DE2127007A1

DE2127007A1 - Apparatur zur Messung von Halbleiterdioden

Info

Publication number: DE2127007A1
Application number: DE19712127007
Authority: DE
Inventors: Robert Georges Wintzenheim Reeb (Frankreich)
Original assignee: Deutsche ITT Industries GmbH
Current assignee: TDK Micronas GmbH
Priority date: 1970-07-09
Filing date: 1971-06-01
Publication date: 1972-01-13
Also published as: FR2101269A5; DE2127007C2

Description

Deutsche ITT Industries GmbH R.G. Reeb - 1

Freiburg,Hans-Bunte-Str.19 28. Mai 1971

Pat.Au/Wi

Fl 675

DEUTSCHE ITT INDUSTRIES GESELLSCHAFT MIT BESCHRÄNKTER HAFTUNG

FREIBURG I.B.

Apparatur zur Messung von Halbleiterdioden

Die Priorität der Anmeldung Nr. 70 25451 vom 9. Juli 1970 in Frankreich wird in Anspruch genommen.

Die Erfindung betrifft eine automatische Apparatur zur Messung der elektrischen Kennwerte von elektronischen Bauelementen, insbesondere betrifft die Erfindung eine Apparatur zum automatischen Messen der Kennwerte von aufgereihten Halbleiterdioden. Eine derartige automatische Meßapparatur macht es möglich, die Durchl.aß- und die Sperrkennwerte von Dioden bei Arbeitsbedingungen Stü.ck für Stück zu prüfen. Derartige Apparaturen enthalten gewöhnlich zwei manuell schaltbare Stromversorgungen. Während die eine Stromversorgung zur Messung der Sperrkennwerte dient, wird die andere zur Messung der Durchlaßkennwerte verwendet. Es ist außerdem möglich, derartige Apparaturen mit einer zusätzlichen Automatik auszurüsten, durch die die Stromversorgung an die vorher ausgerichteten und im Meßposition befindlichen Dioden automatisch angeschalten wird. Als wichtige Nachteile behalten diese Geräte denWch ihre geringe Arbeitsgeschwindigkeit und die Möglichkeit, daß Ausschuß auftritt, wenn die Dioden in falscher Ausrichtung zur Testposition gelangen.

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Der Erfindung liegt also die Aufgabe zugrunde, die Kennwerte von Dioden während der Serienproduktion automatisch ohne die oben angeführten Nachteile messen zu können. Die Erfindung bezieht sich also auf eine FoIgesehrittapparatur zur Messung der elektrischen Kenndaten von Gruppen elektronischer Bauelemente mit wenigstens zwei Anschlüssen wie beispielsweise Dioden.

Erfindungsgemäß wird die Aufgabe gelöst durch eine vielfach umschaltbare Stromversorgung, einen Meßkopf mit Hilfsmitteln zur Anbringung von wenigstens einem einzelnen Kontakt an jedem der Anschlüsse der Bauelemente, die für jeden Meßschritt in einer Mehrzahl vereinigt sind und mit Konzentrierungsmitteln für die Kontakte, durch eine Auswurf einheit, die durch einzelne Auswurfmittel defekte Bauelemente aussortieren kann und die durch den Vergleich eines vorher eingestellten Grenzwertes der Meßdaten mit den vom Meßkopf gelieferten Daten kontrolliert wird, mit Hilfsmitteln zum Zählen und statistischen Auswerten der aussortierten Bauelemente und zum Vergleich der tatsächlichen Ausfallrate mit einer vorher eingestellten Vergleichsrate und mit Signalmitteln, die das überschreiten der vorher eingestellten -Vergleichsrate durch die tatsächliche Ausfallrate anzeigen.

Die Erfindung wird im folgenden anhand der Beschreibung und der Zeichnungen näher erläutert. Es zeigt

Fig. 1 die grundsätzliche elektrische Schaltung der Diodenmeßapparatur nach der Erfindung und

Fig. 2 eine perspektivische Ansicht der Apparatur von vorn.

