DE2033097B2

DE2033097B2 - Halterung für einen bei Festkörperlasern zu verwendenden justierbaren Spiegel

Info

Publication number: DE2033097B2
Application number: DE19702033097
Authority: DE
Inventors: Kurt Habenschaden; Gerhard Maier
Original assignee: Siemens AG
Current assignee: Siemens AG
Priority date: 1970-07-03
Filing date: 1970-07-03
Publication date: 1974-09-12
Also published as: DE2033097C3; DE2033097A1

Description

6. Halterung nach einsm der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnei, daß der Spiegel ein mit seiner Hypotheiiusenfläche gegen die Stirnseite des stabförmigen aktiven Materials (1; 20) ausgerichtetes 90°-Prisma (11; 24) ist

7. Halterung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Innere der rohrförmigen Hülse (2,21,40) gegen die Umgebung abgedichtet ist

Die Erfindung bezieht sich auf eine Halterung für einen bei Festkörperlasern zu verwendenden justierbaren Spiegel mit einer den Spiegel haltenden Fassung, die drehbar innerhalb einer mit einer Stirnseite des stabförmigen aktiven Materials fest verbundenen rohrförmigen Hülse angeordnet ist und mit einem federnden Element, das eine spielfreie Einstellung der Fassung gewährleistet

Eine derartige Halterung für einen bei Festkörperlasern zu verwendenden justierbaren Spiegel ist aus der DT-OS 1 564 631 bekannt Bei dieser Halterung ist der in einer mit dem stabförmigen aktiven Material fest verbundenen rohrförmigen Hülse angeordnete, gegebenenfalls in einer speziellen Fassung eingesetzte Spiegel mittels in die rohrförmige HüLse einschraubbarer Befestigungselemente, zwischen denen und dem Spiegel Führungsteile und Dichtungsringe angeordnet sind, um d'e optische Achse drehbar. Der Winkel zwischen dem Spiegel und der optischen Achse kann nicht justiert werdea

Bei einem System zur Einstellung der Lage des Spiegels eines Lasers nach der FR-PS 1 344 450 ist der Spiegel in eine Fassung eingesetzt, deren äußerer Rand teilweise als Kugelzone ausgebildet ist, und die in einem Lager in Form einer Kugelzone gehaltert ist. Durch Justierschrauben kann die Fassung mit dem Spiegel um den Kugelmittelpunkt gedreht werden.

Aus dem DT-Gbm 6 936 340 schließlich ist eine Justiereinrichtung für Spiegel, ^:nsbesondere für Laserspiegel bekannt, die aus einer rohrförmigen Hülse und einer darin angeordneten den Spiegel tragenden Fassung besteht Eine Stirnfläche der Fassung ist als Kugelfläche ausgebildet und liegt auf einer ringförmigen Kante in der Hülse auf. Die Umfangsfläche der Fassung ist kegelförmig. Die Justierung erfolgt durch Justierschrauben, welche an der kegelförmigen Fläche angreifen und die Fassung gegen ein federndes Element drükken.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Halterung der eingangs genannten Art dahingehend weiterzuentwickeln, daß der Winkel zwischen dem Spiegel und der optischen Achse eingestellt werden kann.

Diese Aufgabe wird gemäß einer ersten Ausführungsform der Erfindung dadurch gelöst, daß die Fassung ein Rohr mit Flansch ist, welches mit der kugelzo-

nenartig ausgebildeten äußeren Begrenzungsfläche des Rohrflansches auf dem ganzen Umfang an der Innenwand der rohrförmigen Hülse anliegt, daß femer die Stirnseite des Rohrflansches an Schrauben anliegt, die in einer mit der rohrförmigen HDlse fest verbundenen Druckplatte angebracht sind und daß der Rohrflansch mit seiner Stirnseite unter dem Druck eines Federelementes gegen die Schrauben gepreßt ist

Bei einer zweiten Ausführungsform der Erfindung weist die rohrförmige Hülse auf selten des stabförmigen aktiven Materials eine innere kegelförmig gestaltete Verengung auf. Die den Spiegel haltende Fassung ist als Rohr mit Stirnflächen in Form von Kugelzonen ausgebildet und liegt mit ihrer einen Stirnfläche auf der Fläche der kegelförmigen Verengung auf. Die andere Stirnfläche ist von einer Kugelkalottenscheibe flächenbündig abgedeckt, und die Kugelkalottenscheibe ist über ein federndes Element, das zwischen ihr und einer init der rohrförmigen Hülse fest verbundenen Druckplatte angeordnet ist, auf die um den iCugelmittelpunkt der Kugelzonenflächen schwenkbar angeordnete Fassung gepreßt

Bei dieser zweiten Ausführungsform ist es vorteilhaft, daß die Druckplatte und die Kugelkalottenscheibe lochscheibenartig ausgebildet sind, und daß die Fassung eine durch die Löcher erreichbare Bohrung besitzt, in die zum Zwecke der Justierung ein Justierstift einsteckbar ist

Es ist bei beiden Ausführungsformen ferner vorteilhaft, die Druckplatte in der rohrförmigen Hülse in Achsrichtung verschiebbar in einem Gewinde zu führen.

