DE2150748C3 - Verfahren und Vorrichtung zur elektrochemischen Bearbeitung der Oberflächen von festen Körpern - Google Patents
Verfahren und Vorrichtung zur elektrochemischen Bearbeitung der Oberflächen von festen KörpernInfo
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Description
35
Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur elektrochemischen Bearbeitung der Oberfläche von
festen Körpern, insbesondere von mit Metall beschichteten Werkstücken aus elektrisch nicht leitendem
Material, und auf eine Vorrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens.
Eine derartige Bearbeitung von Oberflächen von Werkstücken wird insbesondere dann durchgeführt,
wenn auf einem Körper, beispielsweise einer Folie aus einem isolierenden Kunststoff, eine Metallschicht
aufgebracht ist und diese Metallschicht die Oberfläche des aus Kunststoff bestehenden Körpers nicht vollständig
überziehen soll.
Kunststoffkörper, insbesondere Folien, die teilweise mit einer metallischen Beschichtung versehen sind, sind
beispielsweise mit Bahren aus elektrischen Leitern, die für Schaltungen vorgesehen sind, versehene Platten
oder Folien. Die Herstellung solcher elektrische Leiter tragenden Folien oder Platten geschah bisher dadurch,
daß auf Kunststoffplatten oder -folien zunächst aufgebrachte Metallflächen teilweise chemisch beseitigt
wurden. Das erfolgte dadurch, daß auf die zu entfernenden Teile zum Beispiel saure Wasserstoffperoxid-Lösungen
aufgebracht wurden. Der Nachteil dieses Verfahrens bestand jedoch darin, daß dabei wertvolle
Chemikalien, zum Beispiel Wasserstoffperoxid und die verwendete Säure verbraucht wurden. Außerdem
wurde das dabei gelöste Metall zunächst von der Ätzlösung aufgenommen und konnte nur durch
besondere Verfahren, beispielsweise durch Elektrolyse zurückgewonnen werden.
Ein elektrochemisches Abtragen metallischer Oberflächen war dann möglich, wenn die zumindest teilweise
abzutragenden Metallteile als Elektrode in ein elektrolytisches Bad eingetaucht werden konnten, wie dies zum
Beispiel aus DE-PS 3 01 923 oder DE-AS 11 70746
bekannt ist Dies ist nachteilig, wenn bei der Bearbeitung der metallischen Oberfläche elektrisch voneinander
isolierte Bereiche gebildet werden. Zum Elektroplatieren von Werkstücken wurde andererseits vorgeschlagen,
die metallischen Strukturen auf die Werkstücke in der Weise aufzutragen, daß über kathodisch aufgeladene
Kupferbürsten stets ein unmittelbarer elektrischer Kontakt zur aufzutragenden metallischen Schicht
gehalten wird (vergleiche US-PS 34 68 785). Dieses Verfahren ist jedoch technisch sehr aufwendig. Es muß
nicht nur mit Verschleiß der Bürsten, sondern auch mit »Verschweißungen« zwischen Bürsten und aufgetragener
Metalloberfläche gerechnet werden.
Aufgabe der Erfindung ist es, ein Verfahren und eine Vorrichtung zur elektrochemischen Bearbeitung von
Oberflächen fester Körper, insbesondere von Werkstücken aus elektrisch nicht leitendem Werkstoff mit
einer metallischen Beschichtung, zu schaffen, bei deren Anwendung einerseits praktisch keine Verluste an den
für die Reaktion erforderlichen Stoffen und auch nicht an dem als metallischer Überzug verwendeten Metall
entstehen, andererseits auch das Abtragen metallischer Oberflächen in einfacher Weise dann durchführbar ist,
wenn voneinander elektrisch isolierte Bereiche entstehen.
