DE2061879A1 - Verfahren zur Herstellung von Keramik-Met all-Verbundkonstruktionen - Google Patents

Verfahren zur Herstellung von Keramik-Met all-Verbundkonstruktionen

Info

Publication number
DE2061879A1
DE2061879A1 DE19702061879 DE2061879A DE2061879A1 DE 2061879 A1 DE2061879 A1 DE 2061879A1 DE 19702061879 DE19702061879 DE 19702061879 DE 2061879 A DE2061879 A DE 2061879A DE 2061879 A1 DE2061879 A1 DE 2061879A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
ceramic
metal
metal part
soldering
production
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DE19702061879
Other languages
English (en)
Inventor
Volker 6800 Mannheim-Seckenheim. C08h 13-00 Ebendt
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
STEINZEUG U KUNSTSTOFFWARENFAB
Original Assignee
STEINZEUG U KUNSTSTOFFWARENFAB
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by STEINZEUG U KUNSTSTOFFWARENFAB filed Critical STEINZEUG U KUNSTSTOFFWARENFAB
Priority to DE19702061879 priority Critical patent/DE2061879A1/de
Priority to GB5508171A priority patent/GB1351317A/en
Priority to US00207844A priority patent/US3772766A/en
Priority to FR7145286A priority patent/FR2118702A5/fr
Publication of DE2061879A1 publication Critical patent/DE2061879A1/de
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B37/00Joining burned ceramic articles with other burned ceramic articles or other articles by heating
    • C04B37/02Joining burned ceramic articles with other burned ceramic articles or other articles by heating with metallic articles
    • C04B37/021Joining burned ceramic articles with other burned ceramic articles or other articles by heating with metallic articles in a direct manner, e.g. direct copper bonding [DCB]
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B37/00Joining burned ceramic articles with other burned ceramic articles or other articles by heating
    • C04B37/02Joining burned ceramic articles with other burned ceramic articles or other articles by heating with metallic articles
    • C04B37/023Joining burned ceramic articles with other burned ceramic articles or other articles by heating with metallic articles characterised by the interlayer used
    • C04B37/026Joining burned ceramic articles with other burned ceramic articles or other articles by heating with metallic articles characterised by the interlayer used consisting of metals or metal salts
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2237/00Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/02Aspects relating to interlayers, e.g. used to join ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/12Metallic interlayers
    • C04B2237/122Metallic interlayers based on refractory metals
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2237/00Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/30Composition of layers of ceramic laminates or of ceramic or metallic articles to be joined by heating, e.g. Si substrates
    • C04B2237/32Ceramic
    • C04B2237/34Oxidic
    • C04B2237/343Alumina or aluminates
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2237/00Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/30Composition of layers of ceramic laminates or of ceramic or metallic articles to be joined by heating, e.g. Si substrates
    • C04B2237/40Metallic
    • C04B2237/407Copper
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2237/00Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/30Composition of layers of ceramic laminates or of ceramic or metallic articles to be joined by heating, e.g. Si substrates
    • C04B2237/40Metallic
    • C04B2237/408Noble metals, e.g. palladium, platina or silver
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2237/00Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/50Processing aspects relating to ceramic laminates or to the joining of ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/56Using constraining layers before or during sintering
    • C04B2237/562Using constraining layers before or during sintering made of alumina or aluminates
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2237/00Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/50Processing aspects relating to ceramic laminates or to the joining of ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/76Forming laminates or joined articles comprising at least one member in the form other than a sheet or disc, e.g. two tubes or a tube and a sheet or disc
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2237/00Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/50Processing aspects relating to ceramic laminates or to the joining of ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/76Forming laminates or joined articles comprising at least one member in the form other than a sheet or disc, e.g. two tubes or a tube and a sheet or disc
    • C04B2237/765Forming laminates or joined articles comprising at least one member in the form other than a sheet or disc, e.g. two tubes or a tube and a sheet or disc at least one member being a tube
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2237/00Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/50Processing aspects relating to ceramic laminates or to the joining of ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/84Joining of a first substrate with a second substrate at least partially inside the first substrate, where the bonding area is at the inside of the first substrate, e.g. one tube inside another tube

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Ceramic Products (AREA)

