DE202014007117U1 - Klauenpumpe - Google Patents

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Abstract

Klauenpumpe, mit zwei jeweils mehrere Rotoren (10, 12) tragenden Rotorwellen (14), wobei jeder Rotor (10, 12) zwei Klauen (36) und zwei Klauenausnehmungen (38) aufweist, mehrere jeweils eine Pumpstufe ausbildende Rotorpaare (10, 12) vorgesehen sind, wobei je Pumpstufe die Klauen (36) des einen Rotors (10, 12) jeweils mit einer Klauenausnehmung (38) des anderen Rotors (12, 10) zusammenwirken und einem Pumpengehäuse (16, 18), das je Pumpstufe mindestens eine Pumpkammer (20, 22) ausbildet, dadurch gekennzeichnet, dass eine Trennebene (24) des Pumpengehäuses (16, 18) in Längsrichtung der Rotorwellen (14) verläuft.

Description

  • Die Erfindung betrifft eine Klauenpumpe mit mehreren Pumpstufen.
  • Eine derartige Klauenpumpe ist beispielsweise in US 5/049,050 und US 8/308,458 beschrieben. Mehrstufige Klauenpumpen weisen zwei Rotorwellen auf, auf denen Rotoren mit Klauenprofilen ausgebildet sind. Jedes Rotorprofil weist somit ein oder zwei Klauen und dazugehörige Klauenausnehmungen auf. Das Fördern des Mediums erfolgt durch zwei zusammenwirkende Rotoren, die in entgegengesetzte Richtungen gedreht werden, wobei die Klauen des einen Rotors in die Ausnehmung des anderen Rotors eingreifen. Bei mehrstufigen Klauenpumpen erfolgt je Stufe bezogen auf die Längsrichtung der Rotorwellen ein radiales Ansaugen und radiales Ausstoßen des Fluids. Innerhalb eines die Rotorwellen und Rotoren der Klauenpumpe umgehenden Pumpengehäuses sind entsprechende Kanäle angeordnet, um das radial aus einer Pumpenstufe ausgestoßene Fluid umzulenken, sodass es wiederum radial von der nächsten Pumpenstufe angesaugt wird. Die einzelnen Klauenrotoren werden auf einer Welle, beispielsweise durch Aufpressen, angeordnet. Die Wellen sind in einem mehrteiligen Gehäuse angeordnet, und in diesem Gehäuse über ölgeschmierte Wälzlager gelagert. Zur Synchronisation der beiden Wellen ist auf jeder Welle ein Zahnrad vorgesehen. Auf Grund der Mehrteiligkeit des Gehäuses und des erforderlichen Verbindens der einzelnen Rotorelemente mit den Wellen, müssen die zahlreichen auftretenden Toleranzen ausgeglichen werden. Die Montage erfolgt daher stufenweise. So werden in einem ersten Gehäuseteil die Rotorwellen mit einer ersten Pumpstufe, das heißt den beiden entsprechenden Rotoren angeordnet. Anschließend wird auf die beiden Rotorwellen eine Zwischenwand aufgesteckt, um die erste Pumpstufe auszubilden. Gegebenenfalls müssen hierbei entsprechende Scheiben oder Distanzstücke vorgesehen werden, um Toleranzen auszugleichen. Zum Ausbilden der nächsten Pumpstufe werden die beiden nächsten Rotoren auf die Wellen und anschließend das nächsten Gehäuseteil aufgesteckt. Auch hierbei sind wieder entsprechende Bauteile zum Toleranzausgleich erforderlich. Der Aufbau einer Klauenpumpe mit mehreren Stufen ist daher sehr aufwendig. Desweiteren ist eine exakte Synchronisation zwischen den beiden Wellen erforderlich. Da dies über ein mechanisches Getriebe erfolgt, ist eine Beölung des Getriebes notwendig. Dies hat ferner zur Folge, dass Abdichtungen zwischen dem Getriebe bzw. dem ölgeschmierten Wälzlager und den Pumpstufen erforderlich sind. Dies erhöht den Herstellungs- und Montageaufwand weiter.
  • Aufgabe der Erfindung ist es eine Klauenpumpe mit insbesondere mehreren Pumpstufen zu schaffen, deren Herstellungs- und Montagekosten deutlich verringert sind.
  • Die Lösung der Aufgabe erfolgt erfindungsgemäß durch die Merkmale des Anspruchs 1.
