DE2118738C3 - Molekularpumpe, bestehend aus einem mit Innengewinde versehenen zylindrischen Stator - Google Patents

Molekularpumpe, bestehend aus einem mit Innengewinde versehenen zylindrischen Stator

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DE2118738C3 DE2118738A DE2118738A DE2118738C3 DE 2118738 C3 DE2118738 C3 DE 2118738C3 DE 2118738 A DE2118738 A DE 2118738A DE 2118738 A DE2118738 A DE 2118738A DE 2118738 C3 DE2118738 C3 DE 2118738C3
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    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
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