DE2063198A1 - Elektrische Prüfeinrichtung - Google Patents

Description

IBM Deutschland Internationale Büro-Maschinen Gesellschaft mbH

Böblingen, den 11. Dezember 1970 bm-ba

Anmelderin:

Amtliches Aktenzeichen:

Aktenzeichen der Anmelderin

International Business Machines Corporation, Armonk, N.Y. 10504 Neuanmeldung
Docket OW 968 002

Elektrische Prüfeinrichtung

Die Erfindung betrifft eine elektrische Prüfeinrichtung zum Ermitteln der Werte mindestens einer elektrischen Anordnung, mit einer Mehrzahl von Kontaktspitzen zum Aufsetzen auf bestimmte Kontaktstellen der Anordnung.

Bekannte derartige Prüfeinrichtungen sind sehr aufwendig und mühsam zu bedienen. Die hiermit für das Prüfen der elektrischen Werte von beispielsweise Halbleiteranordnungen benötigte Zeit ist relativ lang. Jedes Prüfelement erfordert im allgemeinen eine Ausrichtung in drei Richtungen; es ist in der ausgerichteten Stellung nicht feststellbar und kann außerdem leicht beschädigt werden. Wegen der Größe der Prüfelemente und ihrer Trageeinrichtungen ist die Anzahl der Prüfstellen auf weniger als die vorhandenen Anschlußstellen auf einem Halbleiterplättchen begrenzt, so daß zusätzliche Maßnahmen zur richtigen Durchführung des Prüfvorganges getroffen werden mußten.

Es ist daher die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Prüfeinrichtung zu schaffen, die eine große Anzahl von dicht nebeneinanderliegenden Kontaktstellen gleichzeitig abfühlen kann und die ein-

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fach zu handhaben ist. Diese Aufgabe wird bei der anfangs genannten elektrischen Prüfeinrichtung erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß eine Mehrzahl von elektrisch leitenden Prüfdrähten mit geringem Durchmesser und je ein elektrisch gut leitendes Führungsröhrchen um jeden Prüfdraht mit elektrischer Verbindung zu diesem vorgesehen sind, wobei der Prüfdraht mit einem Ende aus dem Führungsröhrchen herausragt und dieses Ende als Kontaktspitze dient, daß jedes Führungsröhrchen auf der Seite, auf der der Prüfdraht herausragt, isoliert befestigt ist und daß das Führungsröhrchen an einen äußeren elektrischen Kreis angeschlossen ist. Der Prüfdraht ist vorzugsweise verschiebbar und federnd im Führungsröhrchen angeordnet, wobei die elektrische Verbindung zwischen dem Prüfdraht und dem Führungsröhrchen durch den Druck beim senkrechten Aufsetzen der Kontaktspitze auf eine Kontaktstelle gewährleistet ist. Vorteilhaft ist dabei das Führungsröhrchen gebogen. Die einzelnen Führungsröhrchen sind in festem Abstand voneinander angeordnet. Sie sind zum Anschluß an einen äußeren Kreis durch Kontäktlöcher einer mit Leiterbahnen versehenen Platte geführt.

Eine Fixierung der Prüfelemente kann durch ein gekapseltes Gehäuse erfolgen, in welchem eine Trägerplatte eine Mehrzahl von öffnungen enthält, die so angeordnet sind, daß sie dem Kontaktmuster der zu prüfenden Anordnung entsprechen. Das eine Ende der Führungsröhrchen, aus denen der Prüfdraht herausragt, ist an der Trägerplatte in diesen öffnungen befestigt/ während das andere Ende im Gehäuse an einer Druckplatte anliegt. Die Prüfdraht sind so ausgelegt, daß sie bei vollem Einschub in die Führungsröhrchen um einen bestimmten Betrag über die Trägerplatte hinausragen, während ihre gegenüberliegenden Enden an der Druckplatte anliegen.

Die Führungsröhrchen bestehen aus einem Material mit hoher elektrischer Leitfähigkeit, während die Prüfdrähte ebenfalls aus elektrisch leitendem Material bestehen, bei dem jedoch das wesentliche Merkmal eine hohe Verschleißfestigkeit ist. Zwischen beiden besteht eine elektrische Verbindung! die möglichst nahe an den Kontaktspitzen liegen soll. Diese Verbindung wird gewährleistet

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durch das senkrechte Aufsetzen der Kontaktspitzen auf die Kontaktstellen der zu prüfenden Anordnung, da dabei die Prüfdrähte gegen die inneren Wandungen der Führungsröhrchen gedrückt werden. Dadurch ist nur ein sehr kurzes Stück des elektrisch nicht so gut leitenden Prüfdrahtes in den Meßkreis geschaltet, während das gutleitende Führungsröhrchen die wesentliche elektrische Verbindung zu dem äußeren Kreis darstellt. Die Führungsröhrchen können in ein Isoliermaterial eingebettet sein, so daß ihre Lage nicht verändert werden kann und sie voneinander isoliert sind.

