DE2113853C3 - Verfahren zur Herstellung von fest haftenden verschleißfesten Überzügen aus Metallnitrid oder karbonitnd auf Hartmetallteilen - Google Patents
Verfahren zur Herstellung von fest haftenden verschleißfesten Überzügen aus Metallnitrid oder karbonitnd auf HartmetallteilenInfo
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- C23C16/36—Carbonitrides
Description
Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Herstellung von festhaftenden, verschleißfesten
Überzügen aus Metallnitrid oder -karbonitrid auf Hartmetallteilen, z.B. Schneidplatten.
Es ist bekannt, zur Erhöhung der Verschleißfestigkeit, insbesondere des Kolkverschleißes, auf Hartmetallschneidplatten
verschleißfeste Überzüge aus Metallkarbid,-nitrid oder-karbonitrid aufzuoringen. Die
Hirtstoffe werden üblicherweise über die Gasphase auf den Hartmetallteilen abgeschieden. Für die Herstellung
karbidischer Überzüge verwendet man ein Gasgemisch, bestehend aus Wasserstoff und Methan
sowie Metallhalogenid, für die Herstellung nitridischer Überzüge ein Gemisch aus Stickstoff, Wasserstoff
und Metallhalogenid und für Überzüge aus Metallkarbonitrid ein Gasgemisch von Stickstoff, Wasrerstoff,
Methan und Metallhalogenid. Die deutsche Auslegeschrift 1041320 enthält den Vorschlag, zur
Herstellung besonders gleichmäßiger Überzüge mit geringer Oberflächenrauhigkeit aus hochschmelzenden
Nitriden durch Reaktion eines flüchtigen Metallhalogenids mit Wasserstoff und Stickstoff das Metallhalogenid
durch Überleiten von Halogenwasserstoff und/oder Halogen über das Überzugsmetall oder dessen
Nitrid während des Plattierens im Behandlungsofen zu erzeugen.
Bei der Abscheidung von Überzügen aus Metallhalogenid-Atmosphäre,
z. B. Titankarbid auf Hartmetall, zeigt sich die Schwierigkeit, daß das aus der Gasphase
abgeschiedene Metall Kohlenstoff aus der Hartmetalloberfläche entzieht. Dabei verarmt die
Oberfläche des Hartmetalls an Kohlenstoff, und es entsteht zwischen Deckschicht und Grundwerkstoff
uine unterkohlte Hartmetall-Zwischenphase (η-Phase).
Die Fachwelt war der Meinung, wie sich beispielsweise aus der Offenlegungsschrift 2 007 427 ergibt,
daß die r/-Phasen wegen eines zwischen dem des normalen Hartmetalls und dem der Deckschicht liegenden
Wärmeausdehnungskoeffizienten und höherer Härte und Verschleißfestigkeit als normales Hartmetall
einen günstigen Einfluß auf die Zerspanungseigenschaften derart beschichteter Hartmetallteile
ausübt.
Mit der vorstehend geschilderten Problematik hat die deutsche Auslegeschrift 1056 450 nichts zu tun.
Aus ihr ist zu entnehmen, daß zur Herstellung gut haftender Überzüge aus Karbiden, Nitriden, Boriden,
»5 Suiziden der Metalle der III. bis VI. Gruppe des periodischen
Systems auf Gußeisen oder Stahl nach einer Reinigung zur Entfernung der Oxydreste die Oberfläche
der Werkstücke durchgreifend entgast werden soll. Durch die Befreiung der Werkstücke von im
ao Grundwerkstoff gelösten Gasen wird nach Angaben
in der deutschen Auslegeschrift 1 056 450 die Haftfestigkeit der Hartstoff-Überzüge verbessert. Diese bekannte
Lehre ist auf den vorliegenden FaIJ nicht anwendbar und trägt zur Problemlösung nichts bei, denn
a5 die Bildung von Hartstoff-Überzügen auf Hartmetallteilen
begegnet den geschilderten besonderen Schwierigkeiten, die in der deutschen Auslegeschrift
1056450 nicht angesprochen worden sind.
Überraschenderweise hat sich nun gezeigt, daß unter Vermeidung unterkohlter Zwischenphasen auf Hartmetallschneidplatten aufgebrachte Deckschichten aus Metallnitrid oder -karbonitrid eine mehrfache Schnittleistung bei erschwerten Einsatzbedingungen (hohe Schnittgeschwindigkeit, großer Vorschub, unterbrochener Schnitt) erbrachten.