  • Die erfindungsgemäße Klauenpumpe weist zwei Rotorwellen auf, die jeweils mehrere Rotoren tragen. Die beiden Rotorwellen sind parallel zueinander in einem Pumpengehäuse angeordnet. Durch das Pumpengehäuse ist je Pumpstufe, eine Pumpkammer, in der die Rotoren angeordnet sind, ausgebildet. Jeder Rotor weist in der bevorzugten Ausführungsform zwei Klauen sowie zwei Klauenausnehmungen auf. Zur Förderung von Fluid wirkt eine Klaue des einen Rotors jeweils mit einer Ausnehmung des anderen Rotors zusammen. Erfindungsgemäß ist das Pumpengehäuse derart ausgebildet, dass eine Trennebene des Pumpengehäuses in Längsrichtung der Rotorwellen verläuft. Insbesondere liegt die Trennebene des Pumpengehäuses in einer Längs-Mittelebene der beiden Wellen. Dies hat den Vorteil, dass die beiden Wellen mit den entsprechend vorgesehenen Rotoren in ein Gehäuseteil eingelegt werden können. Die Montage erfolgt somit nicht mehr stufenweise, in der Form, dass eine Pumpstufe nach der anderen montiert wird. Vorzugsweise ist das Pumpengehäuse zweiteilig ausgebildet, sodass die Rotorwellen zusammen mit den Rotoren als komplettes Bauelement in das erste Pumpengehäuse eingelegt werden können, und sodann das Pumpengehäuse durch Aufsetzen des zweiten Teils des Pumpengehäuses geschlossen wird. Hierdurch ist die Montage der Klauenpumpe erheblich vereinfacht.
  • Vorzugsweise sind die zwischen benachbarten Pumpkammern angeordneten Zwischenwände zweiteilig ausgebildet. Die Trennebene der Zwischenwände ist in einer Ebene angeordnet, die sich in Längsrichtung der Rotorwelle erstreckt. Insbesondere fällt die Trennebene an der mindestens einen Zwischenwand mit der Trennebene des Pumpengehäuses zusammen.
  • Die Zwischenwände und gegebenenfalls auch vorgesehene Seitenwände einer Pumpkammer der ersten und/oder der letzen Pumpstufe weisen vorzugsweise in Richtung der Trennebene offene Ausnehmungen auf. Die Ausnehmungen dienen zur Aufnahme bzw. zum Hindurchführen der Rotorwellen in montiertem Zustand. Besonders bevorzugt ist es, dass es sich bei diesen Ausnehmungen um im Wesentlichen halbkreisförmige Ausnehmungen handelt, sodass die Rotorwelle auf einfache Weise in die Ausnehmungen eingelegt werden kann. Desweiteren ist es bevorzugt, dass die mindestens eine Zwischenwand, die mit jeweils einem der beiden Gehäuseteile fest verbunden ist, insbesondere einstückig ausgebildet ist. Insbesondere können die beiden Gehäuseteile sowie die Zwischenwände oder gegebenenfalls auch die die erste und/oder letzte Pumpstufe aufnehmende Pumpkammer ausbildenden Seitenwände einstückig ausgebildet sein. Hierbei kann es sich beispielsweise um ein einstückiges Gussteil handeln.
  • Bei einer weiteren bevorzugten Ausführungsform sind in den Zwischenwänden jeweils benachbarter Pumpstufen Verbindungskanäle vorgesehen, die die benachbarten Pumpstufen miteinander verbinden. Das Vorsehen von derartigen Verbindungskanälen in den Zwischenwänden stellt eine selbständige, von der Ausgestaltung des insbesondere zweiteilig ausgebildeten Pumpengehäuses, unabhängige Erfindung dar. Die Anordnung der Verbindungskanäle in den Zwischenwänden hat insbesondere den Vorteil, dass die Herstellung derartiger Verbindungskanäle deutlich einfacher ist, als in dem die Pumpstufen umgebenden Gehäuse. Im Unterschied zum Stand der Technik verlaufen die Verbindungskanäle zwischen den Pumpstufen somit im Wesentlichen axial bezogen auf die Rotorwelle. Die entsprechenden Ein- und Auslässe der Pumpstufen sind somit erfindungsgemäß axial und nicht wie im Stand der Technik radial angeordnet.
  • Bei einer besonders bevorzugten Ausführungsform der Verbindungskanäle sind diese in Richtung der Trennwand offen. Dies ist insbesondere in Verbindung mit dem Vorsehen eines zweiteiligen Pumpengehäuses mit vorzugsweise einstückig ausgebildeten Trennwänden vorteilhaft. Das Anordnen der Verbindungskanäle derart, dass diese in Richtung der Trennebene der Zwischenwand offen sind, hat den Vorteil, dass diese auf einfache Weise hergestellt werden können. Das Herstellen der Verbindungskanäle kann auf einem zweiteiligen Pumpengehäuse durch beispielsweise Fräsen oder dergleichen hergestellt werden, wobei das Fräswerkzeug beispielsweise im Wesentlichen senkrecht zur Trennebene geführt werden kann. Es ist bei derartig ausgestalteten Verbindungskanälen vorzugsweise nicht erforderlich, parallel zur Wellenachse verlaufende Bohrungen in den Zwischenwänden vorzugesehn.
  • Bei einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der Erfindung sind die Verbindungskanäle derart angeordnet, dass sie zumindest teilweise in Richtung der die Rotorwelle aufnehmenden insbesondere halbkreisförmigen Öffnungen offen ausgebildet sind. Hierdurch ist die Herstellung der Verbindungskanäle weiter vereinfacht. In montierten Zustand sind die Verbindungskanäle somit zumindest teilweise bis auf einen kleinen Spalt durch die Rotorwelle verschlossen.