Description

DBUTSCHB STBINZBUG-UND KUNSTSTOFPMARBNFABRIK 68 Mannheim - Friedrichefeld
PATENTANMELDUNG
Verfahren zur Herstellung von Keramik-Metall-Verbundkonstruktionen
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von Keramik-Metall-Verbundkonstruktionen, wobei der metallische Partner ein hochduktiles Metall oder eine hochduktile Metallegierung ist, die außen umfassend aji der Keramik angeordnet ist. Als derartige Metalle kommen bevorzugt neben Kupfer, Silber und Gold und deren Legierungen in Frage.
Keramik-Metall-Verbundkonstruktionen sind seit langer Zeit bekannt. Dabei gehören folgende Anordnungen zwischen Keramik und Metallteilen zum Stand der Technilci
1.j Das Metall umfaßt die Keramik von außen. Für diese Konstruktion, die an sich die zuverlässigste ist, kamen bisher nur Metalle in Frage, deren thermischer Ausdehnungekoeffizient dem thermischen Ausdehnungskoeffizienten der Keramik weitgehend angepaßt ist. Bei Benutzung von A^2°3 Oxidkeramik'-(Ausdehnungskoeffizient bei 20° bis 8000C etwa 7.1O~*6 je °C) ale Werkstoff
209827/0793
BAD ORlQlNAl.
für den keramischen Partner sind dies im wesentlichen Eisen-Nickel und Eisen-Nickel-Kobait-Legierungen mit einer Curie-Temporatur im Be ro» i .<:'., 300 -» 6OO°C, sowie Titan und einige andere refractaire Metalle, Ihr Ausdehnungskoeffizient bei 20° bis 800°C liegt zwischen S und 9,5*10"" je C.
Durch die Anpassung der Ausdehnungskoeffizienten zwischen Keramik und Metalle wird erreicht, daß, wenn Metalle und Keramik bei Zimmertemperatur bündig übereinander greifen, nach dem Srwärmen auf Löttemperatur und beim Erreichen der eigentlichen Kartlöttemperatur ein hinreichend f kleiner Luftspalt zwischen Keramik und Metallteil vorhanden ist, in den das Lot durch Kapillarkräfte hineingesaugt werden kann. Außerdem wird durch die gute Anpassung der Ausdehnungskoeffizienten zwischen Keramik und Metall während des Abkühlens von der Löttemperatur vermieden, daß zu große mechanische Spannungen von dem Metall auf die Keramik ausgeübt werden. Bei der bisher betrachteten Außenlötung dürften diese Spannungen wegen der hohen Druckfestigkeit der Keramik immerhin merklich sein und tragen bis zu einen gewissen Grad zur Festigkeit der Metall-Keramik-Verbindung bei.
P 2.)Die Keramik umfaßt das Metall von außen, das Metall liegt an der inneren Zylinderwand einer Öffnung der Keramik an. Bei kleinem Lochdurchmesser läßt sich diese Keramik-Metall-Verbundkonstruktion mit den unter J) genannten Metallen realisieren. Be iet ferner bekannt, bei kleinen Durchmessern hierfür auch Nickel in Rohrform zu benutzen. Wie gesagt sind derartige Konstruktionen jedoch,nur für kleinere Durchmesser bis etwa 2 mm lichter Lochweite möglich, da sonst die beim Abkühlen von der Löttemperatur zwischen Metall und der Keramik auftretenden Abmeasungsunterschiede zu so hohen Spannungen führen, daß die Lötschicht oder gar die Keramik einreißt.
BAD ORJQINAl
Etwas günstiger liegen die Verhältnisse, wenn für diese Art der Verbundkonstruktion sehr duktile Metalle, wie säuerstoffreies Kupfer, Silber oder Gold benutzt werden. Diese Metalle haben zwar einen größeren Unterschied in der thermischen Dehnung zur Keramik als die vorstehend genannten (Ausdehnungskoeffizient bei 20 C bis 3OC C
-6
über 15»^ je 0C), doch können in diesen Metallen die beim Abkühlen von der Löttemperatur auftretenden Spannungen durch plastisches Fließen weitgehend abgebaut werden.
Bs ist daher möglich mit dieser Technik verhältnismäßig große Öffnungen von mehr als 20 mm lichter Weite durch Kupfereinlötungen zu verschließen, wenn man nur dafür sorgt, daß das Kupfer hinreichend dünn ,etwa nicht dicker als 0,5 mm ist, so daß die resultierenden Kräfte hinreichend klein bleiben.
3.)Es sind auch Flachlötungen möglich, bei denen Meta],lfolien z.B, auf die Stirnseite keramischer Ringe gelötet werden und damit die Innenöffnung dieser Ringe abgedeckt wird. Auch hierbei ist die Benutzung dünnwandiger und duktiler Metalle, wie Kupfer, Silber und Gold günstig.
Es war jedoch bisher nicht möglich, Metalle mit stark von der eramik abweichendem thermischen Ausdehnungskoeffizienten direkt außen umfassend an Keramik anzulöten. Wenn solche Konstruktionen gewünscht wurden, mußte die Keramik und Metallverbindung durch aufwendige Zwischenlösungen hergestellt werden. Eine typische Konstruktion dieser Art besteht z.B. darin, daß ein Teil aus einem der oben genannten im Ausdehnungskoeffizienten an die Keramik angepaßten Metall außen umfassend an das Keramikteil angelötet und erst an dieses Metallteil der
209827/079 3 BAD
