DE2126487B2 - Verfahren und vorrichtung zum aufwachsen kristallinen materials aus einer loesung - Google Patents
Verfahren und vorrichtung zum aufwachsen kristallinen materials aus einer loesungInfo
- Publication number
- DE2126487B2 DE2126487B2 DE19712126487 DE2126487A DE2126487B2 DE 2126487 B2 DE2126487 B2 DE 2126487B2 DE 19712126487 DE19712126487 DE 19712126487 DE 2126487 A DE2126487 A DE 2126487A DE 2126487 B2 DE2126487 B2 DE 2126487B2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- solution
- crystalline material
- growing crystalline
- growing
- crystalline
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B19/00—Liquid-phase epitaxial-layer growth
- C30B19/06—Reaction chambers; Boats for supporting the melt; Substrate holders
- C30B19/066—Injection or centrifugal force system
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P95/00—Generic processes or apparatus for manufacture or treatments not covered by the other groups of this subclass
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S148/00—Metal treatment
- Y10S148/006—Apparatus
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S148/00—Metal treatment
- Y10S148/107—Melt
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US4085470A | 1970-05-27 | 1970-05-27 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE2126487A1 DE2126487A1 (de) | 1972-12-07 |
| DE2126487B2 true DE2126487B2 (de) | 1973-06-20 |
| DE2126487C3 DE2126487C3 (de) | 1974-01-24 |
Family
ID=21913338
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE2126487A Expired DE2126487C3 (de) | 1970-05-27 | 1971-05-27 | Verfahren und Vorrichtung zum Aufwachsen kristallinen Materials aus einer Lösung |
Country Status (9)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US3713883A (de) |
| JP (1) | JPS5144497B1 (de) |
| BE (1) | BE767665A (de) |
| CA (1) | CA964968A (de) |
| DE (1) | DE2126487C3 (de) |
| FR (1) | FR2093789A5 (de) |
| GB (1) | GB1348528A (de) |
| NL (1) | NL7107319A (de) |
| SE (1) | SE375460B (de) |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2319481C3 (de) * | 1973-04-17 | 1978-09-07 | Beckman Instruments Gmbh, 8000 Muenchen | Verfahren zum Einbau einer Fremdsubstanz in ein Halbleiter-Grundmaterial, insbesondere zur Dotierung oder Legierung von Halbleiterkörpern und Ultrazentrifuge zur Durchführung des Verfahrens |
| DE2445146C3 (de) * | 1974-09-20 | 1979-03-08 | Max-Planck-Gesellschaft Zur Foerderung Der Wissenschaften E.V., 3400 Goettingen | Verfahren und Vorrichtung zur Ausbildung epitaktischer Schichten |
| US3963536A (en) * | 1974-11-18 | 1976-06-15 | Rca Corporation | Method of making electroluminescent semiconductor devices |
| US4561486A (en) * | 1981-04-30 | 1985-12-31 | Hoxan Corporation | Method for fabricating polycrystalline silicon wafer |
| EP0470130A4 (en) * | 1989-04-26 | 1992-07-01 | Australian Nuclear Science And Technology Organisation | Liquid phase epitaxy |
| DE4401626A1 (de) * | 1994-01-20 | 1995-07-27 | Max Planck Gesellschaft | Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung kristalliner Schichten |
| CN116219530B (zh) * | 2023-02-03 | 2025-01-10 | 中国科学院福建物质结构研究所 | 一种载晶架及甲胺溴铅钙钛矿单晶生长方法 |
| DE102024126609A1 (de) * | 2024-09-16 | 2026-03-19 | Ams-Osram International Gmbh | Verfahren zur herstellung eines saphirwafers, verfahren zur herstellung von halbleiterbauelementen, saphirwafer und halbleiterbauelement |
| CN119345734B (zh) * | 2024-12-04 | 2025-05-02 | 国药集团威奇达药业有限公司 | 一种实验室结晶装置 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3097112A (en) * | 1960-01-12 | 1963-07-09 | Gen Electric | Method and apparatus for making cathodes |
| US3033159A (en) * | 1960-10-27 | 1962-05-08 | Edward D O'brien | Centrifugal coating apparatus |
| US3212929A (en) * | 1962-03-22 | 1965-10-19 | Ibm | Method of forming a glass film on an object |
| DE1251441B (de) * | 1962-06-20 | |||
| US3429295A (en) * | 1963-09-17 | 1969-02-25 | Nuclear Materials & Equipment | Apparatus for producing vapor coated particles |
-
1970
- 1970-05-27 US US00040854A patent/US3713883A/en not_active Expired - Lifetime
-
1971