  • Bei einer weiteren bevorzugten Ausführungsform ist ein Einlass und ein Auslass, eines in einer Zwischenwand angeordneten Verbindungskanals, auf unterschiedlichen Seiten der Trennebenen angeordnet. Bei beispielsweise horizontal ausgerichteten Rotorwellen ist somit beispielsweise der Einlass oberhalb einer Mittelebene der Rotorwellen und der Auslass unterhalb der Mittelebene angeordnet. Besonders bevorzugt ist es somit, dass der Einlass und der Auslass jeweils in unterschiedlichen Gehäuseteilen, insbesondere jeweils in einem der beiden Gehäuseteile, ausgebildet sind.
  • Bei einer besonders bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist der Einlass und/oder der Auslass des Verbindungskanals derartig angeordnet, dass er von einem zugehörigen Rotor je nach Rotorstellung ganz verschlossen, teilweise verschlossen oder vollständig offen ist. Der zugehörige Rotor ist hierbei einer der beiden Rotoren der Rotorpaare je Pumpstufe in dessen Bereich Medium einströmt und/oder aus dessen Bereich Medium ausströmt. Bei dieser bevorzugten Ausführungsform ist es besonders vorteilhaft, dass die Einlass- und/oder Auslassöffnung in einer Rotorstellung vollständig verschlossen ist. Dies ist auf einfache Weise dadurch realisierbar, dass die entsprechende Öffnung in der Trennwand angeordnet ist und somit die Öffnung von einer Seitenwand des Rotors überstrichen wird. Es kann somit eine sehr gute Abdichtung des Einlasses und/oder Auslasses erzielt werden. Die Abdichtung ist insbesondere aufgrund des geringen Spalts und der relativ großen radialen Überdeckung gut. Um insbesondere von der ersten bis vorzugsweise zur vorletzten Pumpstufe eine gute Dichtigkeit und somit Kompressionen zu erzielen, ist es bevorzugt, dass die Querschnitte der Einlässe und/oder der Auslässe ausgehend von einer ersten Stufe in Richtung der vorletzten Stufe abnehmen. Dies kann kontinuierlich oder stufenweise erfolgen. Die Querschnitte können auf Grund der Kompression kleiner werden. Vorzugsweise ist der Querschnitt des Einlasses und/oder des Auslasses der letzten Stufe größer als der Querschnitt der vorletzten Stufe. Hierdurch kann die Geräuschentwicklung der Pumpe reduziert werden.
  • Bei einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist die Anordnung bzw. Ausrichtung der Klauen und der Klauenausnehmungen bei zumindest zwei, insbesondere bei allen, Pumpstufen identisch. Insbesondere weisen mindestens zwei, insbesondere alle Pumpstufen jeweils Rotoren mit identischen Rotorprofilen auf. Bei dieser besonders bevorzugten Ausführungsform unterscheiden sich die Rotoren somit ausschließlich hinsichtlich ihrer axialen Breite voneinander. Dies hat den wesentlichen Vorteil, dass es gemäß einer besonders bevorzugten Ausführungsform der Erfindung möglich ist, die Rotorwellen und vorzugsweise sämtliche zugehörigen Rotoren, einstückig auszubilden. Neben der vereinfachten Herstellung verringert sich auch die Anforderung an die Genauigkeit der Synchronisation. Die einstückige Ausgestaltung der Rotorwellen in Verbindung mit den Rotoren stellt eine selbstständige, von der Ausgestaltung des Gehäuses unabhängige Erfindung dar. Bevorzugt ist insbesondere die Kombination dieser beiden Erfindungen, da das einstückige Ausgestalten der Rotorwellen mit den Rotoren den Vorteil hat, dass diese in entsprechend ausgestaltete Gehäusehälften eingelegt werden können. Aufgrund der Einstückigkeit der Rotoren mit den Rotorwellen treten keine montagebedingten Toleranzen auf, die je Pumpstufe ausgeglichen werden müssen. Insbesondere können sich Herstellungs- und Montagetoleranzen nicht addieren.
  • Gegebenenfalls kann auf den Rotorwellen als erste und/oder letzte Pumpstufe jeweils ein Drehkolben angeordnet werden. Bei dieser Weiterbildung ist es bevorzugt, dass die Rotorwelle mit den übrigen als Klauenrotoren ausgebildeten Rotoren einstückig ausgebildet ist und nur die als Drehkolben ausgebildeten Rotoren auf der Rotorwelle angeordnet, beispielsweise aufgepresst, werden.