Diese Aufgabe wird bei einem Verfahren der eingangs erwähnten Art durch die im Patentanspruch 1
gekennzeichneten Maßnahmen gelöst Die im Elektrolyten suspendierten elektrisch leitfähigen Körper
übernehmen dabei die Übertragung derjenigen elektrischen Ladung auf die metallische Oberfläche, die bei
gleichzeitiger Anwesenheit von Elektrolyt für die gewünschte Behandlung der Oberfläche erforderlich ist
Werden die im Elektrolyten suspendierten, elektrisch leitfähigen Körper an der Anode der Elektrolysezelle
positiv aufgeladen und anschließend zugleich mit dem Elektrolyten mit der metallischen Oberfläche des
Werkstücks in Berührung gebracht so gehen Metallionen in Lösung, die an der Kathode der Elektrolysezelle
wieder abgeschieden werden. Als elektrisch leitfähige Körper Sassen sich beispielsweise Graphitpulverteilchen,
aber auch mit einer Metallschicht überzogene Partikeln aus isolierendem Werkstoff verwenden. Das
erfindungsgemäße Verfahren ist praktisch ohne Substanzverlust und in einfacher Weise durchführbar. Die
metallischen Oberflächen sind zur Bearbeitung lediglich mit der die elektrisch leitenden Körper enthaltenden
Elektrolyt-Suspension in Berührung zu bringen, ohne daß zwischen zu bearbeitender metallischer Oberfläche
und einer der Elektroden der Elektrolysezelle ein unmittelbarer Kontakt besteht Es hat sich gezeigt daß
nach Abdecken solcher metallischer Oberflächenbereiche, die nicht abgetragen werden sollen, mit einer den
verbleibenden Teil der Metallschicht entsprechend isolierenden Deckschicht eine seitliche Unterätzung
weitgehend vermieden werden konnte und eine hohe Konturenschärfe erreicht wird.
Eine geeignete Vorrichtung zur Abtragung metallischer Oberflächen ist in Patentanspruch 2 angegeben.
Um die Ladungsträger in Bewegung zu halten, ist es zweckmäßig, die die elektrisch leitenden Körper
aufladende Elektrode rotierend anzutreiben. Die erforderlichen Maßnahmen hierzu werden im Patentan-
spruch 3 angegeben. Bevorzugt wird die zu bearbeitende
Oberfläche des Werkstücks mit dem die aufgeladenen elektrischen Ladungsteile enthaltenden Elektrolyten
bespült Zum Umwälzen des Elektrolyten ist eine Umwälzung vorgesehen, Patentanspruch 4.
Die Anwendung des Verfahrens gemäß der Erfindung und die Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens
sind in mehrfacher Hinsicht vorteilhaft: Zunächst fallen keine unerwünschten Nebenprodukte an. Auch läßt sich
Reaktionsablauf und Umsatz durch Einstellen des Elektrodenpotentials mit hoher Genauigkeit steuern.
Nach Auswahl geeigneter Elektrolyte und geeigneter der Übertragung der elektrischen Ladung dienenden
elektrisch leitenden Körper läßt sich eine weitgehende Anpassung an den jeweils vorliegenden Bedarfsfall
erreichen. Auch sind gegebenenfalls für die Bearbeitung der Werkstücke erforderliche Temperaturen oder auch
andere äußere Bedingungen einstellbar.
Die Vorzüge des erfindungsgemäßen Verfahrens ergeben sich nicht nur bei der Herstellung von
Leiterplatten. Ein weiteres Anwendungsbeispiel des erfindungsgemäßen Verfahrens ist die Herstellung
metallischer Formteile, bei denen es auf hohe Präzision und Konturenschärfe ankommt, wie zum Beispiel bei
der Ausbildung des Oberflächenreliefs von Druckereiplatten oder -walzen. Die unmittelbare Wiedergewinnung
der abgetragenen Metalle an der Kathode der Elektrolysezelle ist einerseits von wirtschaftlicher
Bedeutung, andererseits aber auch bedeutsam für den Schutz der Umwelt Dieser Vorzug des erfindungsgemäßen
Verfahrens wird insbesondere auch genutzt bei der Rückgewinnung von Metallen aus sogenanntem Kabelschrott
oder Leiterplattenabfällen.
Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung wird im folgenden angegeben:
Anoden- und Kathodenraum der Elektrolysezelle wa<*en durch ein Diaphragma getrennt, um die
Entladung der im Anodenraum suspendierten Teilchen an der Kathode zu verhindern. Als suspendiertes
Material diente Graphitpulver. Die Stromzuführung
ίο erfolgte durch einen kompakten Graphitkörper als
Anode, der in geringem Abstand von der zu bearbeitenden kupferkaschierten Kunststoffplatte angeordnet
war. Durch eine Rotation dieser Graphitanode wurde zugleich die erforderliche Bewegung der
suspendierten Teilchen bewirkt Als Elektrolyt diente 1-normale Schwefelsäure mil einem Gehalt von 140 g
CuSO4Je Liter.
