DE2130605C3 - Sontrastierungsverfahren für mikroskopisch zu untersuchende Objekte - Google Patents

Sontrastierungsverfahren für mikroskopisch zu untersuchende Objekte

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Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2433690C2 (de) * 1974-07-12 1984-04-26 Kernforschungszentrum Karlsruhe Gmbh, 7500 Karlsruhe Vorrichtung zur Oberflächenbehandlung einer metallographischen Probe
US4307283A (en) * 1979-09-27 1981-12-22 Eaton Corporation Plasma etching apparatus II-conical-shaped projection
US4614639A (en) * 1985-04-26 1986-09-30 Tegal Corporation Compound flow plasma reactor
US4915917A (en) * 1987-02-19 1990-04-10 The Johns Hopkins University Glow discharge unit
US5148714A (en) * 1990-10-24 1992-09-22 Ag Processing Technology, Inc. Rotary/linear actuator for closed chamber, and reaction chamber utilizing same

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2200909A (en) * 1937-11-30 1940-05-14 Berghaus Metallization of metal articles by cathode disintegration
US3308049A (en) * 1963-03-06 1967-03-07 Gen Electric Glow discharge apparatus for treating workpieces
US3418229A (en) * 1965-06-30 1968-12-24 Weston Instruments Inc Method of forming films of compounds having at least two anions by cathode sputtering
US3477936A (en) * 1967-06-29 1969-11-11 Ppg Industries Inc Sputtering of metals in an atmosphere of fluorine and oxygen
US3604970A (en) * 1968-10-14 1971-09-14 Varian Associates Nonelectron emissive electrode structure utilizing ion-plated nonemissive coatings
US3704216A (en) * 1969-09-11 1972-11-28 Texas Instruments Inc Method of depositing a metal oxide film by electron bombardment
US3650930A (en) * 1969-10-27 1972-03-21 Gen Electric Glow discharge masking process

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