  • Bei der besonders bevorzugten Ausführungsform der Erfindung sind die beiden Rotorwellen in dem Pumpengehäuse durch fettgeschmierte Wälzlager gelagert. Hierdurch ist die Gefahr des Verunreinigens des geförderten Fluids aufgrund einer Ölschmierung vermieden. Es kann kein Öl in die Pumpstufen eindringen. Vorzugsweise ist daher auch die Synchronisationseinrichtung ölfrei. Die Synchronisationseinrichtung dient zur Synchronisation der beiden sich gegenläufig drehenden Wellen. Eine ölfreie Synchronisation der beiden Wellen erfolgt in bevorzugter Ausführungsform durch einen Riemen und/oder eine Kette. Es ist somit nicht erforderlich, ein Zahnradgetriebe oder zumindest zwei kämmende Zahnräder vorzusehen, die ölgeschmiert werden müssten.
  • Alternativ zu einer mechanischen Synchronisationseinrichtung wäre es auch möglich, die beiden Wellen jeweils von einem gesonderten Motor, insbesondere Elektromotor, anzutreiben, wobei die beiden Motoren vorzugsweise über eine elektronische Synchronisationseinheit miteinander synchronisiert sind. Möglich wäre auch ein kraftübertragungsfreies Synchronisationsgetriebe, das sodann auch Zahnräder aufweisen kann, da diese aufgrund der Kraftübertragungsfreiheit nicht geölt werden müssen.
  • Ferner betrifft die Erfindung eine Rotorwelleneinheit für Vakuumpumpen, die eine selbstständige Erfindung darstellt, die in bevorzugter Ausführungsform in der erfindungsgemäßen Klauenpumpe eingesetzt wird. Die erfindungsgemäße Rotorwelleneinheit weist mehrere Rotoren auf, die von einer Rotorwelle getragen werden. Die Rotoren und die Rotorwelle sind einstückig ausgebildet. Vorzugweise sind die Rotoren wie vorstehend anhand der Klauenpumpe beschrieben, derart ausgebildet, dass vorzugweise alle Rotoren ein identisches Rotorprofil aufweisen. Die einzelnen Rotoren unterscheiden sich in besonders bevorzugter Ausführungsform somit lediglich in ihrer axialen Breite.
  • Besonders bevorzugt ist es, dass die einstückige Rotorwelle als Strangprofil, insbesondere als Strangpressprofil hergestellt ist. Durch die Herstellung als Strangprofil kann auf einfache Weise eine einstückige Rotorwelle mit Rotoren hergestellt werden. Dies ist insbesondere möglich, da in bevorzugter Ausführungsform alle Rotoren dasselbe Rotorprofil aufweisen. Da Strangpressprofile hochgenau gefertigt werden können, muss dieses insofern im Wesentlichen nur noch derartig bearbeitet werden, dass durch Ausfräsen die Zwischenräume zwischen benachbarten Rotoren hergestellt werden. Der Herstellungsprozess der Rotorwelleneinheit ist somit deutlich kostengünstiger als das Herstellen und Montieren einzelner gesonderter Rotoren, die sodann auf einer Welle montiert werden müssen.
  • Die Herstellung der Rotorwelleneinheit umfasst somit die folgenden wesentlichen Herstellungsschritte:
    Zunächst wird beispielsweise im Strangpressverfahren ein Strangprofil hergestellt. Das Außenprofil des gesamten Strangs entspricht hierbei vorzugsweise dem Rotorprofil. Im nächsten Schritt werden die Zwischenräume zwischen benachbarten Rotoren hergestellt. Dies kann beispielsweise durch Fräsen erfolgen. Hier weisen die Zwischenräume eine Tiefe auf, so dass die die beiden benachbarten Rotoren verbindende Welle stehen bleibt. Anschließend können beispielsweise an den beiden Enden der Welle Lagerstellen hergestellt werden. Sofern die Synchronisation zweier derartig hergestellter Rotorwelleneinheiten über Riemen, Ketten oder dergleichen erfolgt, können sodann Zahnräder auf den Wellen zur Aufnahme der Ketten oder Riemen angeordnet werden. Auch können die Zahnräder genutzt werden, um eine Verbindung zu einem Elektromotor herzustellen. Die einstückige Ausgestaltung der Rotorwelleneinheit hat insbesondere den Vorteil, dass keine sich addierenden Toleranzen auftreten und eine kostengünstige Herstellung möglich ist.
  • Bei der erfindungsgemäßen Klauenpumpe mit einer derartig einstückig ausgebildeten Rotorwelleneinheit ist das Montageverfahren besonders einfach und somit kostengünstig. Das Montageverfahren weist insbesondere die folgenden wesentlichen Schritte auf:
    Die einstückigen Rotorwelleneinheiten, d. h. die einstückig mit den Rotoren ausgebildeten Rotorwellen, werden in einem ersten Schritt in eine erste Gehäusehälfte eingelegt. Das Einlegen erfolgt in die in den Trennwänden vorgesehenen, insbesondere halbkreisförmigen, Ausnehmungen. Hierbei ist es wie vorstehend beschrieben besonders bevorzugt, dass die Gehäusehälfte bereits die Trennwände mit umfasst. Im nächsten Schritt kann die zweite Gehäusehälte aufgesetzt und die beiden Gehäusehälften verbunden werden. Das vakuumdichte Verbinden kann hierbei beispielsweise durch Verkleben erfolgen. Je nachdem ob die Synchronisationseinheit innerhalb des Gehäuses angeordnet ist, erfolgt vor oder nach dem Verbinden der beiden Gehäusehälften die Montage eines Riemens oder einer Kette auf die vorzugsweise ebenfalls vormontierten Zahnräder oder dergleichen.
