DE2121979A1 - Aufnahmekopf für einen optischen Korrelations-Geschwindigkeitsmesser - Google Patents
Aufnahmekopf für einen optischen Korrelations-GeschwindigkeitsmesserInfo
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Description
P A T E N Γ A N W Ä L Γ E . .. „' 1(V7.
r> λ , . , . Essen, den J. Mai 1971
Dr. Andrejewski .^6 727/Wa)
Dr.-Ing. .Honke 7 191Q7Q
lpl.-lng. Gesthuysen .
Essen, Theaterplatz 3
Telefon 223994
Telefon 223994
Hasler AG. Bern
Aufnahmekopf für einen optischen Korrelations-Geschwindigkeitsmesser
Aufnahmekopf für einen optischen Korrelations-Geschwindigkeitsmesser
Die Erfindung betrifft einen Aufnahmekopf für einen optischen Korrelations-Geschwindigkeitsmesser
zur Messung der Relativgeschwindigkeit zwischen dem Aufnahmekopf und einer ihm gegenüberstehenden Fläche mittels Vergleich
des von zwei beleuchteten Flächenelementen reflektierten Lichtes, welche ortsfest im Vergleich zum Aufnahmekopf sich auf einer Bahn auf
der genannten Fläche hintereinander bewegen. ·
Derartige Korrelations-Geschwindigkeitsmesser sind bekannt. Das von
den Flächenelementen reflektierte Licht wird von zwei photoelektrischen
Wandlern aufgenommen und erzeugt zwei elektrische Spannungssignale, die
miteinander korreliert werden, wodurch eine Information über die Relativgeschwindigkeit
zwischen dem Geschwindigkeitsmesser und der bewegten Fläche gewonnen werden kann.
Die Erfindung gibt einen Aufnahmekopf an, der leicht einzubauen und unempfindlich
im Betrieb ist und besonders kontrastreiche Signale liefert. Er ist gekennzeichnet durch mindestens eine Lichtquelle zur Aussendung
von intensiven Lichtstrahlen, ein Linsensystem mit einem einzigen Objektiv,
welches die Lichtstrahlen auf die zwei genannten Flächenelemente führt und
mit dessen Hilfe ein Teil des von jedem der beiden Flächenelemente reflektierten
Lichtes auf je einen photoelektrischen Wandler geleitet wird, und einen
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Strahlteiler zur Trennung der beleuchtenden und der reflektierten Strahlen.
Die Zusammenfassung der beleuchtenden und der reflektierten Strahlen für beide Flächenelemente ergibt einen Ablesekopf, der kleiner ist, weniger
Material enthält und der leichter einzubauen und zu warten ist als ein Ablesekopf
paar mit zwei Lichtquellen und zwei Objektiven. Ausserdem kann sich
der Abstand der beiden Flächenelemente nicht verändern.
Im folgenden werden anhand der Zeichnungen drei Ausführungsbeispiele
für den erfindungsgemässen Aufnahmekopf beschrieben.
Fig. 1 zeigt einen solchen mit zwei Lichtquellen,
Fig. 2 mit einer Lichtquelle und einem Doppelprisma im Beleuchtungsstrahlengang,
Fig. 3 zeigt eine Anordnung mit einer Lichtquelle und zwei Polarisationsprismen.
Fig. 1 zeigt den optischen Strahlengang in einem Aufnahmekopf mit zwei
Lichtquellen. 1 ist eine Fläche,-beispielsweise die Oberfläche einer Eisenbahnschiene,
gegenüber welcher der Beleuchtungs- und Aufnahmekopf horizon- ^ tal von links nach rechts oder von rechts nach links bewegt wird. Er enthält
zwei Lichtquellen 2 und 3, welche durch Halbleiterlaser gebildet werden
können, die eine sehr kleine strahlende Oberfläche haben. Die beiden Lichtquellen
werdendurch das Objektiv 5 auf die beiden Flächenelemente 6 bzw. abgebildet, welche in der genannten Fläche auf einer Bahn in Bewegungsrichtung
liegen. Diese Flächenelemente sind somit ortsfest im Vergleich zum Aufnahmekopf und bewegen sich entlang der Oberfläche der Schiene.
