCEVKJYRZMIA-UHFFFAOYSA-M thallium(i) iodide Chemical compound [Tl]I CMJCEVKJYRZMIA-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 2
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 2
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 2
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 2
- 238000005019 vapor deposition process Methods 0.000 description 2
- 230000002745 absorbent Effects 0.000 description 1
- 239000002250 absorbent Substances 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 239000006117 anti-reflective coating Substances 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 230000007812 deficiency Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 239000002198 insoluble material Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 1
- 239000011863 silicon-based powder Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
- 238000009834 vaporization Methods 0.000 description 1
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/20—Filters
- G02B5/28—Interference filters
- G02B5/285—Interference filters comprising deposited thin solid films
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Filters (AREA)
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DD15571471A DD90876B1 (de) | 1971-06-11 | 1971-06-11 | Verfahren zur herstellung von interferenzschicht-spektralteilern |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE2217968A1 DE2217968A1 (de) | 1972-12-21 |
| DE2217968B2 DE2217968B2 (de) | 1980-09-11 |
| DE2217968C3 true DE2217968C3 (de) | 1981-08-13 |
Family
ID=5483941
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE19722217968 Expired DE2217968C3 (de) | 1971-06-11 | 1972-04-14 | Verfahren zur Herstellung von Interferenzschicht-Spektralteilern |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| DD (1) | DD90876B1 (enExample) |
| DE (1) | DE2217968C3 (enExample) |
| FR (1) | FR2140382B1 (enExample) |
| SU (1) | SU524153A1 (enExample) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3543812A1 (de) * | 1985-12-12 | 1987-06-19 | Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg | Verfahren zum herstellen eines teildurchlaessigen optischen koerpers und durch das verfahren hergestellter optischer koerper |
| US5144498A (en) * | 1990-02-14 | 1992-09-01 | Hewlett-Packard Company | Variable wavelength light filter and sensor system |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DD8217A (enExample) * | ||||
| SU124674A1 (ru) * | 1959-03-14 | 1959-11-30 | А.А. Будинский | Интерференционный теплофильтр |
| US3151208A (en) * | 1961-01-23 | 1964-09-29 | Perkin Elmer Corp | Infrared interference filters |
| DE1153189B (de) * | 1961-06-30 | 1963-08-22 | Zeiss Ikon Ag | Anordnung zur Abtrennung der Waerme-strahlung aus dem Strahlengang einer Lichtquelle |
| GB1092221A (en) * | 1965-11-02 | 1967-11-22 | Standard Telephones Cables Ltd | Optical filters |
| GB1198904A (en) * | 1967-05-19 | 1970-07-15 | Hitachi Ltd | Transmission Type Interference Filter |
-
1971
- 1971-06-11 DD DD15571471A patent/DD90876B1/de unknown
-
1972
- 1972-04-14 DE DE19722217968 patent/DE2217968C3/de not_active Expired
- 1972-04-17 FR FR7213436A patent/FR2140382B1/fr not_active Expired
- 1972-06-09 SU SU1797556A patent/SU524153A1/ru active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE2217968B2 (de) | 1980-09-11 |
| DE2217968A1 (de) | 1972-12-21 |
| FR2140382A1 (enExample) | 1973-01-19 |
| SU524153A1 (ru) | 1976-08-05 |
| FR2140382B1 (enExample) | 1975-10-24 |
| DD90876B1 (de) | 1988-08-17 |
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Legal Events
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| 8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |