DE2051751A1 - Gerat zum Aufzeichnen von Informationen mittels eines Lichtstrahles - Google Patents

Description

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LASER-SCAN LIMITED, Cambridge/England Gerät zum Aufzeichnen von Informationen

mittels eines Liohtstrahles \

Die Erfindung betrifft ein Gerät, z.B. einen Hoohgeschwindigkeitsschreiber, zum Aufzeichnen von Informationen, beispielsweise Messwerten, auf einen Aufzeichnungsträger mittels eines Lichtstrahles.

Bei derartigen Geräten kann eine Vielzahl von Aufzeiohnungsteohniken verwendet werden. Neben der Verwendung üblioher fotoempfindlioher Aufzeichnungsträger, beispielsweise fotografischer Filme ist es möglich, fotoohromatisohes Material zum Erhalt temporärer Aufzeichnungen zu verwenden. Falls der Lichtstrahl ein Laser-Strahl ist, kann seine Intensität ausreichend hoch gewählt werden, umeine Aufzeichnung durch oberflächliches Abtragen einer Metallplatte oder eines Filmes oder duroh Deformation der Oberfläche ■ine·tharmoplaatlaohen Werkstoff«β zu erhalten.

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Bei allen bekannten Geräten wird eine Ablenkteohnik angewendet, bei der der Strahl über den Aufzeichnungsträger, beispielsweise mittels eines rotierenden Spiegels, abgelenkt wird, und zwar in Anpassung an ein vorgegebenes. Ablenkmuster. Dabei wird die Intensität des Strahles zur Erzeugung einer Markierung an ausgewählten Funkten des Strahlweges moduliert, wobei diese Markierungen gemeinsam das endgültig aufgezeichnete Bild bilden. Die Verwendung eines Ablenksystems erfordert es, dass die aufzuzeichnende Information zur Modulierung der Intensität des Strahles sn den gewünschten Stellen der Ablenkspur verarbeitet ist. Darüber hinaus ist dieses Aufzeichnungsverfahren von Haus aus unwirtschaftlich, da es die Aufzeichnung eines vollständigen Bildes bzw. einer vollständigen Spur erfordert, selbst wenn nur ein einzelner Punkt aufgezeichnet werden soll.

Nach der Erfindung wird nunmehr vorgesohlagen, ein Gerät der eingangs erwähnten Art zu verwenden, welches sich auszeichnet durch ein Ablenkspiegelpaar, durch eine digitale Steuereinrichtung für die synchrone Ablenkung der Spiegel zur aufeinanderfolgenden Ausrichtung des Lichtstrahles auf verschiedene Stellen des Aufzeichnungsträgers und dementspreohender Aufzeichnung, sowie duroh einen die Intensität dee Liohtstrahles in Abhängigkeit von Unterschieden seiner Bewegungsgeeohwindigkeit zum Ausgleioh von BeleuohtungBunterBchieden verändernden Modulator*

Vorzugsweise zeichnet der Strahl eine kontinuierliche Spur und verändert dabei der Inteneitätaodulator lediglich die Intensität

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in Abhängigkeit von der Bewegungegesohwindigkeit des Strahls entlang der auf dem Aufzeichnungsträger angebrachten Linie. Es ist jedoch auch möglioh, eine Eeihe von Punkten entlang der gewünschten Spur dadurch aufzuzeichnen, dass der Intensitätsmodulator verwendet wird, um den Strahl ein- und auszuschalten, wobei dann die Synchronisation der Betätigung des Schalters in Abhängigkeit von der Sohreibgeschwindigkeit gesteuert wird, um die gewünsohte Beliohtungskompeneation zu bewirken.

Es ist natürlich auch möglich, mittels des Intensitätsmodulators Veränderungen in der Beleuchtungsstärke entlang der Aufzeiohnungsspur zu bewirken, was zu gewünschten Veränderungen der Aufzeiohnungsstärke führt. Es kann auch erwünsoht sein, die Form oder Stärke der aufgezeichneten Spur unter Zuhilfenahme entsprechender Breitenmodulation des Lichtstrahls zu verändern, wobei eine parallellaufende Veränderung der Intensität zur Kompensation der Veränderung des Strahlbereiohs nötig werden kann.

