DE2118738C3 - Molecular pump, consisting of a cylindrical stator provided with an internal thread - Google Patents

Molecular pump, consisting of a cylindrical stator provided with an internal thread

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    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F04D19/044—Holweck-type pumps

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Description

Durchmesser-Nullmaß des Rezipienten bzw. Molekularpumpen-Zylinders versehene FertigungshülseZero diameter dimension of the recipient or molecular pump cylinder provided manufacturing sleeve

Die Erfindung befaßt sich mit einer Molekular- geschoben und entspannt. Nach Entnahme der Vorpumpe, bestehend aus einem mit Innengewinde ver- richtung wird ·*<?γ Innendurchmesser der Schraubensehenen zylindrischen Stator und einem darin rotie- 45 federn auf dr- .!forderliche Maß gebracht. Mit Hilfe renden Läufer. Derartige Pumpen werden zum For- derselben v-rncWang werden die Schraubenfedern dem von Gasen, z. B. in Gas-Ultrazentrifugen, ver- wieder aus d» · i ertigungshülse ausgebaut und in den wendet. Molekulaipuruwij-Zylinder oder in den RezipientenThe invention is concerned with a molecular pushed and relaxed. After removal of the backing pump, consisting of a comparable with internal thread direction · * <? Γ inside diameter of the screw Scheduled cylindrical stator and a fact rotie- 45 feathers on dr-.! Ford variable measure is brought. With the help of runners. Such pumps are used for the same v-rncWang, the coil springs are used by gases, e.g. As in gas Ultra centrifuges, comparable again d »* i ertigungshülse expanded and turned into the. Moleculaipuruwij cylinder or in the recipient

Bekannte Ausführungsformen von Molekularpum- direkt eingeseift. Bei Verwendung eines Molikularpen sind als gesonderte Gewindebuchsen hergestellt 50 pumpen-Zylinders kann dieser mit der Fertigungsund in den Rezipienten von Gas-Ultrazentrifugen hülse identisch sein.Known embodiments of molecular pumps soaped directly. When using a molecular pen are manufactured as separate threaded bushings 50 pump cylinder can be used with the production and be identical in the recipient of the gas ultracentrifuge sleeve.

eingesetzt, oder das Molekularpumpen-Gewinde ist Außerdem kann auf eine Bearbeitung des Innendirekt mit dem Rezipienten integriert. Die Ausfüh- durchmessers der Schraubenfedern verzichtet werrung solcher Molekularpumpen richtet sich dabei den, wenn die geforderten Toleranzen relativ groß nach den geforderten Druckverhältnissen in der Zen- 55 sind, oder wenn von der Herstellung des Profilwerktrifuge und ist abhängig von den zu fördernden Ga- stoffes über das Wickeln der Federn bis zur Vorrichsen. Demzufolge werden sie als ein- und mehrgängige tung engste Toleranzen eingehalten werden. Dabei Innengewindebuchsen mit mehr oder weniger großer wird der wählbare Profilquerschnitt der eingesetzten Steigung und Gewindehöhe, sowie meist mit Vier- Schraubenfedern vorzugsweise vierkant, trapezförkant-Gewindeprofil ausgeführt. Zur Herstellung von 60 mig, dreikant oder kreisförmig ausgeführt. Durch die Molekularpumpen werden die Verfahren der spanab- Bearbeitung des Außendurchmessers der Schraubenhebenden und spanlosen Verformung sowie Gießen federn bei richtiger Steigung liegen die Federn an der und Spritzen verwendet. Wand des Molekularpumpen-Zylinders satt an. Dieused, or the molecular pump thread can also be machined directly on the inside integrated with the recipient. The design diameter of the coil springs is omitted Such molecular pumps are aimed at when the required tolerances are relatively large according to the required pressure conditions in the zen-55, or if from the manufacture of the profiled trifuge and is dependent on the gas to be conveyed via the winding of the springs to the Vorrichsen. As a result, the tightest tolerances are adhered to as a single and multi-thread device. Included Internally threaded sockets with a more or less large one is the selectable profile cross-section of the one used Pitch and thread height, as well as mostly with four-sided coil springs, preferably square, trapezoidal thread profile executed. For the production of 60 mig, triangular or circular designs. Through the Molecular pumps are the process of machining the outside diameter of the screw jack ends and non-cutting deformation as well as casting springs with the correct slope, the springs are on the and syringes used. Tired of the wall of the molecular pump cylinder. the

Der Nachteil dieser herkömmlichen Ausführungs- dazwischenliegende Trennfuge ist dabei als dicht anform besteht darin, daß die dazu verwendeten Her- 65 zusehen, weil die freie Weglänge der Gasmoleküle im Stellungsarten relativ aufwendig und kostspielig sind Vakuum sehr groß ist und diese somit nicht entlang und ein Austausch von Molekularpumpen mit ver- der Anlageflächen von einem Gewindegang in den schiedener Gangzahl und Länge ohne Erneuerung anderen gelangen können.The disadvantage of this conventional design - the intermediate parting line - is that it is tightly molded consists in the fact that the people used for this watch because the free path of the gas molecules in the Types of positions are relatively complex and expensive, the vacuum is very large and therefore not along and an exchange of molecular pumps with different contact surfaces from a thread to the different number of threads and length can reach others without renewal.