Aus der Fig. 1 ist ersichtlich, daß jeder der 4 zu messenden und mit 1, 2,-3 und 4 bezeichneten Dioden zwei Kontaktpaare

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zugeordnet sind: ein erstes Paar für die Anodenzuleitung und ein zweites Paar für die Kathodenzuleitung. Jedes Kontaktpaar enthält einen Kontakt, der die Elektrode mit einer ersten Stromversorgung verbindet, während der zweite Kontakt dieselbe Elektrode mit der Meßanordnung verbindet. Bei der Diode 1 beispielsweise verbindet der erste Kontakt des Kontaktpaares die Anode mit der Stromquelle 15 über die beiden Schalteranordnungen 5 und 7, der zweite Kontakt des Anodenkontaktpaares verbindet dieselbe Elektrode mit der Meßanordnung 16 über die Schalter 6.und 8; der erste Kontakt des Kathodenkontaktpaares verbindet die Kathode der Diode 1 mit dem anderen Anschluß der Stromquelle 15 über die Schalter 9 und 11, während der weitere Kathodenkontakt die Kathode mit dem anderen Anschluß der Meßanordnung 16 über die Schalter 10 und 12 verbindet. Die gleichen Arbeitsgänge werden in der Folge für die Dioden" 2, 3 und 4 wiederholt, wobei die individuelle Testzeit ausreichend bemessen ist. In Abhängigkeit vom Schaltweg sind die vier Dioden entweder über die beiden Schalterpaare 5,6 und 7, oder über die beiden Schalterpaare 9, Io und 11, 12 entweder mit der Stromversorgung 15 und der Meßanordnung 16 oder mit der Stromversorgung 13 und der Meßanordnung 14 verbunden. Die Anschlüsse 17 und 18 der Meßanordnungen 14 und 16 sind über die Verbindungen 171 bzw. 181 mit der Schaltung 19 verbunden, die die Meßsignale in kontrollierten Intervallen liefert. Die Stellung der Schalterpaare 5, 6 und 9, 10 ist vom Kontrollgerät 50 abhängig, das über den Anschluß 51 mit der Zeitbasisschaltung 20 verbunden ist. Die Zeitbasisschaltung 20 ist über 201 und 202 mit der Schaltung 19 verbunden. Die Schaltung 20 ist weiterhin mit der Kontrollanordnung 21 verbunden, die ihrerseits mit der Geschwindigkeitskontrolle und mit dem Motor M verbunden ist. Schließlich ist die Zeitbasisschaltung 20 zusätzlich über die Verbindung 203, die bistabile Schaltung B und den Kondensator C mit dem Diodenvorschub verbunden,

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Jedes der bistabilen Hilfselemente 23, 24, 25, 26 entspricht einer der vier Dioden 1, 2, 3, 4 und enthält zwei Eingänge. Der erste Eingang jedes der bistabilen Elemente 23, 24, 25, 26 ist getrennt mit der Schaltung 19 verbunden, während die zweiten Eingänge gemeinsam mit der Zeitbasisschaltung 20 verbunden sind. Die Ausgänge der vier Elemente 23, 24, 25, 26 sind getrennt mit den Eingängen der vier entsprechenden Speicher 33, 34, 35, 36 so verbunden, daß das Element 23 der Diode 1 entspricht und mit dem Element 33 verbunden ist, das derselben Diode entspricht. Die Ausgänge der vier-Speicher 33, 34, 35, 36 sind mit den Ausgängen der bistabilen Ausgabeschaltungen 43, 44, 45,. 46 so verbunden, daß der der Dioden 1 entsprechende Speicher mit der Ausgabeschaltung 43 verbunden ist, die derselben Diode entspricht. Die Speicher und die Ausgabeschaltungen sind zusätzlich gemeinsam mit der Zeitbasisschaltung über 205 verbunden. Der Ausgang jeder der Ausgabeschaltungen 43, 44, 45 oder 46 ist getrennt voneinander mit einer der AND-Gatter 53, 54, 55 oder 56 verbunden, so daß 43 und 53 derselben Diode 1 entsprechen und weiter entsprechend. Die zweiten Eingänge der AND-Gatter 53-56 sind mit der Zeitbasisschaltung 20 über die gemeinsame Verbindung 2O6 angeschlossen. Die Ausgänge von 53-56 sind entsprechend mit den Kontrollschaltungen von vier pneumatischen Auswerfern verbünden, von denen immer einer auf eine der vier Dioden wirkt.