Mit der vorliegenden Einrichtung können Kontaktstellen mit einer gegenseitigen Entfernung von nur 0,15 bis 0,2 mm abgetastet werden, wobei der Durchmesser des Prüfdrahtes weniger als 0,05 mm betragen kann. Durch die Federwirkung der Prüfdrähte kann .der Druck der Kontaktspitzen auf die Kontaktstellen so klein gehalten werden, daß gar keine oder nur eine sehr unwesentliche Beschädigung der Kontaktstellen erfolgt. Die Federwirkung der Prüfdrähte ist ein wichtiges Merkmal, da sie Änderungen des ÜbergangswiderStandes zwischen der Kontaktstelle und der Kontaktspitze auf einen minimalen Wert begrenzt.

Die Erfindung wird im folgenden anhand eines in den Figuren dargestellten AusfUhrungsbeispieles näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 einen Schnitt durch eine Prüfeinrichtung nach der

Erfindung mit einem Prüfelement,

Fig. 2 eine perspektivische Darstellung einer erfindungs-

gemäßen Prüfeinrichtung,

■Fig. 2A eine Seitenansicht der in Fig. 2 gezeigten Einrichtung,

Fig. 3 eine Änschlußplatte, die für den elektrischen An-

schluß einer externen Schaltung an die Führungsröhrchen geeignet ist,

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Fig. 4 eine perspektivische Darstellung des Grundgehäuses vor dem Einsetzen und Verkapseln der Prüfelemente und

Fig. 5 eine schematische Darstellung eines PrüfStandes

mit einer eingesetzten erfindungsgemäßen Prüfeinrichtung.

Mit 10 ist in Fig. 1 ein Prüfelement bezeichnet, welches die Oberfläche einer Kontaktstelle 12 einer zu prüfenden Anordnung 13 berührt. Der Prüfdraht 11 befindet sich in einem Führungsröhrchen 15, das in einem Gehäuse 17 gehalten wird, welches in Fig. 2 in zusammengesetzter Form gezeigt ist. Das Gehäuse 17 ist der Einfachheit halber vorzugsweise abgeschrägt. Der Prüfdraht 11 durchläuft eine mittlere öffnung des Führungsröhrchens 15 über dessen ganze Länge und liegt an einer Druckplatte 34 an. Das Führungsröhrchen 15 ist grundsätzlich im Gehäuse 17 so fest angebracht, daß es sich darin nicht bewegen kann, wobei jedoch der Prüfdraht 11 selbst etwas beweglich ist, so daß bei Ausübung eines Druckes auf sein herausragendes Ende, welches die Oberfläche der Kontaktstelle 12 berührt, sich der Prüfdraht 11 im Führungsröhrchen 15 in Längsrichtung bewegen läßt.

Aus Fig. 1 ist zu ersehen, daß das Prüfelement 10 zwischen einer Trägerplatte 33 und der Druckplatte 34 gebogen ist. Aufgrund dieser Biegung erfolgt eine Berührung zwischen dem Prüfdraht 11 und dem Führungsröhrchen 15 ziemlich dicht an der herausragenden Spitze des Prüfdrahtes 11, auch, wenn kein Druck in Längsrichtung auf das Ende des Prüfdrahtes 11 ausgeübt wird. Die Berührung zwischen dem Prüfdraht 11 und dem Führungsröhrchen 15 wird im Betrieb dadurch sichergestellt, daß sich der Prüfdraht 11 in Längsrichtung bewegen läßt. Dadurch befindet sich nur ein kurzes Stück des Prüfdrahtes 11 in dem elektrischen Stromkreis. Änderungen in der Ebenheit der berührten Oberflächen werden dadurch leicht kompensiert, daß der Prüfdraht 11 nachgibt. Außerdem läßt er sich leicht aus dem Führungsröhrchen 15 herausziehen und auf diese Weise austau-

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sehen.