Bei dem Gerät nach der Erfindung geht keine Zeit dadurch verloren, dass Teile des Aufzeiohnungsmediums,auf denen kein Teil der Spur aufgezeichnet werden soll,abgetastet werden müssen. Der Strahl wird direkt auf einen Punkt der Spur gelenkt und zeiohnet eine Spur, die direkt dem aufzuzeichnenden Huster entspricht.

Die Arbeitsgeschwindigkeit des Gerätes ist in einigen Fällen duroh die Trägheit der Ablenkspiegel begrenzt. Diese Schwierigkeit kann dadüroh übergangen werden, dass die Ablenkspiegel zur

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groben Einstellung der Lage verwendet werden und darüber hinaus die Feineinstellung mittels eines sekundären Ablenksystems bewirkt wird, welohes innerhalb eines begrenzten Bereichs mit höhe· rer Geschwindigkeit arbeiten kann. Das sekundäre Ablenksystem kann beispielsweise aus einem Paar von kleineren Spiegeln oder einer elektro-optischen Ablenkeinrichtung, wie sie beispielsweise in der britischen Patentschrift Nr. 1 012 430 beschrieben ist, bestehen. Das sekundäre System kann ηaoh einem Abtastsystem arbeiten, anstelle eine direkte Aufzeichnung des zu schreibenden Musters zu bewirken. Die Hauptablenkspiegel können dazu Verwendung finden, um den Strahl kontinuierlich entlang einem angenähert der gewünschten Spur entsprechenden Pfad zu bewegen, wobei das sekundäre Ablenksystem die erforderlichen Korrekturen vornimmt. Alternativ können die'Hauptablenkspiegel diskontinuierlich arbeiten und so den Strahl von Punkt zu Punkt bewegen, während das Sekundärsystem die Bewegung zwischen diesen Punkten steuert.

Das sekundäre Ablenksystem kann auch zur Aufzeichnung oder Abtastung einzelner Zeichen dienen JEn diesem Falle wird es angebracht sein, von der synohron arbeitenden digitalen Steuereinrichtung auf einen weiteren digitalen Steuerkreis umzuschalten, welcher die beiden Ablenkspiegel unabhängig und so rasoh wie möglioh in eine Stellung bewegt, welche duroh dem Steuerkreis zugeführte X- und Y-Koordinaten-Signale gegeben let. Als Alternative zur Verwendung eines sekundären Ablenksystems zur Aufzeichnung von Zeiohen ist es möglioh,eine in den Strahl einge-

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schaltete Maske zu verwenden, welche einen Satz von Zeichen trägt, aus denen das erforderliche Zeiohen ausgewählt wird· In diesem Fall kann der Lichtstrahl ron einer Lichtquelle hoher Intensität, beispielsweise einer Queoksliberbogenlampe, anstelle eines Lasers abgeleitet werden·

Jeder der Ablenkspiegel wird vorzugsweise mittels eines Interferometersystems gesteuert, welches die Bewegung des Spiegels durch Zählen ron Interferenzstreifen und Erzeugung entsprechender Rückkopplungsimpulse für einen Servomechanismus überwacht, welchem eine digitale Steuerinformation zur Veränderung der Stellung des Spiegels zugeführt wird· Ein derartiges System ist beschrieben in dem Artikel: "Sweepnik, A fast semi-automatio track-measuring machine¹* In "Nuclear Instrumente and Methodey 82 (1970), Seit· 54 - 60.

Weitere Merkmale, Einzelheiten und Vorteile der Erfindung ergeben sich auB der folgenden Beschreibung eines bevorzugten Ausführungebelspiels an Hand der Zeichnung. In dieser zeigt:

figur 1 ein Blookeohaltbild eine« Liohtstrahlaufaeiohnungegerätes naoh dir Erfindung?

Figur 2 den logieohen Schaltkreis dee Steuerkreisea für die Spiegel gemäes yig. l für einen der Ablenkepiegel und

figur 3 i« einzelnen dl· Sohaltung dee Antriebskreieee neon flg.2.

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Wie Pig.l erkennen lässt, weist das Gerät einen Laser 10 zur Erzeugung eines kohärenten Liohtstrahles auf, welcher auf einen Aufzeichnungsträger 11, der beispielsweise von einem fotograf.iaohen Film gebildet sein kann, fokussiert 1st. Die Aufzeichnung dee festzulegenden Musters auf dem Aufzeichnungsträger 11 wird durch Ablenkung des Strahls mittels eines primären Ablenkspiegelsystems 12 bewirkt. Das Spiegelsystem 12, welches im einzelnen in dem bereits erwähnten Artikel in "Nuolear Instrumente and Methode" und in der deutschen Patentanmeldung Nr. P 19 56 358.7 beschrieben ist, besteht aus getrennten Abltnkspiegeln für die X- und X-Koordinatenriohtung und einer Sammellinse. Jeder der Ablenkspiegel ist so montiert, dass er um eine Aohst frei verschwenkbar ist, wobei seine Bewegung durch die Zufuhr entsprechender Antriebsströme zu Antriebespulen erfolgt, welche an Spiegel montiert und eines Magnetfeld ausgesetzt sind«] Die Bewegungen Jedes Spiegels werden duroh ein getrenntes Interferometersystem des Michelson- Typs und einen Streifeneähler 13 überwaoht. Der Streifenzähler 13 erzeugt Eingangssignale für einen Spiegelateuerkreis 14 in der Rrm von Impulsserien, welche die Bewegungen der beiden Spiegel wiedergeben. Der Spiegeleteuerkreie 14 wirkt als Servomechanismus aur Lieferung der Antriebeströme für das Spiegelsystem 12 in Übereinstimmung mit einem digitalen Steuereingangeeignal aus einem Computer 15 und den Rüokkopplungsimpulsen aus dem Streifenzähler 13.

Die Intensität dee von Laser 10 kommenden Strahles wird mittels eines Inttneitätamodulatore 16, beiepielsweiae einer Pooket-Zel- -P

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le, in Übereinstimmung mit Signalen eines Intensitätssteuerkreieee 17 gesteuert. Der Kreis 17 empfängt ein Eingangssignal von dem Computer 15, welches die erforderliohe Stärke bzw. Diohte der Spur auf dem Aufzeichnungsträger 11 repräsentiert. Es empfängt ausserdem ein Eingangssignal vom Spiegelsteuerkreis 14» welches ein Mass für die Geschwindigkeit darstellt, mit der der Strahl über das Aufzeichnungsmedium 11 bewegt wird. Pur eine vorgegebene Stärke der Spur ist dabei zur Kompensation einer Erhöhung der Aufzeiohnungsgeschwindigkeit eine höhere Intensität erforderlich* um die gleiche Belichtung zu erhalten. Infolgedessen ist der Intensitätssteuerkreis 17 so ausgebildet, dass er die Intensität proportional zum Produkt der Stärke- und Gesohwindigkeitseingangssignale verändert. Die modulierte Intensität wird mittels eines lotoelektrischen Monitors 18 überwaoht, auf den ein Teil des Strahles über einen halbdurohlässigen Spiegel 19 gerichtet ist. Das Ausgangssignal des Monitors 18 dient als Hüokkopplungssignal für den Steuerkreis 17.

Es ist ein Sekundärablenksystem 20vorgeeehen, welohes kleine Ablenkungen eines in einer Ebene 22 von einer Linse 21 erzeugten Bildes hervorruft. Das in der Ebene 22 erzeugte Bild dient als Objekt für die Linse des Spiegelsystems 12 und wird seinerseits auf dem Aufzeichnungsträger 11 abgebildet«Das Sekundärablenksystem 20 ist so dargestellt, dass es von einem Sekundärablenkungssteuerkreis 23 gesteuert ist, dem die Sekundärablenkung betreffende Daten vom Computer 15 zugeführt werden. Beim vorliegenden Ausführungsbeispiel handelt es sioh um eine elektro-optisohe Einrichtung,

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welche sehr rasohe, geringfügige Ablenkungen der vom Spiegelsystem 12 aufgezeichneten Spur überlagert, um so den Fehler oder die Abweichung dieser Spur von der erwünschten Spur zu korrigieren.