Im folgenden wird die Arbeitsweise der Meßschaltungen beschrieben. Die vier Dioden werden auf der einen Seite durch die Schalter 5-8 und auf der anderen Seite durch die Schalter 9-12, wie dies in Fig. 1 gezeigt ist, mit der jeweiligen Meßschaltung verbunden. Da die Dioden bei der Messung der Durchlauf scharakteristik aufgeheizt werden, wird die Sperrcharakteristik zuerst gemessen. Dementsprechend ist die Quelle für die Sperrspannung 13 mit der Kathode der Diode 1 verbunden

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und die Prüf- und Meßanordnung 14 führt die Messung für den Diodensperrstrom für jeden Wert der aufgebrachten Diodensperrspannung durch. Aus dem gemessenen Stromwert ergibt sich eine Information, die über die Verbindung 17 zum Eingang 171 der Schaltung 19 gelangt. Die Schaltung 19 ist inv Gleichtakt mit der Zeitbasisschaltung 20, die das Signal für den Abschluß der Messung S an die Kontrollanordnung 5o liefert. Diese kontrolliert die Stellung der Schalter 5-12 und schaltet diese so um, daß an der Diode 2 die Messung der Sperrcharakteristik durchgeführt werden kann. Das resultierende Ausgangssignal wandert von 14 zu der Schaltung 19 über die Leitung 171, die Schaltung 19 steht im Gleichtakt mit der das Endsignal S₂ für die Messung liefernde Zeitbasisschaltung 20. Auf das Signal S₂ hin trennt die Kontrollschaltung 50 die Kontakte von der Diode 2 und verbindet die Kontakte mit der Diode 3, an der die gleiche Messung wie an den Dioden 1 und 2 vorgenommen wird. Für die Diode 4 wird derselbe Prozess durchgeführt. Nachdem die die SperrCharakteristiken der vier Dioden 1-4 gemessen worden sind, das ist nach dem Auftreten des Signales S., erscheint der Zeitintervall D. Bei dem Intervall D handelt es sich um eine Totzeit, die in ihrer Länge der Meßzeit für eine Diode entspricht. Nach der Totzeit D sind die Schalter 5-12 in die zum Messen der Durchlaßcharakteristik notwendige Stellung gebracht. Zuerst wird die Diode 1 gemessen. Die Stromquelle 15 _ gibt dazu einen Gleichstrom I ab, dem eine durch die

direkt
Prüfeinheit 16 gemessene Gleichspannung V _. entspricht.

Die von 16 ausgehende Meßinformation wird über den Eingang 181 zur Schaltung 19 geleitet. So wie bei der Sperrspannungsmessung befindet sich die Schaltung 19 im Gleichtakt mit der Zeitbasisschaltung 20, von der ein Meßsignal S₅ zum Kontrollgerät 5O geleitet wird, durch das die Schalter die Kontakte mit der Diode 2 verbinden. Nach dem Test der Diode 2 werden die Dioden 3 und 4 in der Folge getestet. Die Messung der Durchlaßcharakteristik der vierten Diode ist mit dem Auftreten des Signal S_Q beendet. Das Ende des Signal S_ß löst

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ein Verschiebesignal SS aus, das aus der Zeitbasisschaltung stammt und über die Verbindung 205 zu den Speicherelementen 33-36 und zu den bistabilen Schaltungen 43-46 geleitet wird. Das Ende des Signals SS hat vielfache Wirkungen:

a. es -startet der nächste Schritt des Diodenvorschubes: der Diodenträgerstreifen bewegt die vier nächsten Dioden zur Meßposition. Das Schrittsignal stammt aus der Zeitbasisschaltung 20 und wird von deren Ausgang

fe 203 über die monostabile Schaltung B und den Kondensator C zu den an der Führung befindlichen Vorschubmitteln geleitet;

b. es löst die Speicherung der Daten jeder gemessenen Diode aus. Diese Daten sind abgeleitet aus den Informationen, die von den Meßanordnungen 14 und 16 über die Schaltung 19, die logischen Elemente 23-26 gelangt sind und in den Speicherelementen 33-36 gespeichert sind;

c. als ein Folgeergebnis des Verschiebesignals SS startet am Ende der in a. erwähnten Bewegung des Trägerstreifens der Vorgang zum Auswerfen irgendeiner defekten Diode, die sich unter den vier gemessenen Dioden befinden kann;

