DE2147605A1 - Einrichtung zum Herstellen eines vorbestimmten dichten Abstands zwischen einem Bauteil und einer relativ dazu bewegten Bezugsfläche - Google Patents
Einrichtung zum Herstellen eines vorbestimmten dichten Abstands zwischen einem Bauteil und einer relativ dazu bewegten BezugsflächeInfo
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Description
2U7605
RCA t2,4 30
Convention Date:
September 24, 197O
Convention Date:
September 24, 197O
.1CA Corporation, >!ew York, F.Y., V.St.A.
iaririchtung zum Herstellen eines vorbestimmten dichten Abstands
zwischen einem Bauteil und einer relativ dazu bewegten Bezugsfläche
Die Erfindung betrifft eine Einrichtung zum Herstellen eines vorbestimmten dichten Abstands zwischen einem Bauteil und einer
relativ dazu bewegten Bezugsfläche mit Hilfe eines Gasfilms in Gegenwart einer das Bauteil gegen die Bezugsfläche drückenden
Kraft (beispielsweise der Kraft einer äußeren Spannfeder oder einer entsprechenden Schwerkraftkomponente). Obwohl nicht hierauf
beschränkt, eignet sich die Einrichtung besonders für die Einstellung eines Signalwandlers in bezug auf einen Aufzeichnungsträger.
Bei Geräten mit zwei Bauteilen, die mit in dichtem Abstand voneinander befindlichen Oberflächen relativ zueinander beweglich
sind (beispielsweise unter dem Einfluß einer äußeren Spannkraft), müssen Maßnahmen getroffen werden, um den Verschleiß infolge von
Gleitreibung zwischen den beiden Bauteilen minimal gering zu halten oder gänzlich zu verhindern. Zu diesem Zweck kann es erwünscht
sein, daß die Bauteile, um den Reibungsverschleiß zu vermeiden, auf Distanz voneinander gehalten werden, wobei aber zugleich aus
anderen Gründen, die sich aus dem Verwendungszweck der Einrichtung
ergeben, ein fester Abstand zwischen den beiden Oberflächen gewahrt werden soll. Ein entsprechendes Anwendungsbeispiel ist ein
Magrietplatten oder Magnettrommelspeicherwerk, wie es für die
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Informationsspeicherung in digitalen Rechenanlagen verwendet wird,
Bei einem sdchen Magnetplatten- oder Magnettrommelspeicher werden
mit Hilfe von einem oder mehreren Signalwandlern Informationen
vom Speichermedium, das durch die Aufzeichnungsfläche der rotie
renden Trommel oder Platte gebildet wird, abgelesen sowie auf dem Speichermedium aufgezeichnet. Dabei muß das Speichermedium in
einem dichten und verhältnismäßig festen Abstand von den Oberflächen
der Signalwandler gehalten werden. Eine übliche Methode, um dies ?u erreichen, besteht darin, daß man zwischen dem Aufzeichnungsträger
oder Speichermedium und den Sigiialwaiidlerober flächen
einen Druckgasfilm vorsieht.
Es sind verschiedene Methoden zum Herstellen eines Abstandes zwischen zwei relativ zueinander bewegten Flächen, besonders box
Speichergeräten der oben genannten Art, mit Hilfe eines Gasfilmes bekannt. Eine solche Methode ist die der sogenannten hydrostatischen
Lagerung, wobei Druckgas, gewöhnlich Luft, durch Öffnungen in der gegen die Platte gewandten ebenen Oberfläche des Wandlers
ausgeblasen wird. Abgesehen von Problemen, die mit den Pumpen und sonstigen Leitungsanordnungen, die für die Fereitstellung der
Druckluft an der Lagerfläche an oder um den Wandler benötigt werden,
verbunden sind, ist es sehr schwierig, eine gleichmäßige Luftströmung innerhalb der Grenzen des Luftfilmes herzustellen,
so daß der Abstand r.wischer. dem l/andler und der Auf reichnung.?-
trägerfläche reguliert werden kann.