Die vom Spiegelsteuersystem 14- unter dem Einfluss einer Vektorinformation aus dem Computer 15 hervorgerufene Spur besteht aus einer Serie von geraden Linien, welche die gewünsohte Kurve annähert, wobei die notwendigen Modifikationen zum Erhält der exakten Kurve durch das Sekundärablenksystem 20 hervorgerufen werden. Zur Gewährleistung der Genauigkeit der Aufzeichnung dient ein Fehlersignal vom Spiegelsteuerkreis 14 als zusätzliches Eingangssignal für den Sekundärablenkungssteuerkreis 23, wobei dieses Signal jede Abweichung der wirklichen, vom Primärablenksystem bestimmten Stellung von der von dem vom Computer kommenden Eingangssignal bestimmten Stellung widergibt. Ein Ausgangssignal des Sekundärablenkungsstetaerkreises 23, welohes zur Intensitätssteuerung 17 gelangt, gewährleistet die notwendigen Vei&derungen der Intensität zur Kompensation von Veränderungen der Geschwindigkeit, welohe duroh die Sekundärablenkung hervorgerufen werden.

In Figur 2 ist der logische Schaltkreis für einen der Primärablenkspiegel gezeigt. Es werden konventionelle Symbole verwendet, wqshalb es nioht notwendig ist, jede Einzelheit dieses Kreises zu beschreiben. DaB Steuereingangssignal vom C omputer besteht aus einer Serie von digital dargestellten Vektorkomponenten.

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Der die absolute Grosse einer Komponente wiedergebende digitale Wert wird in einen Pufferspeicher 24 eingegeben, von dem aus er einem Binärvervielfacher zugeführt wird, welcher ausserdem zur Bestimmung der Pulsrate bzw. der Pulsfolgefrequenz dienende Impulse von einem Zeitwerk empfängt, die ein Mass für die erforderliche Aufzeiohnungsgesohwindigkeit darstellen. Das die erforderliche Bewegungsgeschwindigkeit entlang einer Koordinatenrichtung bestimmende Ausgangssignal des Binärvervielfaohers 25 wird zwei UND-Gattern 26 und 27 zugeführt, von denen das eine oder das andere ausserdem ein Signal des Computers 15 entsprechend dem Vorzeichen der Vektorkomponente empfing. Als Polge davon ergibt sich ein Ausgangssignal an der AUP- oder AB-Leitung vom Gatter 26 bzw. 27, welches eine Bewegung in eine Richtung oder der anderen bewirkt. Das Ausgangssignal des Binärvervielfachers 25 wird auch auf einen Verkleinerer 28 gegeben, der ursprünglich mit dem Grössensignal vom Computer beaufscüagt ist. Der Verkleinerer 28 erzeugt ein Auslösesignal, wenn er sich nach Beendigung einer Bewegung in der O-Stellung befindet, um so die Eingabe einer anderen Vektoikomponente in den Puffer 24 zu bewirken.

Die Ausgangssignale von den AUP- und AB-Gattern 26 und 27 werden auf ODER-Gatter 29 bzw. 30 gegeben, denen ausserdem Signale von AB- und AUP-UND-Gattern 31 bzw. 32 zugeführt werden, welohe Impulsreihen vom Streifenzähler 13 entsprechend der augenbliokllohen Bewegung des Spiegels übertragen. Um eine Vermischung der Impulse vom Streifenzähler und der vom Binärvervielfacher 25 zu vermeiden, wird jeder Impuls geringfügig verzögert und mit

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Synotironisierimpulsen einer Synclironisieruhr synchronisiert, wobei die Impulse vom Streifenzähler gegenüber denen des Binärvervielfachers 25 phasenverschoben werden· Die SynchroniBierimpulse für die Impulse des Streifenzählers Bind so dargestellt, als ob sie einem Steuereingang 33 eines monostabilen Kreises 34 zugeführt wären. Bin Ausgangssignal des monoetabilen Kreises 34 steuert die Gatter 30 und 31 und dient als "GESCHWINDIGKEITS"-Signal für den Intensitätssteuerkreis 17 (Pig. I). Das andere Ausgangssignal dient zur Rückstellung eines kantengesteuerten D-Typ-Flip-Flops 35, über^s den die Impulse vom Streifenzähler dem Gatter 33 zugeführt werden.