  • Insbesondere aufgrund der sich nicht addierenden Toleranzen ist die vorstehend beschriebene Montage möglich. Insbesondere aufgrund der Synchronisation der beiden Rotorwellen über beispielsweise Zahnriemen, Ketten oder dergleichen ist eine ölfreie Synchronisation möglich.
  • Durch die vorzugsweise hochgenaue symmetrische Rotorfertigung ist der Wuchtprozess sehr einfach und erfordert nur einen geringen Zeitaufwand.
  • Sowohl das vorstehend beschriebene Herstellungsverfahren für die Rotationswelleneinheit als auch das Montageverfahren stellen eine selbstständige Erfindung dar.
  • Die erfindungsgemäße mehrstufige Klauenpumpe kann derart aufgebaut sein, dass sämtliche Pumpstufen axial hintereinander angeordnet sind, so dass die Kompression in einer axialen Richtung von einer zur nächsten Stufe stets zunimmt. Es ist auch möglich, einen zentralen Pumpeneinlass vorzusehen, von dem aus sich in beide Richtungen Pumpenstufen erstrecken. Die Pumpenstufen sind hierbei wiederum axial auf derselben Welle angeordnet, die Pumprichtung ist jedoch einander entgegengesetzt. Der gemeinsame Einlass ist somit bei einer sog. dual exhaust pump in der Mitte der Pumpe und die beiden Auslässe an den beiden äußeren Seiten der Pumpe.
  • Nachfolgend werden die Erfindungen anhand einer bevorzugten Ausführungsform der Klauenpumpe näher erläutert.
  • Es zeigen:
  • 13 eine schematische Darstellung einer Pumpstufe der Klauenpumpe in Schnittansicht in unterschiedlichen Stellungen,
  • 4 eine schematische Darstellung eines Teils einer Gehäusehälfte.
  • Die erfindungsgemäße Klauenpumpe weist mehrere axial hintereinander angeordnete Pumpstufen auf, wobei in den 13 eine schematische Querschnittsansicht einer Pumpstufe dargestellt ist. Es handelt sich um die Darstellung derselben Pumpstufe in unterschiedlichen Stellungen der ein Rotorenpaar ausbildenden Rotoren 10, 12. Die beiden Rotoren 10, 12 sind jeweils einstückig mit einer Rotorwelle 14 ausgebildet. Die Rotorwellen 14 sind in einem aus zwei Gehäusehälften 16, 18 gebildeten Pumpengehäuse angeordnet. Das Pumpengehäuse 16, 18 bildet zusammen mit den Rotoren 10, 12 Pumpkammern 20, 22 aus, wobei sich die Lage der Pumpkammern je nach Lage der Rotoren 10, 12 verändert.
  • Die beiden Gehäusehälften 16, 18 sind hierbei derart ausgebildet, dass eine Trennebene 24 sich in Längsrichtung der Wellen 14 erstreckt. Die Trennebene 24 ist hierbei auf Höhe einer Mittelebene der beiden Wellen 14 angeordnet.
  • In den 13 hinter den beiden Rotoren 10, 12 ist eine Zwischenwand 26 angeordnet. Die Zwischenwand bildet die Trennung zur im dargestellten Ausführungsbeispiel in Pumprichtung zuvor angeordneten Pumpstufe aus. In der Zwischenwand 26 ist ein Verbindungskanal angeordnet, der in den 13 durch den Pfeil 28 angedeutet ist. Das zu pumpende Fluid strömt durch einen Auslass 30, der sich in der Darstellung der 13 auf der Rückseite der Zwischenwand 26 befindet, in den Verbindungskanal 28 ein. Das Fluid strömt sodann durch einen Einlass 32, der sich in den 13 an der Vorderseite der Zwischenwand 26 befindet in die dargestellte Pumpstufe ein.
  • Das Fluid strömt jedoch nur durch den Verbindungskanal 28 und den Einlass 32 in die Kammer 22 ein, wenn sich die beiden Rotoren 10, 12 in der in 2 dargestellten Stellung befinden. In diese Stellung ist der Einlass 32 zumindest teilweise offen, so dass Fluid in die Kammer 22 strömen kann. Gleichzeitig wird Fluid aus der Kammer 20 in einen Auslass gefördert. Dieser Auslass ist in einer Zwischenwand angeordnet, die in den 13 vor den dargestellten Rotoren angeordnet ist.
  • Durch die durch die beiden Pfeile 34 dargestellte gegenläufige Rotation der beiden Rotoren erfolgt somit ein Fördern von Medium sowie ein Komprimieren des Mediums aufgrund des sich verringernden Kammervolumens. Die Rotoren 10, 12 weisen ein bekanntes Klauenprofil auf. Dieses weist je Rotor zwei Klauenausnehmungen 38 auf.