Eine andere Methode ist die der sogenannten hydrodynamischen Lagerung, wobei die Formgebung des Wandlers und der umgebenden
Geräteteile so gewählt wird, daß der Wandler auf einem Film aus mitgerissenem Gas über der sich rasch bewegenden Aufzeichnungs ■
trägerfläche "fliegt" oder schwebt. Dadurch entfällt die für die hydrostatische Lagerung erforderliche äußere Druckluftquellej
jedoch muß die Relativbewegung zwischen dem Wandler und dem Aufzeichnungsträger verhältnismäßig schnell sein, damit der erforder
liehe Luftdruck erzeugt und ein entsprechender Abstand -wischen
den beiden Oberflächen hergestellt wird. Ferner hängt der Abstand zwischen dem Wandler und der Aufzeichnungsträgerfläche von der
relativen Oberflächengeschwindigkeit zwischen Wandler und Auf -
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zeichrmngsträger sowie von bestimmten anderen unkontrollierbaren
("festen") Fa'ctoren oder Parametern ab. Letzteres wird deutlich,
wenn man bedenkt, daß es nicht möglich ist, den funktioTeilen Zustand der Gaslagerung· kurzzeitig tu verändern, um eine Regulierung
oder Beeinflussung der Gasfilmdicke zu ermöglichen, d.h. um den Abstand zwischen Wandler und Aufseichrmngsträgerfläche zu kontrollieren.
Die sich bei nichtgleichmäßiger Geschwindigkeit ergebenden Probleme werden deutlich, wenn man bedenkt, daß bei einem
plattenförmigen Aufzeichnungsträger der Wandler über einen be stimmten
Bereich unterschiedlicher Radien vom Rotations^entrum
der Platte aus "spuren" muß. Diese Radiusänderungen haben wiederum
zur Folge, daß das Lagerkissen einem entsprechenden Bereich von
unterschiedlichen Lineargeschwindigkeiten ausgesetzt ist, so daß es unmöglich ist, selbst mittlere oder langzeitige konstante
Lagerungsbedingungen mit konstanter Wandlerdistanz herzustellen.
Eine dritte bekannte Methode zum Herstellen eines Abstands
zwischen zwei bewegten Flächen unter Verwendung eines Druckgasfilmes ist die sogenannte "Quetschfilmmethode" (USA-Patentschrift
3 39(> 98O) . Dabei wird der Abstand zwischen zwei Flächen, beispielsweise
denen einer Bandantriebsachse und einem Magnetband, dadurch hergestellt, daß eine der beiden Flächen in gegen die andere
Fläche gerichtete Schwingungen versetzt wird, so daß das zwischen den beiden Flächen mitgenommene Gas mit einem Druck komprimiert
wird, der einen Gleichgewichtszustand erreicht, wenn die (im wesentlichen konstante) Kraft, welche die Flächen gegeneinander
drückt, durch die vom Gas selbst ausgeübte Kraft aufgewogen wird. Bei dieser bekannten Methode wird ,jedoch kein Wert darauf
gelegt, den Abstand als solchen konstant zu halten. Beispielsweise handelt es sich bei der oben genannten USA-Patentschrift lediglich
darum, eine Ouetschf umlagerung unbestimmter Abmessungen zu
erzeugen, um zu verhindern, daß die Bandoberfläche die sich drehende Antriebsachse erfaßt (wenn das Band sich nicht bewegen soll),
und den Abstand auf im wesentlichen null zu verringern (durch Abschalten des mechanischen Schwingunpser^eugers), so daß die Antriebsachse
die Bandoberfläche erfassen kann (wenn das Band sich bewegen soll).