™ d. als weitere Folge des Verschiebesignals SS am Ende der Bewegung des Trägerstreifens werden die logischen Schaltungen, die in der Reihenfolge 23, 33, 43 oder entsprechen 24, 34, 44 usw. verbunden sind, in ihre Ausgangsstellung zurückgebracht. Das dazu erforderliche Signal entstammt der Zeitbasisschaltung 20 und wird über deren Ausgang 204 zu jeder der logischen Schaltungen über deren gemeinsame Verbindung zu den Eingängen 23-26 geleitet.

Nach der in d. erwähnten Löschoperation wird der in c. erwähnte eigentliche Auswurfmechanismus durchgeführt. Im An-

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Schluß daran wird nach einer vorher festgelegten Totzeit t die erste der nächsten vier Dioden gemessen und der Meßzyklus in der vorher beschriebenen Weise durchgeführt.

In der beschriebenen Darstellung treten die folgenden spezifischen Zeitintervalle auf:

Meßdauer jeder Diode - 15 msec,

Bewegungsdauer jedes Trägerstreifens - 2o msec,

Auswurf fehlerhafter Dioden - 4o msec,

Zeitintervall zwischen zwei aufeinanderfolgenden Löschsignalen - 12o msec,

sofern die Dioden nur einem Test, also entweder der Sperrspannungsmessung oder der Gleichstrommessung unterworfen werden und ein Zeitintervall von 18o msec, wenn sowohl die Sperr- als auch die Durchlaßcharakteristik der Dioden gemessen wird. Das Letztere ist beispielsweise auch aus der Fig. 1 zu erkennen.

In der linken unteren Ecke der Fig. 1 sind die Zeiten für die Hauptsignale und die weiteren Vorgänge graphisch dargestellt. Dazu befindet sich die Zeitachse in der horizontalen, während in der vertikalen Achse folgendes dargestellt wird:

mit S die von der Schaltung 19 ausgehenden Signale, das sind Sl, S2, S3, S4, S5, S6, S7, S8 ..., Sl¹, S2^f, S3¹, S4·, S5'_r S6\ S7' ...

mit SS die durch die Signalverschiebung entstandenen Signale,

mit E die Dauer des AuswurfVorganges,

mit AM die Bewegung des Trägerstreifens und

mit M die Dauer des Meßkontaktes pro Bauelement.

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Wegen der statistischen Daten gestattet die Kontrollapparatur 21 die 4x4 Mehrfachschaltung der gemessenen Diode, wobei die Messungen über den Eingang 212 zur Kontrollapparatur 21 gelangen. Zusätzlich ist die Zählung und Speicherung der Auswurfvorgänge möglich und endlich ein Vergleich 'der tatsächlichen Auswurfsrate mit einer vorher eingegebenen Rate. Sollte die tatsächliche Auswurfrate die vorher eingegebene Grenzrate überschreiten, so stoppt die Kontrollapparatur über den Ausgang 211 den Motor M und damit sämtliche Operationen der Diodenmeßapparatur. Eine der-

^ artige Funktion macht es möglich, die Apparatur mit einer Sicherheitsschaltung auszustatten, so daß die Apparatur nicht konstant beobachtet werden muß, aber dennoch das überschreiten einer vorher eingestellten Ausfallrate bemerkt wird. Es ist damit sichergestellt, daß die Maschine nur solange arbeitet, wie die Ausfallrate unter dem eingestellten Grenzwert liegt. Die Maschine kann dazu mit einem Alarmgerät, beispielsweise einer Glocke oder einem ähnlichen Gerät, das hörbaren oder sichtbaren Alarm gibt, ausgestattet werden, das mit der Apparatur 21 verbunden ist und bei Stoppen der Maschine in Tätigkeit tritt. Das Stoppen der Maschine kann dadurch auch an anderen Orten angezeigt werden. In der in Fig. 2 gezeigten Folgeschrittapparatur wird der Vorschub mittels

ψ eines Zähnrades angetrieben, so daß der Mitnehmer eine konstante Geschwindigkeit von etwa 30 000 Schritten pro Stunde ' erhält.