Bei einer dritten Ausführungsform der Erfindung weist die Fassung an ihrem einen Ende einen Flansch mit kugelzonenartig ausgebildeter äußerer Begrenzungsfläche auf, die auf dem ganzen Umfang an der Innenwand der rohrförmigen Hülse anliegt. Die Fassung liegt ferner an diesem Ende mit ihrer Stirnseite über ein federndes Element an einer mit der rohrförmigen Hülse fest verbundenen Rohrbuchse an. Ferner weist die Fassung am anderen Ende eine äußere kegelförmige Begrenzungsfläche auf, an der drei am Umfang der rohrförmigen Hülse radial angebrachte Justierschrauben mit ihren freien Enden angreifen.

Vorteilhafterweise wird anstelle eines mit einer reflektierenden Schicht versehenen festen Körpers ein 90°-Prisma verwendet, das in der Fassung mit einer Hypothenusenfläche gegen die betreffende Stirnseite des aktiven Materials ausgerichtet ist

Bei allen Ausführungsformen ist es weiterhin vorteilhaft, daß das Innere der rohrförmigen Hülse gegen die Umgebung abgedichtet ist

An Hand der in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispiele soll die Erfindung im folgenden noch näher erläutert werden. In der Zeichnung bedeutet

F i g. 1 eine erste Ausführungsform der Halterung nach der Erfindung,

F i g. 2 eine zweite Ausführungsform der Halterung nach der Erfindung,

Fig.3 eine dritte Ausführungsform der Halterung nach der Erfindung.

Bei der Ausführungsform nach Fi g. 1 ist auf dem stabfönnigen aktiven Material 1 die rohrförmige Hülse 2 befestigt Die Deckelklappe 3, die die rohrförmige Hülse 2 am freien Ende verschließt, ist durch die Blattfedern 4 gegen das das Kühlmittel leitende Ronr 5 abgestützt Das Deckelunterteil 6 ist durch die Schraube 7 mit der Deckelklappe 3 verspannt Der zwischen den

ίο beiden Teilen angeordnete Gummi 8 ist dadurch gegen die Innenwand der rohrförmigen Hülse 2 gepreßt und dichtet gegen den Eintritt des Kühlmittels ab. Die in Richtung auf das aktive Material 1 vor dem Deckelunterteil 6 im Innern der rohrförmigen Hülse 2 angeord-

is nete Druckplatte 9 ist durch ein Gewinde 10 mit der rohrförmigen Hülse 2 verbunden. Das den Spiegel darstellende Prisma 11 ist in dem Rohr mit Flansch 12 angeordnet Die flanschseitige Stirnfläche des Rohres i2 liegt an den drei Madenschrauben 13 an, welche in der

ao Druckplatte 9 geführt sind. Die Schraubenfeder 14 ist im Innern der rohrförmigen Hülse 2 zwischen deren dem aktiven Material 1 zugewandten Ende und dem Rohr mit Flansch 12 angeordnet Die äußere Begrenzungsfläche des Rohrflansches ist eine Kugelzone der

as gestrichelt gezeichneten Kugel 15. Die äußere Fläche des Flansches liegt in einer Ausdrehung der rohrförmigen Hülse 2, so daß ein Bewegen des Rohres mit Flansch 12 zur Justierung des Prismas 11 möglich ist
Bei der zweiten Ausführungsform der Halterung nach F i g. 2 ist auf dem aktiven Material 20 die rohrförmige Hülse 21 befestigt, die auf der dem aktiven Material 20 zugewandten Seite innen eine kegelförmige Verengung 22 besitzt Auf dieser Verengung liegt die eine Kugelfläche der Fassung 23, in welcher das Prisma 24 befestigt ist, auf. Auf der anderen Kugelfläche der Fassung 23 liegt die Kugelkalottenscheibe 31 flächenbündig auf. Radial wird die Kugelkalottenscheibe 31 in einer Paßbohrung 25 der rohrförmigen Hülse 21 geführt Zwischen der Kugelkalottenscheibe 31 und der Druckplatte 26 ist die Tellerfeder 27 angeordnet Die Druckplatte 26 ist mit einem Gewinde in der rohrförmigen Hülse 21 geführt In de^r Fassung 23 ist eine Buchse 28 eingelassen, in die ein Justierstift 29 einsteckbar ist Die rohrförmige Hülse 21 ist mit dem Deckel 30 verschließbar.