Bewegt sich beispielsweise der Aufnahmekopf von links nach rechts, was durch einen Pfeil angedeutet ist, so werden die Flächenelemente 6 und 7
nacheinander mit einem zeitlichen Abstand, der von ihrem örtlichen Abstand
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und von der Relativgeschwindigkeit des Aufnahmekopfes gegen die Oberfläche
abhängt, auf denselben Punkt dieser Fläche zu liegen kommen. Das Flächenelement 6 wird über das Objektiv 5 und den Strahlteiler 4 .
auf den photoelektrischen Wandler 8 abgebildet, desgleichen wird das Flächenelement 7 auf den photoelektrischen Wandler 9 abgebildet. In
diesen entstehen elektrische Signälspannungen, welche durch die Drähte
10 bzw. 11 zu einer nicht gezeichneten elektronischen Messschaltung
weitergeleitet werden. Der Strahlteiler kann aus einem halbdurchlässigen Spiegel bestehen oder aus gegeneinander verschobenen Spiegelleisten
(Sparren) oder aus einer anderen bekannten Vorrichtung.
Fig. 2 zeigt den Strahlengang in einem Aufnahmekopf mit einer einzigen
Lichtquelle 12. Diese wird durch den Strahlteiler 24 und das Objektiv 25
auf die Ebene 21 abgebildet. Durch das doppelkeilförmige Prisma 23 wird
der von der Lichtquelle 22 kommende Lichtstrahl aufgespalten, so dass auf der Ebene 21 zwei Bilder 26 und 27 der Lichtquelle entstehen. Diese werden
über die Linse 25 und. den halbdurchlässigen Spiegel 24 auf die beiden photoelektrische
Wandler 28 und 29 abgebildet, die mit den Leitungen 30 und an die elektronische Auswerteschaltung angeschlossen sind. Die Wirkungsweise
ist die gleiche wie bei Fig. 1 .
Fig. 3 zeigt eine weitere Anordnung, welche mit einer Lichtquelle 42 arbeitet.
Diese Lichtquelle wird durch einen Laser gebildet. Der von dieser ausgehende
Lichtstrahl geht durch ein Polarisationsprisma 43, welches eine Strahlaufspaltung
in die beiden Strahlen 54 und 55 bewirkt. Ein derartiges Prisma wird auch als Wollaston- oder Rochon-Prisma bezeichnet. Die beiden Strahlen
sind in zwei aufeinander senkrecht stehenden Ebenen polarisiert. Die Strahlen gehen durch den Strahlteiler 44 und werden durch das Objektiv 45 auf die
beiden Flächenelemente 46 und 47, die in der Fläche 41 liegen, geführt.
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Das. Licht wird zum Teil reflektiert, wobei an der Polarisationsebene des
Lichtes nichts geändert wird. Die reflektierten Lichtstrahlen gehen nach
Reflektion am Strahlteiler 44 durch ein zweites Polarisationsprisma 53. Dieses spaltet die Strahlen wieder in zwei Teile auf, von denen der eine_._.
auf den photoelektrischen Wandler 48, der andere auf den photoelektrischen
Wandler 49 fällt. Die Orientierung dieses Polarisationsprismas ist-derart
gewählt, dass nur Strahlanteile, die die gleiche Polarisationsrichtung wie
der Strahl 54 haben, auf den photoelektrischen Wandler 48 kommen und nur Strahlanteile die die Polarisationsrichtung wie der Strahl 55 haben,
auf den photoelektrischen Wandler 49 gelangen. Die Wandler sind durch die Drähte 50 und 51 mit der nicht gezeichneten elektronischen Auswertevorrichtung
verbunden.
Bei dem in Fig. 3 gezeichneten Strahlengang hat der Strahl am Eingang des
ersten Polarisationsprismas einen sehr kleinen Durchmesser. Dies kann durch eine Blende 46 oder durch eine Optik erreicht werden. Der Strahlteiler
44 kann in diesem Falle aus einem Spiegel mit zwei'feinen Löchern 56, 57 bestehen. Durch das Objektiv 45 werden diese beiden Strahlen parallel
gerichtet und fallen auf die Flächenelemente 46 und 47 der Fläche 41 .
Da die Strahlen parallel sind, ist der Abstand 1 der beiden Flächenelemente nicht vom Abstand der Fläche 41 vom Objektiv 45 abhängig.
Infolge der genannten Orientierung des zweiten Polarisationsprismas 53
gelangt auf den photoelektrischen Wandler 48 nur Lichtenergie vom Flächenelement
46 und auf den photoelektrischen Wandler 49 nur Lichtenergie vom Flächenelement 47. (Abgesehen von etwaiger Beleuchtung der Flächenelemente
durch Fremdlicht, die aber gering ist" gegenüber der Beleuchtung durch
den Aufnahmekopf und die durch die Polarisation im zweiten Polarisationsprisma
weiter geschwächt wird).