Die Dioden werden beim Einführen in die Meßapparatur durch einen Streifen getragen. Der Streifen kann beispielsweise aus zwei parallelen klebenden Bändern bestehen. Eines der Bänder trägt in regelmäßigen Abständen die Kathodenanschlüsse der Dioden, während das andere Band an entsprechend festgelegten Punkten die Anodenanschlüsse der Dioden trägt. Der Streifen wird durch die Trägertrommeln Tl, T2, T3, T4 und T5

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angetrieben. Während der Messung der Dioden erfolgt der Antrieb durch die Trommel T3_f an dem Meßkopf befinden sich die Gleitkontakte G; der Auswurf der defekten Dioden wird nach der Messung mittels des "Auswurfkopfes TE und vier einzelner pneumatischer Auswerfer, beispielsweise EP durchgeführt. Die ausgesonderten Dioden fallen in einen Behälter R, der unterhalb der Auswerfer angeordnet ist. Am Ausgang der Maschine befinden sich auf den Trommeln T4 und T5 nur solche Dioden, die die Kenndatenforderungen erfüllen. Der Meßkopf TM ist mit den elektronischen und logischen Teilen der Apparatur verbunden, die sich in der Kontroll- und Registrierapparatur CC befinden. An den Kontakten G des Meßkopfes befinden sich Gleitstückchen aus einer Gold-Platin-Legierung,,die als "gosiplat" bekannt ist. Die Verdrahtung des Kopfes schließt die Verbindungen zu diesen Kontakten ein, wobei diese Verbindungen als eine Kelvin-Strombrückenschaltung angeordnet sind.

Die Vorteile der Vorrichtung liegen infolgenden Punkten:

ein kontinuierlich arbeitender Zahnradantrieb erlaubt einen automatischen Vorschub des Streifens auch dann, wenn eine Diode ausgefallen ist,

hohe Geschwindigkeit, so kann man beispielsweise 80.000 Dioden pro Stunde hinsichtlich ihrer Durchlaß- oder ihrer Sperrcharakteristik untersuchen, oder aber beide Charakteristiken von 60.000 Dioden pro Stunde;

Sicherheit der Meßanordnung, die beispielsweise darin liegt, daß Alarm gegeben oder die Messung gestoppt wird, wenn eine voreingestellte Ausfallrate überschritten wird und

automatischer Auswurf jedes defekten Bauelementes.

Mit einem Ausführungsbeispiel der Apparatur nach der Erfindung sind folgende Genauigkeiten erreicht worden:

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bei Messung der Durchlaßcharakteristik ist die Spannungsmessung im Bereich von O und +2 V auf + 1 mV genau, wobei der Strombereich von 10 ,uA bis 1 A einstellbar ist, der Strom während 15 msec angelegt wurde und das Resultat nach 10 msec vorlag;

bei Messung der Sperrcharakteristik ist der Sperrstrom innerhalb drei Bereiche von 100 nA bis IO ,uA mit einer Genauigkeit von etwa 1 % innerhalb jedes der Bereiche meßbar, wobei die Sperrspannung kontinuierlich von IO V bis 150 V mit einem Fehler von 0,5 % einstellbar war.

Die elektrische Verschaltung der Apparatur ist sowohl im logischen Teil als auch im analogen Teil in vorteilhafter Weise mit integrierten Schaltungen ausführbar.