Bei der dritten Ausführungsform der Halterung nach F i g. 3 ist die rohrförmige Hülse 40 mit dem aktiven Material verbunden. Sie enthält eine Fassung 41, an der der Spiegel 42 befestigt ist Die Fassung 41, die auf der dem aktiven Material zugewandten, kegelförmig angeschrägten Seite auf drei radial am Umfang der rohrförmigen Hülse 40 angeordneten Justierschrauben 43 aufliegt, stützt sich auf der anderen Seite über einen Gummiring 48 an der Rohrbuchse 44 ab, die ihrerseits über ein ringschraubenartiges Element 45 in der rohrförmigen Hülse 40 gehalten wird. Die Süßere Fläche des Flansches der Fassung 41 ist eine Kugeizone der gestrichelt gezeichneten Kugel 46 und ist gleitbar in der Paßbohrung 47 der rohrförmigen Hülse 40 angeordnet

Hierzu 2 Blatt Zeichnungen

Claims

Patentansprüche:

1. Halterung für einen bei Festkörperlasern zu verwendenden justierbaren Spiegel mit einer den S Spiegel haltenden Fassung, die drehbar innerhalb einer mit einer Stirnseite des stabförmigen aktiven Materials fest verbundenen rohrförmigen Hülse angeordnet ist und mit einem federnden Element, das eine spielfreie Einstellung der Fassung gewährlei- «ici, dadurch gekennzeichnet, daß die Fassung ein Rohr mit Flansch (12) ist welches mit der kugelzonenartig ausgebildeten äußeren Begrenzungsfläche des Rohrflansches auf dem ganzen Umfang an der Innenwand der rohrförmigen Hülse (2) anliegt, daß ferner die Stirnseite des Rohrflansches an Schrauben (13) anliegt, die in einer mit der rohrförmigen Hülse (2) fest verbundenen Dnsckplatte (9) angebracht sind, und daß der Rohrflansch mit seiner Stirnseite unter dem Druck eines Federelementes (14) gegen die Schrauben (13) gepreßt ist (Fig.1).

2. Halterung für einen bei Festkörperlasern zu verwendenden justierbaren Spiegel mit einer den Spiegel haltenden Fassung, die drehbar innerhalb as einer mit einer Stirnseite des stabförmigen aktiven Materials fest verbundenen rohrförmigen Hülse angeordnet ist und mit einem federnden Element, das eine spielfreie Einstellung der Fassung gewährleistet, dadurch gekennzeichnet, daß die rohrförmige Hülse (21) auf seiten des stabförmigen aktiven Materials (20) eine innere kegelförmig gestaltete Verengung (22) aufweist, daß die den Spiegel haltende Fassung (23) als Rohr mit Stirnflächen in Form von Kugeizonen ausgebildet ist und daß die Fassung (23) mit ihrer einen Stirnfläche auf der Fläche der kegelförmigen Verengung (22) aufliegt daß die andere Stirnfläche von einer Kugelkalottenscheibe (31) flächenbündig abgedeckt ist und daß die Kugelkalottenscheibe (31) Über ein fedevndes Element *o (27), das zwischen ihr und einer mit der rohrförmigen Hülse (21) fest verbundenen Druckplatte (26) angeordnet ist, auf die um den Kugelmittelpunkt der Kugelzonenflächen schwenkbar angeordnete Fassung (23) gepreßt ist (F i g. 2\

3. Halterung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Druckplatte (26) und die Kugelkalottenscheibe (31) lochscheibenartig ausgebildet sind und daß die Fassung (23) eine durch die Löcher erreichbare Bohrung aufweist, in die zum Zwecke der Justierung ein Justierstift (29) einsteckbar ist

4. Halterung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Druckplatte (9 bzw. 26) in der rohrförmigen Hülse (2 bzw. 21) in Achsrichtung verschiebbar in einem Gewinde geführt ist

5. Halterung für einen bei Festkörperlasern zu verwendenden justierbaren Spiegel mit einer den Spiegel haltenden Fassung, die drehbar innerhalb einer mit einer Stirnseite des stabförmigen aktiven Materials fest verbundenen rohrförmigen Hülse angeordnet ist und mit einem federnden Element, das eine spielfreie Einstellung der Fassung gewährleistet, dadurch gekennzeichnet, daß die Fassung (41) an ihrem einen Ende einen Flansch mit kugeizonenartig ausgebildeter äußerer Begrenzungsfläche aufweist, die auf dem ganzen Umfang an der Innenwand der rohrförmigen Hülse (40) anliegt, daß die Fassung (41) ferner an diesem Ende mit ütirer Stirn seite über ein federndes Element (48) an einer mit der rohrförmigen Hülse (40) fest verbundenen Rohrbuchse (44) anliegt, und daß die Fassung (41) am anderen Ende eine äußere kegelförmige Begrenzungsfläche aufweist, an der drei am Umfang der rohrförmigen Hülse radial angebrachte Justierschrauben (43) mit ihren freien Enden angreifen