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_ 5 —
Deswegen ist es auch nicht schädlich, wenn durch eine unscharfe optische
Abbildung Licht beispielsweise vom Flächenelement 46 auf den photoelektrischen Wandler 49 gelangen würde. Dieses Licht wird durch das zweite
Polarisationsprisma 53 unterdrückt. Auch aus diesem Grunde wird die Anordnung unempfindlich gegen Aeaderungen des Abstandes der Fläche 41,
zum Objektiv 45.
Bei der in Fig. 3 gezeichneten optischen Anordnung kann auch ein anderer
Strahlengang verwendet werden (nicht gezeichnet), derart, dass man einen
breiteren Strahl am Eingang des ersten Polarisationsprismas 43 hat und.die '
aus dem Prisma austretenden Strahlen durch das Objektiv 45 auf zwei Punkte
der Fläche 41 fokussiert werden. '
Es ist bekannt, dass Laserstrahlen ausserordentlich fein fokussiert werden
können, so dass beispielsweise die beleuchteten Flächenelemente 46 und 47 Durchmesser von kleiner als 100um haben. Deswegen kann.auch der Abstand
der beiden Flächenelemente sehr stark reduziert werden, beispielsweise auf 1 mm und darunter. Damit ist die Laufzeit zwischen diesen beiden
Punkten so klein, dass Bewegungskomponenten des Aufnahmegerätes, die ^
nicht mit der Richtung des mittleren Fortschritts übereinstimmen, keine
Bedeutung mehr haben. Ausserdem wird durch die Verwendung von Laserstrahlen
wegen der Kohärenz dieser Strahlen und wegen der Kleinheit der Lichtpunkte der Kontrast des reflektierten Lichtes gegenüber grossflächigerer
Abtastung wesentlich erhöht, so dass die Auswertung erleichtert wird. Wegen
der Kleinheit des Abstandes 1 ist es schwierig, die von den beiden Flächenelementen
46 und 47 ausgehenden Strahlen durch eine Abbildungsoptik zu trennen, während eine Unterscheidung auf Grund der verschiedenen Polarisation
der beiden Strahlen sogar bis zu Abständen von der Grosse des Durchmessers der Flächenelemente ohne schwierige Justierung möglich ist.
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Es ist selbstverständlich bei allen beschriebenen Anordnungen möglich,
die Lage der Lichtquelle und der photoelektrischen Wandler zu vertauschen, so dass die photoelektrischen Wandler in der Nähe der Objektivachse zu
liegen kommen und die Lichtquelle auf einer Achse senkrecht zu dieser.
In Fig. 3 wäre dann an Stelle des Spiegels mit kleinen Löchern, zwei sehr kleine Spiegel zu verwenden, die etwas grosser als der Strahldurchmesser
sein müssten.
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Claims (10)
- Patentansprüchel.J Aufnahmekopf für einen optischen Korrelationsgeschwind igke it sme as er zur Messung der Relativgeschwindigkeit zwischen dem Aufnahmekopf und einer ihm gegenüberstehenden Fläche mittels Vergleich des von zwei beleuchteten Flächenelementen reflektierten Lichtes, welche ortsfest im Vergleich zum Aufnahmekopf sich auf einer Bahn auf der genannten Fläche hintereinander bewegen, gekennzeichnet durch mindestens eine Lichtquelle zur Aussendung von intensiven Lichtstrahlen, ein einziges Objsktiv, welches die Lichtstrahlen auf die zwei genannten Flächenelemente führt und mit dessen Hilfe ein Teil des von jedem der beiden Punkte reflektierten Lichtes auf je einen photoelektrischen Wandler geleitet wird und durch einen Strahlteiler zur Trennung der beleuchtenden und der reflektierten Strahlen.
- 2. Aufnahmekopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Objektiv zwei Lichtquellen auf die genannten zwei Punkte und diese auf zwei photoelektrische Wandler abbildet.
- 3. Aufnahmekopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Objektiv eine Lichtquelle auf die209836/0618beiden' Punkte und diese auf zwei photoelektrische
Wandler abbildet. - 4. Aufnahmekopf nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass im Strahlengang zwischen Lichtquelle
und Strahlteiler ein doppelkeilförmiges Prisma liegt. - 5. Aufnahmekopf nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass-zwischen Lichtquelle und Objektiv ein
Polarisationsprisria liegt, welches das von der Lichtquelle kommende Licht in zwei Strahlen mit zueinander senkrechten Polarisationsebenen aufteilt, welche
Strahlen durch das Objektiv auf je einen der beiden
Punkte fokussiert werden. - 6. Aufnahmekopf nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass sichzwischen dem Strahlteiler und den^ Photozellen ein zweites Polarisationsprisma befindet, W . ■ .welches die beiden Strahlen, die von je einem der beiden Flächenelemente herrühren, und in zueinander senkrechten Ebenen polarisiert sind., auf je einen photoelektrischen Wandler leitet.