- 1971-01-14 CA CA102,767A patent/CA964968A/en not_active Expired
- 1971-05-19 SE SE7106532A patent/SE375460B/xx unknown
- 1971-05-25 GB GB1698971A patent/GB1348528A/en not_active Expired
- 1971-05-26 BE BE767665A patent/BE767665A/xx unknown
- 1971-05-26 FR FR7119155A patent/FR2093789A5/fr not_active Expired
- 1971-05-27 JP JP46035956A patent/JPS5144497B1/ja active Pending
- 1971-05-27 NL NL7107319A patent/NL7107319A/xx unknown
- 1971-05-27 DE DE2126487A patent/DE2126487C3/de not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| NL7107319A (de) | 1971-11-30 |
| FR2093789A5 (de) | 1972-01-28 |
| US3713883A (en) | 1973-01-30 |
| JPS5144497B1 (de) | 1976-11-29 |
| BE767665A (fr) | 1971-10-18 |
| DE2126487C3 (de) | 1974-01-24 |
| CA964968A (en) | 1975-03-25 |
| SE375460B (de) | 1975-04-21 |
| GB1348528A (en) | 1974-03-20 |
| DE2126487A1 (de) | 1972-12-07 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CH531365A (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Züchten eines kristallinen Materials in Form eines langgestreckten Körpers von beliebig vorbestimmter Querschnittsform | |
| CH534015A (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Beschichten einer Materialbahn | |
| AT328371B (de) | Verfahren zum einhullen von gleichen gruppen von gegenstanden in einen abschnitt einer flexiblen folienbahn und vorrichtung zur durchfuhrung des verfahrens | |
| AT320162B (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Sterilisieren einer Bahn aus Verpackungsmaterial | |
| CH541989A (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen von Einkristallstäben aus halbleitenden Verbindungen | |
| CH527632A (de) | Verfahren zum Filtrieren einer Flüssigkeit und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens | |
| CH491659A (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Kristallziehen aus einer Schmelze | |
| AT316584B (de) | Verfahren und Vorrichtung zum kontinuierlichen Konzentrieren einer aus angeschlämmtem Feststoff bestehenden Dispersion | |
| AT332793B (de) | Verfahren und vorrichtung zum fordern von schuttfahigem material | |
| DE2126487B2 (de) | Verfahren und vorrichtung zum aufwachsen kristallinen materials aus einer loesung | |
| AT336937B (de) | Verfahren und vorrichtung zum beluften einer flussigkeit | |
| CH449236A (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen von Hohlkörpern aus thermoplastischem Material | |
| CH535627A (de) | Verfahren und Vorrichtung zum gleichmässigen Verteilen von warmfliessfähigen Materialschichten | |
| AT311787B (de) | Vorrichtung zum Schneiden einer Materialbahn | |
| AT314126B (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen von Hohlkörpern aus thermoplastischem Material | |
| CH428677A (de) | Verfahren zum epitaktischen Abscheiden von Halbleitermaterial und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens | |
| CH539584A (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Belüften einer Flüssigkeit | |
| AT346264B (de) | Verfahren und vorrichtung zum gewinnen von zuckerkristallen aus einer zuckerloesung | |
| AT314966B (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Aufwickeln von bahnförmigem Material | |
| ATA306873A (de) | Verfahren und vorrichtung zum krauseln von faden und garnen | |
| CH489615A (de) | Verfahren und Vorrichtung zum elektrophoretischen Abscheiden eines Materials | |
| AT331111B (de) | Verfahren und vorrichtung zum kerben einer bewegten bahn aus einem fur wegwerfwindel geeigneten material | |
| AT284052B (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Bedrucken einer bewegten Materialbahn | |
| CH424731A (de) | Verfahren zum epitaktischen Abscheiden von Halbleitermaterial und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens | |
| AT338097B (de) | Verfahren zum herstellen von aufnahmen einer szene auf einem fotoelektrischen aufnahmematerial und vorrichtung zur durchfuhrung dieses verfahrens |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C3 | Grant after two publication steps (3rd publication) | ||
| E77 | Valid patent as to the heymanns-index 1977 | ||
| EHJ | Ceased/non-payment of the annual fee |