gewünschte Kupferflansch angelötet wird. Bs waren also zwei Lötnähte mit einem Zwischenteil aus einem anderen Metall notwendig, um die Verbindung zwischen Kupfer und Keramik herzustellen.
Das erfindungsgemäße Verfahren schafft nun die Möglichkeit der Keramik-Metall-Verbundkonstruktion auch für Teile aus Metallen, deren Ausdehnungskoeffizient stark von dem der Keramik abweicht und bei denen das metallische Teil die Keramik von außen umfaßt, wenn das verwendete Metall duktil ist. Der wesentliche Erfindungsgedanke soll k anhand der Figuren 1,2 und 3 näher erläutert werden.
In der Figur 1 bedeuten 1 ein Ring aus Keramik, 2 ein Metallteil aus einem duktilen Metall, z.B.Kupfer,Silber oder Gold oder einer duktilen Legierung und 3 einen Hilfsring aus dem gleichen keramischen Material, aus dem der Ring 1 gefertigt ist.
Die Figuren 2 und 3 zeigen andere Ausführungsformen des Brfindungegedankens. Darin sind 4 der Keramikpartner der Verbundkonstruktion, 6 und 6 erfindungsgemäß angeordnete Flansche und 7 und 8 Hilferinge aus dem gleichen Material, wie der Keramikring 4, In Figur 3 bezeichnet Ρ 9 den Keramikpartner der Metall-Keramik-Verbundkonstruktion, 10 und 11 die erfindungsgemäß ausgelegten Metallteile und 12 den Hilfsring aus dem gleichen Material wie der Keramikring 9.
Zur Erzielung der Metall-Keramik-Verbundkonstruktion mit außen umfaßendem Metallteil aus hochduktilem Metall wird das Metallteil mit enger Passung, d.h. auf etwa 0,05 mm genau über das Keramikteil geschoben, mit dom es verbunden werden soll. Selbstverständlich muß das Keramikteil an den Stellen, an denen die Lötverbindung hergestellt werden soll, eine entsprechende, bekannte
209827/0793 ~5~
BAD ORIGINAL - ^
Metallisierung tragen. Sie kann z.B. aus der zum Stande der Technik gehörenden Molybdän - Mangan - Grundmetallieierung mit galvanisch aufgebrachter Nickelschicht bestehen« Sodann wird über das Metallteil noch ein weiterer Keramikring gestülpt, dessen lichte Weite.sehr eng dem Außendurchmesser des Metallteiles angepaßt sein muß. Als günstig hat sich auch hier eine Passung von 0,05 mm und besser erwiesen.
In Figur 1 ist eine derartige Anordnung dargestellt, die eigentliche Metall-Keramik-Verbundlconstruktion besteht aus dem Keramikring 1 und dem Metallteil 2. Längs der Berührungsfläche zwischen beiden soll die Lötung erfolgen. Der Hilfsring ist mit 3. bezeichnet und umfaßt das Metallteil 2, In ähnlicher Art und Weise besteht die Verbundkonstruktion der Figuf 2 aus dem Keramikring 4 und den beiden Metallteilen 5 und 6 mit den beiden Hilfsringen 7 und 8, wobei der Hilfsring 7 das Metallteil 5 und der Hilfsring 8 das Metallteil 6 eng umfassen. In Figur 3 besteht die eigentliche Keramik-Metall-Verbundkons truktion aus dem Ketfamikring 9 und den Metallteilen 10 und 11, die in diesem Falle von dem gemeinsamen Hilfsring 12 umgeben wepden.
Die vorstehend beschriebenen Anordnungen werden bei Zimmertemperatur ι zusammengesetzt und auf die Löttemperatur erhitzt.Dabei dehnen sich jeweils die Keramikteile, die zur eigentlichen Verbundkonstruktion gehören (1,4 und 9) und die Hi^fsringe (3,7,8 und 12) jeweils gleichmäßig aus, da sie aus denselben keramischen Werkstoffen bestehen. Die Metallteile »,5,6,10 und 11 haben, wie bereits erwähnt, einen gegenüber der Keramik erheblich größeren Ausdehnungskoeffizienten. WHeen die Hilf3ringe 3,7,8,12 nicht vorhanden, so wurden sich diese Metallteile beim Aufhei-
-6-
209827/0793
BAD ORIGINAL
zen auf die Löttemperatur so weit ausdehnen, daß bei der Löttemperatur ein erheblich zu großer Lötspalt vorhanden wäre, so daß eine zuverlässige und präzise Lötung nicht möglich wird. Durch die Hilfsringe 3,7, 8 und 12 werden die Metallteile an der thermischen Ausdehnung gehindert, wobei die durch die Behinderung entstehenden thermischen Spannungen abgebaut werden können, da diese Metallteile aus duktilen Werkstoffen bestehen.
Bei Erreichen der Löttemperatur steht also, zwischen den Keramikpartnern der Verbundkonstruktionen und r den Metallteilen ein für das Löten günstiger enger Lötspalt zur Verfugung. Das Lot kann in diesen Lötspalt hineingesaugt werden und beim Abkühlen in ! hinreichend dünner Schicht in dem Lötspalt erstarren. ,, Die beim Abkühlen von der Löttemperatur auf Zimmertemperatur entstehenden mechanischen Spannungen können wieder im Metallteil durch plastisches Fließen abgebaut werden und führen deshalb nicht zu Rissen.
Bs iet mit dem beschriebenen Verfahren möglich, hochvakuumdichte und mechanisch hochfeste Keramik und Metall-Verbundkonstruktionen mit außen umfassenden P Metallteilen aus Kupfer,Silber und Gold oder hochduktilen Legierungen zuverlässig herzustellen.
209827/0793
BAD ORIGINAL