3 43 4

Die weitere Ausführung der Erfindung ist gekenn- tet) gedrückt und gehalten. Durch Einhalten vcn cnzeichnet durch Hintereinanderschalten von mehreren gen Toleranzen bei der Bearbeitung des Schraubcn-Schraubenfedereinheiten mit voneinander unter- federn-Außendurchmessers D und richtig vorgegebeschiedlicher Steigung; wodurch im Rezipienten oder ner Steigung S liegen die Federprofile 3 mit ihren in einem gemeinsamen Molekularpumpen-Zylinder S breiten Anlageflächen 10 derart satt an. daß die eine Stufen-Molekularpumpe gebildet wird. Vorteil- Trennfuge zwischen den Anlageflächen 10, der Gehafterweise sind die Enden der Schraubenfedern in winde- bzw. Schraubenfedern 4, 5, 6, 7, 8 und der axialer Richtung abgebogen. Wand 9 des Rezipienten als dicht anzusehen ist. DaThe further embodiment of the invention is identified) pressed and held. By adhering to cn characterized by connecting several gene tolerances in series when machining the helical coil spring units with mutually sub-spring outer diameter D and correctly pre-different pitch; whereby the spring profiles 3 with their contact surfaces 10, which are wide in a common molecular pump cylinder S, lie so snugly in the recipient or incline S. that the one stage molecular pump is formed. Advantageous parting line between the contact surfaces 10, the Gehaftweise the ends of the helical springs are bent in coiled or helical springs 4, 5, 6, 7, 8 and the axial direction. Wall 9 of the recipient is to be regarded as tight. There

Die wählbaren Ausführungsformen von Profil- die freie Weglänge der Gasmoleküle im RezipientenThe selectable embodiments of profile - the free path of the gas molecules in the recipient

querschnitten an Molekularpumpen sowie das Hin- io herrschenden Vakuum sehr groß ist, können diesecross-sections on molecular pumps and the vacuum prevailing is very large, these can be used

tereinanderschalten von mehreren Schraubenfedern nicht entlang der Anlagefläche 10 von einem Ge-Do not interconnect several helical springs along the contact surface 10 of a joint

hat den Verteil, daß sie als Molekularpumpen je winde- bzw. Schraubenfedergang in den anderen ge-has the distribution that they act as molecular pumps in each of the coiled or helical springs in the other

nach den geforderten Bedingungen individuell ausge- langen.individually sufficient according to the required conditions.

legt und ihre Wirkung dadurch optimal gesteuert Durch die lose Form der Schraubenfedern 4, 5, 6,and their effect is optimally controlled. The loose shape of the coil springs 4, 5, 6,

werden vann. Ferner hat das Abbiegen der Federen- i5 7, 8 und ihre relativ einfache Herstellung ist ein di-are v ann. Furthermore, the bending of the spring spring i 5, 7, 8 and its relatively simple production is a di-

den den fertigungstechnischen Vorteil, daß die rekter Austausch derselben im Rezipienten oder derthe manufacturing advantage that the correct exchange of the same in the recipient or the

Schraubenfedern in der Vorrichtung befestigt bzw. gesamten Gewindebuchse (in der Figur nicht darge-Helical springs fastened in the device or the entire threaded bushing (not shown in the figure)

fixiert und ein Verdrehen oder Verrutschen dadurch stellt) möglich. Außerdem ergibt sich dadurch einefixed and twisting or slipping is possible). In addition, this results in a

nicht möglich ist. Variationsmöglichkeit der Federprofile 3 sowie dernot possible. Variation of the spring profiles 3 as well as the

Nachfolgend wird ein Ausführungsbeispiel be- 30 Steigung S der Schraubenfedern 4, 5, 6, 7,8. Im Beschrieben und an Hand von Skizzen erläutert: darfsfalle kann durch Hintereinanderschalten vonAn exemplary embodiment is sawn 30 slope S of the coil springs 4, 5, 6, 7.8. In the description and explained with the aid of sketches: may trap can be created by connecting