  • In dem in 4 dargestellten Teil einer Gehäusehälfte 16 sind zwei aufeinanderfolgende Pumpstufen 40, 42 teilweise sichtbar. Hierbei ist eine axiale Breite einer Stufe 40 breiter als eine axiale Breite einer sich hieran anschließenden Stufe 42, so dass sich die Kompression des geförderten Mediums erhöht. Die beiden aufeinanderfolgenden Pumpstufen 40, 42 sind durch eine Zwischenwand 26, die in einer Trennebene 24 angeordnet ist, voneinander getrennt. Die Zwischenwand 26 weist zwei in Richtung der Trennebene 24 offene Ausnehmungen 44, 46 auf. Die beiden Ausnehmungen 44, 46 dienen zur Aufnahme der beiden Rotorwellen 14. Die Trennwand 26 weist in 4 unterhalb der Ausnehmung 44 den Einlass 32 der Pumpstufe 42 auf. Durch den Einlass 32 strömt je nach Stellung des Rotors 10 (2) Fluid in die Kammer 22. Der Einlass 32 ist mit einem Verbindungskanal 28 verbunden. Dieser erstreckt sich ausgehend vom Einlass 32 zunächst senkrecht zu einer Seitenfläche 48 der Zwischenwand 26. Sodann erstreckt sich vorzugweise bezogen auf die Dicke der Zwischenwand 26 in der Mitte der Kanal 28 in einem Teilstück 28a in 4 nach oben. Die zweite Gehäusehälfte weist oberhalb der Ausnehmung 46 auf der entsprechenden zweiten Wand der Pumpstufe 40 den Auslass 30 auf. Dieser ist entsprechend dem Einlass 32 mit einem Kanal 28, 28a verbunden. In dem oberen von der zweiten Gehäusehälfte ausgebildeten Teil der Trennwand ist der Kanal somit entsprechend ausgebildet. Durch Aufeinandersetzen zweier Gehäusehälften 16, 18 wird somit auf einfache Weise ein Verbindungskanal 28, 28a ausgebildet.
  • Ein besonderer Vorteil der in 4 dargestellten Ausführungsform der Verbindungskanäle 28, 28a besteht darin, dass die Herstellung sehr einfach ist, da der Kanal auf einfache Weise beispielsweise mit einem Fingerfräser hergestellt werden kann. Der Kanal ist stets von einer Oberseite 50 der Trennwand 26 zugänglich.
  • Zur Montage der Klauenpumpe werden die insbesondere einstückig mit den Rotoren 10, 12 hergestellten Rotorwellen 14 in 4 von oben in die Ausnehmungen 44, 46 der Trennwände eingelegt. Hierbei verschließen die Rotorwellen 14 stets einen Teil der entsprechenden Verbindungskanäle 28.
  • Anschließend wird die zweite Gehäusehälfte aufgesetzt, so dass die Teile 28a der Verbindungskanäle aufeinanderliegen und ein durchgehender Verbindungskanal 28, 28a zwischen zwei benachbarten Pumpstufen 40, 42 ausgebildet ist.
  • Die übrigen Stufen sind entsprechend ausgebildet, wobei eine sich in der Längsrichtung 52 der Rotorwellen 14 erstreckende Breite der Pumpstufen 40, 42 in Pumprichtung abnimmt.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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  • Zitierte Patentliteratur
    • US 5/049050 [0002]
    • US 8/308458 [0002]

Claims (26)

  1. Klauenpumpe, mit zwei jeweils mehrere Rotoren (10, 12) tragenden Rotorwellen (14), wobei jeder Rotor (10, 12) zwei Klauen (36) und zwei Klauenausnehmungen (38) aufweist, mehrere jeweils eine Pumpstufe ausbildende Rotorpaare (10, 12) vorgesehen sind, wobei je Pumpstufe die Klauen (36) des einen Rotors (10, 12) jeweils mit einer Klauenausnehmung (38) des anderen Rotors (12, 10) zusammenwirken und einem Pumpengehäuse (16, 18), das je Pumpstufe mindestens eine Pumpkammer (20, 22) ausbildet, dadurch gekennzeichnet, dass eine Trennebene (24) des Pumpengehäuses (16, 18) in Längsrichtung der Rotorwellen (14) verläuft.
  2. Klauenpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Pumpengehäuse (16, 18) zweiteilig ausgebildet ist.
  3. Klauenpumpe nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen benachbarten Pumpenstufen angeordnete Zwischenwände (26) zweiteilig ausgebildet sind und insbesondere eine Trennebene (24) der Zwischenwände (26) in Längsrichtung der Rotorwellen (14) verläuft.
  4. Klauenpumpe nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Zwischenwände (26) in Richtung der Trennebene (24) offene Ausnehmungen (44, 46) zur Aufnahme der Rotorwellen (14) aufweisen.