Die Impulse von den ODER-Gattern 29 und 30 werden einem Fehlerkomparator 36 zugeführt, der einen Antriebskreis 37 steuert, welcher die Antriebsströme für das Spiegelsystem 12 abgibt. Die Impulse von dem Streifenzähler 13 sind denen des Binärvervielfachers 25 entgegengerichtet. Wenn der Spiegel sich genau mit der vom Binärvervielfacher 25 geforderten Rate bewegen, wechseln die Impulse der beiden Quellen ab. Die erforderliche Antriebsrichtung für den Spiegel wird von dem überwiegenden Signal im Fehleikomparator 36 bestimmt. Das Vorzeichen des Vektorkomponenteneingangssignales bestimmt, ob die AUF- oder die AB-Leitung Impulse führt. Wenn sich der Spiegel über die vom Binärvervielfacher 25 vorgeschriebene! Stellung hinausbewegt, führen die zusätzliohen, den Fehlerkomparator 36 vom Streifenzähler 13 erreiohenden Impulse zu einem Ausgangssignal an den Antriebskreis 37, welches eine Umkehrung des Spiegelantriebs bewirkt. Gleioh-

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^β XJL ^β

zeitig wird ein entsprechendes Geschwindigkeitssignal auf den Antriebskreis 37 gegeben, welches einen grossen Antriebsstrom erzeugt, so daes die Wegbewegung dee Spiegels von der vorgeschriebenen Position rasch gedämpft oder unterbrochen wird. Das relative bzw. Gesohwindigkeitssignal, welohes die tatsächliche Geschwindigkeit des Spiegels gegenüber der vorgeschriebenen Geschwindigkeit angibt, wird vom Ausgangssignal des ODER-Gatters 29 bzw. 30 abgeleitet, welches über ein Gatter 38 oder 39 an den EinBtellanschluss eines kantengesteuerten Flip-Flop-Kreises 40 bzw. 41 des D-Typs und andererseits direkt zum Zeitanschluss des Flip-Flop-Kreises 41 bzw. 40 gelangt. Die Ausgangssignale der beiden Flip-Flop-Kreise 40 und 41, welche an der positiven, rüokwärtigen Kante der Eingangsimpulse getriggert werden, sind so mit Gattern 42 und 43 und einem weiteren Flip-Flop 44 verkoppelt, dass ein relatives Geschwindigkeitssignal an einer der mit dem Antriebskreis verbundenen Leitungen45 oder 46 immer dann erzeugt wird, wenn zwei aufeinander folgende Impulse vom Streifenzähler oder dem Binärvervielfacher empfangen werden, ohne dass zwischen ^ diesen beiden Impulsen ein Impuls der jeweils anderen Quelle ankommt. Das relative Geschwindigkeitssignal bewirkt dann, wenn es das gleiche Torzeiohen wie das Signal vom Fehlerkomparator 36 hat, dass der Antriebskreis einen hohen Antriebsstrom an das Spiegelsystem abgibt und so die Wegbewegung des Spiegels von der vom Binärvervielfaoher vorgegebenen Stellung verlangsamt wird. Nach Umkehr der Relativbewegung, d.h. wenn sich der zwar noch vor der vorgeschriebenen Position befindliche Spiegel zur vorgesohriebenen Position zurüokbewegt, wird, der Antriebsstrom auf

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einen niedrigeren Wert «»geschaltet. Ir behält jedoch die gleiche Richtung, da der Fehlerlcoaparetor weiter ein Toreilen des Spiegele gegenüber der vorgeschriebenen Position anzeigt.