Bei einem Elektrolytvolumen von 80 ml im Anodenraum und einem Zusatz von 40 g Graphitpulver wurde
bei einer Polarisation auf +80OmV eine Stromdichte von 160 mA/cm2 bei 700C erzielt Auch hierbei bildeten
sich scharfe Konturen der abgedeckten, stehenbleibenden Kupferbahnen aus. Die dabei gebildeten Kupferionen
wurden im kathodenraum mit gleicher Stromdichte wieder abgeschieden, so daß bei unveränderter
Suspensionsschicht auch der Elektrolyt insgesamt keiner Veränderung unterworfen war. Die Ablösezeit
für eine 35 um dicke Kupferschicht betrug etwa 10 Minuten. Bei diesem Ausführungsbeispiel betrug die
Claims (4)
1. Verfahren zur elektrochemischen Bearbeitung der Oberflächen von festen Körpern, insbesondere
von mit Metall beschichteten Werkstücken aus elektrisch nicht leitendem Material, dadurch
gekennzeichnet, daß die zu bearbeitenden Werkstücke berührungsfrei zu Kathode und Anode
angeordnet werden und ein Elektrolyt verwendet wird, der zur Übertragung der elektrischen Ladung
dienende elektrisch leitende Körper enthält, die zeitweilig an der die Behandlung bestimmenden
Elektrode aufgeladen werden.
Z Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der
Elektrolyt im Raum zwischen der die Ladung an die elektrisch leitenden Körper abgebenden Elektrode
und der zu bearbeitenden Oberfläche des Werkstücks als elektrisch leitende Körper im Schwebezustand
befindliches Graphitpulver aufweist und die Gegenelektrode durch ein Diaphragma abgeschirmt
ist
3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß zur Bewegung der als elektrisch
leitende Körper dienenden Ladungsträger die die Ladung an die elektrisch leitenden Körper abgebende
Elektrode um eine Achse drehbar gelagert und mit einem Antrieb verbunden ist
4. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet daß zum Bespülen der zu bearbeitenden
Oberfläche des Werkstücks mit dem die aufgeladenen elektrischen Ladungsträger enthaltenden Elektrolyten
eine Umwälzpumpe vorgesehen ist
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19712150748 DE2150748C3 (de) | 1971-10-12 | 1971-10-12 | Verfahren und Vorrichtung zur elektrochemischen Bearbeitung der Oberflächen von festen Körpern |
FR7235930A FR2161911B1 (de) | 1971-10-12 | 1972-10-11 | |
JP47101673A JPS6046200B2 (ja) | 1971-10-12 | 1972-10-12 | 固体の表面の電解エツチング |
GB4704372A GB1407425A (en) | 1971-10-12 | 1972-10-12 | Process and apparatus for the electro-chemical processing of metallic surface layers |
US05/559,339 US3974050A (en) | 1971-10-12 | 1975-03-17 | Method of and apparatus for processing the surface of bodies |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19712150748 DE2150748C3 (de) | 1971-10-12 | 1971-10-12 | Verfahren und Vorrichtung zur elektrochemischen Bearbeitung der Oberflächen von festen Körpern |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2150748A1 DE2150748A1 (de) | 1973-04-19 |
DE2150748B2 DE2150748B2 (de) | 1978-11-16 |
DE2150748C3 true DE2150748C3 (de) | 1979-07-19 |
Family
ID=5822106
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19712150748 Expired DE2150748C3 (de) | 1971-10-12 | 1971-10-12 | Verfahren und Vorrichtung zur elektrochemischen Bearbeitung der Oberflächen von festen Körpern |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6046200B2 (de) |
DE (1) | DE2150748C3 (de) |
FR (1) | FR2161911B1 (de) |
GB (1) | GB1407425A (de) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5024735A (en) * | 1989-02-15 | 1991-06-18 | Kadija Igor V | Method and apparatus for manufacturing interconnects with fine lines and spacing |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4516866Y1 (de) * | 1965-09-28 | 1970-07-11 |
-
1971
- 1971-10-12 DE DE19712150748 patent/DE2150748C3/de not_active Expired
-
1972
- 1972-10-11 FR FR7235930A patent/FR2161911B1/fr not_active Expired
- 1972-10-12 JP JP47101673A patent/JPS6046200B2/ja not_active Expired
- 1972-10-12 GB GB4704372A patent/GB1407425A/en not_active Expired
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
GB1407425A (en) | 1975-09-24 |
JPS4847577A (de) | 1973-07-06 |
FR2161911B1 (de) | 1976-08-20 |
DE2150748A1 (de) | 1973-04-19 |
JPS6046200B2 (ja) | 1985-10-15 |
FR2161911A1 (de) | 1973-07-13 |
DE2150748B2 (de) | 1978-11-16 |
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