Überraschenderweise hat sich nun gezeigt, daß unter Vermeidung unterkohlter Zwischenphasen auf Hartmetallschneidplatten aufgebrachte Deckschichten aus Metallnitrid oder -karbonitrid eine mehrfache Schnittleistung bei erschwerten Einsatzbedingungen (hohe Schnittgeschwindigkeit, großer Vorschub, unterbrochener Schnitt) erbrachten.
Erfindungsgemäß lassen sich unter den genannten Bedingungen besonders haltbare Überzugsschichten
aus Nitrid oder Karbonitrid der Metalle Titan, Vanadium, Chrom, Zirkonium, Niob, Molybdän, Hafnium,
4" Tantal oder Wolfram auf Teilen aus Hartmetall oder
Hartstofflegierungen ohne Bildung unterkohlter Zwischenphasen (^-Phasen) aus einem das Metallhalogenid,
Wasserstoff sowie Stickstoff und/oder Methan enthaltenden Gasgemisch aufbringen, wenn für die
Abscheidung von Metallnitrid ein Verhältnis von Stickstoff: Wasserstoff von mincüstens 3 : 1 und für
die Abscheidung von Metallkarbonitrid ein Verhältnis von Stickstoff: Wasserstoff: Methan von mindestens
3:0,8 bis 1:0,2 bis 0,01 eingestellt wird.
Die erzeugte Schichtdicke soll gemäß einer vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung 3 bis 50 μπι, vorzugsweise
5 bis 20 μπι betragen. Die Abscheidung aus der Gasphase sollte bei Temperaturen von 950
bis 1100° C unter einem Druck von 50 bis 800 Torr erfolgen.
Hartmetall oder Hartstofflegierungen mit einer in erfindungsgemäßer Weise hergestellten Deckschicht
aus Metallnitrid oder -karbonitrid eignen sich vorteilhaft als Zerspanungswerkstoffe, insbesondere für die
Grobzerspanung, als Werkstoffe zur Herstellung von Werkzeugen für die spanlose Verformung, allgemein
für Verschleißteile und verschleißfeste Korrosionsschutzüberzüge.
Claims (3)
1. Verfahren zur Herstellung von festhaftenden, verschleißfesten Überzügen aus Metallnitrid oder
-karbonitrid auf Teilen, z.B. Schneidplatten, aus Hartmetall oder Hartstofflegierungen ohne Bildung
unterkohlter Zwischenphasen (fj-Phasen)
aus einem das Metallhalogenid, Wasserstoff sowie Stickstoff und/oder Methan enthaltenden Gasgemisch,
dadurch gekennzeichnet, daß für
die Abscheidung von Metallnitrid ein Verhältnis von Stickstoff: Wasserstoff von mindestens 3. 1
und für die Abscheidung von Metallkarbonitrid ein Verhältnis von Stickstoff: Wasserstoff: Methan
von mindestens 3 : 0,8 bis 1 : 0,2 bis 0,01 im Gasgemisch eingestellt wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß Überzüge in einer Stärke von
3 bis 50 μίτι, vorzugsweise 5 bis 20 /im, abgeschieden
werden.
3. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Abscheidung
aus der Gasphase bei Temperaturen von 950 bis 1100° C unter einem Druck von 50 bis 800 Torr
erfolgt.
Priority Applications (7)
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IT4810472A IT948410B (it) | 1971-03-23 | 1972-02-02 | Procedimento per la produzione di rivestimenti di nitruro o carboni turo metallico resistente all usu ra e saldamente aderenti su parti di metallo duro |
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DE2113853B2 DE2113853B2 (de) | 1973-05-17 |
DE2113853C3 true DE2113853C3 (de) | 1973-12-13 |
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Cited By (1)
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US4268569A (en) * | 1979-02-07 | 1981-05-19 | General Electric Company | Coating underlayers |
USRE34180E (en) * | 1981-03-27 | 1993-02-16 | Kennametal Inc. | Preferentially binder enriched cemented carbide bodies and method of manufacture |
US4803127A (en) * | 1983-02-25 | 1989-02-07 | Liburdi Engineering Limited | Vapor deposition of metal compound coating utilizing metal sub-halides and coated metal article |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3141310A1 (de) * | 1980-10-24 | 1982-06-16 | Kabushiki Kaisha Suwa Seikosha, Tokyo | Verfahren zur chemischen dampfabscheidung |
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Legal Events
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