F i g. 1 zeigt einen Längsschnitt durch eine fünf- mehreren Schraubenfedern 4, 5, 6, 7,8 die Erweite-F i g. 1 shows a longitudinal section through a five-several helical springs 4, 5, 6, 7, 8 the expansion

gängige Molekularpumpe; rung zu einer Stufen-Molekularpumpe vorgenommencommon molecular pump; tion made to a stage molecular pump

F i g. 2 zeigt die Molekularpumpe in der Ansicht werden,F i g. 2 shows the molecular pump to be in the view

von oben gemäß Fig. 1. a5 Die in axialer Richtung abgebogenen Enden 11from above according to FIG. 1. a5 The ends 11 bent in the axial direction

Die in F i g. 1 im Längsschnitt dargestellte Mole- der Schraubenfedern 4, 5, 6, 7,8 ermöglichen wäh-The in F i g. 1 Mole- the coil springs 4, 5, 6, 7, 8 shown in longitudinal section allow select-

kularpumpe 1 zeigt ein fünfgängiges Gewinde 2 mit rend des Fertigungsvorganges eine Befestigung bzw.kularpump 1 shows a five-start thread 2 with end of the manufacturing process a fastening or

Vierkantquerschnitt bzw. -Profil 3. Das Gewinde 2 Fixierung in der Vorrichtung. Ein Verrutschen oderSquare cross-section or profile 3. The thread 2 is fixed in the device. Slipping or

selbst besteht aus mit relativ geringer Steigung fünf- Verdrehen wird dadurch ausgeschlossen,itself consists of five with a relatively low pitch - twisting is excluded

gängig gewickelten und ineinandergesteckten Schrau- 3O Aus F i g. 2 ist die Molikularpumpe 1 in der An-commonly wound and nested screw 3O Aus F i g. 2 is the molecular pump 1 in the

benfedern 4, 5, 6, 7, 8 (s. auch F i g. 2). Sie werden sieht von oben gemäß F i g. 1 mit den einzelnen fünf-feather springs 4, 5, 6, 7, 8 (see also Fig. 2). You will see from above according to FIG. 1 with the individual five

durch ihre radial wirkende Federvorspannung an die gängig und jeweils um 72° versetzt angeordnetendue to their radially acting spring preload to the usual and each arranged by 72 °

Wand 9 des Rezipienten (in der Figur nur angedeu- Schraubenfedern 4, 5, 6, 7,8 ersichtlich.Wall 9 of the recipient (only indicated in the figure - coil springs 4, 5, 6, 7, 8 can be seen.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen1 sheet of drawings

Claims (7)

