CH424731A - Verfahren zum epitaktischen Abscheiden von Halbleitermaterial und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens - Google Patents
Verfahren zum epitaktischen Abscheiden von Halbleitermaterial und Vorrichtung zur Durchführung des VerfahrensInfo
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Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DES0093142 | 1964-09-14 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CH424731A true CH424731A (de) | 1966-11-30 |
Family
ID=7517758
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CH1267565A CH424731A (de) | 1964-09-14 | 1965-09-13 | Verfahren zum epitaktischen Abscheiden von Halbleitermaterial und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US3365336A (de) |
| CH (1) | CH424731A (de) |
| DE (1) | DE1544253C3 (de) |
| GB (1) | GB1115508A (de) |
| NL (1) | NL6509273A (de) |
| SE (1) | SE314966B (de) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| NL6700080A (de) * | 1966-01-03 | 1967-07-04 | ||
| US3717439A (en) * | 1970-11-18 | 1973-02-20 | Tokyo Shibaura Electric Co | Vapour phase reaction apparatus |
| US3710757A (en) * | 1970-12-09 | 1973-01-16 | Texas Instruments Inc | Continuous deposition system |
| US4522149A (en) * | 1983-11-21 | 1985-06-11 | General Instrument Corp. | Reactor and susceptor for chemical vapor deposition process |
| US4694779A (en) * | 1984-10-19 | 1987-09-22 | Tetron, Inc. | Reactor apparatus for semiconductor wafer processing |
| US4596208A (en) * | 1984-11-05 | 1986-06-24 | Spire Corporation | CVD reaction chamber |
| GB2169003B (en) * | 1984-11-16 | 1987-12-31 | Sony Corp | Chemical vapour deposition |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| NL273009A (de) * | 1960-12-29 | |||
| DE1137807B (de) * | 1961-06-09 | 1962-10-11 | Siemens Ag | Verfahren zur Herstellung von Halbleiteranordnungen durch einkristalline Abscheidung von Halbleitermaterial aus der Gasphase |
| NL281754A (de) * | 1961-08-04 | |||
| US3296040A (en) * | 1962-08-17 | 1967-01-03 | Fairchild Camera Instr Co | Epitaxially growing layers of semiconductor through openings in oxide mask |
-
1964
- 1964-09-14 DE DE1544253A patent/DE1544253C3/de not_active Expired
-
1965
- 1965-07-16 NL NL6509273A patent/NL6509273A/xx unknown
- 1965-09-08 GB GB38286/65A patent/GB1115508A/en not_active Expired
- 1965-09-13 CH CH1267565A patent/CH424731A/de unknown
- 1965-09-13 US US486742A patent/US3365336A/en not_active Expired - Lifetime
- 1965-09-14 SE SE11981/65A patent/SE314966B/xx unknown
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| SE314966B (de) | 1969-09-22 |
| GB1115508A (en) | 1968-05-29 |
| DE1544253C3 (de) | 1974-08-15 |
| US3365336A (en) | 1968-01-23 |
| DE1544253B2 (de) | 1974-01-17 |
| NL6509273A (de) | 1966-03-15 |
| DE1544253A1 (de) | 1970-03-26 |
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