  5. Klauenpumpe nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Zwischenwände (26) mit jeweils einem der beiden Gehäuseteile (16, 18) einstückig ausgebildet sind.
  6. Klauenpumpe nach einem der Ansprüche 3–5, dadurch gekennzeichnet, dass in den Zwischenwänden (26) jeweils benachbarte Pumpstufen miteinander verbindende Verbindungskanäle (28) vorgesehen sind.
  7. Klauenpumpe nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Verbindungskanäle (28) in Richtung der Trennebene (24) offen sind.
  8. Klauenpumpe nach einem der Ansprüche 3–7, dadurch gekennzeichnet, dass die Verbindungskanäle (28) teilweise von der Rotorwelle (14) verschlossen sind.
  9. Klauenpumpe nach einem der Ansprüche 3–8, dadurch gekennzeichnet, dass ein Einlass (32) und ein Auslass (30) eines Verbindungskanals (28) auf unterschiedlichen Seiten der Trennebene (24) angeordnet, insbesondere in unterschiedlichen Gehäuseteilen (16, 18) ausgebildet, ist.
  10. Klauenpumpe nach einem der Ansprüche 3–9, dadurch gekennzeichnet, dass ein Einlass (32) und/oder ein Auslass (30) des Verbindungskanals (28) von den zugehörigen Rotoren (10, 12) je nach Rotorstellung ganz verschlossen, teilweise verschlossen oder ganz geöffnet ist.
  11. Klauenpumpe nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass der Einlass (32) und/oder der Auslass (30) derart ausgestaltet ist, dass der Querschnitt von der ersten bis vorletzten Pumpstufe insbesondere kontinuierlich abnimmt.
  12. Klauenpumpe nach Anspruch 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, dass der Einlass (32) und/oder der Auslass (30) derart ausgebildet ist, dass der Querschnitt der letzten Pumpstufe größer ist als der Querschnitt einer der vorhergehenden Pumpstufen.
  13. Klauenpumpe nach 1–12, dadurch gekennzeichnet, dass die Anordnung der Klauen (36) und/oder der Klauenausnehmungen (38) bei zumindest zwei, insbesondere bei allen Pumpstufen, identisch ist.
  14. Klauenpumpe nach einem der Ansprüche 1–13, dadurch gekennzeichnet, dass sich die Rotoren (10, 12) unterschiedlicher Pumpstufen allenfalls hinsichtlich ihrer axialen Breite voneinander unterscheiden.
  15. Klauenpumpe nach einem der Ansprüche 1–14, dadurch gekennzeichnet, dass die Rotorwelle (14) und die Rotoren (10, 12) vor dem Anordnen in dem insbesondere zweiteiligen Pumpgehäuse (16, 18) vormontiert sind.
  16. Klauenpumpe nach einem der Ansprüche 1–14, dadurch gekennzeichnet, dass die beiden Rotorwellen (14) und die zugehörigen Rotoren (10, 12) einstückig ausgebildet sind.
  17. Klauenpumpe nach einem der Ansprüche 1–16, dadurch gekennzeichnet, dass auf beiden Rotorwellen (14) jeweils ein als Drehkolben ausgebildeter Rotor zur Ausbildung einer Wälzkolbenstufe angeordnet ist.
  18. Klauenpumpe nach einem der Ansprüche 1–17, dadurch gekennzeichnet, dass die beiden Rotorwellen (14) im Pumpengehäuse (16, 18) durch fettgeschmierte Wälzlager gelagert sind.
  19. Klauenpumpe nach einem der Ansprüche 1–18, dadurch gekennzeichnet, dass eine ölfreie Synchronisationseinrichtung zur Synchronisation der beiden Rotorwellen (14) vorgesehen ist.
  20. Klauenpumpe nach einem der Ansprüche 1–19, dadurch gekennzeichnet, dass die beiden Rotorwellen (14) zur Synchronisation über einen Riemen und/oder eine Kette miteinander verbunden sind.
  21. Klauenpumpe nach einem der Ansprüche 1–20, dadurch gekennzeichnet, dass die beiden Rotorwellen (14) jeweils von einem gesonderten Rotor angetrieben sind, wobei die beiden Rotoren vorzugweise über eine elektronische Synchronisationseinheit oder über ein kraftübertragungsfreies Getriebe miteinander synchronisiert sind.
  22. Rotorwelleneinheit für Vakuumpumpen, insbesondere für Klauenpumpen, nach einem der Ansprüche 1–21, mit einer mehrere Rotoren (10, 12) tragenden Rotorwelle (14), dadurch gekennzeichnet, dass die Rotoren (10, 12) und die Rotorwelle (14) einstückig ausgebildet sind.
  23. Rotorwelleneinheit nach Anspruch 22, dadurch gekennzeichnet, dass die Rotoren (10, 12) ein identisches Rotorprofil aufweisen.
  24. Rotorwelleneinheit nach Anspruch 22 oder 23, dadurch gekennzeichnet, dass die Rotoren (10, 12) Pumpstufen einer Klauenpumpe ausbilden.