Der in Pig.3 dargestellte Antriebskreis 37 weist Transistoren und 48 auf, deren Emitter gemeinsam über einen veränderlichen Widerstand 49 an Erde gelegt sind. Die Basen der Transistoren

47 und 48 sind über entsprechende Widerstände 50 und 51 mit einer negativen Leitung und ausserdem über Diodenpaare 52 bzw. 53 und Widerstände 54 bzw. 55 ffiit einer positiven Leitung verbunden. Die vom Fehlerkomparator 36 kommenden Signale werden dem Verbindungspunkt zwisohen Dioden 52 und dem Widerstand 54 über eine Diode 56 oder dem Verbindungspunkt zwischen den Dioden 53 und dem Widerstand 55 über eine Diode 57 zugeführt,und dienen dazu, einen der Transistoren 47 bzw. 48 zur Versorgung des Spiegelsystems mit einem Strom entsprechender Richtung auszuwählen. Darüber hinaus führen die relativen Geschwindigkeitssignale zur Auswahl einer oder dir anderen von zwei Diodengruppen 58 bzw. Infolgedessen wird, falls die wirkliche Bewegungsrichtung von der vom Binärvervielfacher vorgeschriebenen Stellung wegführt, ein verstärkter Strom den Antriebsspulen über den Transistor 47 oder

48 aufgrund einer Veränderung der Basisspannung in Abhängigkeit von den Dioden 58 oder 59 zugeführt. Vorzugsweise hat jede der Diodengruppen 58, 59 drei Dioden, die jeweils mit den Dioden und 57 übereinstimmen.

Der Kreis gemäss Fig. 3 ist so eingerichtet, dass zu jedem vor-

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gegebenen Zeitpunkt durch die Antriebsspulen nur ein Strom in einer Richtung fliessen kann. Zwei Leitungen 60 und 61, die zu den Antriebsspulen führen, sind entsprechende Transistoren 62 und 63 zugeordnet, in·deren Emitterkreisen Dioden 64 bzw. 65 liegen. Wenn beispielsweise der Transistor 47 leitend ist und Strom in einem Kreis von der Erde duroh den Transistor 47, die Diode 64 und die Leitung 60 zur Antriebsspule und zurüok über die Leitung 61 und den Transistor 63 zum negativen Spannungsanschluss fliesst, so ist der Transistor 62 abgeschaltet, um einen ' Stromfluss zwischen der Leitung 60 und dem negativen Anschluss zu verhindern. Die Diode 65 sperrt einen Rückstrom zum Transistor 48. Wird die Stromriohtung duroh Auswahl des Transistors 48 umgekehrt, so ist der Transistor 62 leitend und der Transistor sperrt.

Bei einer geänderten Ausführungsform des beschriebenen Gerätes empfängt der Sekundärablenkungssteuerkreis nur ein Pehlersignal vom Pehlerkomparator des Spiegelsteuerkreises, welches die Abwei- " ohung der von den Spiegeln eingenommenen Stellung von der Stellung wiedergibt, welche durch eine Positionssteuerinformation gefordert wird, die vom Computer an den Spiegelsteuerkreis abgegeben wurde»

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Claims (1)

1. Patentansprüche

   l.y Gerät zum Aufzeichnen von Informationen, z.B. Messwerten, auf einen Aufzeichnungsträger mittels eines Lichtstrahles, gekennzeichnet,duroh ein Ablenkspiegelpaar, duroh eine digitale Steuereinrichtung für synohrone Ablenkung der Spiegel zur aufeinanderfolgenden Ausrichtung des Llohtatrahles auf verschiedene Stellen des Aufzeichnungsträgers und dementspreohender Aufzeichnung sowie durch einen die Intensität des Lichtstrahles in Abhängigkeit von Unterschieden seiner Bewegungsgeschwindigkeit zum Ausgleich von Beleuohtungsunterschieden verändernden Modulator.

   2. Gerät nach Anspruoh 1, dadurch gekennzeichnet, dass die digitale Steuereinrichtung eine kontinuierliche Bewegung des Ablenkspiegels bewirkt und der Intensitätsmodulator auf ein der Bewegungsgesohwindigkeit des Lichtstrahles entsprechendes Signal anspricht.