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Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Einrichtung zu schaffen, bei der eine Gaslagerung dieses Ouetschfilmtyps dazu
verwendet werden kann, einen im wesentlichen konstanten Abstand zwischen zwei relativ zueinander bewegten Flächen aufrechtzuerhalten,
wobei dieser Abstand bei durch äußere Faktoren verursachten Änderungen in engen Grenzen und sehr schnell korrigierend auf
einen im wesentlichen konstanten Mittelwert eingeregelt werden kann, und zwar auch dann, wenn die eine Fläche (die des Bauteils)
das Bestreben hat, sich auf die andere Fläche (die Bezugsfläche) zu und von dieser weg zu bewegen. Die Einrichtung soll sich besonders
für die Regulierung der Distanz eines Wandlers von der Oberfläche eines Aufzeichnungsträgers eignen.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe dadurch gelöst, daß bei einer Einrichtung der eingangs genannten Art mit dem Bauteil ein
bei der Bezugsfläche (beispielsweise der Oberfläche eines Aufzeichnungsträgers) angeordneter Wandler (beispielsweise ein piezo^
elektrischer Kristallwandler) gekoppelt ist, der mechanische Schwingungen in Richtung gegen die Bezugsfläche vollführt, derart,
daß zwischen dem Wandler und der Bezugsfläche ein Quetschgasfilm
erzeugt wird, dessen mittlere Dicke eine Funktion der Schwingungsamplitude des Wandlers ijstj und daß an den Wandler eine Steueranordnung
(beispielsweise ein die von einem Oszillator dem piezoelektrischen Wandler zugeleitete Spannung regelnder Verstärker)
angekoppelt ist, mit deren Hilfe die Schwingungsamplitude des Wandlers so eingestellt Werden kann, daß ein gegebener mittlerer
Abstand zwischen dem Bauteil und der Bezufsflache aufrechterhalten
wird.
Die Erfindung wird nachstehend an Hand der Zeichnungen im einzelnen erläutert. Es zeigen:
Figur 1 einen Magnetplattenspeicher mit erfindungsgemäßer
Einrichtung;
Figur 2 einen Schnitt entlang der Schnittlinie 2 2 j :i Fi rar
1, der Einzelheiten der Wandleranord-iu if. im Speicher nach Firnr
zeigt;
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Figur 3 eine andere Ausführungsform des Schwingers in der
Wandleranordnung nach Figur 2j und
' Figur 4 das Blockschaltschema einer selbsttätigen Regeleinrichtung
zum Herstellen eines gegebenen Abstands zwischen der Wandleranordnung und dem Aufzeichnungsträger im Speicher nach
Figur 1.
Beim Magnetplattenspeicher nach Figur 1 trägt ein Gestell 10 einen Plattenantriebsmotor 12. Auf der Welle 16 des Motors 12 ist
ein Plattenstapel 13 (von dem nur eine Platte gezeigt ist, der Jedoch aus mehreren übereinander gestapelten Platten bestehen
kann) abnehmbar befestigt, so daß er mit verhältnismäßig hohen Drehzahlen gedreht werden kann.
Die Platte 13 besteht gewöhnlich aus einem nichtmagnetischen Metall oder einer nichtmetallischen Unterlage, auf der eine
Magnetschicht 14 als Aufzeichnungsträger angebracht ist.
Am Gestell 10 ist gleitbar ein Arm 20 befestigt. Der Arm 20 hat eine Zahnung 22, die mit einem drehbar am Gestell 10 gelagerten
Zahnrad 24 kämmt. Ein Servo- oder Stellmotor 26 ist mechanisch mit dem Zahnrad 24 gekuppelt, so daß unter Steuerung durch Signale
von einer Signalquelle (nicht gezeigt) der Arm 20 relativ zum Gestell 10 in Richtung des Pfeiles 28 bewegt werden kann. Am Arm 20
ist mittels eines Scharniers 32 ein Ausleger oder Hebelarm 30 angelenkt.
Am freien (dem Scharnier 32 entgegengesetzten) Ende des Hebelarms 30 ist eine Wandleranordnung 34 befestigt. Ein Spannelement
z.B. in Form einer Feder 36 drückt die Wandleranordnung 34 niit konstanter Kraft gegen den Aufzeichnungsträger (Magnetschicht)
14· Statt einer Druckfeder 36 kann man als Spannelement
auch eine Torsionsfeder oder eine Gasdruckdose verwenden, oder
das Federelement kann ganz entfallen, indem die Wandleranordnung
einfach durch die auf den Hebelarm 30 einwirkende Schwerkraft nach unten gezogen wird.