Im vorliegenden Ausführungsbeispiel ist das in Fig. 2 in zusammengesetzter Form gezeigte Gehäuse 17 an beiden Enden offen und hat annähernd die Form eines Pyramidenstumpfes. Die Trägerplatte 33 ist der mittlere Bereich einer Tafel 19, die sehr dünn ist und z. B. aus Plexiglas bestehen kann, in welches zahlreiche Löcher im Bereich der Trägerplatte 33 zur Aufnahme der Enden der Führungsröhrchen 15 gebohrt sind, aus welchen die Prüfdrähte 11 heraustreten.

Die Tafel 19 ist beispielsweise aus einer etwa 0,8 mm dicken Platte herausgearbeitet und die Löcher werden darin in Form des gewünschten Kontaktmusters gebohrt. Diese Löcher haben durchschnittlich einen Mittenabstand von 0,15 bis 0,2 mm und für die Einstellgenauigkeit wurde ein akkumulativer Fehler von höchstens 0,01 mm gemessen. Für die Schrumpfung beim späteren Aushärten werden auf etwa 0,6 mm weitere 0,0025 mm zugegeben. Die Durchführungsbohrungen für die Führungsröhrchen 15 haben im gezeigten Ausführungsbeispiel einen Durchmesser von etwa 0,13 mm.

Nach dem Bohren werden die Löcher in der Tafel 19 mit geeigneten Mitteln, z. B. einem reinen Strahldraht von etwa 0,13 mm Durchmesser, gereinigt. Die Lagegenauigkeit der einzelnen Löcher wird dann z. B. mit einem optischen Vergleichsgerät geprüft. Ein solches Gerät hat eine Genauigkeit von etwa 0,0025 mm.

Nach der Prüfung der Tafel 19 wird sie in die Führungsrillen 21 am Boden der Seitentafeln 35 des Gehäuses 17 eingeschoben. Wenn das ganze Gehäuse 17 zusammengesetzt ist, wird es z. B. mit Äthylendichlorid als Bindemittel fest zusammengeklebt oder anderweitig in seinem Zusammenbau gesichert. Um die hervorstehenden Enden der Prüfdrähte 11 nicht zu biegen, werden sie während der nachfolgenden Verarbeitungsschritte oder bei Nichtbenutzung der Einrichtung durch eine Deckplatte 31 geschützt, die von beliebiger Form ist, am Boden der Tafel gehalten wird und sich bei Benut-

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zung des Gerätes leicht-herausnehmen läßt.

Die in- Fig» 1 gezeigten Prüfdrahte 11 sind einander gleich« Jeder läuft in einem eigenen Führungsröhrchen 15., das ein Gehäuse für den Prüfdraht 11 sowie einen Weg mit niedrigem Widerstand bildet und sich zwischen der isolierenden Trägerplatte 33 und der Druckplatte 34 erstreckt. Die Druckplatte 34 ist mit der Seitentafel- 35 des Behälters in einem ausgesparten Bereich 34A fest verbunden. Auf der Kontaktseite ragt der Prüfdraht 11 ungefähr 0,15 mm über das Ende des Führungsröhrchens 15 hinaus und erstreckt sich durch eine Öffnung in der Trägerplatte 33, wobei dieser Abstand mehr oder weniger von der Anwendung abhängig ist. Die Druckplatte 34 setzt der'Längsbewegung des Prüfdrahtes 11 eiaen Widerstand entgegen und unterstützt seine elastische Federwirkung·.

Jedes Führungsröhrchen 15 im GeMuse 17 wird durch eine Öffnung 37 einer elektrischen Leiterbahn 38 geführt, die auf beiden Seiten einer Isoliertafel 39 angebracht istο Die Isoliertafeln 39 werden in Schütte 41 des Gehäuses 17 gesteckt= Jede der elektrischen Leiterbahnen 38 führt an das äußere Ende der sgugehörigen Tafel 39» Die Leiterbahnen (je eine auf jeder Seite der Tafeln 39) führen zu Kontaktpunkten 43 und 44 für passende Anschlüsse.