Die Meßgeschwindigkeit der Anordnung ist entsprechend der Zahl der Tests an der in Fig. 1 gezeigten bistabilen Schaltung B einstellbar, die den Vorschub kontrolliert. Darüberhinaus ist mit der Apparatur auch jede andere Messung an auf Streifen aufgereihten Dioden möglich, wie zum Beispiel Messungen an Widerständen, dynamischen Widerständen, Kapazitäten, Schaltzeiten, des Hochfrequenzverhaltens usw. Eine entsprechende Stromversorgung und Meßschaltung.für jede Messung dieser physikalischen Daten macht es möglich, den mechanischen und logischen Betrieb der Apparatur entsprechend der Erfindung für die Sortierung von Bauelementen mit Hilfe dieser Messungen zu verwenden.

Weiterhin ist es möglich, die Apparatur entsprechend der Erfindung zur Messung an irgendeinem Bauelement mit zwei Elektroden wie beispielsweise Kondensatoren, Widerstände und elektrische Spulen jeder Art zu verwenden, den Anwendungsbereich der Apparatur also auf Messungen an beliebigen

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elektronischen Bauelementen mit zwei Anschlüssen auszudehnen. Es ist weiterhin möglich, auch andere elektrische oder physikalische Messungen mit dem mechanischen und logischen Teil der Apparatur entsprechend der Erfindung in derselben Weise wie hier für Dioden beschrieben durchzuführen. .

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Claims

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. PATENTANSPRÜCHE

Folgeschrittapparatur zur Messung der elektrischen Kenndaten von Gruppen elektronischer Bauelemente mit wenigstens zwei Anschlüssen wie beispielsweise Dioden gekennzeichnet "■·-..

durch eine vielfach umschaltbare Stromversorgung,

einen Meßkopf mit Hilfsmitteln zur Anbringung von wenigstens einem einzelnen Kontakt an jedem der Anschlüsse der Bauelemente, die für jeden Meßschritt in einer Mehrzahl vereinigt sind und mit Konzentrierungsmitteln für die Kontakte,

durch eine Auswurfeinheit, die durch einzelne Auswurfmittel defekte Bauelemente aussortieren kann und die durch den Vergleich eines vorher eingestellten Grenzwertes der Meßdaten mit den vom Meßkopf gelieferten Daten kontrolliert wird,

mit Hilfsmitteln zum Zählen und statistischen Auswerten der aussortierten Bauelemente und zum Vergleich der tätsächlichen Ausfallrate mit einer vorher eingestellten Vergleichsrate und

mit Signalmitteln, die das überschreiten der vorher eingestellten Vergleichsrate durch die tatsächliche Ausfallrate anzeigen.

Folgeschrittapparatur entsprechend Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Durchlauf von einem Schritt zum nächsten von einem mit konstanter Geschwindigkeit angetriebenen Zahnrad bewirkt wird.

Folgeschrittapparatur nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Meßkopf einer Anzahl einzelner Kontakte enthält, die mindestens gleich der Zahl der gleichzeitig gemessenen Bauelemente multipliziert mit der Anzahl ihrer Anschlüsse ist, und daß diese Anschlüsse als Teil einer Kelvin-Brückenschaltung wirken. 109883/1110

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4. Folgeschrittapparatur entsprechend Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Auswurfgerät eine Anzahl einzelner pneumatischer Teile enthält, deren Zahl der Anzahl der gleichzeitig in einem Meßschritt gemessenen Bauelemente entspricht. '

5. Folgeschrittapparatur entsprechend Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß Mittel zur Zählung der defekten Bauelemente und zum Vergleich der Ausfallrate mit einer vorher eingestellten Ausfallrate in Form integrierter
Schaltungen vorhanden sind,

6. Folgeschrittapparatur entsprechend Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß Signalmittel vorgesehen sind, die

in Betrieb gesetzt werden, wenn die Ausfallrate eine vor- - her eingestellte Ausfallrate überschreitet und daß diese Mittel mit anderen in Verbindung stehen, durch die der Motor automatisch gestoppt wird. .

7. Folgeschrittapparatur entsprechend Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die einzelnen Kontakte aus Drähten oder Röhren eines flexiblen und guten elektrischen
Leiters wie beispielsweise einer Gold-Platin-Legierung bestehen.

8. Folgeschrittapparatur entsprechend Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Konzentrierungsmittel in der
elektrischen Schaltung mit den mit den Kontakten verbundenen einzelnen Anschlüssen eine Brücke bilden.

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