Claims (4)

  1. Patentansprüche
    Verfahren zum Herstellen von Keramik—Metall Verbundkonstruktionen mit einem'die Keramik von außen umfassenden Metallteil,dadurch gekennzeichnet, daß das Metallteil aus einem hochduktilen Metall besteht und während des Aufheizens auf die Löttemperatur von außen durch einen Hilfsring aus der gleichen Keramik, mit der die Lötverbindung hergestellt werden soll, umgeben wird und zwischen dem Metallteil und diesem Hilfering ein Abstand von weniger als -0,05 mm eiligehalten wird.
  2. 2) Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet daß - das Metallteil aus Gold, Silber oder Kupfer besteht,
  3. 3} Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Metallteil aus einer hochduktilen Legierung besteht,
  4. 4) Verfahren nach Anspruch 1,2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Keramik aus Al O.-Oxidkescamik besteht.
    209827/0793
    Leerseite
DE19702061879 1970-12-16 1970-12-16 Verfahren zur Herstellung von Keramik-Met all-Verbundkonstruktionen Pending DE2061879A1 (de)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19702061879 DE2061879A1 (de) 1970-12-16 1970-12-16 Verfahren zur Herstellung von Keramik-Met all-Verbundkonstruktionen
GB5508171A GB1351317A (en) 1970-12-16 1971-11-26 Process for preparing composite ceramic-metal structures
US00207844A US3772766A (en) 1970-12-16 1971-12-14 Process for the production of ceramic-metal compound joints
FR7145286A FR2118702A5 (de) 1970-12-16 1971-12-16

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19702061879 DE2061879A1 (de) 1970-12-16 1970-12-16 Verfahren zur Herstellung von Keramik-Met all-Verbundkonstruktionen

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE2061879A1 true DE2061879A1 (de) 1972-06-29

Family

ID=5791129

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19702061879 Pending DE2061879A1 (de) 1970-12-16 1970-12-16 Verfahren zur Herstellung von Keramik-Met all-Verbundkonstruktionen

Country Status (4)

Country Link
US (1) US3772766A (de)
DE (1) DE2061879A1 (de)
FR (1) FR2118702A5 (de)
GB (1) GB1351317A (de)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9011620B2 (en) * 2009-09-11 2015-04-21 Technip Process Technology, Inc. Double transition joint for the joining of ceramics to metals
FR2951314A1 (fr) * 2009-10-12 2011-04-15 Schneider Electric Ind Sas Dispositif d'assemblage par brasage d'un capot d'extremite sur un corps cylindrique et ampoule a vide comportant un tel dispositif
CN105392758B (zh) * 2014-03-27 2019-04-09 日本碍子株式会社 陶瓷板与金属制圆筒部件的接合结构
CN112840461A (zh) 2019-08-23 2021-05-25 京东方科技集团股份有限公司 显示面板及其制造方法、显示装置