Jedes dieser Führungsröhrchen 15 ist elektrisch mehr oder weniger gut leitend. In einer bevorzugten Ausführung besteht der Prüfdraht 11 aus Berylliumkupfer und das Führungsröhrchen 15 aus Münzsilber. Dieses Münasilber wird gewählt? da seine Leitfähigkeit der des reinen Silbers sehr nahe kommt und es den vom Prüfdraht 11 ausgeübten Drücken ohne Deformation besser widersteht. Der Prüfdraht 11 ist aus einem Material hergestellt, welches sowohl eine gewisse Festigkeit als auch eine Elastizität sowie gute Abnutzungseigenschaften aufweist, die eine wiederholte Verwendung gestatten. Wenn jedes Führungsröhrchen 15 durch eine der Isoliertafeln 39 geführt ist, ist es mit je einer Leiterbahn 38 durch eine gewöhnliche elektrische Verbindung, z. Bo die Lötstellen 47.-und

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48, verbunden, die sowohl eine sichere Befestigung als auch einen Anschluß mit niedrigem elektrischen Widerstand des Führungsröhrchens an die Leiterbahn 38 liefern. Der im Innern des Führungsröhrchens 15 verlaufende Prüfdraht 11 wirkt im wesentlichen in Längsrichtung als Feder, derart, daß die beim Berühren einer Kontaktstelle auf das Drahtende ausgeübte Kraft den Prüfdraht 11 so bewegt, daß seine Durchbiegung rechtwinklig zur berührten Kontaktstelle gesteuert wird.

Bei der Bestimmung eines Widerstandes mit sehr kleinem Wert (z. B, unter 1 Ohm) durch elektrische Messung wird der Widerstand der Verbindungen zwischen dem zu messenden Widerstand und der bei der Durchführung der Messungen verwendeten Brücke von besonderer Bedeutung. Bei der Durchführung dieser Messungen sind im elektrischen Leitweg von dem Anschluß, der durcli den Prüfdraht mit der berührten Kontaktstelle gebildet wird, enthalten: der Prüfdraht 11, der Kontakt zum Führungsröhrchen 15, das Führungsröhrchen und die Lötstellen 47 und 48 der Kelvin'sehen Brücke an die Leiterbahnen 38. Die Kelvin'sehe Brücke ist allgemein bekannt und bedarf daher keiner näheren Beschreibung. Im beschriebenen Ausführungsbeispiel wurde das Problem der Verbindung der Kelvin'-sehen Brücke gelöst durch die Verwendung von zwei Anschlüssen für jede Leitung des Widerstandes. Diese Art des Anschlusses wird allgemein als Vierpunkt-Anschluß bezeichnet.

Wenn die durch das Prüfdrahtende berührten und zu prüfenden Bereiche in Halbleiterplättchen gebildet sind, übersteigen die Ströme selten den Wert von 0,1 Ampere. Die auftretenden Spannungen liegen im allgemeinen unter 3 Volt. Die Reihenschaltung zwischen dem Prüfgerät und dem Halbleiterplättchen kann bei etwa 5 Meter 'Drahtlänge zusammen mit den verschiedenen Verbindungen den Widerstandswert von einigen Ohm erreichen und somit von Bedeutung werden (was sich für einen Stromweg mit der Zeit und zwischen verschiedenen Stromwegen zu einem gegebenen Zeitpunkt ändert), Im vorliegenden Fall kann das beschriebene Prüfgerät eine elektrische Funktion für einen Eingangsanschluß eines Plättchen oder densel-

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ben physikalischen Anschluß, der bei einem anderen Plättchentyp als Ausgangsanschluß verwendet wird, zur Durchführung der Messung erzeugen. Für den ersten Fall gestattet das Prüfgerät im allgemeinen die Verwendung einer Rückkopplungsschleife als Teil des Mechanismus. Die Rückkopplungsleitungen für eine Prüfleitung sind über Verbindungen angeschlossen, wie sie hei 47 und 48 in Fig. 1 gezeigt sind. Das entspricht dem oben erwähten doppelten Anschluß eines Widerstandsendes.

Für den zweiten erwähnten Fall kann ein Ausgangsanschluß des Plättchens durch Abfühlung mit dem Prüfgerät gemessen werden. Unter diesen Umständen wird der Anschluß um einige Meter Draht und

™ die Verbindungen zum Meßgerät der Prüfeinrichtung erweitert. Praktische Spannungsmesser erfordern einen Strom für ihren Betrieb (vom Halbleiterplättchen, das über die Kontaktspitze gemäß der Darstellung in Fig. 1 angeschlossen würde). Unter diesen Umständen muß der Widerstand zwischem dem Anschluß und dem Meßgerät so klein wie möglich gehalten werden, da sich der Spannungsabfall dieses Weges im Meßwert als Fehler zeigt. Der Widerstand wird durch Verwendung der grundsätzlich gleichen zwei Verbindungswege so klein wie möglich gehalten, bei der zweiten Betriebsart sind die beiden an den in Fig. 1 gezeigten Stellen 47 und 48 beginnenden Leiterbahnen jedoch parallel geschaltet. Diese Doppelverbindung entspricht der erwähnten Doppelverbindung ei-

h nes Widerstandsendes, obwohl sie nicht für denselben Zweck benutzt wird.