Die Aufzeichnung der Information auf dem Aufzeichnungsträger
14 erfolgt in konzentrischen Kreisspuren. Soll Information ausgelesen
oder eingeschrieben werden, so stellt der Stellmotor 26 die Wandleranordnung 34 auf die gewünschte Datenspur ein. Sodann
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werden über ein Kabel 3 5 elektrische Signale zur Wandleranordnung
34 geschickt bzw. von dieser gesendet.
In Figur 2, die die Wandleranordnung im einzelnen zeigt, ist ein Signalwandler 40 ungefähr in der Mitte (in Querrichtung) des
Hebelarms 30 angeordnet. Außerdem sind am Hebelarm 30 ein oder mehrere Schwingwandler oder Schwinger 42, von denen zwei gezeigt
sind, angeordnet. Stattdessen kann auch eine einzige runde Schwingeranordnung 42 vorgesehen sein, die den Signalwandler 40
umgibt. Jeder Schwinger 42 kann aus einem piezokeramischen A/2-Wandlerelement
(l/2 Wellenlänge lang) 44 bestehen, auf dessen gegen den Aufzeichnungsträger 14 gewandter Oberfläche eine dünne,
glattflächige Metallmembrane 46 befestigt ist und zwischen dessen
anderer Oberfläche und dem Hebelarm 30 als Trägerelement 48 eine
akustische λ/4-Metallisolation angebracht ist. (Bei den genannten
Wellenlängen handelt es sich jeweils um die der Resonanzfrequenz
f der piezoelektrischen Wandler entsprechenden Wellenlängen.) Das Trägerelement 48 dient als nichtbelastende starre Halterung
für den Wandler, während es gleichzeitig die mechanischen Schwingungen des Wandlers oder Schwingers vom Hebelarm 30 und vom
Signalwandler 40 isoliert.
Figur 3 zeigt eine andere Form der Schifinger anordnung 42. In diesem Fall ist zwischen dem Wand! er element 44 und der Membrane
ein exponentiell verjüngter akustischer Λ/2-Körper, beispielsweise
in Form eines Hornes oder Trichters 49 angeordnet. Bekanntlich funktioniert ein Horn oder Trichter mit einem beliebigen Vielfachen
der Länge A/2 ebenfalls einwandfrei, vorausgesetzt, daß die Seiten
exponentiell zulaufen. Man sieht aus Figur 3, daß bei einer Ausschwingung des piezokeramischen Elementes um ih die Membrane 46
um Xi h ausschwingt, wobei X das Verhältnis der Ouerschnittsflache
des Trichters am Ende des piezoelektrischen Elements zur Ouerschnittsf
lache am Membranenende ist. Der Vorteil dieser zusätzlichen
Ausschwingung wird noch ersichtlich werden.
Am Hebelarm 30 ist ferner ein Abstandmeßelement 50, beispiels
weise ein kapazitiver oder induktiver T arefühler befestigt, um
den Abstand zwischen diesem und der Oberflache des Auf selchnunprr -
2 0 9 8 2 2/0836 ßAD
trägers zu messen. Bei einem kapazitiven System wird die Kapazität
zwischen dem Meßelement 50 und der Oberfläche des Aufzeichnungsträgers
gemessen, wobei diese Kapazität eine Funktion des Abstands zwischen dem Meßelement 50 und der Oberfläche 14 ist. An
der Kapazität zwischen dem Meßelement 50 und dem Aufzeichnungsträger 13 wird eine Spannung erzeugt, die dem Abstand zwischen
und 50 proportional ist.