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1940870A (en) * 1930-09-15 1933-12-26 Fed Telegraph Co Metal-to-glass seal
US2396320A (en) * 1941-02-14 1946-03-12 Bbc Brown Boveri & Cie Joint between metal and ceramic bodies
US2434555A (en) * 1944-05-16 1948-01-13 Westinghouse Electric Corp Electrical insulator
US3171519A (en) * 1960-09-06 1965-03-02 Gen Electric Seal construction
SE303417B (de) * 1967-11-27 1968-08-26 Fagersta Bruks Ab
US3585710A (en) * 1968-12-30 1971-06-22 Pan American Petroleum Corp Method of attaching a carbide ring to a steel tube
US3691630A (en) * 1969-12-10 1972-09-19 James E Burgess Method for supporting a slow wave circuit via an array of dielectric posts

Also Published As

Publication number Publication date
GB1351317A (en) 1974-04-24
US3772766A (en) 1973-11-20
FR2118702A5 (de) 1972-07-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0145897B1 (de) Fügeverfahren
EP0155490B1 (de) Verfahren zum Verbinden von Teil-Werkstücken aus einer Superlegierung nach dem Diffusions-Fügeprocess
DE2722411C2 (de) Verfahren zum Abdichten zylindrischer Keramikkörper mit ringförmigen Metallelementen und deren Verwendung
DE102006041782B4 (de) Vakuumröhre und Verfahren zur Herstellung einer Vakuumröhre
DE3878009T2 (de) Verbundkoerper, aus teilen mit verschiedenen thermischen ausdehnungskoeffizienten und verfahren zum verbinden dieser teile.
DE2912861C2 (de) Verfahren zur Herstellung eines Sinterhartmetallkörpers
DE1671136A1 (de) Druckdichte Metall-Keramik-Verbindung
DE3618102A1 (de) Verfahren zum stoffschluessigen verbinden von keramik-werkstoffen und metall sowie von gleichartigen und verschiedenartigen keramik-werkstoffen miteinander
EP0123702A1 (de) Verfahren zum Verbinden von metallischen Bauelementen
DE4320910C1 (de) Verfahren zur Herstellung einer gasdichten Lötverbindung und Anwendung des Verfahrens bei der Herstellung von Bauelementen mit vakuumdichten Gehäuse
DE68925128T2 (de) Verbindung von Körpern aus Metall und Keramik
DE1471078C2 (de) Verfahren zum verbinden eines sinterhartmetalls mit einem metallischen koerper
DE102007035849A1 (de) Verfahren zum Lötverbinden eines ersten Metallteils mit einem zweiten Metallteil und so hergestelltes gelötetes Metallbauteil
EP0004063A1 (de) Verfahren zum Herstellen von plattierten Blechen
DE3042097A1 (de) Flanschdichtung
DE2061879A1 (de) Verfahren zur Herstellung von Keramik-Met all-Verbundkonstruktionen
DE2505830A1 (de) Verfahren zur vereinigung einer loetlegierung mit einem muttermetallteil
DE2145113C3 (de) Hartlot zum Verbinden zweier Körper und dessen Verwendungsform
DE1045305B (de) Verfahren zum Verbinden nichtmetallischer Stoffe, wie Keramik, mit Metallen und danach hergestellte elektrische Entladungsroehre
DE3013441A1 (de) Anodenteller fuer eine drehanoden-roentgenroehre und verfahren zu seiner herstellung
DE4140319A1 (de) Walze fuer eine anlage zum kontinuierlichen giessen mittels einer oder zweier walzen und ihr herstellungsverfahren
AT521546B1 (de) Verfahren zur Herstellung einer Verbindung zwischen zwei metallischen Bauteilen
DE1646989B1 (de) Vakuumdichte verbindung zwischen einem karamikrohr und einem scheibenfoermigen metallteil eines elektrischen ent ladungsgefaesses
DE968976C (de) Verfahren zum Herstellen eines loetbaren Metallueberzuges auf einem nichtmetallischen Koerper
DE1646989C (de) Vakuumdichte Verbindung zwischen einem Keramikrohr und einem scheibenförmigen Metallteil eines elektrischen Entladungsgefäßes