Es wurde noch nicht dargelegt, daß bei der Verlegung der Führungsröhrchen 15 und der darin befindlichen Prüfdrähte 11 durch die Tafel 19 und die öffnungen 37 in den Leiterbahnen 38 die Anordnung vorzugsweise so aufgefächert wird, wie dies schematisch in Fig. gezeigt ist und aus der Anordnung der Leiterbahnen 38 in Fig. 3 hervorgeht.

Das Führungsröhrchen 15 mit dem im Innern verlaufenden Prüfdraht 11 ist so flexibel, daß die ganze Anordnung der Prüfelemente von

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den Kontaktspitzen ausgehend bis zu einem Winkel von 90° nach außen gefächert werden kann, wie aus Fig. 2 zu ersehen ist. Diese Anordnung ergibt den gewünschten größten räumlichen Ausdehnungseffekt und trägt wesentlich zur Reduzierung der elektrischen Kopplung zwischen den einzelnen Prüfelementen 10 bei. Außerdem stellt die Biegsamkeit eine große Hilfe dar, wenn man berücksichtigt, daß nach Einstellung des Prüfelementes 10 in der oben beschriebenen Weise, die besonders in Fig. 2 gezeigt ist, die in Fig. 4 in auseinandergezogener Form gezeigten Bauteile zusammengebracht werden und dann die ganze Baugruppe verkapselt wird. Ein bekanntes Verkapselungsmaterial wird in dem im Gehäuse 17 gebildeten Hohlraum bis zu einer gewünschten Höhe gegossen und bei Raumtemperatur in etwa 24 Stunden ausgehärtet und anschließend wird der Prozeß mehrere Male bis zur Endaushärtung bei einer Temperatur von etwa 55 ⁰C wiederholt. Das reicht aus, um alle Führungsröhrchen 15 und die darin befindlichen Prüfdrähte 11 in fester Lage im Gehäuse 17 zu halten (das jetzt gemäß Darstellung in Fig. 4 zusammengesetzt ist). Jedoch ist die ganze Anordnung so gehalten, daß die Prüfdrähte 11 wie bereits beschrieben funktionleren und bei Bedarf jederzeit ausgetauscht werden können. Zu diesem Zweck können die nach innen geneigten Teile 52A, 52B, 54A und 54B (Fig. 2) des Gehäuses abgenommen werden. Dies ist nicht dargestellt, da Fig. 4 eine auseinandergezogene Darstellung und die Anordnung vor dem Zusammenbau und der Verkapselung zeigt".

Es ist häufig der Fall, daß eine Ebenheit der Kontaktspitzen der Prüfdrähte 11 einer ganzen Baugruppe gefordert wird, damit Punkte, die in annähernd derselben Ebene liegen, gleichzeitig abgetastet werden können. Diese Ebenheit wird durch ein normales Polieren erreicht und im Zusammenhang betrachtet mit einer geregelten Ausnutzung eines thermischen Expansionskoeffizienten der ganzen Baugruppe oder einer Entfernung von Distanzstücken an den äußeren Enden der Prüfdrähte 11.

Um das ganze Bauteil leichter ausrichten zu können, wird im Innern des Gehäuses 17 Im allgemeinen ein nicht dargestelltes Fenster

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während der Verkapselung mit Hilfe eines flexiblen konischen Kernes ausgebildet, mit dessen Hilfe nachher die Prüfspitzen in Be- zuq auf die Kontaktstellen der Halbleiterplättchen ausgerichtet werden. Im allgemeinen wird ein Schlitz in die Baugruppe eingearbeitet, der an dem Fenster endet, um die Verwendung eines außen angebrachten Plättchen-Markierungsgerätes, wie z. B. eines Schreibgerätes oder eines Farbstiftes, zu gestatten. Die Ausrichtung ist schematisch in Fig. 5 geneigt, wo die ganze Baugruppe von einer Platte 51 gehalten wird. Die Einstellung kann durch das

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schematisch dargestellte Objektiv 53 eines Mikroskops über ein Okular 55 geprüft werden. Die in Fig. 5 gezeigten, vom oberen Ende der Baugruppe ausgehenden Verbindungen 57 entsprechen den an die Leiterbahnen 38 in Fig. 3 angeschlossenen Leitungen.