   5. Gerät nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, dass jeder Ablenkspiegel eine Einrichtung zur Erzeugung eines poeitionsabhängigen Hüokkopplungssignals in Form einer Positionsimpulsfolge und die digitale Steuereinrichtung für jeden Spiegel eine Einrichtung zur Erzeugung einer Folge von Steuer-

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   impulsen mit einer der erforderlichen Bewegungsgeschwindigkeit des Liohtetrahles in der vom jeweiligen Spiegel beeinflussten Koordinatenrichtung proportionalen Pulsrate aufweist, wobei beide Impulsfolgen entgegengesetzt geriohtet einem Fehlerkompensator zugeführt werden, welcher die erforderliche Bewegungsrichtung der Spiegel bestimmt.

   4. Gerät nach Anspruch 1 bis 3» dadurch gekennzeichnet, daas die Einrichtung zur Erzeugung der Impulsfolge einen Pufferspei- ^ eher zur Aufnahme des Wertes einer Vektorkomponente einer gewünschten Bewegung so wie einen Binärvervielfacher aufweist, dem zur Pulsratenermittlung Impulse von einem den BinärvervieIfachern für beide Spiegel gemeinsamen Zeitglied und das Ausgangssignal des Pufferspeichers zugeführt werden.

   5. Gerät nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, dass die beiden Impulsfolgen zur Erzeugung einer vorbestimmten Phasendifferenz synchronisiert sind. λ

   6. Gerät nach einem oder mehreren der Ansprüche 3 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die digitale Steuereinrichtung Mittel zum Vergleichen der beiden Impulsfolgen und entsprechender Bestimmung der Bewegungsrichtung des Spiegels relativ zur über Steuerimpulse vorgeschriebenen Bewegung aufweist, die derart geschaltet sind, dass die Antriebskraft für den Spiegel vermindert wird, wenn sich dieser in Richtung auf die ursprünglioh vorgeschriebene; Position bewegt.

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   7. Gerät nach einem oder mehreren der Amprüohe 3 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass zur Erzeugung des positionsabhängigen Rückkopplungssignales ein Michelson-Interferometer dient, von dem ein Glied sich mit dem Spiegel bewegt, sowie ein Streifenzähler zur Bestimmung der von der Poeitionsänderung des Spiegels herrührenden Bewegung de? •Interferenzstreifen.

   8. Gerät nach einem oder mehreren der Ansprüche 3 bis Ί, dadurch gekennzeichnet, dass ,jeder Spiegel einen elektromagnetischen Antrieb mit einer Antriebsspule aufweist, die mit einem einen Antriebsstrom für die Antriebsspule abgebenden Antriebskreis verbunden ist, der vom Fehlerkomparator steuerbar ist.

   9. Gerät nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche gekennzeichnet,durch ein Sekundärabieriksystem zur Peinsteuerung der Position des Liohtstrahles.

   10. Gerät nach Anspruch 9t dadurch gekennzeichnet, dass der Lichtstrahl mittels der Ablenkspiegel kontinuierlich entlang eines etwa der gewünschten Spur entsprechenden Weges beweglioh ist und das Sekundärablenksystem zur Überlagerung der erforderliohen Korrekturen dient.

   11. Gerät nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, dass das Sekundärablenksystem eine elektro-optieohe Einrichtung

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   mit einer gegenüber der synchron arbeitenden, digitalen Steu ereinrichtung für die Spiegel höheren Arbeitsgeschwindigkeit aufweist.

   12. Gerät nach einem der Ansprüohe 9 bis 11, daduroh gekennzeich net, dass das Sekundärablenksystem von einem ßteuerkreis gesteuert ist, der Sekundärsteuerdaten zusammen mit einem Fehlersignal von der digitalen Steuereinrichtung der Spiegel
   empfängt.

   13. Gerät nach Anspruch 8, daduroh gekennzeichnet, dass die synchron arbeitende, digitale Steuereinrichtung vergleichende
   Elemente aufweist, denen die beiden Impulsfolgen zugeführt
   werden und die mit dem Antriebskreis derart verkoppelt sind, dass sie an diesen relative Gesohwindigkeitssignale abgeben, welche ein Mass für die Bewegung des Spiegels relativ zu der über die Steuerimpulse vorgeschriebenen Bewegung darstellen, wobei die relativen Geschwindigkeitssignale zu einer Verminderung des Antriebsstromes führen, falls die Abweichung des Spiegels von der vorgegebenen Bewegungsspur abnimmt.

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