DE2105456A1 - Vorrichtung zum Darstellen eines Rasterbildes in einem Elektronenstrahl gerat - Google Patents

Vorrichtung zum Darstellen eines Rasterbildes in einem Elektronenstrahl gerat

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Minoru Chofu Someya Teruo Akshima Tokio Fujisawa (Japan)
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    • H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
    • H01J37/28—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes with scanning beams
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