- 7. - Aufnahmekopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Erzeugung der Strahlen durch
stimulierte Emission erfolgt.209836/0616 - 8. Aufnahmekopf nach den Ansprüchen 5., 6 und' 7, dadurch gekennzeichnet, dass die am Ausgange des-ersten Polarisationsprismas divergierenden Strahlen durch das Objektiv in zwei parallele Strahlen gerichtet werden.
- 9. Aufnahmekopf nach den Ansprüchen 6 und 7, dadurch gekennzeichnet, dass die beiden beleuchtenden Strahlen in der Fläche fokussiert sind und dass ,jede der dadurch entstehenden Lichtflächen über das'Objäctiv auf eine der beiden photoelektrischen Wandler abgebildet wird.
- 10. Aufnahmekopf nach den Ansprüchen 6 und 7, dadurchgekennzeichnet, dass die von dem Objektiv fokussierten Lichtpunkte einen Durchmesser von -^ 100 um und einen gegenseitigen Abstand von -< 1 mm haben.X/jk - 4402
14.4.1971209836/06 16Leerseite
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US3888589A (en) * | 1974-02-11 | 1975-06-10 | Pilkington Perkin Elmer Ltd | Reflection grating optical odometer |
US3878375A (en) * | 1974-05-10 | 1975-04-15 | John Mickowski | Ram velocity measuring apparatus |
US3941477A (en) * | 1974-10-17 | 1976-03-02 | Deutsche Forschungs-Und Versuchsanstalt Fur Luft-Und Raumfahrt E.V. | Measuring device for the measurement of fluid flow rates |
DE2636769B1 (de) * | 1976-08-14 | 1977-11-10 | Zeiss Carl Fa | Vorrichtung zur messung der geschwindigkeit und/oder der bewegungsrichtung einer bildstruktur |
GB1542420A (en) * | 1976-09-04 | 1979-03-21 | Rolls Royce | Apparatus for laser anemometry |
DE2643616C3 (de) * | 1976-09-28 | 1979-05-31 | Erwin Sick Gmbh Optik-Elektronik, 7808 Waldkirch | Strömungsgeschwindigkeitsmeßgerät |
JPS55106361A (en) * | 1979-02-08 | 1980-08-15 | Nippon Soken Inc | Optical contactless-type speed measuring device |
FR2450455A1 (fr) * | 1979-02-28 | 1980-09-26 | Anvar | Procede et dispositif pour la mesure des vitesses lineaires sans contact et sans marquage |
SE440150B (sv) * | 1984-05-08 | 1985-07-15 | Stiftelsen Inst Mikrovags | Anordning for optisk metning av ett foremals rorelse |
ATE40969T1 (de) * | 1985-05-16 | 1989-03-15 | Stewart Hughes Ltd | System zum erfassen einer bewegung. |
US4818101A (en) * | 1986-12-02 | 1989-04-04 | The Boeing Company | Laser-doppler velocimetry |
US5841050A (en) * | 1995-02-27 | 1998-11-24 | Burgett, Inc. | Method and apparatus for optically determining note characteristics from key motion in a keyboard operated musical instrument |
US5524521A (en) * | 1995-02-27 | 1996-06-11 | Burgett, Inc. | Method and apparatus for optically determining note characteristics in a keyboard operated musical instrument |
US5834669A (en) * | 1995-02-27 | 1998-11-10 | Burgett, Inc. | Method and apparatus for optically determining note characteristics from hammer catchers in a keyboard operated musical instrument |
GB9911161D0 (en) * | 1999-05-14 | 1999-07-14 | Hyde John | Measuring the flow of particles in a fluid |
JP2003215149A (ja) * | 2002-01-17 | 2003-07-30 | Sharp Corp | 光学式移動検出装置および搬送システム |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB950652A (en) * | 1961-03-29 | 1964-02-26 | Ferranti Ltd | Improvements relating to measuring apparatus |
DE1281158B (de) * | 1965-04-24 | 1968-10-24 | Leitz Ernst Gmbh | Optisches Mehrzweck-Messgeraet |
US3508066A (en) * | 1966-06-16 | 1970-04-21 | Marconi Co Ltd | Apparatus comprising light-electric translating device for measuring speed of moving member having an ordinary surface |
GB1187030A (en) * | 1966-11-30 | 1970-04-08 | Shell Int Research | An Improved Method and Apparatus for the Measurement of Speed. |
US3410624A (en) * | 1967-09-22 | 1968-11-12 | Bunker Ramo | Three dimensional light beam scanner |
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1971
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