Der piezoelektrische Wandler 44 wird durch einen geeigneten Leistungsoszillator 56 (Figur 4) mit seiner Grundresonanzfrequenz
(für den gewählten Schwingungstyp) f erregt. Dies erzeugt eine entsprechende periodische Sinusausschwingung der Membrane 46 mit
der Amplitude 4h. Durch die Sinusbewegung der Membrane in Richtung
im wesentlichen senkrecht zum Aufzeichnungsträger 14 wird zwischen
der Schwingeranordnung 42 und dem Aufzeichnungsträger 14 ein
Druckgasfilm erzeugt. Als Gas kann irgendein komprimierbares Gas verwendet werden j in der Regel verwendet man .jedoch Luft. Dieses
in der Fachliteratur als "Ouetschfilm" (squeeze film) bekannte
Phänomen führt dazu, daß ein Gasdruckgleichgewicht zwischen einer konstanten Kraft F, die von der Spannvorrichtung 36 (Figur 1) erzeugt
wird und die Wandleranordnung 34 gegen den Aufzeichnungsträger
drückt, und einer entgegengerichteten Kraft des Gasfilmdruckes erreicht wird. Dadurch wird eine mittlere Gasfilmdicke,
entsprechend der Distanz h (Figur 2), zwischen der Membranoberfläche
(im unausgeschxfungenen Zustand) und der Aufzeichnungsträger^
oberfläche erreicht. Die Größe von h ist typischerweise um 10 bis 25 Γ größer als die Größe von ih.
Die Verschiebung h steht in einer festen Beziehung zu. y,
dem Abstand zwischen dem Signalwandler 40 und dem Aufzeichnungsträger
14. Bei einem magnetischen Aufzeichnungsgerät ist es im allgemeinen erwünscht, daß der Abstand y im Betrieb stets konstant
ist, unabhängig von Störungen wie "Abdrehen" (rotational run-out) der Aufzeichnungsträgerplatte 13, Flachheitsschwankungen der
Oberfläche 14 usw., welche Faktoren kurzzeitige Änderungen oder Schwankungen von y hervorrufen. Aus der Ouetschfilmlagerungstechni'i
ist es be'-rnnt, daß im Gleichgewichtszustand F die das Gaslaser
1;elar:te?-.do Kraft wird und fh/h proportional ist. Wenn daher
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fh sich ändert, ändert sich h entsprechend, so daß der Gleichgewichtszustand
der Lagerbelastung erhalten bleibt. Da jede Änderung von h eine gleiche Änderung von y zur Folge hat, hat eine Änderung
von Sh eine entsprechende Änderung von y zur Folge. Erfahrungen
mit piezokeramischen Wandlern als Preßorganlfür Ouetschfilmlagerungen
haben gezeigt, daß bei Wandlerresonanz die Größe des elektrischen Erregerstroms für den Wandler der Wandlerausschwingamplitude
$h fast direkt proportional ist. Ferner ist die Ausschwingamplitude
der Dicke des dadurch erzeugten Gasfilmes h proportional .
Bei manchen Sj^stemen kann es sein, daß es unmöglich ist, ein
für die Gewinnung des gewünschten h ausreichend großes ih zu erhalten.
In solchen Fällen ist die Anordnung nach Figur 3 besonders nützlich. Dieses Prinzip macht es nämlich möglich, daß mit einer
Regelanordnung (Figur 4) ein konstanter Abstand y zwischen dem Signalwandler 40 und dem Aufzeichnungsträger 14 aufrechterhalten
werden kann.
In Figur 4 überwacht der Lagefühler 50 laufend den Abstand y1
zwischen ihm selbst und dem Aufzeichnungsträger 14 und somit effektiv
den Abstand y zwischen dem Signalwandler 40 und dem Aufzeichnungsträger 14· Das Ausgangssignal des Lagefühlers 50 gelangt zum
einen Eingang eines Differenzverstärkers 52, der als zwaLte Eingangsgröße
V f eine dem gewünschten Abstand zwischen dem Lagefühler
und dem Aufzeichnungsträger entsprechende Spannung empfängt.
V f* in Figur 4 als Batterie dargestellt, kann eine feste oder
einstellbare Gleichspannung sein. Der Ausgang des Verstärkers 52 sowie der Ausgang des Oszillators $6 sind an einen Stromverstärker
54 angeschlossen. Der Oszillator, der ein Quarzoszillator sein kann, steuert den Verstärker mit der Grundresonanzfrequenz f des
piezoelektrischen Wandlers aus. Die Ausgangsspannung des Differenzverstärkers
52, die die Differenz zwischen der Istlage und der Sollage des Signalwandlers wiedergibt, steuert den Verstärkungsgrad
des Verstärkers 54 und folglich die Größe des vom Verstärker
54 den piezoelektrischen Wandlern 44 zugeleiteten Stromes.