  25. Rotorwelleneinheit nach Anspruch 24, dadurch gekennzeichnet, dass die Rotorwelle (10) zusammen mit den Rotoren (10, 12) als Strangprofile, insbesondere Strangpressprofil, hergestellt ist.
  26. Rotorwelleneinheit nach Anspruch 25, dadurch gekennzeichnet, dass zur Herstellung der gegebenenfalls unterschiedliche Breiten aufweisende Rotoren (10, 12) Zwischenräume im Stranggussprofil vorgesehen werden.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102018210430A1 (de) * 2018-06-26 2020-01-02 Leybold Gmbh Verdränger, Rotor und Vorrichtung einer Vakuumpumpe sowie Verfahren zur Herstellung eines Verdrängers und eines Rotors einer Vakuumpumpe

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2558954B (en) 2017-01-24 2019-10-30 Edwards Ltd Pump sealing
CN107448390B (zh) * 2017-09-14 2023-10-10 东莞市大路通真空设备制造有限公司 长寿命真空泵
DE102019103577A1 (de) 2019-02-13 2020-08-13 Gebr. Becker Gmbh Drehkolbenpumpe
CN110332111B (zh) * 2019-06-21 2021-08-06 宁波邦威泵业有限公司 一种叶轮及其转子泵

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AT140808B (de) * 1933-06-07 1935-02-25 Franz Dr Ing Heinl Maschine mit umlaufenden Kolben.
US4917583A (en) * 1987-05-15 1990-04-17 Leybold Aktiengesellschaft Bearing support for a twin-shaft pump
US5049050A (en) 1988-10-24 1991-09-17 Leybold Aktiengesellschaft Method for operating a twin shaft vacuum pump according to the Northey principle and a twin shaft vacuum pump suitable for the implementation of the method
EP1020645A1 (de) * 1999-01-11 2000-07-19 Kabushiki Kaisha Toyoda Jidoshokki Seisakusho Mehrstufige Rootspumpe und Verfahren zur Herstellung des Gehäuses
DE60123637T2 (de) * 2000-08-21 2007-08-16 Alcatel Lucent Abdichtung für eine vakuumpumpe
US20100104464A1 (en) * 2008-10-24 2010-04-29 Nigel Paul Schofield Roots pumps
US8308458B2 (en) 2006-03-02 2012-11-13 Edwards Limited Rotor assembly for multi-stage pump

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2207190A (en) * 1987-07-18 1989-01-25 Boc Group Plc Pump drive arrangement
GB9021780D0 (en) * 1990-10-06 1990-11-21 Boc Group Plc Improvements in mechanical pumps
KR100700415B1 (ko) 1998-09-19 2007-03-27 엘지.필립스 엘시디 주식회사 액티브 매트릭스 액정표시장치
JP2000170679A (ja) * 1998-12-04 2000-06-20 Toyota Autom Loom Works Ltd 多段ルーツポンプ及び多段ポンプ装置
JP2003097475A (ja) * 2001-09-21 2003-04-03 Nsk Ltd ドライ真空ポンプ用軸受
JP2004211556A (ja) * 2002-12-26 2004-07-29 Toyota Industries Corp 真空ポンプ
JP2007092625A (ja) * 2005-09-28 2007-04-12 Aisin Seiki Co Ltd 回転軸とロータを備えた回転体およびその製造法
US8662869B2 (en) * 2007-11-14 2014-03-04 Ulvac, Inc. Multi-stage dry pump
JP5284940B2 (ja) * 2009-12-24 2013-09-11 アネスト岩田株式会社 多段真空ポンプ
GB2508405B (en) * 2012-11-30 2015-09-02 Edwards Ltd Vacuum pump

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AT140808B (de) * 1933-06-07 1935-02-25 Franz Dr Ing Heinl Maschine mit umlaufenden Kolben.
US4917583A (en) * 1987-05-15 1990-04-17 Leybold Aktiengesellschaft Bearing support for a twin-shaft pump
US5049050A (en) 1988-10-24 1991-09-17 Leybold Aktiengesellschaft Method for operating a twin shaft vacuum pump according to the Northey principle and a twin shaft vacuum pump suitable for the implementation of the method
EP1020645A1 (de) * 1999-01-11 2000-07-19 Kabushiki Kaisha Toyoda Jidoshokki Seisakusho Mehrstufige Rootspumpe und Verfahren zur Herstellung des Gehäuses
DE60123637T2 (de) * 2000-08-21 2007-08-16 Alcatel Lucent Abdichtung für eine vakuumpumpe
US8308458B2 (en) 2006-03-02 2012-11-13 Edwards Limited Rotor assembly for multi-stage pump
US20100104464A1 (en) * 2008-10-24 2010-04-29 Nigel Paul Schofield Roots pumps

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102018210430A1 (de) * 2018-06-26 2020-01-02 Leybold Gmbh Verdränger, Rotor und Vorrichtung einer Vakuumpumpe sowie Verfahren zur Herstellung eines Verdrängers und eines Rotors einer Vakuumpumpe

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