In Fig. 5 ist das zusammengesetzte Gehäuse 17 dargestellt, in dessen Innern die Führungsröhrchen 15 und die darin enthaltenen und daraus hervorragenden Prüfdrähte 11 sowie die zugehörigen Anschlüsse enthalten sind, wobei das Garage in der Platte 51 gehalten wird. Das Okular 55 und die garn*© Optik 53 sind mit einem Endrahmen 59 des Mikroskops verbunden und über dem Gehäuse 17 gehalten. Die ganze Baugruppe wird durch Einstellelesiente 61 und 63, die das Gehäuse vertikal bewegen können, «md durch eine Stufe 76, die das Plättchen seitlich verschieben kann, ausgerichtet. Somit kann mit Hilfe des Objektivs eine Bedienungsperson sicherstellen, daß Prüfdrähte 11, die über die Trägerplatte 33 hinausragen, direkt über den Abschnitt des HalbIeiterplättchens gebracht werden können, der geprüft werden soll. Dann kann mit Hilfe der schematisch dargestellten Einstellschraube die mit dem Teil 65 befestigte Platte 51 nach unten gegen das Plättchen verschoben werden. Während dieses Vorgangs wird das Gehäuse 17 durch eine geeignete Lichtquelle 67, die an eine externe Stromquelle durch eine Leitung 69 angeschlossen ist, beleuchtet. Somit findet eine kontinuierliche Beleuchtung statt, während die Prüfspitasen über das Plättchen gebracht und in Betriebsstellung gesenkt werden.

Wenn für die Prüfung ein Gerät der in Fig. 5 gezeigten Art benutzt Docket ow 968 002 109826/1621

wird, können die Einstellparameter für die Prüfeinrichtung in Fenstern 73 und 75 oder dergleichen einer Steuereinheit 72 optisch dargestellt werden.

Die beschriebene Einrichtung ist für eine statische Prüfung von elektrischen Anordnungen ausgebildet. Ist eine dynamische Prüfung vorgesehen, so können die einzelnen Führungsröhrchen 15 beispielsweise mit einer weiteren konzentrischen und elektrisch leitenden Umhüllung versehen sein, die von der inneren Umhüllung isoliert und mit äußeren Anschlüssen verbunden 1st. Auf diese Weise erhält man die gewünsctften elektrischen Eigenschaften eines Koaxialleiters.

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Claims (7)

1. PATENTANSPRÜCHE

   Elektrische Prüfeinrichtung zum Ermitteln der Werte mindestens einer elektrischen Anordnung _t mit-einer Mehrzahl von Kontaktspitzen zum Aufsetzen auf bestimmte Kontaktsteilen der Anordnung, dadurch gekennzeichnet, daß eine Mehrzahl von elektrisch leitenden Prüfdrähten (11) mit geringem Durchmesser und je ein elektrisch gut leitendes Führungsröhrchen (15) um jeden Prüfdraht (11) mit elektrischer Verbindung zu diesen vorgesehen sind, wobei der Prüfdraht (11) P mit einem Ende aus dem Führungsröhrchen (15) herausragt

   und dieses Ende als Kontaktspitze dient, daß jedes Füh" rungsröhrchen (15) auf der Seite, auf der der Prüfdraht (11)' herausragt, isoliert befestigt ist und daß das Führungsröhrchen (15) an einen äußeren elektrischen Kreis angeschlossen ist,
2. 2. Prüfeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Prüfdraht (11) verschiebbar und federnd im Führungsröhrchen (15) angeordnet ist und daß die elektrische Verbindung zwischen dem Prüfdraht (11) und dem Führungsröhrchen (15) durch den Druck beim senkrechten Aufsetzen

   t der Kontaktspitse auf eine Kontaktsteile (12) gewährlei-

   • stet ist.
3. 3. Prüfeinrichtung nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Führungsröhrchen (15) gebogen ist.
4. 4. Prüfeinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die einzelnen Führungsröhrchen (15) in festem Abstand voneinander angeordnet sind.
5. 5. Prüfeinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Führungsröhrchen (15) gum ÄnschluB

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   an einen äußeren Kreis durch Kontaktlöcher (37) einer mit Leiterbahnen (38) versehenen Platte (39) geführt sind.
6. 6. Prüfeinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß alle Kontaktspitzen in einer Ebene angeordnet sind.
7. 7. Prüfeinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die elektrische Anordnung (13) eine Halbleiteranordnung ist.

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