Man sieht somit, daß die pieroele.'-rtrische Wandlernnordnu if
und die Steueranordnung (d.h. der Verstärker .C4 mit seinen Ei:-,.rr;v>r
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vom Lagefühler 50) zusammen mit der Wahrnehmanordnung (Lagefühler
50 und Verstärker 52) in einem .Regelkreis liegen, in welchem die
Wahrnehmanarduung ein Fehlersignal erzeugt, dessen Amplitude der
Abweichung des Abstands der Oberfläche 46 des Wandlers 44 von der Oberfläche 14 vom festen mittleren Abstandswert h proportional
ist. Man sieht ferner, daß der Verstärker.54 auf die vom Verstärker
52 und vom Lagefühler 50 gelieferten Fehlersignale in der Weise
anspricht, daß er die Schwingungsamplitude des Wandlers 44 in
einer solchen Richtung verändert, daß die Abstände h und y verändert
werden, wodurch effektiv das Signal vom Verstärker 52 gegen
Null gedrückt wird.
Als Stellelement wird im vorliegenden Fall der Verstärker 54 verwendet, der die Amplitude der dem Wandler 44 zugeleiteten
Spannung im Sinne einer Regelung der Schwingungsamplitude fh, welche die Oberfläche 46 in bezug auf ihre Mittellage durchläuft,
verändert. Stattdessen kann die Regelung der Schwingamplitude des Wandlers 44 auch auf andere Weise erfolgen, beispielsweise durch
regelnde Beeinflussung der Frequenz des dem Wandler 44 zugeleiteten Erregersignals zwischen dessen Resonanzfrequenz f und einem
anderen Wert. Ebenso kann an Stelle des Lagefühlers 50, der bei Änderungen der Kapazität mit Änderungen des Abstands y^ eine entsprechende
Spannung erzeugt, auch irgendeine andere Art von Fühler unter entsprechender Abwandlung der Anordnung nach Figur 4 verwendet
werden, vorausgesetzt, daß irgendein Parameter des vom Fühler erzeugten Signals eine Funktion der Strecke oder Abmessung
Y1 ist und die Regelanordnung im System auf Änderungen des betreffenden Signalparameters in der Weiße anspricht, daß sie die
Schwingamplitude der Wandleranordnung 42 in einem solchen Sinne
verändert, daß h und y. im Sinne einer Herunterdrückung des
Signalparameters des Fühlers gegen Null verändert werden.
Bei den bekannten Plattengeräten, die mit hydrodynamischer
Lagerung arbeiten, um den Signalwandler über die Aufzeichnungsträgerfläche "schweben" zu lassen, ändert sich die Geschwindigkeit
der Oberfläche 14 mit dem Abstand von der Mittelachse der Platte. Da die Höhe, in der der Signalwandler Über der Plattenoberfläche
schwebt, von der Drehgeschwindgkeit der Platte abhängt, ist die
209822/0836 «o orw*l
_ ι η —
Höhe vom Abstand des Wandlers von der Plattenmitte abhängig. Wenn ferner die Drehgeschwindigkeit der Platte sich aus irgendeinem
Grund erheblich verringert, kann es geschehen, daß der gegen die Plattenoberfläche gedrückte Wandler oder Magnetkopf auf die Plattenoberfläche
"aufschlägt", so daß der Wandler und/oder die Aufzeichnungsträgerfläche beschädigt wird. Demgegenüber bleibt bei
der vorliegenden Einrichtung der Signalwandler stets in einer konstanten Höhe y über der Aufzeichnungsträgerfläche, und zwar unabhängig
von der Lage des Wandlers relativ zur Plattenmitte sowie von der Drehgeschwindigkeit der Platte.