1 2 des Rezipienten bzw. der Gewindebuchse nicht mög- Patentansprüche: iicbist Aufgabe der Erfindung ist es, die Herstellung von1 2 of the recipient or the threaded bushing is not possible 1. Molekularpumpe, bestehend aus einem mit Molekularpumpen durch eine relativ einfache und Innengewinde versehenen zylindrischen Stator 5 kostensparende Anwendung der spanabhebenden und einem darin rotierenden Läufer, dadurch oder spanlosen Verformung zu erreichen und dagekennzeichnet, daß im Stator vorgefer- durch zugleich die Austauschbarkeit der Molekulartigte Schraubenfedern (4, 5, 6, 7, 8) mit einem pumpen-Gewinde zu ermöglichen.1. Molecular pump, consisting of one with molecular pumps through a relatively simple and Internally threaded cylindrical stator 5 cost-saving application of the machining and a rotor rotating in it, to achieve thereby or non-cutting deformation and which indicates that in the stator vorgefer- by at the same time the interchangeability of the molecular-like coil springs (4, 5, 6, 7, 8) with a pump thread to enable. wählbaren Profilquerschnitt (3) eingesetzt sind Erfindungsgemäß wird die Aufgabe dadurch ge-selectable profile cross-section (3) are used. According to the invention, the object is thereby und an einer Wand (9) des Stators gehalten sind, xo löst, daß im Stator vorgefertigte Schraubenfedern mit wobei die auf Passung bearbeiteten Anlageflä- einem wählbaren Profilquerschnitt eingesetzt sind chen (10) der Profilquerschnitte (3) der Schrau- und an einer Wand des Stators gehalten sind, wobei benfedern satt an der Wand (9) anliegen. die auf Passung bearbeiteten Anlageflächen der Pro-and are held on a wall (9) of the stator, xo solves that in the stator prefabricated coil springs with whereby the contact surfaces machined to fit are used in a selectable profile cross-section Chen (10) of the profile cross-sections (3) of the screw and are held on a wall of the stator, wherein The springs are flush against the wall (9). the contact surfaces of the pro- 2. Molekularpumpe nach Anspruch 1, gekenn- fiiquerschnitte der Schraubenfedern satt an der zeichnet durch mehrgängig gewickelte Schrau- 15 Wand anliegen.2. Molecular pump according to claim 1, marked fiiquerschnitte the coil springs full of is characterized by multiple wound screws 15 against the wall. benfedern (4,5,6, 7,8). Die weiteren Ausführungen der Erfindung beste-feather springs (4, 5, 6, 7,8). The further embodiments of the invention best- 3. Molekularpumpe nach Anspruch 2, dadurch hen darin, daß die Schraubenfedern mehrgängig gegekennzeichnet, daß gleichartige Schraubenfe- wickelt und gleichartige ineinandergesteckt sind, dem (4, S, 6, 7,8) ineinandergesteckt sind. Außerdem werden die Schraubenfedern durch die ra-3. Molecular pump according to claim 2, characterized in that the coil springs are multi-threaded that similar screws are wound and similar are plugged into one another, dem (4, S, 6, 7,8) are plugged into each other. In addition, the helical springs are 4. Molekularpumpe nach einem der An- 20 dial wirkende Federvorspannung an der Wand des spräche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Molekularpumpen-Zylinders gehalten. Ferner weist Schraubenfedern (4, 5, 6, 7, 8) durch die radial der Profilquerschnitt der vorgefertigten Schraubenfewirkende Federvorspannung an der Wand (9) des dem am Außenumfang eine zur Schraubenfeder axial Molekularpumpen-Zylinders gehalten werden. verlaufende Begrenzung auf.4. Molecular pump according to a spring preload acting on the wall of the and dial spoke 1 to 3, characterized in that the molecular pump cylinder held. Also has Helical springs (4, 5, 6, 7, 8) through the radial profile cross-section of the prefabricated helical end Spring preload on the wall (9) of the one on the outer circumference to the helical spring axially Molecular pump cylinder are held. running limitation on. 5. Molekularpumpe nach Anspruch 1, dadurch 25 Der Vorteil einer derartigen Ausführung von Mogekennzeichnet, daß der Profilquerschnitt (3) der lekularpumpen gegenüber den bisherigen besteht vorgefertigten Schraubenfedern (4, S, 6, 7, 8) am darin, daß aus einem geeigneten Werkstoff mittels Außenumfang eine zur Schraubenfeder axial ver- einer Vorrichtung Schraubenfedern gewickelt werlaufende Begrenzung aufweist. den, die zunächst eine geringere Steigung haben als5. Molecular pump according to claim 1, characterized in that the profile cross-section (3) of the lekularpumpen compared to the previous one consists of the advantage of such an embodiment of Mo. prefabricated coil springs (4, S, 6, 7, 8) on in that made of a suitable material means Outer circumference of a helical spring wound axially with the helical spring with a device Has limitation. those that initially have a lower slope than 6. Molekularpumpe nach einem der An- 30 sie normal für Molekularpumpen üblich ist. Entsprespriiche 1 bis 5, gekennzeichnet durch Hinter- chend der geforderten Gangzahl für die Molekulareinanderschalten von mehreren Schraubenfeder- pumpe werden diese Schraubenfedern ineinandergeeinheiten (4, S, 6, 7, 8) mit voneinander unter- dreht und in einer Vorrichtung in gleichen Abstänschiedlicher Steigung. den fixiert und so lang gereckt, bis die geforderte6. Molecular pump according to one of the methods normally used for molecular pumps. Corresponding 1 to 5, characterized by the required number of gears for the molecular connection of several helical spring pumps, these helical springs are interlocked (4, S, 6, 7, 8) with each other and in a device with equal spacing of different pitches. the fixed and stretched until the required 7. Molekularpumpe nach den Ansprächen 1 35 Steigung der Molekularpumpe erreicht ist. Die so bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Enden entstandene Spiralfeder wird außen, an der späteren (11) der Schraubenfedern (4, 5, 6, 7, 8) in axialer Anlagefläche, auf das Paßmaß des Innendurchmes-Richtung abgebogen sind. sers vom Rezipienten bzw. des Pumpenzylinders abgedreht. Danach werden die Spiralfedern mit Hilfe7. Molecular pump according to claims 1 35 slope of the molecular pump is reached. The so to 3, characterized in that the ends of the resulting spiral spring is outside, on the later (11) of the coil springs (4, 5, 6, 7, 8) in the axial contact surface, to the fit dimension of the inside diameter direction are turned. sers turned off from the recipient or the pump cylinder. After that, the coil springs are using 40 einer Vorrichtung weiter gereckt und in eine mit dem40 a device stretched further and in one with the
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