Während die Erfindung vorstehend in ihrer Anwendung auf ein Plattenantriebssystem erläutert wurde, können der Signalwandler
und die Aufzeichnungsträgerfläche auch beliebige andere Elemente oder Bauteile sein, die auf einem gegebenen Abstand zueinander
gehalten werden sollen. Ferner kann auch bei einem magnetischen Aufzeichnungsgerät, wenn es nicht nötig ist, einen genauen Abstand
zwischen dem Signalxvandler und der Aufzeichnungsträgerfläche einzuhalten,
die Regelanordnung entfallen, in welchem Fall man den piezoelektrischen Wandler mit einem Signalstrom festen Wertes
speist, so daß innerhalb annehmbarer Toleranzen ein konstanter mittlerer Abstand zwischen Signalwandler und Aufzeichnungsträgerfläche
hergestellt wird.
A Λ A Λ A BAD ORIGINAL
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Claims (6)
- Patentansprüche1J Einrichtung zum Herstellen eines vorbestimmten dichten Abstands zwischen einem Bauteil und einer relativ dazu bewegten Bezugsfläche mit Hilfe eines Gasfilms in Gegenwart einer das Bauteil gegen die Bezugsfläche drückenden Kraft, dadurch gekennzeichnet , daß mit dem Bauteil (.30) ein bei der Bezugsfläche (14) angeordneter Wandler (44) gekoppelt ist, der mechanische Schwingungen in Richtung gegen die Bezugsfläche vollführt, derart, daß zwischen dem Wandler und der Be .r.ugsf lache ein Ouetschgasfilm erzeugt wird, dessen mittlere Dicke eine Funktion der Schwingungsamplitude des Wandlers istj und daß an den Wandler (44) eine Steueranordnung (54) angekoppelt ist, mit deren Hilfe die Schwingungsamplitude des Wandlers so eingestellt werden kann, daß ein gegebener mittlerer Abstand zwischen dem Bauteil und der Bezugsfläche aufrechterhalten wird.
- 2. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch ge !ce nn zeichnet, daß der Wandler (44) mit dem Bauteil (30) über ein ICoppelteil (48) gekoppelt ist, welches das Bauteil schwingungsmäßig vom Wandler isoliert, jedoch den Wandler in einer festen mittleren LagebeZiehung sum Bauteil hält.
- 3 * Einrichtung nach Anspruch 1 oder 2 zum Aufrechterhalten eines feöben mittleren Abstands zwischen dem Wandler und der Bezugs fläche, dadurch gekennzeichnet, daß der Wandler (44) und die Steueranordnung (54) zusammen mit einer Wah£ nehmanordnung (50, 52) in einem Regelkreis liegen, wobei die Wahr nehmanordnung ein Fehlersignal mit einer Kenngröße, die der Abweichung des Abstands zwischen dem Wandler (44) und der Bezugsfläche (14) vom festen mittleren Abstand proportional ist, erzeugt und die Steueranordnung entsprechend diesem Fehlersignal die Schwingungsamplitude des Wandlers im Sinne einer Herabdrückung dor genannten Kenngröße gegen '■ ull verändert.209822/0836
- 4. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der v/an dl er (<v4) ein piezoelektrischer Kristall ist, der durch eine Wechselstromquelle (56) in Schwingungen mit einer der Größe des erre."e"de:i V/echselstroms proportionalen Amplitude versetzbar ist, und daß die Steueranordnung (54) den Wandler mit Wechselstrom bestimmter Amplit-i.de beliefert.
- 5. Einrichtung nach Anspruch /-, dadurch f e kennzeichnet, daß mit dem einen Ende des piezoelektrischen Kristalls ein akustischer 'übertrafer (49) ce koppelt ist, der eine nach unten in Ilichtunfr von Kristall reren die 1^esufTsflache (14) vernün/rt zulaufende Porin hat.
- 6. Einrichtung: nach einem der Ansprüche 1 bis 5j dadurch jr e k e ~> ; -eich- et. dr.u r.m pr.uteil (3 attßerdem ein Sipiiplwandler (40) ™un Abtr.^te^ der durch einen zeichnuü/Tsträrer f-ebildeten "c^ufsflSche ( l/; ) ?.n.rrc->rfn:iet· ist.BAD209822/0836Leerseite
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